KR101447999B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

기판을 용이하게 층간 이송시킬 수 있는 기판반송장치를 개시한다. 이러한 기판반송장치는 기판을 층간 반송시키기 위한 것으로 기판이 반입되어 기판을 수평 이송시키는 반입모듈과, 반입모듈과 연결되며, 반입모듈로부터 이송된 기판을 경사지게 이송하도록 회전 가능하게 마련된 제1회전이송모듈과, 회전된 제1회전이송모듈과 연결되며, 제1회전이송모듈로부터 이송된 기판을 경사 이송시키는 경사이송모듈과, 경사이송모듈과 연결되며, 경사이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이동시키도록 회전 가능하게 마련된 제2회전이송모듈과, 회전된 제2회전이송모듈과 연결되며, 상기 제2회전이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이송시켜 반출하는 반출모듈과, 제1회전이송모듈에 구비되어 제1회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하며, 제1회전이송모듈의 회전 시 상기 기판을 경사 이송시키는 제1경사이송유닛과; 상기 경사이송모듈에 구비되어 경사이송모듈로 이송된 기판을 지지하며, 기판을 경사 이송시키는 제2경사이송유닛과, 제2회전이송모듈에 구비되어 제2회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하는 지지유닛을 포함한다. 이에 따라 개시된 기판반송장치에서는 기판의 층간 이송 시 기판을 경사 이송시킬 수 있으므로 기판을 층간 이송시키는데 소요되는 시간이 종래 보다 단축시킬 수 있으며, 기판을 경사 이송시키는 과정에서 기판 낙하방지부에 의해 기판의 낙하를 방지할 수도 있다.

Description

기판반송장치{Apparatus for transferring substrate}

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 층간 반송시킬 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.

최근 현대사회가 정보화사회화 되어감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치는 그 중요성이 점차 증가되고 있으며, 특히 그것이 갖고 있는 경량화, 저전력소비화 등의 장점 때문에 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.

이러한 액정표시장치는 기판 상에 다수의 공정을 반복 수행함으로써 이루어지며, 이 액정표시장치를 제조하기 위한 제조설비에는 어느 하나의 공정에서 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송시키는 기판반송장치가 마련된다.

상기의 경우 기판반송장치를 통해 기판을 층간 반송시킬 수 있는데, 대한민국 공개특허 10-2005-0082550에는 카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법이 개시되어 있다. 개시된 카세트 리프터 시스템 즉, 기판반송장치에 의하면 다수의 기판이 수납된 카세트를 왕복형 승강기의 케이지에 넣어 기판을 반 송하고 있다.

하지만, 상기와 같은 카세트 리프터 시스템에서는 기판을 반송시키기 위하여 카세트를 사용함에 따라 이에 대한 추가 장비가 필요하여 설비 점유 면적이 늘어나게 되는 문제점이 있다. 또, 상기의 카세트 리프터 시스템에서는 카세트가 기판 보다 크고 무겁기 때문에 외곽 사이즈와 구동모터 용량이 큰 승강기가 필요하게 되는 문제점이 있다.

또한, 종래에는 카세트를 사용함에 따라 추가 장비가 필요하고 설비 점유 면적이 늘어나는 것을 방지하기 위해 낱장의 기판을 반송시키는 기판반송장치가 마련될 수도 있다. 여기서, 기판반송장치에는 상기와 같이 낱장의 기판을 층간 반송시키기 위하여 기판을 상측으로 이동시키기 위한 승강기가 마련된다.

하지만, 종래에는 승강기를 통해 선행 기판을 반송시킨 다음에 후속 기판을 반송시키기 위해서는 선행기판이 놓여진 승강기를 상승시킨 후 다시 하강시킨 다음에 후속 기판을 반송시켜야 함으로써 승강기가 상승 뒤 하강될 때까지 후속 기판을 반송시키지 못하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 층간 반송시키는 과정에서 별도의 추가 장비 및 설비 점유 면적이 늘어나지 않게 되며, 구동모터의 용량이 큰 승강기를 사용하지 않아도 되는 기판반송장치를 제공하는데 있다.

