KR20040016784A - 승강식 기판 처리 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 시스템 - Google Patents

Abstract

처리 라인의 한 쪽에서 다른 쪽으로 기판을 반송하는 기능을 갖고, 또한 반송 중에 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치 등을 제공한다.

기판 처리 장치(10)는, 상하에 나란히 설치된 기판 투입구(11a) 및 기판 배출구(11b)를 구비한 바구니형상의 커버체(11)와, 커버체(11) 내에 내장된 처리 기구(20)에 있어서, 기판 투입구(11a)에서 반입된 기판을 수용하여 지지하는 한편, 기판 배출구(11b)로부터 기판을 배출하는 반송·지지 수단, 반송·지지 수단을 지지하는 지지 걸침대(21), 반송·지지 수단에 의해서 지지된 기판을 경사시키는 기판 경사 수단, 반송·지지 수단의 위쪽에 배치되고, 기판 경사 수단에 의해서 경사지게 된 기판 상에 처리 유체를 토출하는 처리 유체 토출 수단을 구비한 처리 기구(20)와, 처리 기구(20)를 지지하여 상하 방향으로 승강시켜서, 처리 기구(20)를 기판 투입구(11a) 및 기판 배출구(11b)에 경유시키는 승강 기구(40)로 구성된다.

Description

승강식 기판 처리 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 시스템{ELEVATION TYPE SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM THEREOF}

본 발명은, 반도체(실리콘) 웨이퍼, 액정 글래스 기판, 포토 마스크용 글래스 기판, 광 디스크용 기판 등의 각종 기판에 대해서, 이것을 이동시키면서(반송하면서) 소정의 처리를 행하는 처리 장치 및 다수의 처리 장치를 연결하여 구성되는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.

예를 들면, 액정 글래스 기판의 제조 공정에서는, 현상액의 도포, 에칭액의 도포, 레지스트막을 박리하기 위한 박리액의 도포라는 웨트 프로세스 처리가 행해지고, 각 웨트 프로세스 처리 사이에서는, 세정 처리 및 건조 처리가 행해진다.

그리고, 상기 각 처리를 행하기 위한 처리 장치로서, 종래, 반송 롤러 상에 기판을 올려 놓고, 상기 반송 롤러에 의해서 기판을 수평 방향으로 이송하면서 처리를 행하도록 구성된 처리 장치가 알려져 있으며, 또한, 상기 각 처리를 연속적으로 행하기 위해서, 각 처리 장치를 연결하여 구성된 도 15에 도시하는 바와 같이 기판 처리 시스템이 알려져 있다.

도 15는, 종래예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 평면도이지만, 동일 도면 15에 도시하는 바와 같이, 이 기판 처리 시스템(200)은, 기판 투입/배출부(201), 기판 처리부(205) 및 기판 반송부(210)로 이루어진다. 상기 기판 투입/배출부(201)는, 다수의 기판을 수납한 카세트(203)를 올려 놓는 재치대(載置臺)(202)와, 재치대(202) 상에 올려 놓은 카세트(203) 내에서 기판을 1장씩 취출하여 기판 처리부(205)에 투입하고, 처리를 종료한 기판을 기판 처리부(205)로부터 취출하여 카세트(203)에 격납하는 이재(移載) 장치(204)로 이루어진다. 또한, 이재 장치(204)는, 통상, 재치대(202)의 길이 방향으로 이동 가능하게 된 로봇으로 구성된다.

상기 기판 처리부(205)는, 상호 평행하게 나란히 설치된 제1 처리부(206) 및 제2 처리부(207)의 2개의 처리 라인으로 이루어지고, 제1 처리부(206) 및 제2 처리부(207)는, 도 16에 도시하는 바와 같이, 각각 화살표 방향으로 기판을 반송하는 다수의 반송 롤러(208)를 구비하고, 이 반송 롤러(208)에 의해서 기판을 반송하면서 소정의 처리를 행하도록 되어 있다. 예를 들면, 제1 처리부(206)는 기판을 에칭하는 처리부이고, 반송 중의 기판에 대해서 에칭액이 도포된다. 또, 제2 처리부(207)는, 수세 처리부(207a) 및 건조 처리부(207b)로 이루어지고, 수세 처리부(207a)에서는 기판에 세정수가 공급되고, 건조 처리부(207b)에서는 기판에 건조용의 기체가 공급된다.

상기 기판 반송부(210)는, 제1 처리부(206)에 의해서 처리된 기판을 제2 처리부(207)로 반송하는 수단이고, 제1 처리부(206)로부터 배출된 기판의 반송 방향을 전환하여 반송하는 방향 전환 장치(211)와, 방향 전환 장치(211)로부터 배출된 기판을 상기 배출 방향으로 반송하는 다수의 반송 롤러(212)와, 반송 롤러(212)에 의해서 반송된 기판을 그 반송 방향을 전환하여 제2 처리부(207)로 반송하는 방향 전환 장치(213)로 구성된다.

도 17에 도시하는 바와 같이, 상기 방향 전환 장치(211)는, 제1 처리부(206)를 구성하는 반송 롤러(208)의 반송면과 동일 수평면 내에서 동일 반송 방향으로 기판(K)을 반송하는 다수의 제1 반송 롤러(214)와, 이 제1 반송 롤러(214) 사이에 배치되어, 제1 반송 롤러(214)의 반송면에서 상하 방향으로 나왔다 들어갔다 하는 리프터(215)와, 제1 반송 롤러(214)의 위쪽에 상호 대향하여 배치되고, 제1 반송 롤러(214)의 중심축과 직교하는 중심축을 갖고, 기판(K)을 상기 반송 롤러(212)측으로 반송하는 다수 세트의 제2 반송 롤러(216)로 이루어진다. 또한, 서로 대향하는 제2 반송 롤러(216)는, 상호 접근/이반하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또, 도면 중, 부호 217은, 기판(K)의 이동을 제지하는 스토퍼를 도시하고 있다.

이 방향 전환 장치(211)에 의하면, 제1 처리부(206)에서 배출된 기판(K)은, 제1 반송 롤러(214)에 의해서 스토퍼(217)에 접촉할 때까지 상기 배출 방향으로 반송된다. 이 때 리프터(215)는 제1 반송 롤러(214)의 반송면에서 아래쪽으로 가라앉아 있다. 다음에, 리프터(215)가 제1 반송 롤러(214)의 반송면에서 위쪽으로 돌출하고, 이것에 의해서 기판(K)이 도 17에서 2점 쇄선으로 도시하는 위치로 상승되게 된다. 이 때 제2 반송 롤러(216)는 서로 이반한 위치에 있다. 다음에, 제2 반송 롤러(216)가 상호 접근하는 위치로 이동한 후, 리프터(215)가 강하한다. 이것에 의해서, 기판(K)은 제2 반송 롤러(216)에 의해서 지지된 상태가 되고, 이 후, 이 제2 반송 롤러(216)에 의해서 제1 반송 롤러(214)의 반송 방향과 직교하는 방향, 즉, 반송 롤러(212)측으로 반송, 배출되게 된다. 이와 같이 하여 기판(K)의 반송 방향이 전환된다.

특별히 도시하지 않지만, 상기 방향 전환 장치(213)도 상술한 방향 전환 장치(211)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있고, 반송 롤러(212)에 의해서 반송된 기판(K)을, 그 반송 방향을 전환하여 제2 처리부(207)에 반송한다.

도 15에 도시하는 바와 같이, 이 기판 처리 시스템(200)은, 제1 처리부(206), 기판 반송부(210) 및 제2 처리부(207)가 평면에서 볼 때 C자 형상으로 배치되고, 이재 장치(204)에 의해서 카세트(203)로부터 취출된 기판(K)은 먼저, 제1 처리부(206)에 투입된다. 다음에, 기판(K)은 제1 처리부(206) 내를 화살표 방향으로 반송되면서 소정의 처리(에칭 처리)를 행한 후, 기판 반송부(210)에서 그 반송 방향이 전환되어 제2 처리부(207)에 투입된다. 그리고, 기판(K)은 제2 처리부(207) 내를 화살표 방향으로 반송되면서 소정의 처리(수세 처리 및 건조 처리)를 행한 후, 이재 장치(204)에 의해서 다시 카세트(203) 내에 격납된다.

그런데, 제1 처리부(206) 및 제2 처리부(207)에 있어서, 반송 중에 기판(K)의 자세가 변화하면, 예를 들면, 반송 방향에 대해서 이것과 직교하는 방향으로 비스듬히 기운다거나 하면, 정밀도가 좋은 처리를 행할 수 없다. 그래서, 종래, 도 16에 도시하는 바와 같이, 상기 반송 롤러(208)의 양단부의 롤러에 플랜지부(208a)를 형성하고, 이 플랜지부(208a)에 의해서 반송 중의 기판(K)의 자세를 제어하도록 하고 있다. 이것은, 상기 제1 반송 롤러(214) 및 제2 반송 롤러(216)에 대해서도 동일하다. 그런데, 이와 같은 플랜지부(208a)를 설치하면, 상기 플랜지부(208a)가 장해가 되어, 기판(K)의 반송 방향을 반송 롤러(208)의 반송면 내에서 전환할 수 없다. 그래서, 상술한 방향 전환 장치(211, 213)에서는, 기판(K)을 플랜지부(208a)의 상단보다 위쪽으로 들어 올려서 그 반송 방향을 전환하도록 하고 있다.

또, 상기 이유로부터 기판(K)을 승강시키도록 구성한 기판 반송부(210)에서는, 동일 부분에서 기판(K)의 처리를 행할 수 없기 때문에, 기판(K)의 반송만을 행하고 있었다. 즉, 예를 들면, 동일 부분에서 기판의 세정을 행하는 경우, 기판(K)을 승강시키면, 노즐로부터 분사되는 세정액이 강하게 닿는 부분과, 그렇지 않은 부분이 발생하여 세정 효과에 불균일이 생긴다.

이 때문에, 종래의 기판 처리 시스템(200)에서는, 상기한 바와 같이 기판 반송부(210)에서 기판(K)으로의 처리를 행하지 않도록 하고 있지만, 그 한편으로, 이것에 의해서 오히려, 이하에 설명하는 바와 같은 문제가 발생하고 있었다.

