KR100499425B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

기판의 후처리공정시 기판의 자세 전환에 따른 홀딩시간을 대폭 단축시킴은 물론이거니와 기판의 표면이 손상되는 것을 방지하여 최적의 후처리품질을 얻을 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.

이러한 기판반송장치는, 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 공급되는 기판을 이동시킴과 아울러 경사진 상태로 표면처리 되게 하는 경사부를 포함하며,

상기 경사부는, 프레임과, 이 프레임에서 구동장치에 의해 일정 구간을 반복 이동하는 로울러들과, 이 로울러들에 로딩된 기판을 경사진 자세로 전환시키는 리프트수단을 포함한다.

Description

기판반송장치{apparatus for transferring flat display panel}

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 후처리공정시 기판의 자세 전환에 따른 홀딩시간을 대폭 단축시킴은 물론이거니와 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치용 유리기판들은 주처리공정에서 포토레지스트 도포액이나 감광성 폴리아미드수지, 컬러 필터용 염색체 등으로 이루어지는 박막층이 기판의 주면에 형성되고, 이 기판들은 기판반송장치에 로딩되어 일방향으로 이동되면서 약액도포공정, 세정공정 및 건조공정 등과 같은 후처리공정을 거치게 된다.

상기 후처리공정을 위한 기판처리장치로는 2002년 6월19일 자로 특허 출원되어 2002년 12월31일자로 공개된 특허공개번호 2002-0097004호가 있다. 이 기판처리장치의 구조를 간략하게 설명하면 다음과 같다.

피처리기판을 거의 수평으로 얹어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로와, 상기 반송로 위에서 상기 기판을 반송하기 위해 상기 반송체를 구동하는 구동수단과, 상기 반송로 위의 상기 기판의 피처리면에 소정의 처리액을 공급하기 위한 1개 또는 복수의 노즐을 포함하는 처리액 공급수단과, 상기 기판상에서 액을 중력으로 떨어뜨리기 위해 상기 반송로 상에서 상기 반송로의 전방 또는 후방을 향해 상기 기판을 경사시키는 기판경사수단을 갖는다.

상기에서 기판경사수단은 기판이 반송로의 반송 로울러들의 회전에 의해 이동하면서 액처리 영역으로 위치하면, 상하방향으로 이동하는 승강축이 구동부에 의해 상측으로 이동되면서 상기 승강축에 설치된 리프트핀이 이중 동작에 의해 기판을 들어 올림과 아울러 경사지게 하여 기판의 주면에 도포된 액이 중력으로 낙하되어 제거되게 한 것이다.

즉, 상기 승강축의 리프트핀이 반송 로울러들에 로딩된 기판의 저면과 접촉하면서 상측으로 들어 올린 후 상기 리프트핀이 회전축을 중심으로 기판의 전방 또는 후방 쪽으로 기울어지는 동작에 의해 기판을 경사진 자세로 전환시키는 구조이다.

그러나, 이와 같은 종래기술에 의한 기판반송장치는, 액처리 영역에 위치한 기판을 기판경사수단 즉, 승강축이 상하방향으로 이동되면서 이 승강축에 설치된 리프트핀들이 기판을 저면에 접촉되어 기판을 반송 로울러들에서 이격되게 들어올린 후 상기 리프트핀들이 다시 상기 승강축에서 경사진 자세가 되면서 기판의 전방 또는 후방측으로 경사지게 하는 구조이므로 액처리 영역에서 수평한 자세의 기판을 경사진 자세로 취하려면 기판을 상측으로 들어 올린 후 다시 기판을 경사지게 하는 이중공정을 거치게 되므로 그 구조상 기판의 후처리공정시 과다한 홀딩시간이 발생되어 만족할 만한 작업능률을 기대하기 어렵다.