또, 본 발명의 목적은 기판을 층간 반송시키는 과정에서 기판을 반송시키는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 기판반송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판반송장치는 기판을 층간 반송시키기 위한 것으로 상기 기판이 반입되어 상기 기판을 수평 이송시키는 반입모듈과; 상기 반입모듈과 연결되며, 상기 반입모듈로부터 이송된 기판을 경사지게 이송하도록 회전 가능하게 마련된 제1회전이송모듈과; 상기 회전된 제1회전이송모듈과 연결되며, 상기 제1회전이송모듈로부터 이송된 기판을 경사 이송시키는 경사이송모듈과; 상기 경사이송모듈과 연결되며, 상기 경사이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이동시키도록 회전 가능하게 마련된 제2회전이송모듈과; 상기 회전된 제2회전이송모듈과 연결되며, 상기 제2회전이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이송시켜 반출하는 반출모듈과; 상기 제1회전이송모듈에 구비되어 상기 제1회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하며, 상기 제1회전이송모듈의 회전 시 상기 기판을 경사 이송시키는 제1경사이송유닛과; 상기 경사이송모듈에 구비되어 상기 경사이송모듈 로 이송된 기판을 지지하며, 상기 기판을 경사 이송시키는 제2경사이송유닛과; 상기 제2회전이송모듈에 구비되어 상기 제2회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하는 지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 각 모듈에는 상기 기판을 이송시키도록, 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러를 포함하는 이송유닛이 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 각 회전이송모듈에는 상기 기판의 경사 이송을 위해 상기 각 회전이송모듈을 회전시키는 회전모터가 각각 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 각 경사이송유닛은 상기 기판의 경사 이송 시 상기 기판을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재에 지지된 상기 기판을 경사 이송시키도록 상기 지지부재가 장착된 구동벨트와, 상기 구동벨트의 내측면 양단에 각각 마련된 구동풀리와 종동풀리와, 상기 구동풀리를 구동시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 각 경사이송유닛에는 상기 각 경사이송유닛으로 이송되는 기판의 낙하를 방지하기 위한 기판 낙하방지부가 더 마련된 것을 특징으로 한다.

상기 기판 낙하방지부는 상기 구동풀리의 회전을 제한하는 클램프부재와, 상기 구동모터의 토크수를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에서 감지되는 결과에 따라 상기 클램프부재를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제2경사이송유닛은 상기 제1회전이송모듈에서 상기 제1경사이송유닛에 의해 경사 이송되는 상기 기판이 상기 경사이송모듈로 이송될 때 상기 제1경사이송 유닛과 간섭이 없도록 상기 제1경사이송유닛의 연장선 상에 배치되지 않으며,

상기 경사이송모듈에서 상기 제2경사이송유닛에 의해 경사 이송되는 상기 기 판이 상기 제2회전이송모듈로 이송될 때 상기 지지유닛과 간섭이 없도록 상기 지지유닛의 연장선 상에 배치되지 않는 것을 특징으로 한다.

상기 지지유닛은 상기 제2회전이송모듈의 회전 시 상기 제2회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하기 위한 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 승강시키는 실린더부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 각 경사이송유닛은 상기 기판의 경사 이송 시 상기 기판을 지지하는 지지블럭과, 상기 지지블럭에 지지된 상기 기판을 경사 이송시키도록 상기 지지블럭를 가이드하는 엘엠가이드와, 상기 지지블럭을 구동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 각 경사이송유닛에는 상기 각 경사이송유닛으로 이송되는 기판의 낙하를 방지하기 위한 기판 낙하방지부가 더 마련되며,

상기 기판 낙하방지부는 상기 지지블럭의 움직임을 제한하는 클램프부재와, 상기 구동부의 구동을 감지하는 감지부와, 상기 감지부의 감지결과에 따라 상기 클램프부재를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판반송장치는 기판을 경사지게 층간 이송할 수 있으므로 용이하게 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.