즉, 예를 들면, 도 15에 도시한 예와 같이, 제1 처리부(206)에서 기판(K)에 에칭 처리를 행한 후, 미세정인 채로 이것을 반송하면, 제2 처리부(207)로의 반송 시간의 편차에 의해서 에칭의 진행 정도가 달라져 버려서 에칭을 고정밀도로 컨트롤할 수 없는 것이다. 기판 반송부(210)는, 기판(K)을 승강시키는 기구 및 제2 반송 롤러(216)를 이동시키는 기구로 이루어지는 복잡한 동작 기구를 갖기 때문에,그 반송 시간을 고정밀도로 컨트롤하는 것은 대단히 곤란하다.

또한, 예를 들면, 제1 처리부(206)의 최종 공정을 세정 공정으로 한 경우, 기판(K)을 건조시키지 않고 반송하면, 표면에 건조 불균일이 생기거나, 혹은 물들임이 생겨서 기판(K)이 불량품이 된다.

또한, 상기 종래의 기판 처리 시스템(200)에서는, 수평으로 지지한 상태의 기판(K)을 수평 방향으로 반송하면서, 이것에 에칭액이나 세정수라는 각종의 처리액을 공급하고 있지만, 이와 같이 수평 자세의 기판(K)에 처리액을 공급한 경우, 기판(K)의 표면 상에서 처리액의 액류(液流)가 생기기 어렵고, 당초에 공급된 처리액이 기판(K) 표면 상에 체류하기 때문에, 계속해서 공급되는 새로운 처리액과의 치환이 행해지기 어려우며, 처리에 시간이 걸리거나, 균일한 처리를 할 수 없다고 하는 문제도 있다.

그 한편, 기판(K) 상에 다량의 처리액을 공급하도록 하면, 처리액의 치환성을 개선할 수 있지만, 다량의 처리액을 이용한 것은, 효율적이지 않고, 또, 상기 처리액을 저장하는 탱크의 대형화 등, 장치의 대형화를 초래하게 된다.

또, 상기 종래의 기판 처리 시스템(200)에서는, 제1 처리부(206)와 제2 처리부(207)의 2개의 처리 라인을 평행하게 나란히 설치하고 있기 때문에, 장치의 설치 효율이 나쁘다는 문제도 있다.

본 발명은, 이상의 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 한 쪽의 처리 라인으로부터 다른 쪽의 처리 라인으로 기판을 반송하는 기능을 갖는 동시에, 반송 중의 기판에 대해서 효율적으로 처리를 행할 수 있게 된 기판 처리 장치 및 이것을구비한 기판 처리 시스템의 제공을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상하에 나란히 설치된 기판 투입구 및 기판 배출구를 구비하여 이루어지는 바구니형상의 커버체와,

상기 커버체 내에 내장된 처리 기구로서, 상기 기판 투입구로부터 반입된 기판을 수용하여 지지하는 한편, 상기 기판 배출구에서 상기 기판을 배출하는 반송·지지 수단과, 이 반송·지지 수단을 지지하는 지지 걸침대와, 상기 반송·지지 수단에 의해서 지지된 기판을 경사시키는 기판 경사 수단과, 상기 반송·지지 수단의 위쪽에 배치되고, 상기 기판 경사 수단에 의해서 경사지게 된 기판 상에 처리 유체를 토출하는 처리 유체 토출 수단을 구비하여 이루어지는 처리 기구와,

상기 처리 기구를 지지하여 상하 방향으로 승강시키고, 이 처리 기구를 상기 기판 투입구 및 기판 배출구에 경유시키는 승강 기구를 설치하여 구성한 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치에 관한 것이다.

이 승강식 기판 처리 장치에 의하면, 처리 기구가 승강 기구에 의해서 상하 방향으로 승강되고, 기판 투입구 및 기판 배출구에 경유되게 된다. 그리고, 처리 기구는, 기판 투입구에 경유하였을 때에, 앞 공정의 처리부에서 배출된 기판을 상기 기판 투입구로부터 수용하여 이것을 지지하고, 기판 배출구로 이동할 때까지의 소정 시간, 처리 유체 토출 수단으로부터 기판 상에 처리 유체를 토출한다. 이것에 의해서, 기판은 소정의 처리가 행해지고, 처리 후, 상기 기판 배출구로부터 다음 공정의 처리부로 배출, 이송된다. 또한, 처리 유체가 토출되어, 소정의 처리가 행해지는 사이, 기판은 기판 경사 수단에 의해서 수평면에 대해서 소정 각도만큼경사지게 된다.

이와 같이, 이 승강식 기판 처리 장치에 의하면, 기판을 지지하는 반송·지지 수단 및 지지된 기판 상에 처리 유체를 토출하는 처리 유체 토출 수단으로 이루어지는 처리 기구 전체를 승강시키도록 하고 있기 때문에, 기판을 반송할 때에, 기판과 처리 유체 토출 수단의 위치 관계가 변화하지 않고, 따라서, 예를 들면, 기판을 세정하는 경우에, 처리 유체 토출 수단로부터 토출되는 세정액을 기판 상의 각 부에 거의 균등하게 공급하는 것이 가능하며, 불균일이 없는 세정을 행할 수 있다.

또, 승강 기구에 의해서 처리 기구를 승강시킨다고 하는 단일한 동작으로 기판을 반송할 수 있기 때문에, 그 속도 컨트롤이 용이하고, 따라서, 에칭 등의 처리를 행하는 경우에도, 이것을 고정밀도로 컨트롤하는 것이 가능하다.

또한, 경사시킨 기판에 대해서 처리 유체를 토출시키도록 하고 있기 때문에, 기판 표면 상에 공급된 처리 유체는, 기판의 경사에 의해서 아래쪽으로 유하하는 액류를 발생하고, 이러한 액류에 의해서, 기판 표면 상의 처리 유체가 계속적으로 공급되는 새로운 처리 유체에 의해서 순차적으로 치환되게 된다. 이렇게 하여, 이 처리 유체의 치환 작용에 의해, 소량의 처리 유체로, 단시간 내에, 또한 균일하게 기판 표면을 처리할 수 있는 것이다.

또한, 최근, 기판 대형화에 따라서, 이것을 처리하기 위한 처리 유체의 사용량이나, 처리 시간이 증가하는 경향에 있지만, 상기한 바와 같이 기판을 경사시켜서 처리를 행함으로써, 그 사용량의 저감이나 장치의 소형화를 도모할 수 있으며, 처리 비용의 저감을 도모할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 처리 유체에는, 현상액, 에칭액, 레지스트막을 박리하기 위한 박리액이나, 세정용의 세정수, 건조용의 기체라는 기판을 처리하기 위한 각종의 유체가 포함되고, 이러한 각종의 처리 유체를 기판 상에 공급하여, 이것을 처리하는 것이 가능하다.

그런데, 기판의 경사 각도는, 기판 표면 상을 유하하는 액류의 속도를 제어하는 것으로, 바꿔 말하면, 기판 표면 상에 처리액이 체류하는 시간을 제어하는 것으로, 이 속도가 적당할 때에 소망의 처리 효과를 얻을 수 있다.

이 의미에서, 상기 처리액 토출 수단이 처리 유체로서 에칭액을 토출하도록 구성되어 있는 경우에는, 상기 기판 경사 수단에 의해서 경사지게 된 기판의 수평면에 대한 경사 각도는, 1° 이상 7.5° 이하의 범위 내인 것이 바람직하다(보다 바람직하게는, 2° 이상 5° 이하). 경사 각도가 7.5°를 넘으면, 액류의 속도가 너무 빨라지게 되고, 즉, 기판 표면에서의 에칭액의 체류 시간이 너무 짧아지게 되고, 반대로, 경사 각도가 5°미만에서는, 액류의 속도가 너무 느려지게 되고, 즉, 기판 표면에 에칭액이 장시간 체류하게 되어, 모두 처리가 충분히 행해지지 않고, 에칭액의 사용량이 증대하기 때문이다.

또한, 상기 기판의 경사 각도가 1° 이상 7.5° 이하인 경우, 상기 기판 표면 상을 유하하는 에칭액의 가속도로 이것을 환산하면, 상기 가속도는 중력 가속도의 0.08배 이상 0.13배 이하의 범위가 되고, 보다 바람직한 범위인 2° 이상 5° 이하의 경우, 중력 가속도의 0.03배 이상 0.09배 이하의 범위가 된다.

또, 상기 처리액 토출 수단이 처리 유체로서 세정액이나 박리액을 토출하도록 구성되어 있는 경우에는, 상기 기판 경사 수단에 의해서 경사지게 된 기판의 수평면에 대한 경사 각도는, 45° 이상 75° 이하의 범위 내인 것이 바람직하다(보다 바람직하게는, 55° 이상 70° 이하). 경사 각도가 75° 를 넘으면, 액류의 속도가 너무 빨라지게 되고, 즉, 기판 표면에서의 세정액이나 박리액의 체류 시간이 너무 짧아지게 되고, 반대로, 경사 각도가 45° 미만에서는, 액류의 속도가 너무 느려지게 되고, 즉, 기판 표면에 세정액이나 박리액이 장시간 체류하게 되어, 모두 처리가 충분히 행해지지 않고, 세정액이나 박리액의 사용량이 증대하기 때문이다.

또한, 상기 기판의 경사 각도가 45° 이상 75° 이하인 경우, 상기 기판 표면 상을 유하하는 세정액이나 박리액의 가속도로 이것을 환산하면, 상기 가속도는 중력 가속도의 0.7배 이상 0.97배 이하의 범위가 되고, 보다 바람직한 범위인 55° 이상 70° 이하의 경우, 중력 가속도의 0.82배 이상 0.94배 이하의 범위가 된다.

또, 상기 처리 기구는, 처리 유체 토출 수단에 의해서 토출되는 처리 유체의 토출 방향을, 상기 기판의 경사 방향과 평행하고 또한 이 기판과 직교하는 평면 내에서 요동시킨다. 즉, 기판의 경사, 상승 방향과 하강 방향으로 요동시키는 요동 수단을 구비한 구성의 것이어도 좋다.

