KR20040107295A - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

기판의 후처리공정시 홀딩시간을 대폭 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 로딩되는 기판의 크기와 형태에 따라 최적의 자세가 유지되게 하여 기판의 후처리품질을 더욱 향상시킬 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.

이러한 기판반송장치는, 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 경사지게 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역의 베스 내부에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 경사지게 공급되는 기판을 경사진 상태로 이동시키면서 표면처리되게 하는 경사부를 포함하며,

상기 로딩부는, 프레임과, 이 프레임에 다수개가 배치되고 구동원에 의해 회전되면서 로딩된 기판을 일방향으로 이동시키는 이송 로울러들과, 이 이송 로울러들의 일측단에 연결되어 로딩된 기판을 이동중에 경사진 자세로 전환하는 조절부를 포함한다.

Description

기판반송장치{apparatus for transferring flat display panel}

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 후처리공정시 홀딩시간을 대폭 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 로딩되는 기판의 크기와 형태에 따라 최적의 자세가 유지되게 하여 기판의 후처리품질을 더욱 향상시킬 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치용 유리기판들은 주처리공정에서 포토레지스트 도포액이나 감광성 폴리아미드수지, 컬러 필터용 염색체 등으로 이루어지는 박막층이 기판의 주면에 형성되고, 이 기판들은 기판반송장치에 로딩되어 일방향으로 이동되면서 후처리공정 예를들면, 약액도포공정, 세정공정 및 건조공정 등을 거치게 된다.

상기 후처리공정을 위한 기판반송장치의 일반적인 구조를 도 9를 참조하여 간략하게 설명하면 다수의 이송 및 가이드 로울러(R1,R2)가 수평하게 배치된 예를들어, 콘베이어와 같은 이송구조로 이루어지고 이송방향으로 일정한 영역으로 나뉘어져 기판이 로딩되는 로딩부(100)와 기판을 일정한 각도로 경사지게 기울이는 경사부(110)를 포함한다.

상기 로딩부(100)는 후처리장치의 베스(200) 외측에 설치되고 기판이 순차적으로 로딩되면서 이송 로울러(R1)들에 의해 상기 처리장치의 베스(200) 유입측에 수평한 자세로 공급되게 하고, 상기 경사부(110)는 상기 베스(200)의 유입측 또는 내부에서 상기 로딩부(100)에 대응되는 자세로 설치되어 상기 로딩부(100)로부터 수평한 자세로 공급된 기판을 가이드 로울러(R2)들에 의해 이동시킴과 아울러 경사진 자세로 후처리될 수 있도록 자세를 변화시킨다. 이때, 상기 가이드 로울러(R2)들의 양측단에는 도면에서와 같이 상기 가이드 로울러(R2)들의 원주면 보다 큰 지름을 가지는 플랜지 형태의 가이드 돌기부가 형성되어 이동 및 경사진 자세로 변화되는 기판의 저면은 물론이거니와 측면부를 지지 및 가이드 하게 된다.

즉, 상기 로딩부(100)는 길이방향으로 다수개의 이송 로울러(R1)가 수평하게 배치되어 도면에는 나타내지 않았지만 모터와 같은 구동원에 의해 회전되면서 로딩된 기판을 일방향으로 이송시키고, 상기 경사부(110)는 상기 로딩부(100)와 동일하게 다수의 가이드 로울러(R2)가 수평한 자세로 배치됨과 아울러 상기 가이드 로울러(R2)들의 양측단이 수평한 상태에서 실린더와 같은 가압부재(120)들에 의해 일측이 경사진 자세로 변화되면서 로딩된 기판을 경사진 자세로 전환시키는 구조이다.