또, 본 발명에 따른 기판반송장치는 기판을 경사지게 층간 이송할 수 있으므 로 기판을 층간 이송시키는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판 적재장치는 사각형상의 외관을 형성하는 프레임(10)과, 이 프레임(10)에 설치되어 기판을 층간 이송시키기 위한 다수의 모듈을 포함한다. 여기서, 기판을 층간 이송시키기 위한 다수의 모듈은 기판이 반입되는 반입모듈(20)과, 반입모듈(20)과 연결되며 이 반입모듈(20)로부터 이송된 기판을 경사지게 이송하도록 회전 가능하게 마련되는 제1회전이송모듈(30)과, 제1회전이송모듈(30)과 연결되어 이 제1회전이송모듈(30)로부터 이송된 기판을 경사 이송하는 경사이송모듈(50)과, 경사이송모듈(50)과 연결되어 이 경사이송모듈(50)로부터 이송된 기판을 후술할 반출모듈(80)로 이송시키도록 회전 가능하게 마련되는 제2회전이송모듈(70)과, 제2회전이송모듈(70)로부터 이송된 기판을 반출하기 위한 반출모듈(80)을 포함한다.

보다 구체적으로, 반입모듈(20)은 층간 이송시키고자 기판이 반입되는 모듈로서 프레임(10)의 하부에 설치된다. 이때, 반입모듈(20)에는 반입된 기판을 제1회전이송모듈(30)로 이송시키도록 이송유닛(15)이 구비된다. 이송유닛(15)은 이송모터(미도시)와, 이 이송모터의 회전에 따라 회전되는 다수의 이송축(16)과, 이송모터에 의한 각 이송축(16)의 회전 시 기판을 이송시키도록 각 이송축(16)에 설치되는 다수의 이송롤러(17)를 포함하여 구성된다. 그리고, 이송유닛(15)에는 도면에 도시되지는 않았지만 이송모터의 회전 시 다수의 이송축(16)을 동시에 회전시킬 수 있도록 이송축(16)의 끝단에 이송모터의 회전을 전달하는 기어조립체가 설치될 수 있으며, 기어조립체 이외에 벨트 등 다양한 전달수단이 설치될 수 있다.

제1회전이송모듈(30)은 반입모듈(20)로부터 이송된 기판을 경사이송모듈(50)로 이송하는 역할을 수행한다. 먼저, 제1회전이송모듈(30)에는 반입모듈(20)로부터 이송된 기판을 이 제1회전이송모듈(30) 상으로 이송하는 이송유닛(15)이 마련되며, 이때의 이송유닛은 반입모듈(20)의 이송유닛과 동일한 구성으로 이루어진다. 또, 제1회전이송모듈(30)에는 이 제1회전이송모듈(30)로 이송된 기판을 경사이송모듈(50)로 경사 이송시키기 위하여 제1회전이송모듈(30)을 일정 각도로 회전시키는 회전모터(31)와, 이 회전모터(31)에 의해 제1회전이송모듈(30)이 일정 각도로 회전됨에 따라 경사지게 놓인 기판을 지지함과 동시에 경사이송모듈(50) 측으로 경사 이송시키는 한 쌍의 제1경사이송유닛(40)이 마련된다.

제1경사이송유닛(40)은 제1회전이송모듈(30)이 회전됨에 따라 경사지게 놓인 기판의 하측을 지지하는 지지부재(41)와, 이 지지부재(41)가 장착되어 지지부재(41)에 지지된 기판을 경사 이송 시키도록 움직이는 구동벨트(42)와, 이 구동벨트(42)의 내측면 양단에 각각 마련된 구동풀리(43)와 종동풀리(44)와, 이 구동풀리(43)를 구동시키는 구동모터(45)를 포함하여 구성된다. 여기서, 지지부재(41)는 도시된 바와 같이 구동벨트(42)의 외면에 돌출되도록 마련되며, 구동벨트(42)의 1회전 시 두 장의 기판 즉, 선행 기판과 후속기판이 경사 이송될 수 있도록 구동벨트(42)에서 두 개의 지지부재(41)가 형성될 수 있다.

