KR20100051968A - 기판 이송용 컨베이어장치 - Google Patents

Abstract

프레임과, 이 프레임의 상부에 설치되어 기판을 일방향으로 이송시키며, 프레임의 일측 영역에 설치되는 제1이송부와, 프레임의 상부 타측 영역에 설치되는 제2이송부를 구비하는 기판이송부와, 제1이송부를 일방향으로 회전시키고, 제2이송부를 제1이송부의 반대방향으로 회전시켜 각 이송부에 놓인 기판을 회전시키는 제어부를 구비하는 기판 이송용 컨베이어장치를 개시한다. 이러한 기판 이송용 컨베이어장치는 제어부의 제어에 의해 각 이송부의 회전방향을 달리하여 기판을 회전시킬 수 있으므로 비용을 절감할 수 있다.

Description

기판 이송용 컨베이어장치{Apparatus for conveying substrate}

기판 이송용 컨베이어장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 턴테이블을 설치하지 않아도 기판을 회전시킬 수 있는 기판 이송용 컨베이어장치에 관한 것이다.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빠라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다.

종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube) 모니터가 사용되어 왔으나, 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다.

이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시소자(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다.

액정표시소자의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 각 단위공정간 컨베이어 시스템을 이용하여 기판(Glass substrate)을 이송하게 된다.

이러한 컨베이어 시스템은 다수의 컨베이어가 인-라인으로 연결되어 있다. 각 컨베이어는 다수의 이송롤러를 가지는 다수의 이송축이 구동원에 의해 회전됨으로써 기판을 이송한다.

한편, 액정표시소자를 제조하기 위한 기판은 통상 가로 길이와 세로 길이가 다르고, 기판의 패턴 처리 등을 위하여 각 단위공정에 투입되는 기판의 투입 방향이 중요하다. 이에 따라 액정표시소자의 제조 공정의 대부분에서 기판의 이송방향은 중요한 요소이다.

상기와 같은 이유로 컨베이어 시스템을 이용하여 기판을 반송하는 경우 필요에 따라 기판을 시계방향 또는 반시계방향을 회전할 필요가 있다. 이를 위해 컨베이어 시스템에는 기판을 회전시키는 턴테이블이 마련되며, 이러한 턴테이블은 컨베이어로 기판의 진입이 완료되면 컨베이어를 들고 회전체가 회전함으로써 컨베이어와 이 컨베이어 상의 기판을 회전시키는 장치이다. 하지만, 상기와 같은 턴테이블은 컨베이어 시스템에 대한 투자비용을 증대시키는 원인이 된다.

본 발명의 일측면은 턴테이블을 설치하지 않아도 기판을 회전시킬 수 있는 기판 이송용 컨베이어장치를 제공하는데 있다.

이를 위해 기판 이송용 컨베이어장치는 프레임과, 상기 프레임의 상부에 설치되어 기판을 일방향으로 이송시키며, 상기 프레임의 일측 영역에 설치되는 제1이송부와, 상기 프레임의 상부 타측 영역에 설치되는 제2이송부를 구비하는 기판이송부와, 상기 제1이송부를 일방향으로 회전시키고, 상기 제2이송부를 상기 제1이송부의 반대방향으로 회전시켜 상기 각 이송부에 놓인 기판을 회전시키는 제어부를 포함한다.

상기 각 이송부는 다수의 이송축과, 상기 각 이송축과 연결되어 상기 각 이송축을 회전시키는 구동부와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 각 이송축의 회전 시 상기 기판을 이송시키는 이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제어부는 상기 기판의 회전 시 상기 각 구동부를 동일한 속도로 상호 반대방향으로 회전시키는 것을 특징으로 한다.

상기 기판 이송용 컨베이어장치는 상기 제어부의 제어에 의해 회전된 기판의 정렬을 위해,

상기 기판이송부의 하측에 배치되는 얼라인부재와, 상기 얼라인부재를 승강시키는 승강부와, 상기 얼라인부재를 수평이동시키는 수평이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 얼라인부재는 상기 승강부에 의해 상기 각 이송축의 사이로 승강되고, 상기 수평이동부에 의해 상기 기판의 각 면에 접촉되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 컨베이어장치는 프레임과, 상기 프레임의 일측 영역에 설치되고, 기판을 이동시키는 제1이송부재를 가지는 제1이송부와, 상기 프레임의 상부 타측 영역에 설치되고 기판을 이동시키는 제2이송부재를 가지는 제2이송부를 구비하는 기판이송부를 포함하며,

상기 제1이송부재와 상기 제2이송부재는 같은 방향으로 회전하여 상기 기판을 일방향으로 이송하고, 서로 다른 방향으로 회전하여 상기 기판을 회전시키는 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 기판 이송용 컨베이어장치는 제어부의 제어에 의해 제1이송부와 제2이송부의 회전방향을 상호 달리하여 기판을 회전시킬 수 있으므로 턴테이블이 설치된 종래와는 달리 투자비용을 절감할 수 있다.