그러나, 이와 같은 종래의 기판반송장치는, 로딩부 영역에 배치되는 이송 로울러들이 수평한 자세로 고정되어 로딩된 기판을 수평한 자세로만 이동시키고, 상기 경사부는 수평하게 공급되는 기판이 후처리장치의 베스 유입측 또는 내부로 유입될 때 수평한 자세의 기판을 경사진 자세로 취하도록 하는 이중의 작업이 필요하므로, 그 구조상 기판의 후처리공정시 과다한 홀딩시간이 발생되어 만족할 만한 작업능률을 기대하기 어렵다. 또한, 상기 경사부는 수평한 자세의 기판들을 가압부재들에 의해 한번에 경사진 자세로 전환시키고, 기판의 경사진 자세를 지지하는 가이드 로울러 및 이 로울러의 가이드 돌기부들이 기판과 맞닿은 상태에서 기판을 이송시키는 구조이므로, 기판 측면부와 가이드 돌기부의 마찰로 인하여 가이드 로울러의 마모를 촉진시키기 때문에 유지보수를 위한 비용이 빈번히 들게 된다. 아울러, 상기 마찰로 인하여 파티클 발생의 문제가 있어 세정효과를 저하시키는 요인이 되기도 한다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 후처리공정시 기판의 자세 전환에 따른 홀딩시간을 대폭 단축시켜서 작업능률을 향상시킬 수 있고, 로딩되는 기판의 크기와 형태에 따라 후처리시 요구되는 최적의 자세가 유지되게 하여 기판의 후처리품질을 더욱 향상시킬 수 있는 기판반송장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 경사지게 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역의 베스 내부에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 경사지게 공급되는 기판을 경사진 상태로 이동시키면서 표면처리되게 하는 경사부를 포함하며,

상기 로딩부는, 프레임과, 이 프레임에 다수개가 배치되고 구동원에 의해 회전되면서 로딩된 기판을 일방향으로 이동시키는 이송 로울러들과, 이 이송 로울러들의 일측단에 연결되어 로딩된 기판을 이동중에 경사진 자세로 전환하는 조절부를포함하는 기판반송장치를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치의 전체사시도.

도 2는 본 발명에 따른 기판반송장치의 로딩부 동력전달구조를 설명하기 위한 확대사시도.

도 3은 도 2의 요부확대사시도.

도 4는 도 2의 이송 로울러가 조절부에 의해 자세가 전환되는 상태를 나타내는 측면도.

도 5는 본 발명에 따른 기판반송장치의 경사부 동력전달구조를 설명하기 위한 확대사시도.

도 6은 도 1의 경사부가 약액처리영역의 베스 내부에 설치된 상태를 나타내는 측단면도.

도 7은 도 6의 경사 로울러가 체인에 연결된 구조를 설명하기 위한 요부확대도.

도 8a는 도 1의 이송 로울러들이 조절부에 의해 로딩된 기판을 경사지게 이동시킬 수 있도록 셋팅된 일예를 나타낸 정면도.

도 8b는 도 8a의 상태에서 일측단이 셋팅된 이송 로울러들의 반대편 단부를 나타낸 정면도.

도 9는 종래기술에 의한 기판반송장치의 일반적인 구조를 설명하기 위한 사시도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하고 본 실시예에서는 기판 후처리공정 중에서 약액처리영역에 설치된 것을 일예로 설명한다.

도 1 및 도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판반송장치는, 기판(B)이 로딩됨과 아울러 약액처리영역으로 경사지게 이동시키는 로딩부(2)와, 약액처리영역의 베스(D) 내부에서 상기 로딩부(2)의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부(2)에서 경사지게 공급되는 기판(B)을 경사진 상태로 이동시키면서 표면처리되게 하는 경사부(4)를 포함한다.

상기 로딩부(2)는, 프레임(6)과, 이 프레임(6)에 다수개가 배치되고 구동원(M1)에 의해 회전되면서 로딩된 기판(B)을 일방향으로 이동시키는 이송 로울러(8)들과, 이 이송 로울러(8)들의 일측단에 연결되어 로딩된 기판(B)을 이동중에 경사진 자세로 전환하는 조절부(10)를 포함하며, 도 1에서와 같이 약액처리영역 즉, 베스(D)의 유입측에서 로딩된 기판(B)들이 상기 베스(D)내로 공급될 수 있게 위치된다.

상기 프레임(6)은 원형이나 다각형의 단면을 가지는 금속파이프들이 용접이나 볼트와 같은 체결부재 등으로 연결되어 다수개의 기판(B)이 순차적으로 로딩됨과 아울러 일방향으로 일정구간 이동될 수 있는 길이를 가지는 프레임구조로 제작될 수 있다.

