JP3451074B2 - 収容装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動体及びこの移
動体を駆動する駆動装置の一方若しくは双方を収容する
収容装置に関し、特に、移動体が配設される領域と駆動
装置が配設される領域と間における気体の流通を、高度
に遮断することができる収容装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】移動体
を駆動装置によって移動させるようにした機構は、各種
技術分野において採用されている。例えば、工作機械の
分野では、ワークを載置，固定するテーブル（移動体）
と、テーブルを移動させる駆動装置（案内手段，ボール
ねじ，ナット及びサーボモータなど）からなる機構が採
用されている。また、シリコンウエハ，液晶ガラス基
板，フォトマスク用ガラス基板，光ディスク用基板など
の各種基板を処理する分野においても、基板を処理する
処理装置と、処理装置を移動させる駆動装置からなる機
構が採用されている。

【０００３】ところで、上述した工作機械の場合、駆動
装置に切削液がかかったり、切り屑が堆積したりする
と、駆動装置の機能が損なわれるといった問題を生じ
る。また、基板処理の分野においても、処理液として使
用される現像液，エッチング液，剥離液などは腐食性が
高く、これが駆動装置に付着すると、当該駆動装置が損
傷してその機能が損なわれるという問題を生じる。

【０００４】そこで、従来、駆動装置をテレスコカバー
や蛇腹によってカバーし、切り屑や処理液が駆動装置に
触れるのを防止している。

【０００５】ところが、上記テレスコカバーは気密性の
面で十分なものとは言えず、また、蛇腹は駆動装置全体
を包囲することができず、耐久性の面でも問題があっ
た。特に、腐食性の高い処理液を使用する基板処理装置
では、処理液がミスト状になるため、高い気密性や耐久
性が求められる。また、テレスコカバーは、順次大きさ
が小さくなる複数のカバー体を重ね合わせて構成され、
移動体の移動に合わせて伸縮するように構成されている
ため、伸縮の際に振動を生じるという構造的な欠陥もあ
る。

【０００６】本発明は、以上の実情に鑑みなされたもの
であり、移動体及び駆動装置の一方若しくは双方を収容
する収容装置であって、移動体が配設される領域と駆動
装置が配設される領域と間の気体の流通を、高度に遮断
し得る収容装置の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記課題を
解決するための本発明の請求項１に記載した発明は、移
動体及び該移動体を駆動する駆動装置の一方若しくは双
方を収容する収容装置であって、前記移動体の移動方向
に沿った開口部を有し、前記移動体と駆動装置との間に
配設される仕切り部材と、前記仕切り部材と協働して前
記移動体及び駆動装置の一方若しくは双方を囲繞するカ
バー体と、前記仕切り部材の開口部内に設けられ、前記
移動体と駆動装置とを連結する連結具と、前記開口部内
の連結具に連結され、前記開口部内で前記移動方向に沿
ってその前後に延在するように配設された帯状のシート
体とを備えてなるとともに、前記仕切り部材は、その開
口部の前記移動方向に沿った両縁部がそれぞれ筒状に形
成され、且つ該一対の各筒状部には、相互に対向する面
に前記移動方向に沿った切り欠き溝が形成され、前記シ
ート体は、その両側縁部がそれぞれ前記切り欠き溝から
前記筒状部内に挿入せしめられてなり、前記移動体と前
記駆動装置とを、前記仕切り部材，連結具及びシート体
によって隔てるように構成された収容装置に係る。

【０００８】この発明に係る収容装置によれば、移動体
が配設される領域と、駆動装置が配設される領域とが、
仕切り部材，連結具及びシート体により仕切られる。特
に、仕切り部材に設けた開口部の両縁部を筒状に形成す
るとともに、連結具に連結されたシート体の両側縁部
を、筒状部に形成された切り欠き溝から当該筒状部内に
挿入せしめて、いわゆるラビリンス構造としているの
で、移動体が配設される領域と、駆動装置が配設される
領域との間の気体の流通が、このラビリンス構造によっ
て阻止される。したがって、移動体の配設される領域
で、エッチング液などの腐食性が高い処理液が使用され
ても、これが駆動装置の配設される領域に侵入するのを
効果的に防止することができ、当該処理液によって駆動
装置が損傷するのを防止することができる。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載した発明
は、上記請求項１に記載の収容装置において、更に、前
記筒状部内の気体を排気する排気手段を設けた収容装置
に係る。この収容装置によれば、排気手段によって筒状
部内の気体が排気されるので、当該筒状部を介した、移
動体の配設される領域と、駆動装置の配設される領域と
の間の気体の流通を、確実に防止することができる。