이와 같이 하면, 처리 유체의 토출 방향이 기판의 경사 상승 방향으로 요동될 때에는, 이러한 요동에 의해서, 처리 유체를 기판 표면 상에 체류시키는 작용이 증대하는 한편, 처리 유체의 토출 방향이 기판의 경사 하강 방향으로 요동될 때에는, 이러한 요동에 의해서, 기판 표면 상을 유하하는 처리 유체의 속도가 증대하게 되어, 처리액의 체류와 유하가 기판 표면 전체에 걸쳐서 반복하여 야기되게 된다.이렇게 하여, 이러한 작용에 의해, 기판 표면 전체를 단시간 내에, 또한 보다 소량의 처리 유체로 균일하게 처리하는 것이 가능하게 된다.

또, 상기 반송·지지 수단은, 이것을, 상기 기판을 수용한 후, 수용한 기판을 상기 기판의 반입/배출 방향으로, 반복하여 전후 이동시키도록 구성할 수 있다.

상술한 바와 같이, 상기 승강식 기판 처리 장치에 있어서는, 처리 유체 토출 수단으로부터 토출되는 처리 유체를 기판 상의 각 부분에 거의 균등하게 공급하는 것이 가능하지만, 그 한편으로 처리 유체 자체에, 예를 들면, 압력이 높은 곳과 낮은 곳이 있다고 하는 바와 같이 불균일을 발생하고 있는 경우가 있고, 이러한 경우에는 기판에 대해서 엄밀한 의미로 균질한 처리를 행할 수 없다.

그래서, 상기한 바와 같이, 반송·지지 수단에 수용, 지지된 기판을 그 반입/배출 방향으로 반복하여 전후 이동시키도록 구성하면, 기판의 전후 이동에 의해서, 기판에 닿는 처리 유체의 압력 불균일이 평균화되어, 기판에 대해서 균질한 처리를 행하는 것이 가능해진다. 또한, 이 처리 유체의 압력 불균일의 평균화는 상기 처리 유체의 토출 방향의 요동에 의해서도 행해진다.

또, 상기 승강식 기판 처리 장치는, 이것을 그 커버체가 칸막이 부재에 의해서, 상기 기판의 반입/배출 방향으로 구동실 및 처리실의 2개의 실로 분할되는 동시에, 상기 기판 투입구 및 기판 배출구를 갖는 상기 처리실에는 상기 처리 기구가 배치되는 한편, 상기 구동실에는 상기 승강 기구가 배치되어 이루어지고,

상기 칸막이 부재에는, 그 상하 방향을 따라서, 상기 처리실과 구동실을 연이어 통하게 하기 위한 개구부가 형성되고,

상기 칸막이 부재에 형성된 개구부의 상하 방향을 따른 양 가장자리부는 각각 통형상으로 형성되고, 또한 이 한 쌍의 각 통형상부에는 상호 대향하는 면에, 상하 방향을 따른 노치 홈이 형성되며,

상기 처리 기구는, 그 상기 지지 걸침대가 상기 칸막이 부재의 개구부 내에 설치된 연결구에 의해서 상기 승강 기구와 연결되게 되고,

상기 연결구에는, 상기 한 쌍의 통형상부 사이에 배치되고, 또한 상기 연결구의 위쪽 및 아래 쪽으로 연장되도록 배치된 띠형상의 시트체에 있어서, 그 양측 가장자리부가 각각 상기 노치 홈으로부터 상기 통형상부 내로 삽입된 시트체가 접속되어 이루어지고,

상기 구동실과 처리실이 상기 칸막이 부재, 연결구 및 시트체에 의해서 분할된 구성으로 할 수 있다.

처리 유체에 포함되는 상기 현상액, 에칭액이나 박리액 등은 부식성이 높고, 이것이 승강 기구에 부착되면, 상기 승강 기구가 손상되어 그 기능이 손상될 우려가 있다. 그래서, 상기한 바와 같이, 승강 기구가 배치되는 구동실과, 처리 기구가 배치되는 처리실을 칸막이 부재, 연결구 및 시트체에 의해서 분할하면, 처리실에서 사용되는 처리 유체가 구동실에 침입하는 것을 방지할 수 있고, 처리 유체에 의해서 승강 기구가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 칸막이 부재에 설치한 개구부의 상하 방향을 따른 가장자리부를 통형상으로 형성하는 동시에, 연결구의 위쪽 및 아래쪽으로 연장되도록 배치된 시트체의 양측 가장자리부를, 상기 통형상부에 형성된 노치 홈으로부터 상기 통형상부 내로 삽입시킨, 말하자면래비린스(labylinth) 구조로 함으로써, 구동실 및 처리실 양쪽을 기밀성이 높은 것으로 하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 개구부, 연결구 및 시트체는, 이들을 다수조 설치한 구성으로 해도 좋다. 또, 상기 통형상부 내의 기체를 배기하는 배기 수단을 설치하면, 상기 시트체와 노치 홈의 간극으로부터 통형상부 내로 침입한 처리 유체를 상기 배기 수단에 의해서 배기할 수 있기 때문에, 구동실로의 처리 유체의 침입을 더욱 확실하게 방지할 수 있다.

또, 상기 시트체는, 이것을 무단의 고리형상으로 형성할 수 있다. 또, 상기 시트체의 감기/풀기를 행하는 감기/풀기 기구를 상기 시트체의 상부측 및 하부측의 각각에 설치하고, 상기 승강 기구에 의해서 승강되는 상기 시트체의 움직임에 따라서, 상기 감기/풀기 기구에 의해서 상기 시트체의 감기/풀기를 행하도록 구성해도 좋고, 감기/풀기 기구는 상기 시트체를 감는 감기 축과, 이 감기 축을 회전시키는 구동 수단으로 이것을 구성하고, 또한, 상기 구동 수단을 상기 감기 축이 풀기 방향으로 회전할 때에는, 제동력만을 감기 축에 작용시키는 한편, 상기 감기 축을 감기 방향으로 회전시킬 때에는, 마찰 클러치를 통해서 상기 감기 축에 동력을 전달하도록 구성해도 좋다. 이 감기/풀기 기구에 의하면, 시트체가 느슨해지지 않고, 그 감기, 풀기를 행할 수 있다.

또한, 상기 구동 수단은, 이것을 상기 감기 축에 연결한 수동 톱니바퀴와, 이 수동 톱니바퀴에 맞물린 구동 톱니바퀴와, 구동 톱니바퀴에 연결된 마찰 클러치와, 마찰 클러치에 연결된 회전 축과, 회전 축의 양단부에 각각 연결하고, 회전 축의 회전을 일방향으로만 허용하는 2개의 일방향 클러치와, 한 쪽의 상기 일방향 클러치를 통해서 상기 회전 축에 연결된 풀리와, 이 풀리에 감겨진 전동 벨트과, 다른 쪽의 상기 일방향 클러치를 지지하는 지지 부재로 구성하고, 상기 2개의 일방향 클러치를 상기 감기 축을 감기 방향으로 회전시키는 방향의 상기 회전 축의 회전을 허용하는 한편, 상기 감기 축을 풀기 방향으로 회전시키는 방향의 상기 회전 축의 회전을 규제하도록 구성하는 동시에, 상기 전동 벨트가 상기 승강 기구에 의해서 회동되도록 구성할 수 있다.

그리고, 상기 구성의 승강식 기판 처리 장치에 의하면, 기판을 수평 또는 경사시킨 상태로 이동시키면서 처리를 행하는 제1 기판 처리 장치와 제2 기판 처리 장치를 상하에 나란히 설치하고, 제1 기판 처리 장치의 기판 배출부와, 상기 승강식 기판 처리 장치의 기판 투입구를 접속시키는 한편, 제2 기판 처리 장치의 기판 투입부와, 상기 승강식 기판 처리 장치의 기판 배출구를 접속시키고, 기판을 제1 기판 처리 장치, 승강식 기판 처리 장치, 제2 기판 처리 장치에 순차적으로 경유시키도록 구성한 기판 처리 시스템을 구축할 수 있고, 제1 기판 처리 장치와 제2 기판 처리 장치를 동일한 수평 평면 내에 나란히 설치한 상기 종래의 처리 시스템에 비해서 설치 스페이스가 작아도 되는 기판 처리 시스템으로 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 정면도,

도 2는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 평면도,

도 3은 본 실시 형태에 관한 승강식 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시한 정단면도,

도 4는 본 실시 형태에 관한 에칭 장치의 개략 구성을 도시한 정단면도,

도 5는 본 실시 형태에 관한 에칭 장치의 개략 구성을 도시한 측단면도,

도 6은 도 5에 있어서의 화살표 CC-CC 방향에서 본 평단면도,

도 7은 도 3에 있어서의 화살표 AA-AA 방향에서 본 평단면도,

도 8은 도 3에 있어서의 화살표 BB-BB 방향에서 본 평단면도,

도 9는 도 6에 있어서의 화살표 GG-GG 방향에서 본 측단면도,

도 10은 본 실시 형태에 관한 감기/풀기 기구의 평단면도,

도 11은 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 승강 기구의 개략 구성을 도시한 정단면도,

도 12는 도 11에 있어서의 화살표 EE-EE 방향에서 본 평단면도,

도 13은 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 평면도,

도 14는 도 13에 있어서의 화살표 FF 방향에서 본 측면도,

도 15는 종래예에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 평면도,

도 16은 종래예에 관한 반송 롤러를 도시한 정면도,

도 17은 종래예에 관한 방향 전환 장치의 개략 구성을 도시한 모식도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 기판 처리 시스템 2 : 기판 투입/배출부

5 : 카세트 6 : 제1 기판 처리 장치

7 : 제2 기판 처리 장치 10 : 승강식 기판 처리 장치

11a, 14, 16 : 칸막이판 13 : 통형상 부재

15 : 통형상부 20 : 처리 기구

21 : 지지 걸침대 22 : 에칭 장치

26 : 반송 롤러 29, 30 : 노즐

33 : 기대 37 : 구동 실린더

40 : 승강 기구 41 : 볼 나사

42 : 너트 43 : 서보 모터

65, 66 : 시트체 70 : 감기/풀기 기구

72, 76 : 감기 축 80 : 풀리

82 : 전동 벨트 85, 80 : 기어

87, 88 : 일방향 클러치 86 : 토오크 키퍼

110 : 요동 장치 114 : 이동 축

117 : 제2 링크 118 : 제2 구동 축

119 : 걸어 맞춤 부재

이하, 본 발명의 구체적인 실시 형태에 대해서 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 정면도이고, 도 2는 그 평면도이다. 또, 도 3은, 본 실시 형태에 관한 승강식기판 처리 장치의 개략 구성을 도시한 정단면도이고, 도 4는 본 실시 형태에 관한 세정 장치의 개략 구성을 도시한 정단면도이며, 도 5는 그 측단면도이다. 또, 도 6은 도 5에 있어서의 화살표 CC-CC 방향에서 본 평단면도이고, 도 7은 도 3에 있어서의 화살표 AA-AA 방향에서 본 평단면도이고, 도 8은 도 3에 있어서의 화살표 BB-BB 방향에서 본 평단면도이다. 또한, 도 3은 도 7에 있어서의 화살표 DD-DD 방향에서 본 단면도이기도 하다.