그리고. 상기한 종래기술에 의한 기판반송장치는, 상기 기판경사수단에 의해 기판의 자세를 전환할 때에 매번 상기 반송 로울러들에서 언로딩 및 로딩 공정을 거쳐야 할 뿐만 아니라, 상기 리프트핀들에 저면 일부가 지지된 상태에서 경사진 자세로 전환되기 때문에 그 구조상 기판이 반송 로울러 및 리프트핀들과 잦은 접촉에 의해 표면이 손상됨은 물론이거니와 슬립에 의해 고정된 자세가 흐트러져서 후처리 품질을 저하시키게 되고, 상기와 같은 물리적인 접촉에 의해 파티클 발생의 문제가 있어 세정효과를 저하시키는 요인이 되기도 한다.

또, 상기한 종래기술에 의한 기판반송장치는, 상기 반송 로울러들이 구동원에 의해 회전하면서 로딩된 기판의 저면과 맞닿은 상태에서 기판을 이송시키는 구조이므로, 그 구조상 반송 로울러들이 기판의 측면 및 저면과 접촉되어 마모를 촉진시키기 때문에 잦은 유지보수 및 이에 따른 비용이 소요되는 문제가 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 후처리공정시 기판의 자세 전환에 따른 홀딩시간을 대폭 단축시킴은 물론이거니와 기판의 크기에 제한을 받지 않고 용이하게 자세를 전환시켜서 최적의 후처리품질을 얻을 수 있도록 한 기판반송장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 공급되는 기판을 이동시킴과 아울러 경사진 상태로 표면처리 되게 하는 경사부를 포함하며,

상기 경사부는, 프레임과, 이 프레임에서 구동장치에 의해 일정 구간을 반복 이동하는 로울러들과, 이 로울러들에 로딩된 기판을 경사진 자세로 전환시키는 리프트수단을 포함하는 기판반송장치를 제공한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하고 본 실시예에서는 기판 후처리공정 중에서 약액처리영역에 설치된 것을 일예로 설명한다.

도 1, 도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판반송장치는, 기판(B)이 로딩됨과 아울러 약액처리영역으로 이동시키는 로딩부(2)와, 약액처리영역의 베스(D) 내부에서 상기 로딩부(2)의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부 (2)에서 공급되는 기판(B)을 이동시킴과 아울러 경사진 상태로 표면처리 되게 하는 경사부(4)를 포함한다.

상기 로딩부(2)는, 로딩프레임(6)과, 이 로딩프레임(6)에 다수개가 배치되고 구동원(M1)에 의해 회전하면서 로딩된 기판(B)을 일방향으로 이동시키는 제1 로울러(R1)들을 포함하며, 도 1에서와 같이 약액처리영역 즉, 베스(D)의 유입측에서 로딩된 기판(B)들이 상기 베스(D) 내부로 공급될 수 있게 위치된다.

상기 로딩프레임(6)은 원형이나 다각형의 단면을 가지는 금속파이프들이 용접이나 볼트와 같은 체결부재 등으로 연결되어 다수개의 기판(B)이 순차적으로 로딩됨과 아울러 일방향으로 일정구간 이동될 수 있는 길이를 가지는 통상의 프레임 구조로 제작될 수 있다.

상기 제1 로울러(R1)들은 로딩되는 기판(B)의 크기에 대응하여 이 기판(B)이 안착될 수 있는 길이를 가지는 금속 또는 합성수지재질로 이루어진 통상의 원형파이프가 사용될 수 있다.

상기 제1 로울러(R1)들에는 로딩되는 기판(B)과의 접촉 면적이 최소화 될 수 있게 도 2에서와 같이 상기 제1 로울러(R1)들 보다 큰 지름을 가지는 링(Ring) 모양의 수평가이드구(G1)와 수직가이드구(G2)가 끼움 결합으로 고정된다.

상기 수평가이드구(G1)는 상기 제1 로울러(R1)들에서 로딩된 기판(B)이 휘거나 변형되는 것을 방지할 수 있는 범위내로 2개 또는 그 이상이 이격 고정된다.