【００１０】尚、前記シート体は、請求項３に記載した
発明のように、これを無端の環状に形成することができ
る。移動体は連結具を介し駆動装置によって駆動されて
移動するが、これに従ってシート体も移動する。この発
明によれば、シート体が無端，環状に形成されているの
で、当該シート体は移動体及び連結具の移動に従って回
動し、その両側縁部が前記筒状部内に挿入された状態が
維持される。

【００１１】また、請求項４に記載した発明のように、
シート体の巻き取り／繰り出しを行う巻取／繰出機構
を、前記移動方向の両端部にそれぞれ設け、前記駆動装
置によって移動せしめられる前記シート体の動きに応
じ、当該巻取／繰出機構によってシート体の巻き取り／
繰り出しを行うようにしても良い。この発明によれば、
シート体が移動体及び連結具に従って移動すると、これ
に応じてその両端部が巻取／繰出機構により巻き取り／
繰り出しされる。斯くして、このようにしても、シート
体の両側縁部が前記筒状部内に挿入された状態が維持さ
れる。

【００１２】前記巻取／繰出機構は、請求項５に記載し
た発明のように、これを、前記シート体を巻き取る巻取
軸と、該巻取軸を回転させる駆動手段とから構成し、更
に、前記駆動手段は、これを、前記巻取軸が繰出方向に
回転する際には、制動力のみを巻取軸に作用させる一
方、前記巻取軸を巻取方向に回転させる際には、摩擦ク
ラッチを介して前記巻取軸に動力を伝達するように構成
することができる。この巻取／繰出機構によれば、シー
ト体に弛みを生じさせることなく、その巻き取り，繰り
出しを行なうことができる。

【００１３】更に、前記駆動手段は、請求項６に記載し
た発明のように、これを、前記巻取軸に連結した受動歯
車と、この受動歯車に噛合した駆動歯車と、駆動歯車に
連結された摩擦クラッチと、摩擦クラッチに連結された
回転軸と、回転軸の両端部にそれぞれ連結し、回転軸の
回転を一方向にのみ許容する２つの一方向クラッチと、
一方の前記一方向クラッチを介して前記回転軸に連結さ
れたプーリと、該プーリに巻回された伝動ベルトと、他
方の前記一方向クラッチを支持する支持部材とから構成
し、前記２つの一方向クラッチは、これを、前記巻取軸
を巻取方向に回転させる方向の前記回転軸の回転を許容
する一方、前記巻取軸を繰出方向に回転させる方向の前
記回転軸の回転を規制するように構成するとともに、前
記伝動ベルトが前記昇降機構によって回動せしめられる
ように構成することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形
態に係る収容装置を備えた基板処理システムの概略構成
を示した正面図であり、図２は、その平面図である。ま
た、図３は、本実施形態に係る収容装置を備えた昇降式
基板処理装置の正断面図であり、図４は、その洗浄装置
を示した正断面図である。また、図５は、図３に示した
昇降式基板処理装置のＩＩ位置における平断面図であ
り、図６は、同昇降式基板処理装置のＩＩＩ位置におけ
る平断面図である。尚、図３は、図５における矢視Ｉ−
Ｉ方向の断面図でもある。

【００１５】まず、本例の基板処理システム１の構成に
ついて説明する。図１及び図２に示すように、本例の基
板処理システム１は、基板投入／排出部２、上下に並設
された第１基板処理装置６及び第２基板処理装置７、並
びに昇降式基板処理装置１０からなる。基板投入／排出
部２は、複数の基板を収納したカセット５を載置する載
置台４と、載置台４上に載置されたカセット５内から基
板を一枚づつ取り出して第１基板処理装置６に投入する
一方、処理を終えた基板を第２基板処理装置７から取り
出してカセット５に格納する移戴装置３からなる。尚、
移戴装置３は、載置台４の長手方向（矢示方向）に移動
可能となったロボットから構成される。また、カセット
５は図示しないＡＧＶなどの搬送装置によって搬送され
る。