상기 프레임(6)에는 후술하는 이송 로울러(8)들을 따라 이송되는 기판(B)이 상기 이송 로울러(8)들에서 이탈되는 것을 방지할 수 있게 가이드판(12)이 설치될 수 있으며, 이 가이드판(12)은 박막의 금속 또는 합성수지재로 이루어지고 상기 프레임(6)에서 상기 이송 로울러(8)들의 양측단에 각각 설치될 수 있다.

상기 이송 로울러(8)들은 로딩되는 기판(B)이 안착될 수 있는 길이를 가지는 통상의 원형파이프가 사용될 수 있으며, 로딩되는 기판(B)과의 접촉면이 최소화 될 수 있게 도 2에서와 같이 링(Ring)모양의 접촉링(8a)들이 끼움결합으로 고정될 수 있으며, 이들 접촉링(8a)들은 로딩된 기판(B)이 휘거나 변형되는 것을 방지할 수 있는 이격범위내로 위치된다.

그리고, 상기 이송 로울러(8)들의 양측단에는 로딩된 기판(B)이 후술하는 조절부(10)에 의해 경사진 자세로 이동될 때에 상기 이송 로울러(8)들에서 미끄러지거나 이로 인하여 로딩된 자세가 변화되는 것을 방지할 수 있도록 도 2에서와 같이 상기 접촉링(8a)들과 동일한 링모양의 가이드링(8b)들이 고정될 수 있다. 이때 상기 가이드링(8b)들은 상기 접촉링(8a)들에 안착된 기판(B)의 측면이 지지될 수 있는 크기범위내로 제작된다.

상기 접촉링(8a)과 가이드링(8b)의 재질은 로딩된 기판(B)이 미끄러지거나 스크래치가 유발되지 않도록 예를들면, 합성수지 또는 고무재질로 제작될 수 있으며, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기 접촉링(8a)과 가이드링(8b)이 상기 이송 로울러(8)의 제작시 일체로 가공될 때에는 이들 원주면에 상기한 재질들로 이루어진 박막의 테이프들이 감겨질 수도 있다.

상기 이송 로울러(8)들은 도 2에서와 같이 양측단이 상기 프레임(6)의 상측에서 베어링과 같은 지지부재(14)들에 의해 일정한 자세로 다수개가 고정됨과 아울러 상기 이송 로울러(8)들의 일측단에는 스프라켓(S1)이 각각 설치되며, 이들 스프라켓(S1)들은 체인(C1)으로 연결되어 구동원(M1)에 의해 회전되는 구조이다. 이때, 상기 구동원(M1)은 모터가 사용될 수 있으며, 이 모터 축이 상기 이송 로울러(8)들 중에서 어느 하나와 동력전달이 가능하게 연결되어 상기 모터가 구동되면 상기 프레임(6)에서 이송 로울러(8)들이 회전되면서 로딩된 기판(B)을 일방향으로 이송시키게 된다.

상기에서는 이송 로울러(8)들이 체인(C1)과 스프라켓(S1)의 치합에 의해 동력이 전달되면서 회전되는 것으로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 도면에는 나타내지 않았지만 벨트와 풀리로 동력전달이 가능하게 연결될 수도 있고 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 축간 동력전달요소는 다양하게 실시될 수 있다.

한편, 상기 이송 로울러(8)들은 조절부(10)에 의해 상기 프레임(6)에서 고정된 자세가 변화되게 고정되는데, 이러한 조절부(10)의 구조를 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2를 참조하면, 상기 조절부(10)는, 고정스테이지(16)와, 이 고정스테이지(16)에 슬라이드되게 설치되는 이동스테이지(18)와, 이 이동스테이지(18)를 상기 고정스테이지(16)에서 위치가 변화되게 하는 조절노브(20)를 포함한다.

상기 고정스테이지(16)는 금속 또는 합성수지재질로 제작될 수 있으며, 도면에서와 같이 상기 프레임(6)에서 상기 이송 로울러(8)들의 동력전달부의 반대편 단부에 대응되는 위치에 볼트와 같은 체결부재로 각각 고정된다.

