JPH09222446A

JPH09222446A - 表示パネル基板の検査方法および装置

Info

Publication number: JPH09222446A
Application number: JP8052542A
Authority: JP
Inventors: Terukuni Yabu; 照国薮; Yuji Kudo; 裕児工藤; Chiaki Kano; 千秋加納
Original assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1996-02-16
Filing date: 1996-02-16
Publication date: 1997-08-26
Anticipated expiration: 2016-02-16
Also published as: JP3711169B2

Abstract

(57)【要約】【課題】手前の基板セット部に表示パネル基板を水平
状態でセットして、この基板を、水平面に対して傾斜し
た検査部に搬送するようにして、検査装置の占有面積を
小さくし、基板のセット作業を安定にし、オペレータの
作業性を良くする。【解決手段】基板セット台５２、５４に水平状態で液
晶基板５０をセットすると、基板セット台５２、５４が
上昇して、搬送体７０の吸着パッド８０で液晶基板５０
が吸着保持される。クランクホルダー８４が駆動レール
８２に沿って上昇すると、搬送体７０はチャックトップ
２２の上方に来て、チャックトップ２２に液晶基板５０
が受け渡され、搬送体７０は待機位置に移動する。液晶
基板５０を受け取ったチャックトップ２２はアライメン
トを実施してから、液晶基板５０の電極をプローブ装置
にコンタクトさせる。オペレータは、液晶基板５０に点
灯表示されたテストパターンを観察して液晶基板５０の
良否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、水平面に対して
傾斜した検査部において表示パネル基板の点灯状態を目
視で検査するようにした検査方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は液晶表示パネルの基板（以下、液
晶基板という。）を検査するための従来の検査装置の側
面断面図、図７はその正面図である。図６において、チ
ャックトップ１０とプローブ装置１２は、共に、水平面
に対して傾斜している。図７において、検査装置の右側
の開口部１４には、バックライト１１を備えたチャック
トップ１０が待機している。オペレータはこのチャック
トップ１０に液晶基板を載せる。チャックトップ１０の
外周部にはガイド板１５、１６があって、液晶基板の端
部をこのガイド板１５、１６に合わせることによって、
液晶基板の位置決めを行う。液晶基板は、バックライト
１１の外周部に設けられた吸着溝１８（負圧が供給され
ている。）に吸着固定される。液晶基板を搭載したチャ
ックトップ１０は、そのＸ軸ステージが左方向に移動す
ることにより、プローブ装置１２の下方に搬送される。
次に、プローブ装置１２に設けられたアライメントカメ
ラ２０によりファインアライメントが行われ、プローブ
針と液晶基板の電極との位置合わせが完了する。

【０００３】それから、Ｚ軸ステージが上昇してチャッ
クトップ１０が上昇し、液晶基板の電極にプローブ針が
コンタクトする。ＬＣＤパターン発生器からの信号によ
り液晶基板は全面点灯して、テストパターンを映し出
す。オペレータは、液晶基板のテストパターンを自分の
目で観察して、液晶基板の良品、不良品の判断をする。
検査が終了した液晶基板は、右側の開口部１４に搬送さ
れて、オペレータによりチャックトップ１０から外さ
れ、次の液晶基板がセットされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の検査装
置は、液晶基板をチャックトップにセットするための基
板セット部（装置右側の開口部１４に露出している部
分）と、液晶基板を点灯して検査を行う点灯検査部とが
左右に並んでいる。したがって、オペレータは基板セッ
ト部と検査部とを絶えず行き来しなくてはならず、一連
の作業は立ち作業となり疲労が多いなど、作業性に問題
がある。また、この検査装置は、基板セット部と検査部
とが左右に並んでいるので、プローブ装置の約２倍の左
右幅を必要とし、装置の占有面積が大きくなる。さら
に、基板セット部においてチャックトップ面が水平面か
ら傾斜しているので、オペレータが液晶基板をセットす
るときに液晶基板を落として破損させるおそれがあり、
液晶基板の取り扱いに不安がある。