상기 수직가이드구(G2)는 도면에서와 같이 상기 제1 로울러(R1)들의 양측단에 각각 고정되고, 상기 수직가이드구(G2)들은 상기 수평가이드구(G1)들에 로딩된 기판(B)의 측면이 지지될 수 있는 크기 범위내로 제작된다.

상기와 같이 제1 로울러(R1)들에 수직가이드구(G2)들이 설치되면 로딩된 기판(B)이 이동될 때에 이송구간을 이탈하거나 로딩된 자세가 변화되는 것을 방지할 수 있다.

상기 수평가이드구(G1) 및 수직가이드구(G2)들은 로딩된 기판(B)이 미끄러지거나 스크래치가 유발되지 않는 합성수지 또는 고무재질을 선정하여 제작될 수 있다.

상기에서는 수평가이드구(G1) 및 수직가이드구(G2)들이 상기 제1 로울러(R1)들과 분리 가능하게 제작되어 끼움 결합으로 고정되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

예를들면, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 제1 로울러(R1)들을 제작할 때에 상기 수평가이드구(G1) 및 수직가이드구(G2)들과 같은 기능을 가지도록 상기 제1 로울러(R1)들의 외주면에서 돌출되게 일체로 제작될 수 있다. 이때, 이들의 원주면에는 상기 수평가이드구(G1) 및 수직가이드구(G2)들과 동일한 재질들로 이루어진 박막의 테이프가 감겨질 수 있다.

상기 제1 로울러(R1)들은 도 2에서와 같이 양측단이 상기 프레임(6)의 상측에서 베어링과 같은 지지부재(8)들에 의해 일정한 자세로 다수개가 이격 고정됨과 아울러 상기 제1 로울러(R1)들의 일측단에는 체인(C1)으로 연결된 스프라켓(S1)이 설치된다.

그리고, 상기 제1 로울러(R1) 중에서 어느 하나가 도면에서와 같이 상기 로딩프레임(6) 일측에 설치된 모터와 같은 구동원(M1)과 동력전달이 가능하게 연결되어 이 구동원(M1)이 구동되면 상기 스프라켓(S1)과 체인(C1)의 치합에 의해 상기 제1 로울러(R1)들이 동일한 회전속도 및 방향으로 회전되면서 로딩된 기판(B)을 이동시키는 구조이다.

상기에서는 제1 로울러(R1)들이 체인(C1)과 스프라켓(S1)의 치합에 의해 동력이 이루어지는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 도면에는 나타내지 않았지만 예를들면, 벨트와 풀리로 동력전달이 가능하게 연결될 수도 있고 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 축간 동력전달요소는 다양하게 실시될 수 있다.

도 1, 도 3, 도 4를 참조하면, 상기 경사부(4)는, 경사프레임(10)과, 이 경사프레임(10)에서 구동장치(12)에 의해 일정 구간을 반복 이동하는 제2 로울러(R2)들과, 이 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)을 경사진 자세로 전환시키는 리프트수단(14)을 포함하며, 도면에서와 같이 약액처리영역의 베스(D) 내부에서 상기 로딩부(2)와 예를들면, 직렬형태로 연결되게 설치된다.

상기 경사프레임(10)은 상기 로딩부(2)의 로딩프레임(6)과 같은 원형이나 다각형의 단면을 가지는 금속파이프들이 용접이나 볼트와 같은 체결부재 등으로 연결된 통상의 프레임 구조로 제작된다.

상기 제2 로울러(R2)들은 상기 제1 로울러(R1)들과 동일한 재질 및 구조 즉, 도면에서와 같이 원형파이프가 사용되고 기판(B)의 저면 및 측면이 지지 및 가이드 되는 수평가이드구(G1)와 수직가이드구(G2)들이 소정의 위치에 설치된다.