먼저, 본 예의 기판 처리 시스템(1)의 구성에 대해서 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 예의 기판 처리 시스템(1)은, 기판 투입/배출부(2), 상하에 나란히 설치된 제1 기판 처리 장치(6) 및 제2 기판 처리 장치(7) 및 승강식 기판 처리 장치(10)로 이루어진다. 기판 투입/배출부(2)는, 다수의 기판을 수납한 카세트(5)를 올려 놓는 재치대(4)와, 재치대(4) 상에 올려진 카세트(5) 내에서 기판을 1장씩 취출하여 제1 기판 처리 장치(6)에 투입하는 한편, 처리를 끝낸 기판을 제2 기판 처리 장치(7)로부터 취출하여 카세트(5)에 격납하는 이재 장치(3)로 이루어진다. 또한, 이재 장치(3)는 재치대(4)의 길이 방향(화살표 방향)으로 이동 가능하게 된 로봇으로 구성된다. 또, 카세트(5)는 도시하지 않은 AGV 등의 반송 장치에 의해서 반송된다.

상기 제1 기판 처리 장치(6)는, 그 기판 투입측에 기판을 수평 상태로부터 1° 이상 7.5° 이하의 각도(본 예에서는 7°)로 경사시키는 기판 경사 기구부를 구비하는 동시에, 경사시킨 기판을 계속해서 경사진 상태로 화살표 방향으로 반송하는 경사 반송부를 구비한다. 한편, 제2 기판 처리 장치(7)는, 승강식 기판 처리장치(10)로부터 배출된 기판을 수납하고, 이것을 또한, 45° 이상 75° 이하의 각도(본 예에서는 70°)로 크게 경사시키는 기판 경사 기구부와, 경사시킨 기판을 계속해서 경사진 상태로 화살표 방향으로 반송하는 경사 반송부와, 경사진 기판을 수평 상태로 복귀시키는 경사 복귀 기구부를 화살표 방향으로 순차적으로 구비한다. 그리고, 본 예에서는, 제1 기판 처리 장치는 기판을 반송하면서 에칭하도록 구성되고, 제2 기판 처리 장치(7)는 동일하게 기판을 반송하면서 세정 및 건조시키도록 구성되어 있다.

도 3, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 상기 승강식 기판 처리 장치(10)는 바구니형상을 한 커버체(11)와, 이 커버체(11) 내에 배치된 처리 기구(20) 및 승강 기구(40) 등으로 이루어진다. 또한, 커버체(11)에는 제1 기판 처리 장치(6) 내에 연이어 통하게 하는 개구부(11a) 및 제2 기판 처리 장치(7) 내에 연이어 통하게 하는 개구부(11b)가 형성되어 있다. 또, 커버체(11)는 지주(12)에 의해서 지지되고, 그 내부는 처리 기구(20)가 배치되는 처리실(A)과, 승강 기구(40)가 배치되는 구동실(B)로 분할되어 있다.

상기 처리 기구(20)는, 에칭 장치(22) 및 이 에칭 장치(22)를 지지하는 지지 걸침대(21)로 이루어진다. 에칭 장치(22)는, 도 4 내지 도 6에 도시하는 바와 같이, 기판(K)이 반입/배출되는 개구부(23a)를 일측면에 구비한 바구니형상의 커버(23)와, 이 커버(23) 내에 배치된 다수의 반송 롤러(26)와, 이 반송 롤러(26)의 위쪽에 배치된 다수의 노즐(29) 및 반송 롤러(26)의 아래쪽에 배치된 동일한 다수의 노즐(30) 등으로 이루어진다.

상기 개구부(23a)에 가장 가까운 반송 롤러(26)에는 그 상부에 접촉하고, 기판(K)을 닙하는 닙 롤러(27)가 설치되어 있으며, 이들 반송 롤러(26) 및 닙 롤러(27)가 정역으로 회전함으로써, 기판(K)이 상기 개구부(23a)로부터 반입되고, 동일 개구부(23a)로부터 배출된다.

또, 반송 롤러(26)는 그 회전 축(26a)의 양단부가 기대(基臺)(33)에 의해서 회전 가능하게 지지되어 있고, 이 기대(33)에는 기판(K)의 반송 방향에 대해서 직교하는 방향으로 기판(K)이 이동하는 것을 규제하는 가이드 롤러(34)가 배치되어 있다. 기대(33)는 기판(K)의 반송 방향에 대해서 직교하는 방향으로 경사 가능하게 되도록, 그 중앙부가 커버(23)의 저면에 세워서 설치된 지지 부재(35)에 접속 부재(36)를 통해서 요동 가능하게 지지되는 동시에, 그 한 쪽 단부가 구동 실린더(37)의 로드(37a)에 걸어 맞춤 부재(38)를 통해서 걸어 맞춰져 있다.

상기 구동 실린더(37)는, 유압 실린더 또는 공압 실린더로 구성되고, 그 로드(37a)를 승강시킴으로써, 상기 접속 부재(36)의 지지 위치를 지점으로 하여, 기대(33)를 기판(K)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 경사시키고, 이것에 의해서, 반송 롤러(26) 상의 기판(K)을 동일하게 경사시킨다. 또한, 이 기대(33)의 수평면에 대한 경사각은, 1° 이상 7.5° 이하의 범위가 바람직하고, 본 예에서는 7° 로 설정하고 있다.

반송 롤러(26)의 위쪽에 배치된 상기 각 노즐(29)은 도시하지 않은 에칭액 공급원에 접속된 다수의 공급관(28)에 각각 고착 설치되어 있고, 상기 에칭액 공급원(도시하지 않음)으로부터 각 공급관(28)에 공급된 에칭액을 기판(K)의 상면(표면)을 향해서 토출한다. 상기 공급관(28)은 그 축선이 기판(K)의 반송 방향을 따르도록 그 2개가 소정 간격을 두고 일렬로 배치되고, 또한 이 공급관(28)의 열이 기대(33)의 상기 경사각과 동일 각도로 경사진 평면 내에서 복수열로 나란히 설치되어 있으며, 그 양단부에 형성된 지지부(28a)가 지지 부재(100)에 의해서 베어링(101)을 통해서 회전 가능하게 각각 지지된다. 그리고, 각 공급관(28)의 열은 요동 장치(110)에 의해서 그 축 중심으로 정역으로 회전되도록 되어 있다. 이렇게 하여, 이 각 공급관(28)의 정역 회전에 의해서, 각 노즐(29)이 기판(K)의 반송 방향과 직교하는 평면 내에서 요동되게 되고, 각 노즐(29)로부터 토출되는 에칭액의 토출 방향이 기판(K)의 경사 상승 방향과 하강 방향으로 요동되게 된다.

도 6 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 상기 요동 장치(110)는 구동 모터(111)와, 구동 모터(111)의 출력 축(111a)에 설치된 회전판(112)과, 회전판(112)의 중심 위치로부터 떨어진 위치에 축 중심으로 회전 가능하게 세워서 설치된 제1 로드(113)와, 한 쪽 단이 커버(23) 내에 설치되고, 다른 쪽 단이 커버(23) 외에 설치된 제1 구동 축(114)과, 제1 구동 축(114)의 다른 쪽 단측 외주부에, 축 중심으로 회전 가능하게 세워서 설치된 제2 로드(115)와, 제1 로드(113)와 제2 로드(115)를 접속하는 제1 링크(116)와, 상기 각 열을 구성하는 공급관(28, 28) 사이의 아래 쪽 위치에, 소정 간격을 두고 상기 지지 부재(100)와 평행하게 배치된 2개의 제2 구동 축(118)과, 한 쪽 단에 상기 각 공급관(28)의 지지부(28a)와 각각 걸어 맞추는 걸어 맞춤 구멍(117a)이 형성되며, 다른 쪽 단에 상기 제2 구동 축(118)에 형성된 걸어 맞춤 구멍(118a)에 끼워져 삽입되는 걸어 맞춤 축(117b)이 돌출 설치된 다수의 제2 링크(117)와, 상기 각 제2 구동 축(118)에 형성된 노치부(118b)에 걸어 맞추는 걸어 맞춤 축(119a)을 갖는 걸어 맞춤 부재(119)와, 상기 제1 구동 축(114)의 상기 한 쪽 단에 고착되고, 상기 걸어 맞춤 부재(119)를 지지하는 지지 부재(120) 등으로 이루어진다. 또한, 도 9는, 도 6에 있어서의 화살표 GG-GG 방향에서 본 측단면도이다.