경사이송모듈(50)은 제1회전이송모듈(30)로부터 이송된 기판을 제2회전이송모듈(70)로 이송하는 역할을 수행한다. 이를 위해 경사이송모듈(50)은 회전모터(31)에 의해 회전된 제1회전이송모듈(30)과 동일한 각도로 경사지도록 설치되며, 제1경사이송유닛(40)을 통해 경사 이송되는 기판을 인계 받아 제2회전이송모듈(70) 측으로 경사 이송시키도록 제1경사이송유닛(40)과 같은 구성으로 이루어진 즉, 지지부재(61)와 구동벨트(62)와 구동풀리(63)와 종동풀리(64) 및 구동모터(65)로 이루어진 한 쌍의 제2경사이송유닛(60)이 마련된다. 또, 제2경사이송유닛(60)을 통한 기판의 경사 이송을 보조하기 위한 이송유닛(15)이 마련된다.

여기서, 제2경사이송유닛(60)은 제1회전이송모듈(30)에서 제1경사이송유닛(40)에 의해 경사 이송되는 기판이 경사이송모듈(50)로 이송될 때 제1경사이송유닛(40)과 간섭 없이 기판을 인계받을 수 있도록 제1경사이송유닛(40)의 연장선 상에 배치되지 않는다. 즉, 제2경사이송유닛(60)의 구동벨트(62)는 제1경사이송유닛(40)의 구동벨트(42)의 연장선 상에 배치되지 않는다.

제2회전이송모듈(70)은 경사이송모듈(50)로부터 경사 이송된 기판을 반출모듈(80)로 이송시키는 역할을 한다. 여기서, 제2회전이송모듈(70)에는 경사이송모듈(50)의 제2경사이송유닛(60)을 통해 경사 이송되는 기판을 인계 받아 지지하기 위한 지지유닛(80)이 마련되며, 이 제2회전이송모듈(70)을 회전시키는 회전모터(71)가 마련된다. 이때, 지지유닛(80)은 회전모터(71)에 의한 제2회전이송모듈(70)의 회전 시 제2회전이송모듈(70)로 이송된 기판을 지지하기 위한 지지플레이트(81)와, 이 지지플레이트(81)를 승강시키는 실린더부재(82)를 포함하여 구성된 다. 즉, 지지유닛(80)은 기판이 경사이송모듈(50)로부터 제2회전이송모듈(70)로 이송되는 과정에서는 실린더부재(82)에 의해 지지플레이트(81)가 기판의 하측에 위치되며, 경사이송모듈(50)로부터 제2회전이송모듈(70)로 기판이 이송 시 이 기판을 인계받아 지지하도록 실린더부재(82)에 의해 지지플레이트(81)가 상승된다. 또, 지지유닛(80)은 경사이송모듈(50)에서 제2경사이송유닛(60)에 의해 경사 이송되는 기판이 제2회전이송모듈(70)로 이송될 때 제2경사이송유닛(60)과 간섭 없이 기판을 인계받을 수 있도록 제2경사이송유닛(60)의 연장선 상에 배치되지 않는다. 즉, 지지유닛(80)의 지지플레이트(81)는 제2경사이송유닛(60)의 구동벨트(62)의 연장선 상에 배치되지 않는다.

또한, 제2회전이송모듈(70)에는 회전모터(71)에 의해 제2회전이송모듈(70)이 회전됨에 따라 반출모듈(80)과 수평상태로 놓인 기판을 반출모듈(80)로 이송시키는 이송유닛(15)이 마련된다. 여기서, 제2회전이송모듈(70)의 이송유닛은 각 모듈의 이송유닛과 동일한 구성을 가진다.