상기 제2 로울러(R2)들은 구동장치(12)에 의해 상기 약액처리 베스(D) 내에서 예를들면, 무한궤도 형태로 이동될 수 있게 셋팅되는데, 이와같은 구동장치(12)의 구조를 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 경사프레임(10)에서 상기 베스(D)의 유입측과 배출측에 대응되는 위치에 2개의 회전축(16)이 베어링과 같은 지지부재(18)에 의해 회전 가능하게 이격 고정되고, 상기 일측 회전축(16)에는 도면에서와 같이 모터와 같은 구동원(M2)이 동력전달 가능하게 연결되며, 상기 회전축(16)들의 이격된 구간은 체인(C2)과 스프라켓(S2)으로 연결된다.

상기 2개의 회전축(16)들의 양측단을 연결하는 2개의 체인(C2)에는 상기 제2 로울러(R2)들의 양측단이 위치되어 상기 체인(C2)의 이동 구간에 이격 설치됨과 아울러 일측단이 경사진 자세로 전환될 수 있게 고정된다.

도 4를 참조하면, 상기 제2 로울러(R2)들의 일측단은 이에 대응하는 체인(C2)의 상측에서 고정브라켓트(20)에 의해 고정되고, 상기 제2 로울러(R2)의 타측단은 후술하는 리프트수단(14)에 의해 경사진 자세가 될 수 있도록 상기 제2 로울러(R2)에서 돌출되게 보조축(22)이 끼워져서 이 보조축(22)이 상기 체인(C2)의 상측에 고정된 스테이지(24)에 분리 가능하게 설치된다.

상기 보조축(22)은 자력(磁力)에 반응하는 금속재질 중에서 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 상기 제2 로울러(R2)에서 후술하는 리프트수단(14)에 걸쳐질 수 있는 범위내로 돌출 고정된다.

도 5를 참조하면, 상기 스테이지(24)는 상기 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)들이 분리 가능하게 안착되는 가이드홈(26)이 형성되고, 이 가이드홈(26)에는 이 홈에 끼워지는 보조축(22)들의 고정된 자세가 유지될 수 있게 예를들면, 일정한 자력(磁力)을 발생하는 자석(磁石)과 같은 자성체(28)가 설치된다.

상기 자성체(28)는 상기 스테이지(24)의 가이드홈(26)에서 상기 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)과 접촉될 수 있는 위치에 끼움 결합으로 고정되거나 볼트와 같은 체결부재로 견고하게 고정된다. 이때, 상기 가이드홈(26)들은 상기 보조축(22)들이 원활하게 분리됨과 아울러 지지될 수 있도록 예를들면, "V"자 모양이나 "U"자 모양으로 형성될 수 있다.

그리고, 상기 자성체(28)에서 발생되는 자력의 세기는 상기 제2 로울러(R2)들이 체인(C2)의 하부구간을 따라 이동될 때에 상기 스테이지(24)의 가이드홈(26)에서 상기 보조축(22)들이 이탈되지 않고 수평한 자세가 유지되게 고정됨과 아울러 후술하는 리프트수단(14)에 의해 상기 보조축(22)들이 상기 가이드홈(26)에서 원활하게 분리될 수 있는 범위내로 선정되어 설계된다.

상기와 같이 제2 로울러(R2)의 일측단을 분리 가능하게 고정하는 스테이지(24)에 자성체(28)가 설치되면, 상기 제2 로울러(R2)들이 이격된 2개의 회전축(16) 하부구간에서 체인(C2)을 따라 이동될 때에 상기 스테이지(24)에서 상기 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)들이 분리되지 않고 수평한 자세로 이동될 수 있다.

상기에서는 자성체(28)가 항상 일정한 자력을 발생하는 것을 일예로 설명하고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다. 예를들면, 도면에는 나타내지 않았지만 전기의 인가에 따라 상기 체인(C2)의 하부구간에서만 선택적으로 자력이 발생되는 전자석 구조로 이루어질 수도 있으며, 이외에도 스프링과 같은 탄성부재들의 탄성력에 의해 상기 보조축(22)들이 상기 스테이지(24)에 일정한 자세로 고정되게 셋팅될 수도 있다.