【００１６】前記第１基板処理装置６及び第２基板処理
装置７は、それぞれ矢示方向に基板を搬送する複数の搬
送ローラを備え、この搬送ローラによって基板を搬送し
ながら所定の処理を行なうようになっている。本例で
は、第１基板処理装置６は基板に対しエッチング処理を
行なうように構成され、第２基板処理装置７は基板に対
して洗浄処理と乾燥処理とを行なうように構成されてい
る。

【００１７】図３，図５及び図６に示すように、前記昇
降式基板処理装置１０は、筐体状をしたカバー体１１
と、このカバー体１１内に配設された処理機構２０及び
昇降機構４０などからなる。尚、カバー体１１には、第
１基板処理装置６内に連通する開口部１１ａ及び第２基
板処理装置７内に連通する開口部１１ｂが形成されてい
る。また、カバー体１１は支柱１２によって支持され、
その内部は、処理機構２０が配設される処理室Ａと、昇
降機構４０が配設される駆動室Ｂに仕切られている。

【００１８】前記処理機構２０は、洗浄装置２２及びこ
の洗浄装置２２を支持する支持架台２１からなる。洗浄
装置２２は、図４に示すように、基板Ｋが搬入／排出さ
れる開口部２３ａを一側面に備えた筐体状のカバー２３
と、このカバー２３内に配設された複数の搬送ローラ２
６と、この搬送ローラ２６の上方に配設された複数のノ
ズル２９列と、搬送ローラ２６の下方に配設された複数
のノズル３０列などからなる。また、前記開口部２３ａ
に最も近い搬送ローラ２６には、その上部に当接して、
基板Ｋをニップするニップローラ２７が設けられてい
る。斯くして、これら搬送ローラ２６及びニップローラ
２７が正逆に回転することによって、基板Ｋが前記開口
部２３ａから搬入され、同開口部２３ａから排出され
る。

【００１９】前記各ノズル２９は、図示しない洗浄液供
給源に接続された供給管２８に固設されており、この供
給管２８を介して供給された洗浄液を基板Ｋの上面に向
けて吐出する。同様に、前記各ノズル３０は、前記洗浄
液供給源に接続された供給管３１に固設されており、こ
の供給管２８を介して供給された洗浄液を基板Ｋの下面
に向けて吐出する。尚、図中３２は基板Ｋの有無を検出
するセンサである。

【００２０】また、カバー２３の下端には、開口部２３
ｂを介して相互に連通される集液槽２４が設けられお
り、前記ノズル２９，３０から吐出された洗浄液が前記
集液槽２４に回収され、排出管２５を通して適宜排出さ
れるようになっている。

【００２１】前記駆動室Ｂ内には、角パイプからなり、
縦格子状に形成されたフレーム１７が立設されており、
このフレーム１７に前記昇降機構４０が付設されてい
る。尚、フレーム１７はブラケット１８を介して前記支
柱１２に取り付けられている。

【００２２】前記昇降機構４０は、連結具５５，５６及
び５７，５８を介して支持架台１３に連結される昇降台
４４と、前記フレーム１７を構成する縦桟の、前記処理
室Ａ側の面に並設された一対のガイドレール４５と、各
ガイドレール４５にそれぞれこれに沿って移動自在に係
合し、且つ前記昇降台４４に固設されたスライド部材４
６と、回転自在且つ前記ガイドレール４５に対して平行
となるように前記フレーム１７に支持されたボールねじ
４１と、このボールねじ４１に螺合した状態で前記昇降
台４４に固設されたナット４２と、前記フレーム１７に
固設されて前記ボールねじ４１を回転，駆動するサーボ
モータ４３などからなる。

【００２３】サーボモータ４３によってボールねじ４１
が回転せしめられると、これに螺合したナット４２がボ
ールねじ４１に沿って移動（昇降）し、ナット４２に連
結された昇降台４４、この昇降台４４に連結具５５，５
６及び５７，５８を介して連結された支持架台１３、及
び支持架台１３に支持される洗浄装置２２がナット４２
と共に昇降する。