반출모듈(80)은 제2회전이송모듈(70)로부터 이송된 기판을 반출하는 역할을 하며 기판의 반출을 위해 각 모듈에 구성되는 이송유닛과 같은 이송유닛이 구비되어 있다.

또한, 본 발명에서는 제1 및 제2경사이송유닛(40,60)을 이용하여 기판을 경사 이송시키는 과정에서 기판이 낙하되는 것을 방지하기 위한 기판 낙하방지부가 더 마련된다. 기판 낙하방지부는 도 3에 도시된 바와 같이 구동풀리(43,63)의 회전을 제한하는 클램프부재(101)와, 구동모터(45,65)의 토크수를 감지하는 감지 부(103)와, 감지부(103)에서 감지되는 결과에 따라 클램프부재(101)를 제어하는 제어부(105)를 포함한다. 즉, 기판 낙하방지부는 구동모터(45,65)의 토크수를 감지하는 감지부(103)의 감지결과에 따라 전력이 차단되거나 구동모터(45,65)의 회전이 비정상적으로 급감하는 경우 제어부(105)에 의한 클램프부재(101)가 구동풀리(43,63)의 회전을 제한하게 된다. 여기서, 클램프부재(101)는 공압이나 전기로 작동되어 구동풀리의 회전을 제한한다.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판반송장치에서 기판의 층간 반송 동작을 설명하면 다음과 같다.

도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에서 기판을 층간 반송시키기 위해서는 가장 먼저 반입모듈(20)로 기판을 반입하고 반입모듈(20)에 구비된 이송유닛(15)을 통해 제1회전이송모듈(30)로 반입된 기판을 이송시킨다. 그리고, 반입모듈(20)과 제1회전이송모듈(30)에 각각 구비된 이송유닛(15)을 통해 제1회전이송모듈(30)로 기판의 이송이 완료되면, 제1경사이송유닛(40)의 구동벨트(42)가 일정 부분 움직이게 되어 지지부재(41)가 기판의 일단을 지지하게 된다. 즉, 구동모터(45)의 회전에 따라 구동풀리(43)가 회전되어 이 구동풀리(43)에 감긴 구동벨트(42)가 회전되며, 이 구동벨트(42)의 외면에 장착된 지지부재(41)가 움직여 기판의 일단을 지지한다.

도 5에 도시된 바와 같이 제1경사이송유닛(40)의 지지부재(41)가 기판을 지지하는 것이 완료되면 회전모터(31)를 이용하여 제1회전이송모듈(30)을 바닥면으로부터 경사이송모듈(50)과 동일한 각도를 이루도록 회전시킨다. 이후, 다시 구동모터(45)를 작동시키면 구동벨트(42)가 움직이게 되어 이 구동벨트(42)에 장착된 지 지부재(41)에 지지된 기판이 경사이송모듈(50) 측으로 경사 이송된다. 여기서, 구동벨트(42)에는 두 개의 지지부재(41)가 장착되어 있는데, 하나의 지지부재(41)가 기판을 경사이송모듈(50) 측으로 경사 이송을 완료하게 되면 다른 하나의 지지부재가 후속기판을 지지 또는 경사 이송시킬 수 있는 위치에 배치되게 된다. 또, 제1회전이송모듈(30)의 이송유닛(15)에 구비된 이송롤러(17)는 기판의 경사 이송을 보조하는 아이들롤러의 역할을 한다.