이렇게 하여, 구동 모터(111)가 회전하면, 그 회전 동력이 출력 축(111a)를 통해서 회전판(112)에 전달되어 이것이 회전하고, 이 회전판(112)의 회전에 의해서 제1 로드(113), 제1 링크(116) 및 제2 로드(115)를 통해서 제1 구동 축(114)이 그 축선 방향으로 전후 이동(왕복 이동)된다. 그리고, 제1 구동 축(114)이 그 축선 방향으로 전후 이동되면, 그 동력이 지지 부재(120), 걸어 맞춤 부재(119)를 통해서 제2 구동 축(118)에 전달되고, 이것이 전후 구동된다. 그리고, 제2 구동 축(118)의 전후 이동에 의해서, 제2 링크(117)를 통해서 이 제2 구동 축(118)에 연결된 각 공급관(28)이 상술한 바와 같이 그 축 중심으로 정역 회전되고, 이것에 고착 설치된 각 노즐(29)이 기판(K)의 반송 방향과 직교하는 평면 내에서 요동된다.

반송 롤러(26)의 아래쪽에 배치된 상기 각 노즐(30)은, 상기 에칭액 공급원(도시하지 않음)에 접속된 다수의 공급관(31)에 고착 설치되어 있고, 이들 각 공급관(31)을 통해서 상기 에칭액 공급원(도시하지 않음)으로부터 공급된 에칭액을 기판(K)의 하면을 향해서 토출한다. 또한, 각 공급관(31)은 기판(K) 반송 방향을 따라서 나란히 설치되고, 고정 부재(102)를 통해서 기대(33)에 고착 설치된 지지 부재(103)에 의해서 지지되어 있다. 또, 상기 지지 부재(103)에는 기판(K)의 유무를검출하는 센서(32)가 설치되어 있다.

또, 상기 커버(23)의 하단부에는 개구부(23b)를 통해서 상호 연이어 통하게 되는 집액조(集液槽)(24)가 설치되어 있고, 각 노즐(29, 30)로부터 토출된 에칭액이 이 집액조(24)에 회수되어, 배출관(25)을 통해서 적당히 배출된다.

상기 구동실(B) 내에는, 뿔 파이프로 이루어지고, 세로 격자형상으로 형성된 프레임(17)이 세워져 설치되어 있고, 이 프레임(17)에 상기 승강 기구(40)가 부설되어 있다. 또한, 프레임(17)은 브래킷(18)을 통해서 지주(12)에 장착되어 있다.

상기 승강 기구(40)는, 연결구(55, 56 및 57, 58)를 통해서 지지 걸침대(21)에 연결되는 승강대(44)와, 상기 프레임(17)를 구성하는 세로 창살의 상기 처리실(A)측의 면에 나란히 설치된 한 쌍의 가이드 레일(45)과, 각 가이드 레일(45)에 각각 이것을 따라서 이동 가능하게 걸어 맞춰지고, 또한 승강대(44)에 고착 설치된 슬라이드 부재(46)와, 회전 가능하고 또한 가이드 레일(45)에 대해서 평행하게 되도록 프레임(17)에 지지된 볼 나사(41)와, 이 볼 나사(41)에 나사 결합한 상태로 승강대(44)에 고착 설치된 너트(42)와, 프레임(17)에 고착 설치되어 볼 나사(41)를 회전, 구동하는 서보 모터(43) 등으로 이루어진다.

서보 모터(43)에 의해서 볼 나사(41)가 회전되면, 이것에 나사 결합한 너트(42)가 볼 나사(41)를 따라서 이동(승강)하여, 너트(42)에 연결된 승강대(44), 이 승강대(44)에 연결구(55, 56 및 57, 58)를 통해서 연결된 지지 걸침대(21) 및 이것에 지지되는 에칭 장치(22)가 너트(42)와 함께 승강한다.

구동실(B)과 처리실(A)은, 칸막이 부재(11a, 14, 16)에 의해서 분할되어 있다. 칸막이 부재(11a, 14) 사이 및 칸막이 부재(14, 16) 사이에는 각각 개구부가 형성되어 있고, 각 개구부 내에 위치하도록 각각 연결구(55, 56 및 57, 58)가 설치되어 있다. 또, 각 개구부를 형성하는 칸막이 부재(14)의 양측 가장자리부(15)는 이것을 따라서 통형상으로 형성되고, 이것과 대향하는 칸막이 부재(11a, 16)의 각 가장자리부에는, 이것을 따라서 각각 통형상 부재(13)가 고착 설치되어 있다. 또, 칸막이 부재(14)의 양측 가장자리의 통형상부(15)와 통형상 부재(13)의 각 대향면에는 각각 상하 방향을 따른 노치 홈이 형성되어 있다.

또, 상기 칸막이 부재(14)의 양측 가장자리의 통형상부(15)와 상기 통형상 부재(13)의 사이에는, 이것을 따라서 띠형상의 시트체(65, 66)가 각각 설치되어 있다. 이 시트체(65, 66)는 그 양측 가장자리가 상기 노치 홈으로부터 통형상부(15), 통형상 부재(13) 내에 각각 삽입되고, 연결구(55, 56 및 57, 58)에 의해서 표리로부터 끼워진 상태로 이들에 고착되어 있다. 그리고, 시트체(65, 66)의 각 상단부 및 하단부는 각각 후술한 감기/풀기 기구(70)에 감겨져 있다. 또, 통형상부(15) 및 통형상 부재(13)는 도시하지 않은 적당한 배기 수단에 의해서 그 내부의 기체가 배기되도록 되어 있다. 또한, 본 예에서는, 상기 시트체(65, 66)에, 내마찰성 및 내식성이 우수한 테프론(등록 상표)제의 시트를 이용하였다. 단, 이것에 한정되는 것이 아니라, 이 외에, 예를 들면 스테인레스제의 것을 사용할 수 있다.

이렇게 하여, 상기 구동실(B)과 처리실(A)은 실질적으로, 칸막이 부재(11a, 14, 16), 통형상 부재(13, 13), 연결구(55, 56, 57, 58), 시트체(65, 66)에 의해서분할되어 있다.

또, 도 7에 도시하는 바와 같이, 승강대(44)에는 구동 모터(60)가 장착되는 동시에, 밸런서(50)가 접속되어 있다. 구동 모터(60)는 브래킷(62)을 통해서 승강대(44)에 고착 설치되고, 전동 벨트(61)을 통해서 에칭 장치(22)의 반송 롤러(26)를 구동한다. 한편, 밸런서(50)는 가이드 레일(45)에 대해서 평행하게 되도록 프레임(17)에 고착 설치된 가이드 로드(51)와, 이 가이드 로드(51)를 따라서 이동 가능하게 상기 가이드 로드(51)에 걸어 맞춰지는 동시에, 승강대(44)에 걸어 맞춰진 본체(52)로 이루어진다.

상기 감기/풀기 기구(70)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 프레임(17)의 상부 및 하부의 양쪽에 설치되어 있고, 구체적으로는, 도 8에 도시하는 바와 같이, 감기 축(72, 76), 이 감기 축(72, 76)의 양쪽에 연결된 구동 축(71), 구동 축(71)을 구동하는 기어(85) 등으로 이루어진다.

상기 감기 축(72, 76)은 각각 브래킷(75, 79)에 의해서 회전 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 시트체(66)는 브래킷(75)에 회전 가능하게 지지된 가이드 롤러(73, 74)를 순차적으로 경유하여 그 단부가 감기 축(72)에 감겨지고, 시트체(65)는 상기 브래킷(79)에 회전 가능하게 지지된 가이드 롤러(77, 78)를 순차적으로 경유하여 그 단부가 감기 축(76)에 감겨져 있다.

상기 기어(85)는 도 10에 도시하는 바와 같이, 토오크 키퍼(86)에 고착 설치되어 있다. 토오크 키퍼(86)는 회전 축(81)에 의해서 축에 통하게 되고, 회전 축(81)은 브래킷(84)에 고착된 베어링(90) 및 일방향 클러치(87)에 의해서 지지되어 있다. 또, 회전 축(81)의 단부에는 일방향 클러치(88)를 통해서 풀리(80)가 고착되어 있다. 그리고, 기어(85)는 구동 축(71)에 고착된 기어(89)와 맞물려 있다. 또한, 상기 일방향 클러치(87, 88)는 회전 축(81)의 회전 방향을 규제하는 기능을 갖는다. 본 예에서는, 상부에 설치된 감기/풀기 기구(70)의 경우, 회전 축(81)의 화살표 E방향으로의 회전을 규제하는 한편, 화살표 F방향으로의 회전은 이것을 허용하도록 되어 있고, 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)의 경우, 회전 축(81)의 화살표 F방향으로의 회전을 규제하는 한편, 화살표 E방향으로의 회전은 이것을 허용하도록 되어 있다. 또, 토오크 키퍼(86)는, 말하자면 마찰 클러치이고, 회전 축(81)에 대해서 소정의 제동력(브레이크력)을 부여한다.

또, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상하에 설치된 상기 풀리(80, 80)에는 무단형상으로 형성된 전동 벨트(82)이 감져지고, 전동 벨트(82)는 상기 너트(42)에 고착된 홀더(83)에 의해서 유지되어 있다.

다음에, 이상의 구성을 구비한 기판 처리 시스템(1)의 작동에 대해서 설명한다. 또한, 승강식 기판 처리 장치(10)는, 도 3에서 실선으로 도시한 상태에 있는 것으로 한다.

먼저, 이재 장치(3)에 의해서 카세트(5)로부터 순차적으로 기판(K)이 취출되고, 제1 기판 처리 장치(6)에 투입된다. 투입된 기판(K)은 제1 기판 처리 장치(6) 내에서 기판 경사 기구부에 의해서, 수평 상태로부터 소정의 각도(본 예에서는 7°)로 경사지게 되고, 경사진 상태로 경사 반송부에 의해서 화살표 방향으로 반송되면서 소정의 처리(에칭 처리)를 행한 후, 순차적으로 제1 기판 처리 장치(6)로부터 배출된다.

배출된 기판(K)은, 다음에 승강식 기판 처리 장치(10)의 개구부(11a), 개구부(23a)를 순차적으로 통과하여 에칭 장치(22) 내로 진입하고, 반송 롤러(26)의 작용에 의해서 내부로 반입된다.