기판 이송용 컨베이어장치는 도 1에 도시된 바와 같이 바닥면에 놓여지는 프레임(10)과, 이 프레임(10)의 상부에 설치되어 기판을 일방향으로 이송시키는 기판이송부(20)를 포함한다. 이러한 기판 이송용 컨베이어장치는 다수개가 연결됨으로써 In-line을 이루게 된다(도 5참조).

기판이송부(20)는 프레임(10)의 상면 양 가장자리와 중간에 각각 마련되는 지지대(21,23,25)와, 프레임(10)의 상부 일측 영역 즉, 프레임(10)의 어느 일측의 가장자리의 지지대(21)와 중간에 마련된 지지대(25)의 사이에 설치되는 제1이송 부(30)와, 프레임(10)의 상부 타측 영역 즉, 프레임(10)의 어느 타측의 가장자리의 지지대(23)와 중간에 마련된 지지대(25)의 사이에 설치되는 제2이송부(40)를 포함한다.

프레임(10)의 양 가장자리에 설치되는 지지대(21,23)에는 기판이송부(20)를 통해 이송되는 기판이 이탈되는 것을 방지하도록 가드레일(22,24)이 각각 설치된다.

제1이송부(30)는 각 지지대(21,25)에 회전 가능하게 지지되는 다수의 이송축(31)과, 각 이송축(31) 상에 설치되어 기판과 접촉하는 다수의 이송부재(33)와, 각 이송축(31)을 회전시키기 위한 구동부(35)를 구비한다.

이송축(31)은 각 지지대(21,25)의 사이에서 서로 일정 간격을 유지한 상태로 배열된다. 이송부재(33)는 각 이송축(31) 상에 서로 일정 간격을 유지한 상태로 배열되는 이송롤러를 포함한다. 또, 이송부재(33)는 각 이송축(31) 상에 설치되는 체인 또는 벨트일 수 있다.

구동부(35)는 구동모터(37)와, 이 구동모터(37)와 연결되고 구동모터(37)의 회전을 이송축(31)에 전달하도록 각 이송축(31)의 일단과 기어물림방식에 의해 연결되는 동력전달축(36)을 포함한다. 동력전달축(36)과 이송축(31)은 베벨기어방식 등 다양한 방식으로 연결될 수도 있다.

제2이송부(40)는 제1이송부(30)와 마찬가지로 각 지지대(23,25)에 회전 가능하게 지지되는 다수의 이송축(41)과, 각 이송축(41) 상에 설치되어 기판과 접촉하는 다수의 이송부재(43)와, 각 이송축(41)을 회전시키기 위한 구동부(45)를 구비한 다. 구동부(45)는 제1이송부(30)와 마찬가지로 구동모터(47)와, 이 구동모터(47)와 연결되고 각 이송축(41)의 일단과 기어물림방식에 의해 연결되는 동력전달축(46)을 포함한다.

한편, 기판 이송용 컨베이어장치는 필요에 따라 기판을 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킬 수 있다. 이를 위해 기판 이송용 컨베이어장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 기판의 진입완료를 감지하는 감지센서(27)와, 기판이송부(20)를 제어하어 기판을 회전시키는 제어부(50)를 더 포함한다.

감지센서(27)는 도시된 바와 같이 지지대(25) 상에 설치되어 기판의 진입완료를 감지하며, 기판의 진입완료를 감지할 수 있는 기판이송부의 어느 장소에서나 설치될 수 있다. 이러한 감지센서(27)는 기판의 진입이 완료되면 제어부(50)로 신호를 전달한다.

제어부(50)는 감지센서에서 기판의 진입완료를 감지한 후 기판을 회전시키기 위해 제1이송부(30)의 구동모터(37)를 일방향으로 회전시키고 제2이송부(40)의 구동모터(47)를 제1이송부(30)의 구동모터(37)의 회전방향과 반대방향으로 회전시킨다.

상기와 같이 제어부(50)에 의해 각 이송부(30,40)의 구동모터(37,47)를 상호 반대방향으로 회전시키면 각 이송부(30,40)에 마련되는 각 이송축(31,41) 역시 상호 반대방향으로 회전되어 기판이 제자리에서 시계방향 또는 반시계방향으로 회전된다. 제어부(50)에 의해 상호 반대방향으로 회전되는 각 이송부(30,40)의 구동모터(67,47)는 동일한 속도로 회전되며, 기판의 회전 각도는 각 구동모터(37,47)의 동작속도와 동작시간에 따라 결정된다.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 기판을 회전시키기 위하여 턴테이블이 설치된 종래와는 달리 각 이송부(30,40)의 회전방향을 달리하여 기판을 회전시킬 수 있으므로 기판 이송용 컨베이어장치에 대한 투자비용이 감소된다.