【００２４】前記駆動室Ｂと処理室Ａとは、仕切り部材
１１ａ，１４，１６によって仕切られている。仕切り部
材１１ａ，１４間、及び仕切り部材１４，１６間にはそ
れぞれ開口部が形成されており、各開口部内に位置する
ようにそれぞれ前記連結具５５，５６及び５７，５８が
設けられている。また、各開口部を形成する仕切り部材
１４の両側縁部１５は、これに沿って筒状に形成され、
これと対向する前記仕切り部材１１ａ，１６の各縁部に
は、これに沿ってそれぞれ筒状部材１３が固設されてい
る。また、前記仕切り部材１４の両側縁の筒状部１５と
前記筒状部材１３の各対向面にはそれぞれ上下方向に沿
った切り欠き溝が形成されている。

【００２５】また、前記仕切り部材１４の両側縁の筒状
部１５と前記筒状部材１３との間には、これに沿って帯
状のシート体６５，６６がそれぞれ設けられている。こ
のシート体６５，６６は、その両側縁が前記切り欠き溝
から筒状部１５，筒状部材１３内にそれぞれ挿入され、
連結具５５，５６及び５７，５８によって表裏から挟持
された状態でこれらに固着されている。そして、シート
体６５，６６の各上端部及び下端部はそれぞれ後述の巻
取／繰出機構７０に巻き取られている。また、前記筒状
部１５及び筒状部材１３は、図示しない適宜排気手段に
よってその内部の気体が排気されるようになっている。
尚、本例では、前記シート体６５，６６に、耐摩擦性及
び耐食性に優れたテフロン製のシートを用いた。但し、
これに限られるものではなく、この他に、ステンレス製
のものを使用することができる。

【００２６】斯くして、前記駆動室Ｂと処理室Ａは、実
質的には、仕切り部材１１ａ，１４，１６、筒状部材１
３，１３、連結具５５，５６，５７，５８、シート体６
５，６６によって仕切られている。

【００２７】また、図５に示すように、前記昇降台４４
には駆動モータ６０が取り付けられると共に、バランサ
５０が接続されている。駆動モータ６０はブラケット６
２を介して前記昇降台４４に固設され、伝動ベルト６１
を介して前記洗浄装置２２の搬送ローラ２６を駆動す
る。一方、バランサ５０は、前記ガイドレール４５に対
して平行となるように前記フレーム１７に固設されたガ
イドロッド５１と、このガイドロッド５１に沿って移動
可能に当該ガイドロッド５１に係合すると共に、前記昇
降台４４に係合した本体５２からなる。

【００２８】前記巻取／繰出機構７０は、図３に示すよ
うに、前記フレーム１７の上部及び下部の双方に設けら
れており、具体的には、図６に示すように、巻取軸７
２，７６、この巻取軸７２，７６の双方に連結した駆動
軸７１、駆動軸７１を駆動するギヤ８５などからなる。

【００２９】巻取軸７２，７６はそれぞれブラケット７
５，７９によって回転自在に支持されている。そして、
シート体６６は、前記ブラケット７５に回転自在に支持
されたガイドローラ７３，７４に順次経由してその端部
が前記巻取軸７２に巻き取られ、シート体６５は、前記
ブラケット７９に回転自在に支持されたガイドローラ７
７，７８に順次経由してその端部が前記巻取軸７６に巻
き取られている。

【００３０】前記ギヤ８５は、図７に示すように、トル
クキーパ８６に固設されている。トルクキーパ８６は回
転軸８１によって軸通され、回転軸８１はブラケット８
４に固着されたベアリング９０及び一方向クラッチ８７
によって支持されている。また、回転軸８１の端部には
一方向クラッチ８８を介してプーリ８０が固着されてい
る。そして、ギヤ８５は、前記駆動軸７１に固着された
ギヤ８９と噛合している。尚、前記一方向クラッチ８
７，８８は、前記回転軸８１の回転方向を規制する機能
を有する。本例では、上部に設けられた巻取／繰出機構
７０の場合、回転軸８１の矢示Ｅ方向への回転を規制す
る一方、矢示Ｆ方向への回転はこれを許容するようにな
っており、下部に設けられた巻取／繰出機構７０の場
合、回転軸８１の矢示Ｆ方向への回転を規制する一方、
矢示Ｅ方向への回転はこれを許容するようになってい
る。また、トルクキーパ８６は、いわゆる摩擦クラッチ
であり、回転軸８１に対して所定の制動力（ブレーキ
力）を付与する。