그리고, 상기 제2 로울러(R2)들의 고정단은 도 6에서와 같이 상기 고정브라켓트(20) 사이에서 힌지핀(30)으로 힌지결합된다. 이와 같이 상기 제2 로울러(R2)의 고정단이 힌지 결합되면 자유단 즉, 보조축(22)이 후술하는 리프트수단(14)에 의해 경사진 자세로 전환될 때에 상기 힌지핀(30)을 중심으로 연결된 각도가 변화되면서 상기 제2 로울러(G2)들이 원활하게 경사진 자세로 전환될 수 있다.

상기에서는 제2 로울러(R2)의 고정단측이 힌지 결합된 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 예를들면, 유니버셜 조인트나 볼 조인트와 같이 이미 잘 알려진 축이음부재들로 연결될 수 있다.

한편, 도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 리프트 수단(14)은, 기판(B)이 로딩된 구간의 제2 로울러(R2)들의 자유단측에 대응하는 자세로 위치하는 푸시 플레이트(32)와, 이 푸시 플레이트(32)를 상기 제2 로울러(R2)들이 경사진 자세로 전환되게 이동시키는 실린더(34)를 포함한다.

상기 푸시 플레이트(32)는 도면에서와 같이 일정한 두께를 가지는 판상의 형태로 제작될 수 있으며, 도면에서와 같이 상기 경사프레임(10)에 이격 고정된 2개의 가이드축(36)에 슬라이드 가능하게 끼움 결합된다. 이때, 상기 가이드축(36)들은 상기 푸시 플레이트(32)가 상기 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)을 향하여 이동됨과 아울러 상기 푸시 플레이트(32)에 상기 보조축(22)이 걸쳐질 수 있게 셋팅된다.

상기 푸시 플레이트(32)에는 기판(B)이 로딩된 제2 로울러(R2)들에 대응하여 이 로울러(R2)들의 보조축(22)들이 안착되는 지지홈(38)들이 형성되고, 이 지지홈(38)들은 도면에서와 같이 상부가 개구된 예를들면, "V"자 모양이나 "U"자 모양으로 형성될 수 있다.

상기 푸시 플레이트(32) 및 이 플레이트(32)에 형성되는 지지홈(38)들은 단일의 형태 및 크기에 한정되지 않고 로딩되는 기판(B)의 크기에 따라 이 기판(B)의 저면을 지지하는 구간에 위치하는 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)들이 걸쳐질 수 있도록 이에 대응되는 크기 범위내로 다수개가 제작되어 상기 가이드축(36)에 분리 가능하게 셋팅될 수 있다. 예를들면, 로딩되는 기판(B)이 3개의 제2 로울러(R2)에 지지되는 크기일 때에는 상기 푸시 플레이트(32)의 지지홈(38)들도 상기 3개의 제2 로울러(R2)들에 대응하여 3개가 형성된 것이 셋팅된다.

그리고, 상기 가이드축(36)은 이 가이드축(36)에 끼워지는 푸시 플레이트(32)가 원활하게 슬라이드 되면서 상기 제2 로울러(R2)들을 셋팅된 각도 범위내로 경사지게 할 수 있는 길이 범위내로 제작된다.

상기 푸시 플레이트(32)의 재질은 금속 또는 합성수지재로 제작될 수 있으며, 상기 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)들과 반복 접촉되어도 마모가 발생하지 않는 재질들을 선정하여 제작된다.

상기 실린더(34)는 통상의 유압 또는 공압실린더가 사용될 수 있으며, 도 7에서와 같이 상기 프레임(10)에서 상기 가이드축(36)을 따라 상기 푸시 플레이트(32)를 이동시킬 수 있는 자세를 가지며, 상기 경사프레임(10)에 본체가 회전 가능하게 고정되고, 피스톤로드는 상기 푸시 플레이트(32)와 연결된다.

도 7을 참조하면, 상기 푸시 플레이트(32)에는 상기 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)을 센싱하기 위한 센서(40)가 설치되고, 이 센서(40)는 도면에서와 같이 상기 제2 로울러(R2)들에 로딩되는 기판(B)의 전방 일측을 센싱할 수 있는 자세로 고정된다.