또, 기판 이송용 컨베이어장치에는 도 4에 도시된 바와 같이 기판을 회전시키기 전에 이송된 기판이 기판이송부(20)의 중앙에 배치되도록 정렬시키기 위한 얼라이너(60)가 설치된다. 이러한 얼라이너(60)는 기판이송부(20)의 하측에 배치되어 기판의 각 면에 접촉되는 얼라인부재(61)와, 얼라인부재(61)를 승강시키는 승강부(63)와, 승강된 얼라인부재(61)를 기판의 각 면에 접촉시키도록 수평 이동시키는 수평이동부(65)를 포함한다. 승강부(63)와 수평이동부(65)는 도시된 바와 같이 실린더일 수 있다.

얼라인부재(61)는 도시된 바와 같이 승강부(63)의 상측에 설치되어 승강부(63)에 의해 각 이송축(31,41)의 사이로 상승된다. 또, 얼라인부재(61)는 상술한 바와 같이 승강부(63)에 의해 각 이송축(31,41)의 사이로 상승된 후 수평이동부(65)에 의해 기판의 각 면으로 수평 이동되어 기판을 기판이송부(20)의 중앙으로 정렬시킨다.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이 다수의 컨베이어장치로 기판을 이송하다가 정체가 발생하여 기판의 이송이 멈추는 경우 턴테이블까지 이송된 후에 기판을 회전시키는 종래와는 달리 각 컨베이어장치에서 기판을 회전시킬 수 있다.

각 컨베이어장치에서 기판을 회전시키는 방법은 상술한 바와 같이 제어 부(50)에 의해 각 이송부(30,40)의 구동모터(37,47)를 회전방향을 상호 반대방향으로 회전시킴으로써 이루어진다.

따라서, 상기의 기판 이송용 컨베이어장치에서는 기판의 이송이 정체되는 경우 기판을 회전시키는데 소요되는 시간을 절약할 수 있으므로 효율적인 기판의 이송이 가능해진다.

도 1은 기판 이송용 컨베이어장치를 도시한 사시도이다.

도 2는 기판 이송용 컨베이어장치의 제어관계를 도시한 도면이다.

도 3은 도 1에 도시된 도면에서 기판의 회전과정을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

도 4는 도 1에 도시된 기판 이송용 컨베이어장치의 얼라이너를 설명하기 위해 도시한 도면이다.

도 5는 다수의 기판 이송용 컨베이어장치에서 기판을 이송하거나 회전시키는 모습을 보여 주는 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

10 : 프레임 20 : 기판이송부

27 : 감지센서 30,40 : 제1,2이송부

31,41 : 이송축 33,43 : 이송부재

35,45 : 구동부 36,46 : 동력전달축

37,47 : 구동모터 50 : 제어부

60 : 얼라이너 61 : 얼라인부재

63 : 승강부 65 : 수평이동부

Claims (6)

1. 프레임과,

   상기 프레임의 상부에 설치되어 기판을 일방향으로 이송시키며, 상기 프레임의 일측 영역에 설치되는 제1이송부와, 상기 프레임의 상부 타측 영역에 설치되는 제2이송부를 구비하는 기판이송부와,

   상기 제1이송부를 일방향으로 회전시키고, 상기 제2이송부를 상기 제1이송부의 반대방향으로 회전시켜 상기 각 이송부에 놓인 기판을 회전시키는 제어부를 포함하는 기판 이송용 컨베이어장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 각 이송부는 다수의 이송축과, 상기 각 이송축과 연결되어 상기 각 이송축을 회전시키는 구동부와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 각 이송축의 회전 시 상기 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 제어부는 상기 기판의 회전 시 상기 각 구동부를 동일한 속도로 상호 반대방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 기판이송부의 하측에 배치되는 얼라인부재와, 상기 얼라인부재를 승강시키는 승강부와, 상기 승강부에 의해 승강된 얼라인부재를 수평 이동시켜 상기 기판에 접촉시키는 수평이동부를 구비하는 얼라이너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 얼라인부재는 상기 승강부에 의해 상기 각 이송축의 사이로 승강되고, 상기 수평이동부에 의해 상기 기판의 각 면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어장치.
6. 프레임과,

   상기 프레임의 일측 영역에 설치되고, 기판을 이동시키는 제1이송부재를 가지는 제1이송부와, 상기 프레임의 상부 타측 영역에 설치되고 기판을 이동시키는 제2이송부재를 가지는 제2이송부를 구비하는 기판이송부를 포함하며,

   상기 제1이송부재와 상기 제2이송부재는 같은 방향으로 회전하여 상기 기판을 일방향으로 이송하고, 서로 다른 방향으로 회전하여 상기 기판을 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어장치.

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