또한, 제1경사이송유닛(40)에서 기판이 경사 이송되는 과정에서 전력이 차단되거나 구동모터(45)의 동작이 비정상적으로 급감하는 경우 지지부재(41)에 지지된 기판이 낙하될 수 있는데, 이와 같은 경우 감지부(103)에서 감지된 결과를 제어부(105)로 전달하고 이 제어부(105)는 클램프부재(101)를 구동풀리(43)에 밀착시킴으로써 구동풀리(43)의 움직임을 제한하여 기판의 낙하를 방지할 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이 상기의 과정에서 제1경사이송유닛(40)에 의해 기판이 지속적으로 이송되면, 제2경사이송유닛(60)의 구동벨트(62)가 일정 부분 움직이게 되어 지지부재(61)가 기판을 인계 받아 지지하게 된다. 이때, 제2경사이송유닛(60)은 제1경사이송유닛(40)의 연장선 상에 배치되어 있지 않으므로 기판의 이송이 간섭받지 않게 된다. 또, 제2경사이송유닛(60)의 지지부재(61)를 통해 기판의 지지가 완료되면 구동모터(65)가 회전되어 구동벨트(62)가 움직이게 되어 지지부재(61)에 지지된 기판을 제2회전이송모듈(70) 측으로 경사 이송시킨다. 여기서, 구동벨트(62)에는 두 개의 지지부재(61)가 장착되어 있는데, 어느 하나의 지지부재(61)가 기판을 경사이송모듈(50) 측으로 경사 이송을 완료하게 되면 다른 하나의 지지부재(41)가 후속기판을 지지 또는 경사 이송시킬 수 있는 위치에 배치되게 된다. 또, 경사이송모듈(50)의 이송유닛(15)에 구비된 이송롤러(17)는 기판의 경사 이송을 보조하는 아이들롤러의 역할을 한다.

또한, 제2경사이송유닛(60)에서 기판이 경사 이송되는 과정에서 전력이 차단되거나 구동모터(65)의 동작이 비정상적으로 급감하는 경우 지지부재(61)에 지지된 기판이 낙하될 수 있는데, 이와 같은 경우 감지부(103)에서 감지된 결과를 제어부(105)로 전달하고 이 제어부(105)는 클램프부재(101)를 구동풀리(63)에 밀착시킴으로써 구동풀리(63)의 움직임을 제한하여 기판의 낙하를 방지할 수 있다.

또한, 상기와 같이 경사이송모듈(50)에서 기판이 이송되는 과정에서 제1회전이송모듈(30)은 회전모터(31)에 의해 다시 회전되어 반입모듈(20)로 반입된 후속 기판을 연이어서 경사 이송시킬 수 있도록 대기 상태에 있게 되어 딜레이 타임 없이 후속 기판을 이송시키게 된다.

도 7에 도시된 바와 같이 제2회전이송모듈(70)로 기판이 이송되면 지지유닛(80)의 실린더부재(82)에 의해 지지플레이트(81)가 상승되어 기판을 인계 받아 지지하게 된다. 이때, 지지유닛(80)은 제2경사이송유닛(60)의 연장선 상에 배치되어 있지 않으므로 기판의 이송이 간섭받지 않게 된다. 또, 지지유닛의 지지플레이트(81)에 의해 기판이 지지되면 회전모터(71)에 의해 제2회전이송모듈(70)이 반출모듈(80)과 연결되도록 회전된다.

이 후, 도 8에 도시된 바와 같이 제2회전이송모듈(70)의 회전이 완료되면 이 제2회전이송모듈(70)에 구비된 이송유닛(15)이 작동되어 기판을 반출모듈(80) 측으 로 이송하고, 반출모듈(80)에서는 기판을 반출시키게 된다.

이때, 상기와 같이 반출모듈(80)에서 기판이 반출되는 과정에서 제2회전이송모듈(70)은 회전모터(71)에 의해 다시 회전되어 경사이송모듈(50)와 연결된 상태로 되며, 지지플레이트(81)가 후속 기판의 이송 시 간섭 받지 않도록 실린더부재(82)에 의해 하강된다. 즉, 본 발명에서는 후속 기판을 연이어서 경사 이송시킬 수 있도록 대기 상태에 있게 되어 딜레이 타임 없이 후속 기판을 이송시키게 된다.