상기 센서(40)는 통상의 광(光)센서가 사용될 수 있으며, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)을 사이에 두고 수광부가 설치되어 이 수광부에 빛을 조사하면서 상기 기판(B)의 위치를 센싱을 행하는 구조이다.

그리고, 상기 센서(40)는 상기 푸시 플레이트(32)와 상기 회전축(16)을 구동하는 실린더(34)와 구동원(M2)의 구동을 제어할 수 있게 연결되는데, 예를들면, 상기 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)이 상기 리프트수단(14)에 대응하는 경사구간에서 위치되면 이를 센싱하여 상기 구동원(M2)의 구동을 제어함과 아울러 상기 실린더(34)에 의해 상기 푸시 플레이트(32)가 기판(B)이 로딩된 제2 로울러(R2)들을 경사진 자세로 전환시킬 수 있는 제어구조로 이루어질 수 있다.

상기에서는 단일의 광센서를 이용하여 기판(B)을 위치를 감지하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 로딩된 기판(B)의 위치를 최적의 상태로 센싱할 수 있도록 2개 또는 그 이상이 소정의 위치에 설치될 수 있으며, 상기한 광센서 이외에도 로딩된 기판의 무게를 센싱하거나 물리적인 접촉에 의해 센싱을 행하는 로드셀(Load Cell)이나 리미트 스위치(Limit Switch) 등이 설치되어 이들에 의해 제어되게 셋팅될 수도 있다.

상기한 구조의 리프트수단(14)은 상기 실린더(34)의 동작에 의해 상기 푸시 플레이트(32)가 기판(B)을 로딩하고 있는 제2 로울러(R2)들만 단일의 동작에 의해 경사진 자세로 변화시키는 구조이므로 기판(B)의 크기에 관계없이 자세전환이 용이할 뿐만 아니라 기판(B)의 저면이 상기 제2 로울러(R2)들에 지지된 상태로 자세가 전환되기 때문에 기판(B)의 자세가 흐트러지거나 스크래치가 유발되는 것을 방지하여 후처리시 기판(B)의 품질이 저하되는 것을 방지하면서 후처리품질은 대폭 향상시킬 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 경사프레임(10)에는 약액처리 영역에 대응되는 위치에 수거판(42)이 설치될 수 있다, 이 수거판(42)은 상부가 개구된 박스형태로 제작될 수 있으며 도면에서와 같이 2개의 회전축(16)을 연결하는 체인(C2)의 상부구간과 하부구간 사이에 위치되도록 고정될 수 있다.

상기와 같이 수거판(42)이 설치되면 기판(B)의 주면에 약액처리를 행할 때에 도포된 약액의 일부가 경사진 기판(B)의 주면에서 하측으로 흘러내릴 때에 이를 용이하게 수거할 수 있다.

다음으로 상기한 구조로 이루어지는 본 발명에 따른 기판반송장치를 이용하여 기판의 약액처리공정시 바람직한 기판반송 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

먼저, 상기 로딩부(2)의 제1 로울러(R1)들에 기판(B)을 로딩시키면, 상기 제1 로울러(R1)들이 구동원(M1)의 구동에 의해 회전되면서 상기 약액처리 영역의 베스(D) 유입측으로 기판(B)을 이동시킨다. 이때, 상기 로딩부(2)에 로딩되는 기판(B)들은 액정용 유리기판이 로딩될 수 있다.

상기와 같이 로딩부(2)에 로딩된 기판(B)들은 상기 로딩부(2)의 제1 로울러(R1)들을 따라 상기 베스(D)의 유입측으로 이동되면서 상기 경사부(4)의 제2 로울러(R2)들에 수평한 자세로 공급된다.

상기와 같이 로딩부(2)에 로딩된 기판(B)들이 제2 로울러(R2)들에 로딩되면 상기 제2 로울러(R2)들도 구동장치(12) 즉, 체인(C2)을 따라 이동하면서 로딩된 기판(B)을 상기 리프트수단(14)에 대응하는 경사영역으로 이동시킨다.