【００３１】また、図３に示すように、上下に設けられ
た前記プーリ８０，８０には、無端状に形成された伝動
ベルト８２が巻回され、伝動ベルト８２は、前記ナット
４２に固着されたホルダ８３によって保持されている。

【００３２】次に、以上の構成を備えた基板処理システ
ム１の作動について説明する。尚、前記昇降式基板処理
装置１０は、図３において実線で示した状態にあるもの
とする。

【００３３】まず、移戴装置３によってカセット５から
順次基板Ｋが取り出され、第１基板処理装置６に投入さ
れる。投入された基板Ｋは、第１基板処理装置６内で矢
示方向に搬送されながら所定の処理（エッチング処理）
を施された後、順次第１基板処理装置６から排出され
る。

【００３４】排出された基板Ｋは、次に昇降式基板処理
装置１０の開口部１１ａ，開口部２３ａを順次通って洗
浄装置２２内に進入し、搬送ローラ２６の作用によって
内部に搬入され、基板Ｋの搬入中若しくは搬入後に、ノ
ズル２９，３０から洗浄液が吐出されて、基板Ｋの洗浄
が開始される。そして、洗浄を終了するまで、前記基板
Ｋが搬入／排出方向に所定距離だけ前後動するように、
前記搬送ローラ２６の回転が正逆に連続して切り換えら
れる。これにより、ノズル２９，３０から吐出される洗
浄液の吐出量，吐出圧にむらがある場合であっても、基
板Ｋを前後動させることで、基板Ｋ上面における前記む
らを平均化することができ、基板Ｋをむらなく洗浄する
ことができる。

【００３５】基板Ｋの洗浄装置２２内への搬入を完了す
ると、次に昇降機構４０のサーボモータ４３が駆動され
て、洗浄装置２２が降下せしめられる。即ち、サーボモ
ータ４３によりボールねじ４１が降下方向に回転せしめ
られると、これに螺合したナット４２がボールねじ４１
に沿って降下し、ナット４２に連結された昇降台４４、
この昇降台４４に連結具５５，５６及び５７，５８を介
して連結された支持架台１３、及び支持架台１３に支持
される洗浄装置２２がナット４２と共に降下する。

【００３６】ナット４２が降下すると、ホルダ８３を介
してナット４２に連結された伝動ベルト８２が矢示Ｃ方
向に回動する。また、連結具５５，５６及び５７，５８
が降下すると、これに固着されたシート体６５，６６が
共に下方に移動し、これに伴って、上部に設けられた巻
取／繰出機構７０からシート体６５，６６が繰り出さ
れ、下部に設けられた巻取／繰出機構７０にはシート体
６５，６６が巻き取られる。

【００３７】この巻取／繰出機構７０の巻取／繰出動作
を、図７を用いて更に詳しく説明する。尚、図示に基づ
き、連結具５７，５８及びシート体６６について説明す
るが、連結具５５，５６及びシート体６５についても同
様である。また、図７は、上部及び下部に設けられた巻
取／繰出機構７０の平断面図である。

【００３８】まず、上部に設けられた巻取／繰出機構７
０について説明する。上部に設けられた巻取／繰出機構
７０では、連結具５７，５８が降下すると、シート体６
６に張力が生じ、巻取軸７２に矢示Ｈ方向に回転動力が
付与される。この回転動力は、巻取軸７２に連結した駆
動軸７１、これに固着されたギヤ８８、ギヤ８８に噛合
したギヤ８５、ギヤ８５が装着されたトルクキーパ８６
を順次介して回転軸８１に伝達される。しかしながら、
回転軸８１は一方向クラッチ８７によって矢示Ｅ方向へ
の回転が規制されているため、同方向の回転が阻止され
る。このため、シート体６６に生じる張力が次第に増大
して前記トルクキーパ８６に伝達されるトルクが増大す
る。

【００３９】トルクキーパ８６は、ギヤ８５に作用する
トルクが所定の大きさよりも大きくなると、ギヤ８５が
トルク作用方向に回転するのを許容する。これにより、
ギヤ８５は矢示Ｅ方向に、ギヤ８８，駆動軸７１及び巻
取軸７２は矢示Ｈ方向にそれぞれ回転して、シート体６
６が巻取軸７２から繰り出される。このように、シート
体６６は所定の張力を生じた状態で繰り出されるので、
繰り出しの際に弛みを生じることがない。