이하에서는 본 발명의 기판반송장치의 다른 실시예를 설명하며, 일실시예와 동일한 구성에 대한 설명은 생략한다.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1회전이송모듈(30)에 구비된 제1경사이송유닛(140)과 경사이송모듈(50)에 구비된 제2경사이송유닛(160)은 기판을 지지하도록 돌출리브가 구비된 지지블럭(141,161)과, 이 지지블럭(141,161)에 지지된 기판을 경사 이송시키도록 지지블럭(141,161)을 가이드하는 엘엠가이드(143,163)와, 이 엘엠가이드(143,163) 상에서 지지블럭(141,161)을 움직이게 하는 구동부(145,165)를 포함하여 구성될 수도 있다. 또, 각 경사이송유닛(140,160)에는 기판이 경사이송모듈(50)과 제2회전이송모듈(70)로 경사 이송되는 과정에서 각 경사이송유닛(140,160)에 의해 간섭되는 것을 방지하도록 엘엠가이드(143,163)를 승강시키는 실린더부재(미도시,167)가 더 마련된다.

이때, 각 경사이송유닛(140,160)에는 기판이 경사 이송되는 과정에서 구동부(145,165)의 전력이 차단되거나 구동부(145,165)가 비정상적으로 동력이 급감하는 경우 지지블럭(141,161)이 엘엠가이드(143,163) 상에서 미끄러져 기판이 낙하되 는 것을 방지하도록 기판 낙하방지부가 더 마련된다. 기판 낙하방지부는 도 11에 도시된 바와 같이 지지블럭(141,161)의 움직임을 제한하도록 지지블럭(141,161)을 엘엠가이드(143,163)에 밀착시키는 클램프부재(191)와, 구동부(145,165)의 구동을 감지하는 감지부(193)와, 감지부(193)의 감지결과에 따라 클램프부재(191)를 제어하는 제어부(195)를 포함한다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반송장치의 동작은 기판의 경사 이송 시 제1 및 제2경사이송유닛(140,160)이 작동된다는 점을 제외하고 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.

따라서, 본 발명에서는 기판이 적재되는 카세트 또는 낱장의 기판을 승강기를 통해 층간 반송시키는 종래와는 달리 반입모듈과 반출모듈 사이에 기판을 경사 이송시킬 수 있는 제1회전이송모듈과 경사이송모듈 및 제2회전이송모듈이 구비되어 용이하게 기판을 층간 이송시킬 수 있다.

또, 본 발명에서는 기판을 경사 이송시킬 수 있으므로 기판을 층간 이송시키는데 소요되는 시간이 종래 보다 단축시킬 수 있으며, 기판을 경사 이송시키는 과정에서 기판 낙하방지부에 의해 기판의 낙하를 방지할 수도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 제1회전이송모듈과 경사이송모듈을 도시한 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 기판반송장치에서 기판 낙하방지부의 제어관계를 도시한 설명도이다.

도 4 및 도 8은 본 발명에 따른 기판반송장치에서 기판이 층간 반송되는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

도 9는 본 발명에 따른 기판반송장치의 다른 실시예를 설명하기 위해 도시한 평면도이다.

도 10은 도 9에 도시된 각 경사이송유닛 중 제2경사이송유닛을 도시한 사시도이다.

도 11은 도 9에 도시된 기판반송장치에서 기판 낙하방지부의 제어관계를 도시한 설명도이다.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**

10 : 프레임 15 : 이송유닛

20 : 반입모듈 30 : 제1회전이송모듈

31 : 회전모터 40 : 제1경사이송유닛

41 : 지지부재 42 : 구동벨트

43 : 구동풀리 44 : 종동풀리

45 : 구동모터 50 : 경사이송모듈

60 : 제2경사이송유닛 61 : 지지부재

62 : 구동벨트 63 : 구동풀리

64 : 종동풀리 65 : 구동모터

70 : 제2회전이송모듈 80 : 지지유닛

81 : 지지플레이트 82 : 실린더부재

90 : 반출모듈 101 : 클램프부재

103 : 감지부 105 : 제어부

Claims (10)