또한, 에칭 장치(22) 내의 기대(33)는, 구동 실린더(37)에 의해서 미리 수평면에 대해서 7°로 경사지게 되어 있고, 제1 기판 처리 장치(6)로부터 경사 상태로 배출된 기판(K)은 상기 경사 상태를 유지한 상태로 에칭 장치(22) 내에 반입된다. 그 때, 기판(K)의 양측은 가이드 롤러(34)에 의해서 안내되어 있고, 기판(K)이 경사 방향으로 미끄러져 떨어지지 않는다. 그리고, 기판(K)의 반입이 완료되면, 에칭 처리와 에칭 장치(22)의 강하가 동시에 행해진다.

즉, 에칭액 공급원(도시하지 않음)으로부터 공급관(28, 31)에 각각 에칭액이 공급되고, 공급관(28)에 설치된 노즐(29) 및 공급관(31)에 설치된 노즐(30)로부터 각각 에칭액이 토출되어, 기판(K)의 표면이 에칭된다. 또한, 기판(K)의 안쪽면을 향해서 에칭액을 토출하는 것은, 그렇게 하지 않은 경우에, 기판(K)의 표면으로부터 에칭액이 부분적으로 들어가서, 동일 안쪽면에 물들임이 형성되기 때문이고, 안쪽면 전면에 에칭액을 분사함으로써, 물들임이 형성되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 이 에칭 중, 요동 장치(110)에 의해서 각 공급관(28)이 그 축 중심으로 정역으로 회전되어, 각 노즐(29)로부터 토출되는 에칭액의 토출 방향이 기판(K)의 경사 상승 방향과 하강 방향으로 요동되게 된다.

그리고, 소정 시간 에칭이 행해지면, 에칭액 공급원(도시하지 않음)으로부터의 에칭액의 공급이 정지되어, 요동 장치(110)에 의한 노즐(29)의 요동이 정지되게 된다. 또한, 이 에칭 처리는 에칭 장치(22)가 강하를 완료할 때까지의 사이에서 행해진다.

한편, 에칭 장치(22)의 강하는, 승강 기구(40)의 서보 모터(43)가 구동됨으로써 행해진다. 즉, 서보 모터(43)에 의해 볼 나사(41)가 강하 방향에 회전되면, 이것에 나사 결합된 너트(42)가 볼 나사(41)를 따라서 강하하고, 너트(42)에 연결된 승강대(44), 이 승강대(44)에 연결구(55, 56 및 57, 58)를 통해서 연결된 지지 걸침대(21) 및 지지 걸침대(21)에 지지되는 에칭 장치(22)가 너트(42)와 함께 강하한다.

너트(42)가 강하하면, 홀더(83)를 통해서 너트(42)에 연결된 전동 벨트(82)가 화살표 C방향으로 회동한다. 또, 연결구(55, 56 및 57, 58)가 강하하면, 이것에 고착된 시트체(65, 66)가 함께 아래쪽으로 이동하고, 이것에 따라서, 상부에 설치된 감기/풀기 기구(70)로부터 시트체(65, 66)가 풀어지고, 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에 시트체(65, 66)가 감겨진다.

이 감기/풀기 기구(70)의 감기/풀기 동작을 도 10을 이용하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 10은, 상부 및 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)의 평단면도이다. 또한, 도시에 기초하여, 연결구(57, 58) 및 시트체(66)에 대해서 설명하지만, 연결구(55, 56) 및 시트체(65)에 대해서도 동일하다.

먼저, 상부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에 대해서 설명한다. 상부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에서는 연결구(57, 58)가 강하하면, 시트체(66)에 장력이 생겨서 감기 축(72)에 화살표 H방향으로 회전 동력이 부여된다. 이 회전 동력은, 감기 축(72)에 연결한 구동 축(71), 이것에 고착된 기어(88), 기어(88)에 맞물린 기어(85), 기어(85)가 장착된 토오크 키퍼(86)를 순차적으로 통해서 회전 축(81)에 전달된다. 그러나, 회전 축(81)은 일방향 클러치(87)에 의해서 화살표 E방향으로의 회전이 규제되어 있기 때문에, 동일 방향의 회전이 저지된다. 이 때문에, 시트체(66)에 생기는 장력이 점차로 증대하여 상기 토오크 키퍼(86)에 전달되는 토오크가 증대한다.

토오크 키퍼(86)는, 기어(85)에 작용하는 토오크가 소정의 크기보다도 커지면, 기어(85)가 토오크 작용 방향으로 회전하는 것을 허용한다. 이것에 의해서, 기어(85)는 화살표 E방향으로, 기어(88), 구동 축(71) 및 감기 축(72)은 화살표 H방향으로 각각 회전하고, 시트체(66)가 감기 축(72)으로부터 풀어진다. 이와 같이, 시트체(66)는 소정의 장력을 발생한 상태에서 풀어지기 때문에, 풀어질 때에 느슨해지지 않는다.

한편, 너트(42)의 강하에 의해서, 전동 벨트(82)가 도 3에 도시한 화살표 C방향으로 회동하면, 풀리(80)는 화살표 E방향의 회전 동력을 받지만, 풀리(80)와 회전 축(81)의 사이에 끼워지는 일방향 클러치(88)에 의해서, 풀리(80)는 회전 축(81)에 대해서 화살표 E방향으로 회전 가능하게 되어 있으며, 풀리(80)는 지장없이 전동 벨트(82)를 따라서 화살표 E방향으로 회전한다. 일방향 클러치(88)는 회전 축(81)의 화살표 E방향의 회전을 규제하지만, 화살표 F방향의 회전은 이것을 허용하게 되어 있다. 따라서, 일방향 클러치(88)는 회전 축(81)에 대해서 화살표 E방향으로 회전 가능하게 되어 있다.

다음에, 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에 대해서 설명한다. 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에서는, 너트(42)가 강하하여 전동 벨트(82)가 상기 화살표 C방향으로 회동하면, 풀리(82)가 화살표 E방향의 회전 동력을 받는다. 상술한 바와 같이, 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)의 경우, 일방향 클러치(87, 88)는 회전 축(81)의 화살표 F방향으로의 회전을 규제하는 한편, 화살표 E방향으로의 회전은 이것을 허용하게 되어 있다. 따라서, 풀리(82)가 화살표 E방향의 회전 동력을 받으면, 회전 축(81)은 동일 방향으로 회전한다. 회전 축(81)이 화살표 E방향으로 회전하면, 그 회전 동력이 토오크 키퍼(86), 기어(85) 및 기어(88)를 통해서, 구동 축(71) 및 감기 축(72)에 전달되고, 이들이 화살표 H방향으로 회전되어 시트체(66)가 감기 축(66)에 감겨진다.

또한, 본 예에서는, 시트체(66) 및 전동 벨트(82)의 이동 속도보다도, 감기 축(72)의 감기 속도가 빨라지도록, 감기 축(72)의 축 직경, 풀리(80)의 직경 및 기어(85)와 기어(88) 사이의 기어비가 설정되어 있다. 시트체(66)의 이동 속도보다도 감기 축(72)의 감기 속도를 빠르게 하면, 시트체(66)에 생기는 장력이 점차로 증대하여 토오크 키퍼(86)에 전달되는 토오크가 증대한다. 상술한 바와 같이, 토오크 키퍼(86)는 기어(85)에 작용하는 토오크가 소정의 크기보다도 커지면, 기어(85)가 토오크 작용 방향으로 회전하는 것을 허용한다. 이것에 의해서, 기어(85)와 회전 축(81)은 슬립한 상태가 되고, 회전 축(81)은 지장없이 풀리(80)를 따라서 화살표 E방향으로 회전한다. 이와 같이, 시트체(66)는 소정의 장력을발생한 상태로 감겨지기 때문에, 감을 때에 느슨해지지 않는다.

이상 상술한 바와 같이, 본 예의 감기/풀기 기구(70)에 의하면, 에칭 장치(22)의 강하에 따라서, 느슨하지 않게, 시트체(65, 66)를 감기 및 풀기를 할 수 있다.

그리고, 상기과 같이 하여 에칭 장치(22)가 하강단까지 강하하면, 반송 롤러(26)가 배출 방향으로 회전되어 기판(K)이 개구부(23a)로부터 배출되고, 커버체(11)의 개구부(11b)에서 제2 기판 처리 장치(7)로 이송된다. 또한, 에칭 장치(22)가 하강단에 도달한 상태를, 도 3에 있어서 2점 쇄선으로 도시하고 있다.

기판(K)의 배출을 완료하면, 승강 기구(40)의 서보 모터(43)가 구동되고, 에칭 장치(22)가 상승된다. 그 때, 상기와는 반대의 작동에 의해서, 상부에 설치된 감기/풀기 기구(70)에 시트체(65, 66)가 감겨지고, 하부에 설치된 감기/풀기 기구(70)로부터 시트체(65, 66)가 풀려진다.

그리고, 에칭 장치(22)가 상승단에 도달하면, 상술한 기판(K)의 반입 이후의 동작이 반복된다. 또한, 에칭 장치(22)의 승강시에 서보 모터(43)에 작용하는 부하가 밸런서(50)에 의해서 경감되도록 되어 있다.

한편, 제2 기판 처리 장치(7)에서는, 승강식 기판 처리 장치(10)로부터 배출된 기판(K)이 기판 경사 기구부에 의해서 70°의 각도로 더욱 크게 경사지게 되고, 경사진 상태로 화살표 방향으로 반송되면서 소정의 처리(수세 처리 및 건조 처리)가 행해지고, 처리 후, 경사 복귀 기구부에 의해서 수평 상태로 복귀된 후, 상기 제2 기판 처리 장치(7)로부터 배출되어 이재 장치(3)에 의해서 다시 카세트(5) 내로 격납된다. 이와 같이, 본 예의 기판 처리 시스템(1)에서는 카세트(5) 내에 격납된 기판(K)이 순차적으로 제1 기판 처리 장치(6), 승강식 기판 처리 장치(10) 및 제2 기판 처리 장치(7)에 경유함으로써, 소정의 처리가 행해지고, 다시 카세트(5) 내에 격납된다.