상기 이동스테이지(18)는 상기 고정스테이지(16)와 동일한 재질로 제작되고, 상기 이송 로울러(8)들을 회전 가능하게 지지하는 지지부재(14)들이 상측면에 각각 고정된다.

상기 이송스테이지(18)의 저면에는 도면에서와 같이 일정한 길이를 가지는 가이더(22)들이 설치되고, 이 가이더(22)들은 상기 고정스테이지(16)의 가이드홈(24)에 슬라이드 가능하게 끼움 결합된다. 이때, 상기 가이더(22)들은 상기 이동스테이지(18)가 상기 고정스테이지(16)에서 상하방향으로 가이드되면서 이동될 수 있는 자세로 고정된다.

상기 조절노브(20)는 나사산이 형성된 통상의 볼트와 같은 구조로 이루어져서 도면에서와 같이 상기 이동스테이지(18)에서 상기 가이더(22)들과 동일한 방향을 가지며 나사결합으로 관통되며, 이 조절노브(20)의 선단이 상기 고정스테이지(16)에 돌출 형성된 연장부(25)에 접촉되면서 상기 이동스테이지(18)를 이동시키는 구조이다.(도 4참조)

그리고, 상기 이송 로울러(8)들의 양측단부와 상기 지지부재(14)들 사이에는 다양한 연결각도에서도 회전력이 전달될 수 있는 예를들면, 유니버셜 조인트나 볼 조인트와 같은 축이음부재(26)가 설치된다. 이와 같이 축이음부재(26)들이 상기 로울러(8)들의 양측단에 설치되면 상기 이송 로울러(8)들이 상기 조절부(10)에 의해상기 프레임(6)에서 고정된 자세가 변화되어도 상기 구동원(M)의 구동시 원활하게 동력을 전달받아서 회전될 수 있다.

도 1, 도 5, 도 6을 참조하면, 상기 경사부(4)는, 베이스 플레이트(28)와, 이 베이스 플레이트(28)와 힌지부(H)로 연결되는 가변 플레이트(30)와, 이 가변 플레이트(30)에서 일정한 구간을 반복 이동하면서 상기 로딩부(2)에서 공급되는 기판을 경사지게 이동시키는 경사 로울러(32)들과, 상기 베이스 플레이트(28)와 가변 플레이트(30) 사이에 배치되고 상기 가변 플레이트(30)가 힌지부(H)를 중심으로 회전되어 자세가 변화되게 하는 실린더(34)를 포함하며, 도면에서와 같이 약액처리영역의 베스(D)내에서 상기 로딩부(2)와 예를들면, 직렬형태로 연결되게 설치된다.

상기 베이스 플레이트(28)는 일정한 영역을 가지는 판상의 형태로 제작될 수 있으며, 도면에서와 같이 베스(D) 내부의 바닥면에 설치된다.

상기 가변 플레이트(30)는 상기 베이스 플레이트(28)에 대응되는 영역을 가지는 판상의 형태로 이루어지고, 상기 베이스 플레이트(28)의 상측면에서 일정한 간격으로 이격 배치된다.

상기 가변 플레이트(30)는 도 6에서와 같이 상기 베이스 플레이트(28)에서 힌지부(H)에 의해 회전 가능하게 고정된다. 이때 상기 힌지부(H)는 상기 로딩부(2)에서 경사진 자세로 공급되는 기판(B)들을 후술하는 경사 로울러(32)들이 이에 대응되는 자세로 변화될 수 있는 위치에 형성된다.

상기 경사 로울러(32)들은 상기 이송 로울러(8)들과 동일한 구조 즉, 원형파이프가 사용되고, 기판(B)이 접촉 및 지지되는 접촉링(32a)과 가이드링(32b)들이설치된다.

상기 경사 로울러(32)들은 도면에서와 같이 상기 베스(D) 내에서 예를들면, 무한궤도 형태로 이동될 수 있게 설치되는데, 이와 같은 구조를 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 가변 플레이트(30)에서 상기 베스(D)의 유입측과 배출측에 대응되는 위치에 2개의 회전축(36)이 베어링과 같은 지지부재(38)에 의해 회전 가능하게 이격고정되고, 상기 일측 회전축(36)에는 구동모터와 같은 구동원(M2)이 동력전달 가능하게 연결된다.