상기 제2 로울러(R2)들에 의해 이동되는 기판(B)이 경사영역에 위치되면 상기 푸시 플레이트(32)에 설치된 센서(40)가 상기 기판(B)의 전방 일측을 센싱하여 리프트수단(14)에 의해 다음과 같이 기판(B)을 경사진 자세로 전환시킨다.

상기 센서(40)에 의해 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)의 센싱이 이루어지면, 이 기판(B)이 경사영역에 위치될 수 있도록 상기 구동장치(12) 즉, 구동원(M2)의 구동을 제어함과 아울러 상기 리프트수단(14)의 푸시 플레이트(32)가 기판(B)이 로딩된 제2 로울러(R2)들만 경사진 자세로 전환될 수 있게 실린더(34)를 구동시킨다.

그러면, 상기 푸시 플레이트(32)가 상기 가이드축(36)을 따라 기판(B)이 로딩된 제2 로울러(R2)들의 보조축(22)을 향하여 이동되고, 상기 보조축(22)들이 상기 푸시 플레이트(32)의 지지홈(38)들에 각각 지지되면서 도 8에서와 같이 제2 로울러(R2)들이 고정단측의 힌지핀(30)을 중심으로 회전하여 상기 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)이 경사진 자세로 전환되는 것이다.

이때, 상기 경사진 기판(B)은 도 8에서와 같이 제2 로울러(R2)의 수직가이드구(G2)에 하측으로 경사진 측면부가 지지되면서 일체의 슬립이 발생되지 않고 상기 제2 로울러(R2)에 로딩된 상태로 경사진 자세를 유지하게 된다.

상기와 같이 경사부(4)에서 경사진 자세로 전환된 기판(B)은 다음과 같은 통상의 처리과정으로 기판(B)의 주면에 약액처리를 행한다.

상기 제2 로울러(R2)들에 로딩된 기판(B)은 도 8에서와 같이 약액공급부 즉, 약액노즐(N)을 통해 소정의 약액이 기판(B)의 주면에 도포된다. 이때, 상기 기판(B)은 경사진 자세이므로 도포된 약액이 기판(B)의 주면에 균일하게 도포되고, 약액이 기판(B) 상에 체류하는 일이 없으며, 신속하게 기판(B) 밖으로 약액을 유출시킬 수 있다.

그리고, 상기 경사진 기판(B)의 주면에서 하부로 유출되는 약액은 수거판(42)을 통해 도면에는 나타내지 않았지만 상기 베스(D)의 내부 또는 외부에 설치된 수거함에 수거된다.

상기와 같이 기판(B)의 주면에 약액처리가 완료되면 상기 리프트수단(14) 즉, 푸시 플레이트(32)가 실린더(34)에 의해 가이드축(36)을 따라 원래의 위치로 리턴되면서 경사진 자세의 제2 로울러(R2)들이 다시 수평한 자세로 전환된다.

그리고, 상기 리프트수단(14)의 작동이 완료되면 상기 구동장치(12)가 작동되면서 약액처리된 기판(B)들이 제2 로울러(R2)들에 의해 수평한 자세로 베스(D)의 배출측을 향하여 이동되어 언로딩되거나 상기와 같은 기판반송장치에 의해 다음공정(예를들면, 세정이나 건조공정)으로 순차적으로 패스되면서 상기와 같이 최적의 자세로 세정이나 건조가 행해진다.

상기에서는 본 발명에 따른 기판반송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판반송장치는, 상기 경사부가 기판을 이동시킴은 물론이거니와 소정의 경사영역에서 리프트수단에 의해 로울러들에 로딩된 기판을 약액처리와 같은 기판 후처리공정에서 요구되는 자세로 용이하게 전환시킴으로서 후처리공정시 발생되는 홀딩시간을 대폭 단축시켜서 설비의 효율성과 능률을 대폭 향상시킬 수 있다. 그리고, 상기 리프트수단은 단일의 동작에 의해 기판이 로딩된 로울러들에 한하여 이들의 자세를 경사지게 변화시키는 구조이므로 구조 및 동작이 간단하여 설비의 소형화를 실현할 수 있으며, 기판의 자세전환시 기판의 표면이 물리적인 접촉에 의해 손상되는 것을 방지하여 기판의 후처리품질을 더욱 향상시킬 수 있다.