이상 상술한 바와 같이, 본 예의 기판 처리 시스템(1)에 의하면, 제1 기판 처리 장치(6)와 제2 기판 처리 장치(7)를 상하에 나란히 설치하고, 이들을 승강식 기판 처리 장치(10)에 의해서 연결한 구성으로 하고 있기 때문에, 제1 기판 처리 장치(6)와 제2 기판 처리 장치(7)를 동일한 수평 평면 내에 나란히 설치한 상기 종래의 처리 시스템(200)에 비해서, 그 설치 스페이스가 작아도 되며, 이것을 효율적으로 설치하는 것이 가능하다.

또, 본 예의 승강식 기판 처리 장치(10)에서는, 기판(K)을 반송, 지지하는 반송 롤러(26) 및 기판(K)에 에칭액을 토출하는 노즐(29, 30)로 이루어지는 에칭 장치(22) 전체를 승강시키도록 하고 있기 때문에, 기판(K)을 반송할 때에, 기판(K)과 노즐(29, 30)의 위치 관계가 변화하지 않고, 따라서, 노즐(29, 30)로부터 토출되는 에칭액을 기판(K)의 각 부에 거의 균등하게 공급하는 것이 가능하며, 이것에 의해서, 불균일이 없는 에칭을 행할 수 있다.

또, 승강 기구(40)에 의해서 에칭 장치(22)를 승강시킨다고 하는 단일한 동작으로 기판(K)을 반송하고 있고, 또, 서보 모터(43), 볼 나사(41) 및 너트(42)로 이루어지는 고정밀도로 제어 가능한 기구에 의해서 승강시키고 있기 때문에, 그 속도 제어를 고정밀도로 행할 수 있다.

또, 경사시킨 기판(K)에 대해서 에칭액을 토출하도록 하고 있기 때문에, 기판(K)의 표면에 공급된 에칭액은 기판(K)의 경사에 의해서 아래쪽으로 유하하는 액류를 발생하고, 이러한 액류에 의해서, 기판(K) 표면의 에칭액이 계속적으로 공급되는 새로운 에칭액에 의해서 순차적으로 치환되며, 이 에칭액의 치환 작용에 의해서, 소량의 에칭액으로 단시간 내에, 또한 균일하게 기판(K) 표면을 에칭하는 것이 가능해진다.

또한, 각 노즐(29)를 요동시키고, 이것으로부터 토출되는 에칭액의 토출 방향을 기판의 경사 상승 방향과 하강 방향으로 요동시키도록 하고 있기 때문에, 에칭액의 토출 방향이 기판(K)의 경사 상승 방향으로 요동될 때에는, 이러한 요동에 의해서, 에칭액을 기판(K)의 표면 상에 체류시키는 작용이 증대하는 한편, 에칭액의 토출 방향이 기판(K)의 경사 하강 방향으로 요동될 때에는, 이러한 요동에 의해서, 기판(K)의 표면 상을 유하하는 에칭액의 속도가 증대하게 되어, 에칭액의 체류와 유하가 기판(K)의 표면 전체에 걸쳐서 반복하여 야기되며, 이러한 작용에 의해서, 기판(K)의 표면 전체를 단시간 내에, 또한 소량의 에칭액으로 균일하게 에칭하는 것이 가능해진다.

또한, 최근, 기판 대형화에 따라서, 이것을 에칭하기 위한 에칭액의 사용량이나, 에칭 시간이 증가하는 경향에 있지만, 상기한 바와 같이 기판(K)을 경사시켜서 에칭함으로써, 그 사용량의 저감이나 장치의 소형화를 도모할 수 있고, 처리 비용의 저감을 도모할 수 있다.

또한, 상기 노즐(29)의 요동각은, 90° 이상 120° 이하의 범위가 바람직하고, 또한, 요동 속도는 1요동 동작이 2초 이상 10초 이하인 것이 바람직하다.

또, 에칭액은 부식성이 대단히 높고, 이것이 에칭 장치(22)로부터 유출되어 승강 기구(40)에 부착되면, 상기 승강 기구(40)가 손상되어 그 기능이 손상될 우려가 있다. 본 예의 승강식 기판 처리 장치(10)에 의하면, 승강 기구(40)가 배치되는 구동실(B)과, 에칭 장치(22)가 배치되는 처리실(A)을 칸막이 부재(11a, 14, 16), 통형상 부재(13, 13), 연결구(55, 56, 57, 58), 시트체(65, 66)에 의해 분할하고 있기 때문에, 에칭 장치(22)로부터 유출된 에칭액이 구동실(B)에 침입하는 것을 방지할 수 있고, 에칭액에 의해서 승강 기구(40)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

특히, 칸막이 부재(11a, 14, 16) 사이에 형성한 개구부의 상하 방향의 가장자리부에 각각 통형상부(15) 및 통형상 부재(13)를 설치하는 동시에, 연결구(55, 56 및 57, 58)에 고착된 시트체(65, 66)의 양측 가장자리부를 통형상부(15) 및 통형상 부재(13)에 형성된 노치 홈으로부터 내부로 삽입시킨, 말하자면 래비린스 구조로 하고, 또한 통형상부(15) 및 통형상 부재(13)의 내부를 배기 수단에 의해서 배기하고 있기 때문에, 구동실(B)로의 에칭액의 침입을 확실하게 방지할 수 있다.

이상, 본 발명의 일 실시 형태에 대해서 설명하였지만, 본 발명이 채용할 수 있는 구체적인 양태는 조금도 이것에 한정되지 않는다.

예를 들면, 상술한 예에서는, 에칭 장치(22)의 승강에 맞추어, 시트체(65, 66)를 감기/풀기 기구(70)에 의해서 감기, 풀기를 하도록 하였지만, 시트체(65, 66)를 무단, 고리형상으로 형성하여 에칭 장치(22)의 승강에 맞추어, 이들이 회동하도록 구성할 수도 있다.

또, 상기 예에서는, 승강식 기판 처리 장치(10)에서 에칭을 행하도록 구성하였지만, 이것에 한정되는 것이 아니라, 세정이나 박리 처리 등 다른 처리를 행하도록 해도 좋다. 이것은, 제1 기판 처리 장치(6) 및 제2 기판 처리 장치(7)에 대해서도 동일하다.

또한, 세정이나 박리 처리를 행하는 경우, 상기 구동 실린더(37)에 의해서 경사지게 되는 기판(K)의 경사각은, 45°이상 75°이하의 범위 내인 것이 바람직하다(보다 바람직하게는, 55°이상 70°이하). 경사각이 75°를 넘으면, 액류의 속도가 너무 빨라지게 되고, 즉, 기판(K) 표면에서의 세정액이나 박리액의 체류 시간이 너무 짧아지게 되고, 반대로, 경사 각도가 45°미만에서는, 액류의 속도가 너무 느려지게 되고, 즉, 기판(K) 표면에 세정액이나 박리액이 장시간 체류하게 되어, 모두 처리가 충분히 행해지지 않고, 세정액이나 박리액의 사용량이 증대하기 때문이다.

또, 기판(K)의 에칭 중에는, 기판(K)이 반입/배출 방향으로 소정 거리만큼 전후 이동하도록, 반송 롤러(26)의 회전이 정역으로 연속하여 전환되도록 구성해도 좋다. 이와 같이 하면, 각 노즐(29, 30)로부터 토출되는 에칭액의 토출량, 토출압에 불균일이 있는 경우에도, 기판(K)을 전후 이동시킴으로써, 기판(K) 상면에 있어서의 상기 불균일을 평균화할 수 있어서, 기판(K)을 불균일없이 에칭할 수 있다.

또, 상기 처리 기구(20) 내에서 실시되는 처리가, 상기와 같이, 에칭 후의 후 공정에 해당하지 않고, 에칭액의 부착에 의한 문제가 발생하지 않는 경우에는,상기 커버체(11) 내를 상기 처리실(A)과 구동실(B)로 분할하지 않고, 상기 승강 기구(40)를 도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같은 승강 기구(130)로서 구성할 수도 있다.

즉, 이 승강 기구(130)는, 구동 모터(131)와 상호 평행하게 배치되고, 양단부에 스프로켓(132)이 장착된 2개의 하측 회전 축(133)과, 하측 회전 축(133)의 위쪽에 각각 배치되고, 동일하게 양단부에 스프로켓(134)이 장착된 2개의 상측 회전 축(135)과, 구동 모터(131)의 회전 동력을 우산 톱니바퀴를 통해서 각 하측 회전 축(133)에 각각 전달하는 전달 축(136)과, 에칭 장치(22)를 지지하는 지지 걸침대(139)와, 상기 지주(12)에 각각 고착 설치된 4개의 가이드 플레이트(137)와, 상기 지지 걸침대(139)에 회전 가능하게 지지되고, 상기 각 가이드 플레이트(137)에 접촉하여 이것을 따라서 각각 안내되는 다수의 롤러(138)와, 상기 상측 및 하측의 스프로켓(132, 134)에 걸쳐지고, 한 쪽 단이 지지 걸침대(139)의 상부에, 다른 쪽 단이 지지 걸침대(139)의 하부에 각각 고착된 4개의 체인(140) 등을 구비하여 구성된다.

이 승강 기구(130)에 의하면, 구동 모터(131)가 정역으로 회전하면, 그 회전 동력이 전달 축(136)을 통해서 각 하측 회전 축(133)에 전달되고, 상기 각 하측 회전 축(133)이 각각 축 중심으로 회전되며, 이러한 회전 축(133)의 회전에 의해서 스프로켓(132)을 통해서 체인(140)이 회동되고, 에칭 장치(22)를 지지한 지지 걸침대(139)가 각 가이드 플레이트(137) 및 각 롤러(138)에 의해서 안내되어 위쪽 또는 아래쪽으로 이동, 즉 승강된다.

이렇게 하여, 이 승강 기구(130)에 의하면, 상기 예의 승강 기구(40)에 비해서 구조를 간소화할 수 있고, 그 제조 비용을 저감할 수 있다.

또, 본 발명에 관한 승강식 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 시스템의 다른 양태로서, 도 13 및 도 14에 도시한 것을 들 수 있다. 동일 도면 13에 도시하는 바와 같이, 이 기판 처리 시스템(150)은 기판 투입/배출 장치(151), 드라이 처리 장치(160), 에칭·세정 장치(170)로 이루어진다.