【００４０】一方、ナット４２の降下によって、伝動ベ
ルト８２が図３に示した矢示Ｃ方向に回動すると、プー
リ８０は矢示Ｅ方向の回転動力を受けるが、プーリ８０
と回転軸８１との間に介在する一方向クラッチ８８によ
って、プーリ８０は回転軸８１に対して矢示Ｅ方向に回
転自在となっており、プーリ８０は支障なく伝動ベルト
８２に従がって矢示Ｅ方向に回転する。一方向クラッチ
８８は、回転軸８１の矢示Ｅ方向の回転を規制するが、
矢示Ｆ方向の回転はこれを許容するようになっている。
したがって、一方向クラッチ８８は、回転軸８１に対し
て矢示Ｅ方向に回転自在となっている。

【００４１】次に、下部に設けられた巻取／繰出機構７
０について説明する。下部に設けられた巻取／繰出機構
７０では、ナット４２が降下して伝動ベルト８２が前記
矢示Ｃ方向に回動すると、プーリ８２が矢示Ｅ方向の回
転動力を受ける。上述したように、下部に設けられた巻
取／繰出機構７０の場合、一方向クラッチ８７，８８
は、回転軸８１の矢示Ｆ方向への回転を規制する一方、
矢示Ｅ方向への回転はこれを許容するようになってい
る。したがって、プーリ８２が矢示Ｅ方向の回転動力を
受けると、回転軸８１は同方向に回転する。回転軸８１
が矢示Ｅ方向に回転すると、その回転動力がトルクキー
パ８６，ギヤ８５及びギヤ８８を介して、駆動軸７１及
び巻取軸７２に伝達され、これらが矢示Ｈ方向に回転せ
しめられて、シート体６６が巻取軸６６に巻き取られ
る。

【００４２】尚、本例では、シート体６６及び伝動ベル
ト８２の移動速度よりも、巻取軸７２の巻取速度が速く
なるように、巻取軸７２の軸径、プーリ８０の径、及び
ギヤ８５とギヤ８８との間のギヤ比が設定されている。
シート体６６の移動速度よりも巻取軸７２の巻取速度を
速くすると、シート体６６に生じる張力が次第に増大し
てトルクキーパ８６に伝達されるトルクが増大する。上
述したように、トルクキーパ８６は、ギヤ８５に作用す
るトルクが所定の大きさよりも大きくなると、ギヤ８５
がトルク作用方向に回転するのを許容する。これによ
り、ギヤ８５と回転軸８１とはスリップした状態とな
り、回転軸８１は支障なくプーリ８０に従がって矢示Ｅ
方向に回転する。このように、シート体６６は所定の張
力を生じた状態で巻き取られるので、巻取に際して弛み
を生じることがない。

【００４３】以上詳述したように、本例の巻取／繰出機
構７０によれば、洗浄装置２２の降下に伴って、弛み無
く、シート体６５，６６を巻き取り及び繰り出しするこ
とができる。

【００４４】上記の如くして洗浄装置２２が下降端まで
降下すると、次に、前記搬送ローラ２６が排出方向に回
転せしめられて基板Ｋが開口部２３ａから排出され、カ
バー体１１の開口部１１ｂから第２基板処理装置７に移
送される。尚、洗浄装置２２が下降端に達した状態を、
図３において２点鎖線で示している。

【００４５】基板Ｋの排出を完了すると、洗浄装置２２
では、ノズル２９，３０からの洗浄液の吐出が停止され
る。そして、昇降機構４０のサーボモータ４３が駆動さ
れ、洗浄装置２２が上昇せしめられる。その際、上記と
は逆の作動によって、上部に設けられた巻取／繰出機構
７０にシート体６５，６６が巻き取られ、下部に設けら
れた巻取／繰出機構７０からシート体６５，６６が繰り
出される。

【００４６】そして、洗浄装置２２が上昇端に達する
と、上述した基板Ｋの搬入以降の動作が繰り返される。
尚、洗浄装置２２の昇降の際にサーボモータ４３に作用
する負荷が、バランサ５０によって軽減されるようにな
っている。