그리고, 본 발명에 따른 기판반송장치는, 상기 경사부의 로울러들이 기판과 함께 움직이는 예를들면, 무한궤도 형태로 일정구간내에서 반복 이동하면서 기판을 이동시키는 구조이므로 베스 내부에서 설치영역을 용이하게 확보함은 물론이거니와 기판의 이송 효율 및 처리 효과를 대폭 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판반송장치의 전체사시도.

도 2는 본 발명에 따른 기판반송장치의 로딩부 동력전달구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도.

도 3은 도 1의 경사부 내부 구조를 설명하기 위한 측단면도.

도 4는 본 발명에 따른 기판반송장치의 경사부 동력전달구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도.

도 5 및 도 6은 도 4의 로울러 고정 구조를 설명하기 위한 요부 확대사시도.

도 7은 도 1의 리프트수단을 설명하기 위한 부분 확대사시도.

도 8은 도 3의 상태에서 리프트 수단에 의해 기판이 로딩된 로울러들이 경사진 자세로 전환된 상태를 나타내는 측단면도이다.

Claims (6)

1. 기판이 로딩됨과 아울러 기판 후처리영역으로 이동시키는 로딩부와, 기판 후처리영역에서 상기 로딩부의 이송방향에 대응되는 위치에 설치되고 로딩부에서 공급되는 기판을 이동시킴과 아울러 경사진 상태로 표면처리 되게 하는 경사부를 포함하며,

   상기 경사부는, 프레임과, 이 프레임에서 구동장치에 의해 일정 구간을 반복 이동하는 로울러들과, 이 로울러들에 로딩된 기판을 경사진 자세로 전환시키는 리프트수단을 포함하고,

   상기 리프트수단은, 기판이 로딩된 구간의 로울러들의 일측단에 대응하는 자세로 위치하는 푸시 플레이트와, 이 푸시 플레이트를 상기 로울러들이 경사진 자세로 전환되도록 하는 실린더를 포함하는 기판반송장치.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 로울러들의 외주면에는 로딩된 기판의 저면과 측면이 지지 및 가이드 되기 위한 수평가이드구 및 수직가이드구들이 설치되는 기판반송장치.
3. 청구항 1에 있어서, 상기 구동장치는, 경사부의 이송구간에 대응되게 이격 배치됨과 아울러 구동원에 의해 회전되는 회전축들과, 이 회전축들의 이격된 구간을 동력전달이 가능하게 연결하는 체인과 스프라켓 또는 벨트와 풀리를 포함하며, 상기 체인 또는 벨트에는 로울러들의 일측단이 상기 리프트수단에 의해 경사진 자세로 전환 가능하게 고정되는 기판반송장치.
4. 청구항 3에 있어서, 상기 체인 또는 벨트에는 상기 로울러들의 일측단을 분리 가능하게 지지하는 스테이지가 설치되고, 이 스테이지에는 상기 로울러의 일측단에 대응하여 자력(磁力)을 발휘하는 자성체가 설치되는 기판반송장치.
5. 청구항 1에 있어서, 상기 기판반송장치는 센서를 더 포함하고, 이 센서는 상기 경사부에서 로딩된 기판의 위치를 센싱할 수 있는 광센서, 로드셀, 리미트 스위치 중에서 어느 하나로 이루어지는 기판반송장치.
6. 청구항 1에 있어서, 상기 푸시 플레이트에는 기판이 로딩된 로울러들을 경사진 자세로 전환시킬 때에 로울러들의 일측단이 걸쳐지는 2개 또는 그 이상의 지지홈들이 형성되는 기판반송장치.