상기 회전축(36)들의 이격된 구간은 체인(C2)과 스프라켓(S2)으로 연결되고, 상기 체인(C2)에 상기 경사 로울러(32)들이 베어링과 같은 지지부재(40)들에 의해 회전 가능하게 고정된다. 이때, 상기 경사 로울러(32)들의 이격거리는 로딩되는 기판(B)이 휘거나 변형되는 것을 방지할 수 있는 범위내로 이격 고정되고, 상기 지지부재(40)들은 도 7에서와 같이 상기 체인(C2)과 힌지 결합된 별도의 고정구(42)들에 고정되어 상기 구동원(M2) 즉, 모터가 구동하게 되면 2개의 회전축(36)에 연결된 체인(C2)에 의해 상기 경사 로울러(32)들이 정해진 구간내에서 반복 이동하면서 기판(B)을 이동시키는 구조이다.

상기 실린더(34)는 도 6에서와 같이 상기 베이스 플레이트(28)와 가변 플레이트(30)의 힌지부(H) 반대편에서 상기 베이스 플레이트(28)에 상기 실린더(34) 본체가 회전 가능하게 고정되고, 이 실린더(34)의 피스톤로드는 상기 가변 플레이트(30)와 회전 가능하게 연결된다.

상기 실린더(34)는 통상의 유압 또는 공압 실린더가 사용될 수 있으며, 상기 로딩부(2)에서 공급되는 기판(B)의 경사도에 따라 이에 대응되게 상기 실린더(34)의 피스톤로드가 작동되면서 상기 가변 플레이트(30)의 자세를 변화시킨다.

상기와 같이 가변 플레이트(30)가 실린더(34)에 의해 로딩부(2)에서 공급되는 기판(B)에 대응되는 자세로 변화되면, 이 가변 플레이트(30)에 설치된 경사 로울러(32)들이 경사진 자세가 되므로 상기 로딩부(2)에서 경사지게 공급되는 기판(B)들을 경사진 상태로 공급받아서 그 상태로 약액처리를 행할 수 있으므로 기판(B)의 후처리공정에서 발생되는 홀딩시간을 단축시킬 수 있다.

그리고, 상기 가변 플레이트(30)에는 도 6에서와 같이 약액처리영역에 대응되는 위치에 수거판(44)이 설치될 수 있다, 이 수거판(44)은 상부가 개구된 박스형태로 제작될 수 있으며, 이와 같이 수거판(44)이 설치되면 기판(B)의 주면에 약액처리를 행할 때에 도포된 약액의 일부가 경사진 기판(B)의 주면에서 하측으로 흘러내리더라도 용이하게 한 곳으로 수거될 수 있다.

다음으로 상기한 구조로 이루어지는 본 발명에 따른 기판반송장치를 이용하여 기판의 약액처리시 바람직한 기판반송실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

먼저, 상기 로딩부(2) 즉, 이송 로울러(8)들에 기판(B)을 로딩시키기 전에 상기 이송 로울러(8)들의 이송구간에서 로딩된 기판(B)이 상기 경사부(4)에 경사진 자세로 공급될 수 있게 조절부(10)를 조절하여 셋팅을 행하게 된다. 이때 상기 로딩부(2)에 로딩되는 기판(B)은 포토레지스트 도포액, 감광성 폴리아미드수지, 컬러필터용 염색제 등으로 이루어지는 박막이 주면에 형성된 액정용 유리기판이 로딩될 수 있다.

상기 셋팅과정을 상세하게 설명하면, 상기 조절부(10)들의 조절노브(20)를 조절하여 도 8a에서와 같이 상기 로딩부(2)의 기판(B) 이동구간에서 상기 이송 로울러(8)들이 로딩측으로부터 언로딩측이 점차 상측으로 경사지게 셋팅되고 상기 이송 로울러(8)들의 반대편 선단부는 도 8b에서와 같이 수평한 상태로 프레임(6)에 고정된다. 이때, 상기 이송 로울러(8)들의 양측단은 축이음부재(26)들로 연결되어 상기와 같이 이송 로울러(8)들의 자세가 변화될 때에 상기 축이음부재(26)들이 이에 대응되는 연결각도로 변화되므로 상기 이송 로울러(8)들의 자세변화 및 셋팅상태가 유지될 수 있는 것이다.