【００４７】一方、第２基板処理装置７では、搬入され
た基板Ｋが矢示方向に搬送されながら所定の処理（水洗
処理及び乾燥処理）を施され、処理を終えて排出された
基板Ｋは移戴装置３によって再びカセット５内に格納さ
れる。このように、本例の基板処理システム１では、カ
セット５内に格納された基板Ｋが、順次、第１基板処理
装置６，昇降式基板処理装置１０及び第２基板処理装置
７に経由することによって、所定の処理が施され、再
び、カセット５内に格納される。

【００４８】以上詳述したように、本例の基板処理シス
テム１によれば、第１基板処理装置６と第２基板処理装
置７とを上下に並設し、これらを昇降式基板処理装置１
０によって連結した構成としているので、第１基板処理
装置６と第２基板処理装置７とを同一の水平平面内に並
設した上記従来の処理システム１００と比べて、その設
置スペースが小さくて足り、これを効率良く設置するこ
とが可能である。

【００４９】また、本例の昇降式基板処理装置１０で
は、基板Ｋを搬送，支持する搬送ローラ２６及び基板Ｋ
に洗浄液を吐出するノズル２９，３０からなる洗浄装置
２２全体を昇降させるようにしているので、基板Ｋを搬
送する際に、基板Ｋとノズル２９，３０との位置関係が
変化することがなく、したがって、ノズル２９，３０か
ら吐出される洗浄液を基板Ｋの各部にほぼ均等に供給す
ることが可能であり、これにより、むらのない洗浄を行
なうことができる。

【００５０】また、昇降機構４０によって洗浄装置２２
を昇降させるという単一の動作で基板Ｋを搬送してお
り、また、サーボモータ４３，ボールねじ４１及びナッ
ト４２からなる高精度に制御可能な機構によって昇降さ
せているので、その速度制御を高精度に行うことができ
る。

【００５１】第１基板処理装置６において使用されるエ
ッチング液は腐食性が極めて高く、このエッチング液を
含む洗浄水が洗浄装置２２から流出して昇降機構４０に
付着すると、これが損傷してその機能が損なわれる懸念
がある。本例の昇降式基板処理装置１０によれば、昇降
機構４０が配設される駆動室Ｂと、洗浄装置２２が配設
される処理室Ａとを、仕切り部材１１ａ，１４，１６、
筒状部材１３，１３、連結具５５，５６，５７，５８、
シート体６５，６６により仕切っているので、洗浄装置
２２から流出したエッチング液が駆動室Ｂに侵入するの
を防止することができ、エッチング液によって昇降機構
４０が損傷するのを防止することができる。

【００５２】特に、仕切り部材１１ａ，１４，１６間に
形成した開口部の上下方向の縁部にそれぞれ筒状部１５
及び筒状部材１３を設けるとともに、連結具５５，５６
及び５７，５８に固着されたシート体６５，６６の両側
縁部を、筒状部１５及び筒状部材１３に形成された切り
欠き溝から内部に挿入せしめた、いわゆるラビリンス構
造とし、しかも筒状部１５及び筒状部材１３の内部を排
気手段によって排気しているので、駆動室Ｂへのエッチ
ング液の侵入を確実に防止することができる。

【００５３】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限
定されるものではない。例えば、上述の例では、洗浄装
置２２の昇降に合わせて、シート体６５，６６を巻取／
繰出機構７０によって巻き取り，繰り出しするようにし
たが、シート体６５，６６を無端，環状に形成し、洗浄
装置２２の昇降に合わせて、これらが回動するように構
成することもできる。

【００５４】また、上記の例では、処理機構２０と昇降
機構４０の双方をカバー体１１によって収容するように
構成したが、これらのどちらか一方を収容するようにし
たものであっても良い。

【００５５】また、上記の例では、本発明を基板処理装
置に具現化した例を示したが、これに限られるものでは
なく、移動体及び駆動装置を有する装置であれば、他の
技術分野のあらゆる装置に対して本発明を具現化するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る収納装置を備えた基
板処理システムの概略構成を示した正面図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る収納装置を備えた基
板処理システムの概略構成を示した平面図である。