기판 투입/배출 장치(151)는, 다수의 기판을 수납한 카세트(181)를 올려 놓는 재치대(152)와, 기판을 반송하는 이재 장치(153)로 이루어지고, 이재 장치(153)는 궤도(154) 상을 그 길이 방향을 따라서 이동 가능하게 설치된 이재 로봇(155)으로 구성된다. 이재 로봇(155)은 3차원 공간 내의 임의 위치로 이동 가능하게 된 핸드를 구비하고, 상기 핸드 상에 기판을 올려 놓은 상태에서, 재치대(152) 상의 카세트(181) 내로부터 기판을 1장씩 취출하여 드라이 처리 장치(160), 에칭·세정 장치(170)에 투입하거나, 드라이 처리 장치(160), 에칭·세정 장치(170)로부터 배출된 기판을 카세트(181) 내에 다시 격납하거나, 드라이 처리 장치(160)와 에칭·세정 장치(170)의 사이에서 기판을 이송하는 처리를 행한다.

또한, 드라이 처리 장치(160)는, 기판에 대해서 애싱(ashing) 처리나 성막 처리 등의 드라이 프로세스를 실시한다. 또, 카세트(181)는 자동 반송차(180)에 의해서 재치대(152) 상에 반입되고, 상기 재치대(152) 상에서 반출된다.

에칭·세정 장치(170)는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 바구니형상의 커버체를 구비하고, 그 내부를 기판 수입부(171), 기판 강하 반송부(172), 에칭부(173),기판 상승 반송부(174), 기판 건조부(175) 및 기판 인출부(176) 등으로 이루어지는 다수의 영역으로 구획 형성한 구성을 구비하고, 상기 이재 로봇(155)에 의해서 기판 수입부(171)에 기판이 반입되고, 기판 인출부(177)로부터 기판이 배출된다.

상기 기판 수입부(171), 기판 강하 반송부(172), 에칭부(173), 기판 상승 반송부(174), 기판 건조부(175) 및 기판 인출부(176)는 각각 도 16에 도시한 바와 같이 반송 롤러(208)의 다수를 구비하고 있고, 기판 수입부(171)에 반입된 기판이 반송 롤러(208)에 의해서 화살표 방향으로 반송되고, 기판 강하 반송부(172), 에칭부(173), 기판 상승 반송부(174), 기판 건조부(175)를 순차적으로 경유하여 기판 인출부(176)에 반송된다.

상기 기판 강하 반송부(172) 및 기판 상승 반송부(174)는, 상술한 승강식 기판 처리 장치(10)와 거의 동일한 구성을 구비하고 있다. 그리고, 이 에칭·세정 장치(170)에서는, 기판 강하 반송부(172) 및 에칭부(173)에서 에칭 처리가 행해지고, 기판 상승 반송부(174)에서 세정 처리가 행해지며, 기판 건조부(175)에서 건조 처리가 행해진다.

본 발명에 의해 처리 라인의 한 쪽에서 다른 쪽으로 기판을 반송하는 기능을 갖고, 또한 반송 중에 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치 등이 제공된다.

Claims (15)

1. 상하에 나란히 설치된 기판 투입구 및 기판 배출구를 구비한 바구니형상의 커버체와,

   상기 커버체 내에 내장된 처리 기구로서, 상기 기판 투입구로부터 반입된 기판을 수용하여 지지하는 한편, 상기 기판 배출구로부터 상기 기판을 배출하는 반송·지지 수단과, 이 반송·지지 수단을 지지하는 지지 걸침대와, 상기 반송·지지 수단에 의해서 지지된 기판을 경사시키는 기판 경사 수단과, 상기 반송·지지 수단의 위쪽에 배치되고, 상기 기판 경사 수단에 의해서 경사지게 된 기판 상에 처리 유체를 토출하는 처리 유체 토출 수단을 구비한 처리 기구와,

   상기 처리 기구를 지지하여 상하 방향으로 승강시키고, 이 처리 기구를 상기 기판 투입구 및 기판 배출구에 경유시키는 승강 기구를 설치하여 구성한 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 처리 유체 토출 수단이, 처리 유체로서 에칭액을 토출하도록 구성되고,

   상기 기판 경사 수단이, 상기 기판을 수평면에 대해서 1° 이상 7.5° 이하의 각도로 경사시키도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 처리 유체 토출 수단이, 처리 유체로서 에칭액을 토출하도록 구성되고,

   상기 기판 경사 수단이, 상기 기판의 경사 방향을 따라서 유동하는 처리 유체의 가속도가, 중력 가속도의 0.02배 이상 0.13배 이하의 범위 내로 되도록, 상기 기판을 경사시키도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 처리 유체 토출 수단이, 처리 유체로서 세정액 또는 박리액을 토출하도록 구성되고,

   상기 기판 경사 수단이, 상기 기판을 수평면에 대해서 45° 이상 75° 이하의 각도로 경사시키도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 처리 유체 토출 수단이, 처리 유체로서 세정액 또는 박리액을 토출하도록 구성되고,

   상기 기판 경사 수단이, 상기 기판의 경사 방향을 따라서 유동하는 처리 유체의 가속도가, 중력 가속도의 0.7배 이상 0.97배 이하의 범위 내로 되도록, 상기 기판을 경사시키도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 처리 기구가, 상기 처리 유체 토출 수단에 의해서 토출되는 처리 유체의 토출 방향을, 상기 기판의 경사 방향과 평행하고 또한 이 기판과 직교하는 평면 내에서 요동시키는 요동 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
7. 제1항에 있어서,

   상기 반송·지지 수단이, 상기 기판을 수용한 후, 수용한 기판을 상기 기판의 반입/배출 방향으로 반복하여 전후 이동시키도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
8. 제1항에 있어서,

   상기 커버체가, 칸막이 부재에 의해서 상기 기판의 반입/배출 방향으로 구동실 및 처리실의 2개의 실로 분할되는 동시에, 상기 기판 투입구 및 기판 배출구를 갖는 상기 처리실에는 상기 처리 기구가 배치되는 한편, 상기 구동실에는 상기 승강 기구가 배치되어 이루어지고,

   상기 칸막이 부재에는, 상하 방향을 따라서, 상기 처리실과 구동실을 연이어 통하게 되는 개구부가 형성되고,

   상기 칸막이 부재에 형성된 개구부의 상하 방향을 따른 양 가장자리부는 각각 통형상으로 형성되고, 또한 이 한 쌍의 각 통형상부에는, 상호 대향하는 면에 상하 방향에 따른 노치 홈이 형성되며,

   상기 처리 기구는, 그 상기 지지 걸침대가, 상기 칸막이 부재의 개구부 내에 설치된 연결구에 의해서 상기 승강 기구와 연결되게 되고,

   상기 연결구에는, 상기 한 쌍의 통형상부 사이에 배치되고, 또한 상기 연결구의 위쪽 및 아래쪽으로 연장되도록 배치된 띠형상의 시트체에 있어서, 그 양측 가장자리부가 각각 상기 노치 홈으로부터 상기 통형상부 내로 삽입된 시트체가 접속되어 이루어지고,

   상기 구동실과 처리실이, 상기 칸막이 부재, 연결구 및 시트체에 의해서 분할되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 개구부, 연결구 및 시트체의 다수 세트가 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
10. 제8항에 있어서,

    상기 통형상부 내의 기체를 배기하는 배기 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
11. 제8항에 있어서,

    상기 시트체가 무단, 고리형상으로 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
12. 제8항에 있어서,

    상기 시트체의 감기/풀기를 행하는 감기/풀기 기구를, 상기 시트체의 상부측 및 하부측의 각각에 설치하고, 상기 승강 기구에 의해서 승강되는 상기 시트체의 움직임에 따라서, 이 감기/풀기 기구에 의해서 상기 시트체의 감기/풀기를 행하도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 감기/풀기 기구는, 상기 시트체를 감는 감기 축과, 이 감기 축을 회전시키는 구동 수단으로 구성되고,

    상기 구동 수단은, 상기 감기 축이 풀기 방향으로 회전할 때에는, 제동력만을 감기 축에 작용시키는 한편, 상기 감기 축을 감기 방향으로 회전시킬 때에는, 마찰 클러치를 통해서 상기 감기 축에 동력을 전달하도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 구동 수단이, 상기 감기 축에 연결된 수동(受動) 톱니바퀴와, 이 수동톱니바퀴에 맞물린 구동 톱니바퀴와, 구동 톱니바퀴에 연결된 마찰 클러치와, 마찰 클러치에 연결된 회전 축과, 회전 축의 양단부에 각각 연결하고, 회전 축의 회전을 일방향으로만 허용하는 2개의 일방향 클러치와, 한 쪽의 상기 일방향 클러치를 통해서 상기 회전 축에 연결된 풀리와, 이 풀리에 감겨진 전동 벨트와, 다른 쪽의 상기 일방향 클러치를 지지하는 지지 부재로 구성되고,

    상기 2개의 일방향 클러치가, 상기 감기 축을 감기 방향으로 회전시키는 방향의 상기 회전 축의 회전을 허용하는 한편, 상기 감기 축을 풀기 방향으로 회전시키는 방향의 상기 회전 축의 회전을 규제하도록 구성되는 동시에,

    상기 전동 벨트가 상기 승강 기구에 의해서 회동되도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 승강식 기판 처리 장치.
15. 상기 청구항 1에 기재된 승강식 기판 처리 장치를 구비하는 동시에,

    기판을 수평 또는 경사시킨 상태로 이동시키면서 처리를 행하는 제1 기판 처리 장치와 제2 기판 처리 장치를 상하에 나란히 설치하고,

    상기 제1 기판 처리 장치의 기판 배출부와, 상기 승강식 기판 처리 장치의 기판 투입구를 접속시키는 한편,

    상기 제2 기판 처리 장치의 기판 투입부와, 상기 승강식 기판 처리 장치의 기판 배출구를 접속시키고,

    기판을 제1 기판 처리 장치, 승강식 기판 처리 장치, 제2 기판 처리 장치에 순차적으로 경유시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.