상기와 같은 이송 로울러(8)들의 셋팅은 로딩되는 기판(B)의 크기와 상기 베스(D) 내에서 기판(B)의 후처리시 요구되는 경사도에 따라 다양하게 셋팅될 수 있다.

그리고, 상기와 같이 조절부(10)에 의해 이송 로울러(8)들의 일측단이 경사지게 셋팅될 때에 인접된 이송 로울러(8)들의 수직편차는 이송되는 기판(B)이 원활하게 패스될 수 있는 범위내로 셋팅되어야 한다. 만일 상기 수직편차가 너무 크게 셋팅되면 로딩된 기판(B)이 인접한 이송 로울러(8)들에 걸려서 일방향으로 이동될 수 없게 된다.

상기와 같이 로딩부(2)의 셋팅을 완료 한 후 상기 로딩부(2)에 기판을 로딩시키면, 상기 이송 로울러(8)들이 구동원(M1)에 의해 일방향으로 회전되면서 로딩된 기판(B)을 상기 베스(D)의 유입측으로 이동시킴과 아울러 상기 셋팅에 의해 기판(B)들이 점차 경사진 자세로 이동되면서 베스(D) 내에 설치된 경사부(4)에 경사진 자세로 공급된다.

상기 경사부(4)는 상기 로딩부(2) 즉, 이송 로울러(8)들의 셋팅시 이 이송 로울러(8)들의 셋팅각도에 대응되는 자세가 되도록 미리 셋팅되는데, 이러한 경사부(4)의 셋팅은 상기 가변 플레이트(30)의 자세가 변화되게 실린더(34)를 작동시켜서 셋팅하게 된다.

즉, 상기와 같이 가변 플레이트(30)의 자세가 변화되게 실린더(34)를 작동시키면, 상기 가변 플레이트(30)가 상기 베이스 플레이트(28)에서 힌지부(H)를 중심으로 회전되면서 상기 가변 플레이트(30)에 설치된 경사 로울러(32)들이 상기 로딩부(2)에서 공급되는 기판(B)들의 경사진 자세에 대응되는 자세가 된다.

상기와 같이 로딩부(2)에서 기판(B)이 경사진 자세로 공급되면 상기 경사 로울러(32)들이 체인(C2)을 따라 정해진 구간으로 이동되면서 다음과 같은 처리과정으로 기판(B)에 약액처리를 행한다.

상기와 같이 경사 로울러(32)들에 로딩된 기판(B)은 도 6에서와 같이 약액공급노즐(N)을 통해 소정의 약액이 기판(B)의 주면에 도포된다. 이때 상기 기판(B)은 경사진 자세이므로 도포된 약액이 기판(B)의 주면에 균일하게 도포되고, 약액이 기판상에 체류하는 일이 없으며, 신속하게 기판 밖으로 약액을 유출시킬 수 있다.

그리고, 상기 경사진 기판(B)의 주면에서 하부로 유출되는 약액은 상기 경사 로울러(32)들의 하측에 설치된 수거판(44)을 통해 도면에는 나타내지 않았지만 상기 베스(D)의 내부 또는 외부에 설치된 수거함에 수거된다.

따라서, 상기한 처리공정에 의해 상기 경사부(4)에서 약액처리된 기판(B)은 상기 경사 로울러(32)들에 의해 베스(D)의 배출측으로 이송되어 언로딩 또는 다음공정(예를들면, 세정이나 건조공정)으로 패스되고 이들 공정으로 패스된 기판(B)들은 도면에는 나타내지 않았지만 상기 기판반송장치에 의해 상기와 같이 최적의 자세로 로딩되어 세정이나 건조가 행해진다.

상기에서는 단일의 로딩부(2)가 상기 약액처리영역의 베스(D) 유입측에 설치된 것으로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다. 예를들면, 도 1에서와 같이 상기 약액처리영역의 베스(D) 유입측과 배출측에 각각 로딩부(2)가 설치될 수 있다. 이때, 상기 베스(D)의 배출측에 설치되는 로딩부(2)는 조절부(10)의 셋팅에 의해 상기 베스(D)의 배출측에서 경사부(4)에 의해 경사진 자세로 배출되는 기판(B)을 경사지게 공급받아서 점차 수평한 자세로 전환되면서 이동될 수 있게 셋팅될 수 있다.