【図３】本実施形態に係る収納装置を備えた昇降式基板
処理装置の正断面図である。

【図４】本実施形態に係る洗浄装置を示した正断面図で
ある。

【図５】図３に示した昇降式基板処理装置のＩＩ位置に
おける平断面図である。

【図６】図３に示した昇降式基板処理装置のＩＩＩ位置
における平断面図である。

【図７】本実施形態に係る巻取／繰出機構を拡大して示
した平断面図である。

【符号の説明】

１ 基板処理システム ２ 基板投入／排出部 ５ カセット ６ 第１基板処理装置 ７ 第２基板処理装置 １０ 昇降式基板処理装置 １１ａ，１４，１６ 仕切り板 １３ 筒状部材 １５ 筒状部 ２０ 処理機構 ２１ 支持架台 ２２ 洗浄装置 ２６ 搬送ローラ ２９，３０ ノズル ４０ 昇降機構 ４１ ボールねじ ４２ ナット ４３ サーボモータ ６５，６６ シート体 ７０ 巻取／繰出機構 ７２，７６ 巻取軸 ８０ プーリ ８２ 伝動ベルト ８５，８０ ギヤ ８７，８８ 一方向クラッチ ８６ トルクキーパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松元 俊二 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密 工業株式会社内 (56)参考文献 特開2000−150445（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−55347（ＪＰ，Ａ) 特開2000−100898（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−35447（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 B23Q 11/08 G12B 9/04

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体及び該移動体を駆動する駆動装置
   の一方若しくは双方を収容する収容装置であって、 前記移動体の移動方向に沿った開口部を有し、前記移動
   体と駆動装置との間に配設される仕切り部材と、 前記仕切り部材と協働して前記移動体及び駆動装置の一
   方若しくは双方を囲繞するカバー体と、 前記仕切り部材の開口部内に設けられ、前記移動体と駆
   動装置とを連結する連結具と、 前記開口部内の連結具に連結され、前記開口部内で前記
   移動方向に沿ってその前後に延在するように配設された
   帯状のシート体とを備えてなるとともに、 前記仕切り部材は、その開口部の前記移動方向に沿った
   両縁部がそれぞれ筒状に形成され、且つ該一対の各筒状
   部には、相互に対向する面に前記移動方向に沿った切り
   欠き溝が形成され、 前記シート体は、その両側縁部がそれぞれ前記切り欠き
   溝から前記筒状部内に挿入せしめられてなり、 前記移動体と前記駆動装置とを、前記仕切り部材，連結
   具及びシート体によって隔てるように構成されてなる収
   容装置。
2. 【請求項２】 前記筒状部内の気体を排気する排気手段
   を備えてなる請求項１記載の収容装置。
3. 【請求項３】 前記シート体が無端，環状に形成されて
   なる請求項１または２記載の収容装置。
4. 【請求項４】 前記シート体の巻き取り／繰り出しを行
   う巻取／繰出機構を、前記移動方向の両端部にそれぞれ
   備え、前記駆動装置によって移動せしめられる前記シー
   ト体の動きに応じ、該巻取／繰出機構によって前記シー
   ト体の巻き取り／繰り出しを行うように構成されてなる
   請求項１または２記載の収容装置。
5. 【請求項５】 前記巻取／繰出機構は、前記シート体を
   巻き取る巻取軸と、 該巻取軸を回転させる回転駆動手段とから構成され、 前記回転駆動手段は、前記巻取軸が繰出方向に回転する
   際には、制動力のみを巻取軸に作用させる一方、前記巻
   取軸を巻取方向に回転させる際には、摩擦クラッチを介
   して前記巻取軸に動力を伝達するように構成されてなる
   請求項４記載の収容装置。
6. 【請求項６】 前記回転駆動手段が、前記巻取軸に連結
   した受動歯車と、この受動歯車に噛合した駆動歯車と、
   駆動歯車に連結された摩擦クラッチと、摩擦クラッチに
   連結された回転軸と、回転軸の両端部にそれぞれ連結
   し、回転軸の回転を一方向にのみ許容する２つの一方向
   クラッチと、一方の前記一方向クラッチを介して前記回
   転軸に連結されたプーリと、該プーリに巻回された伝動
   ベルトと、他方の前記一方向クラッチを支持する支持部
   材とから構成され、 前記２つの一方向クラッチが、前記巻取軸を巻取方向に
   回転させる方向の前記回転軸の回転を許容する一方、前
   記巻取軸を繰出方向に回転させる方向の前記回転軸の回
   転を規制するように構成されるとともに、 前記伝動ベルトが前記駆動装置によって回動せしめられ
   るように構成されてなる請求項５記載の収容装置。