1. 기판을 층간 반송시키기 위한 기판반송장치에 있어서, 상기 기판반송장치는

   상기 기판이 반입되어 상기 기판을 수평 이송시키는 반입모듈;

   상기 반입모듈과 연결되며, 상기 반입모듈로부터 이송된 기판을 경사지게 이송하도록 회전 가능하게 마련된 제1회전이송모듈;

   상기 회전된 제1회전이송모듈과 연결되며, 상기 제1회전이송모듈로부터 이송된 기판을 경사 이송시키는 경사이송모듈;

   상기 경사이송모듈과 연결되며, 상기 경사이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이동시키도록 회전 가능하게 마련된 제2회전이송모듈;

   상기 회전된 제2회전이송모듈과 연결되며, 상기 제2회전이송모듈로부터 이송된 기판을 수평 이송시켜 반출하는 반출모듈;

   상기 제1회전이송모듈에 구비되어 상기 제1회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하며, 상기 제1회전이송모듈의 회전 시 상기 기판을 경사 이송시키는 제1경사이송유닛;

   상기 경사이송모듈에 구비되어 상기 경사이송모듈로 이송된 기판을 지지하며, 상기 기판을 경사 이송시키는 제2경사이송유닛;

   상기 제2회전이송모듈에 구비되어 상기 제2회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하는 지지유닛을 포함하되,

   상기 각 경사이송유닛은 상기 기판의 경사 이송 시 상기 기판을 지지하는 지지블럭과, 상기 지지블럭에 지지된 상기 기판을 경사 이송시키도록 상기 지지블럭를 가이드하는 엘엠가이드와, 상기 지지블럭을 구동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 각 모듈에는 상기 기판을 이송시키도록,

   다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러를 포함하는 이송유닛이 구비된 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 각 회전이송모듈에는 상기 기판의 경사 이송을 위해 상기 각 회전이송모듈을 회전시키는 회전모터가 각각 구비된 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 각 경사이송유닛은 상기 기판의 경사 이송 시 상기 기판을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재에 지지된 상기 기판을 경사 이송시키도록 상기 지지부재가 장착된 구동벨트와, 상기 구동벨트의 내측면 양단에 각각 마련된 구동풀리와 종동풀리와, 상기 구동풀리를 구동시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 각 경사이송유닛에는 상기 제1 및 제2경사이송유닛으로 이송되는 기판 의 낙하를 방지하기 위한 기판 낙하방지부가 더 마련된 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 기판 낙하방지부는 상기 구동풀리의 회전을 제한하는 클램프부재와, 상기 구동모터의 토크수를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에서 감지되는 결과에 따라 상기 클램프부재를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 제2경사이송유닛은

   상기 제1회전이송모듈에서 상기 제1경사이송유닛에 의해 경사 이송되는 상기 기판이 상기 경사이송모듈로 이송될 때 상기 제1경사이송유닛과 간섭이 없도록 상기 제1경사이송유닛의 연장선 상에 배치되지 않으며,

   상기 경사이송모듈에서 상기 제2경사이송유닛에 의해 경사 이송되는 상기 기 판이 상기 제2회전이송모듈로 이송될 때 상기 지지유닛과 간섭이 없도록 상기 지지유닛의 연장선 상에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 지지유닛은 상기 제2회전이송모듈의 회전 시 상기 제2회전이송모듈로 이송된 기판을 지지하기 위한 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 승강시키는 실 린더부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
9. 삭제
10. 제 1항에 있어서,

    상기 각 경사이송유닛에는 상기 각 경사이송유닛으로 이송되는 기판의 낙하를 방지하기 위한 기판 낙하방지부가 더 마련되며,

    상기 기판 낙하방지부는 상기 지지블럭의 움직임을 제한하는 클램프부재와, 상기 구동부의 구동을 감지하는 감지부와, 상기 감지부의 감지결과에 따라 상기 클램프부재를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.

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