상기에서는 본 발명에 따른 기판반송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판반송장치는, 로딩부 및 경사부가 기판을 이동시킴은 물론이거니와 이동시 로딩된 기판을 약액처리와 같은 기판 후처리공정에서 요구되는 자세로 변화시킴으로서 별도로 기판의 자세를 교정하거나 변경하지 않아도 되므로 홀딩시간을 단축시킬 수 있으며 이로 인한 연속작업이 가능하여 작업능률을 대폭 향상시킬 수 있다. 게다가, 상기 로딩부의 이송 로울러들은 조절부에 의해 각각 자세가 용이하게 변화되므로 로딩되는 기판의 크기와 형태에 제한을 받지 않고 후처리공정시 요구되는 최적의 자세로 변화시킬 수 있다.

그리고, 본 발명에 따른 기판반송장치는, 상기 경사부의 경사 로울러들이 기판과 함께 움직이는 예를들면, 무한궤도 형태로 일정구간내에서 반복 이동하면서 기판을 이동시키는 구조이므로 구조가 간단하고, 기판처리 효과도 우수할 뿐만 아니라 베스 내부에서 설치영역을 용이하게 확보하여 로딩되는 기판의 이송효율을 대폭 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

1. 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 경사지게 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역의 베스 내부에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 경사지게 공급되는 기판을 경사진 상태로 이동시키면서 표면처리되게 하는 경사부를 포함하며,

   상기 로딩부는, 프레임과, 이 프레임에 다수개가 배치되고 구동원에 의해 회전되면서 로딩된 기판을 일방향으로 이동시키는 이송 로울러들과, 이 이송 로울러들의 일측단에 연결되어 로딩된 기판을 이동중에 경사진 자세로 전환하는 조절부를 포함하는 기판반송장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 경사부는, 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트와 힌지부로 연결되는 가변 플레이트와, 이 가변 플레이트에서 일정한 구간을 반복 이동하면서 상기 로딩부에서 공급되는 기판을 경사지게 이동시키는 경사 로울러들과, 상기 베이스 플레이트와 가변 플레이트 사이에 배치되고 상기 가변 플레이트가 힌지부를 중심으로 회전되면서 자세가 변화되게 하는 실린더를 포함하는 기판반송장치
3. 청구항 1에 있어서, 상기 조절부는, 고정스테이지와, 이 고정스테이지에 슬라이드되게 설치되는 이동스테이지와, 이 이동스테이지를 상기 고정스테이지에서위치가 변화되게 하는 조절노브를 포함하며, 상기 프레임에서 이송 로울러의 일측단을 자세 변화가 가능하게 고정하는 기판반송장치.
4. 청구항 1에 있어서, 상기한 이송 로울러들은 상기 프레임에서 지지부재들에 회전 가능하게 고정되고, 상기 이송 로울러들의 양측단에는 상기 조절부에 의해 일측단이 경사진 자세로 변화될 수 있게 축이음부재로 연결되며 이 축이음부재는 유니버셜 조인트, 볼 조인트 중에서 어느 하나로 이루어지는 기판반송장치.
5. 청구항 1에 있어서, 상기 이송 로울러들의 외주면에는 로딩된 기판의 저면과 측면이 지지 및 가이드 되기 위한 접촉링들과 가이드링들이 설치되는 기판반송장치.
6. 청구항 2에 있어서, 상기 경사 로울러들은 경사부 구간에서 이격된 2개의 회전축 양측단에 각각 설치된 스프라켓과 치합되는 2개의 체인에 고정되어 이 체인을 따라서 상기 회전축의 이격된 구간으로 반복 이동되는 기판반송장치.
7. 청구항 1에 있어서, 상기 경사 로울러들의 외주면에는 로딩된 기판의 저면과 측면이 지지 및 가이드 되기 위한 접촉링들과 가이드링들이 설치되는 기판반송장치.