【０００５】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、オペレータの作業性
が良く、占有面積が小さく、液晶基板のセットも容易で
かつ安全な、表示パネル基板の検査方法および装置を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明の表示パネル基
板の検査装置は、（イ）水平面に対して傾斜した検査部
と、（ロ）前記検査部の手前かつ下方にあって表示パネ
ル基板を水平状態で載せることができる基板セット部
と、（ハ）前記基板セット部と前記検査部との間で基板
を搬送する搬送機構とを備えている。

【０００７】手前の基板セット部において表示パネル基
板を水平状態でセットすると、この基板は搬送機構によ
って、傾斜した検査部まで搬送される。このような装置
構成を採用したことにより、基板セット部と検査部を左
右に配置した従来装置と比較して、検査装置の占有面積
が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセッ
トできるので、傾斜したチャックトップ面にセットする
従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さら
に、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業
の場所と、点灯検査作業の場所とを往復移動する必要が
なく、オペレータの疲労が少ない。

【０００８】この検査装置の測定対象は、点灯表示状態
をオペレータが観察して良否を判定する必要のある表示
パネル基板であり、代表的には、液晶表示パネルやプラ
ズマディスプレーパネルなどのフラットディスプレーパ
ネルの基板である。

【０００９】この検査装置では、検査部の手前かつ下方
に基板セット部があるが、「手前」とは、点灯状態を観
察するためにオペレータが検査装置に向き合ったとき
に、検査装置からオペレータに向かう方向を意味する。

【００１０】この検査装置で使用する搬送機構には、基
板セット部から検査部まで延びる１対の搬送レールと、
これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬
送体に設けられて表示パネル基板を吸着保持する吸着パ
ッドを設けることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の検査装置の一
実施形態の側面断面図、図２はその正面図である。図１
において、この検査装置は、大きく分けて、検査部４０
と基板セット部４２とその間の搬送機構４４とからな
る。基板セット部４２は検査部４０の手前（オペレータ
の側）かつ下方に位置しており、この基板セット部４２
は前面テーブルに配置されている。

【００１２】検査部４０には、チャックトップ２２とプ
ローブ装置２４があり、両者は共に水平面に対して同じ
角度だけ傾斜している。装置フレームに取り付けられた
基台の上には、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、
Ｚ軸ステージ３０、θ回転ステージ３２があり、その上
に、バックライト２３（図３参照）を備えたチャックト
ップ２２がある。チャックトップ２２の外周部には、液
晶基板を吸着保持するための吸着溝３４（図３参照）が
ある。この吸着溝３４には負圧が供給される。チャック
トップ２２の上方には、プローブ装置２４がある。

【００１３】検査部４０の上部には、枠状のベースプレ
ート３６が４本の支柱３８によって基台に固定されてい
る。このベースプレート３６にプローブ装置２４が取り
付けられている。

【００１４】図２に示すように、プローブ装置２４には
複数のプローブブロック４６が固定されている。このプ
ローブブロック４６は、液晶基板の全ての電極にプロー
ブ針（またはその他の接触手段）が同時にコンタクトで
きるように、プローブ針がＴＡＢ単位にブロック化され
たものである。各プローブブロック４６のプローブ針
は、フレキシブル配線板により、液晶駆動回路を経由し
て、ＬＣＤパターン発生器につながっている。このプロ
ーブ装置２４にはアライメントを行うためのＣＣＤカメ
ラ４８が２台取り付けられている。

【００１５】図３、図４、図５は基板セット部４２と搬
送機構４４とを示す斜視図であり、図３は液晶基板を基
板セット部にセットした状態、図４は液晶基板をチャッ
クトップのところまで搬送した状態、図５は搬送体を待
機位置に待機させた状態をそれぞれ示す。図４におい
て、基板セット部４２には、液晶基板５０を水平状態で
セットできる１対の基板セット台５２、５４と、２個の
ガイド板５６、５８がある。第１のガイド板５６は液晶
基板の左右方向の位置決めをするものであり、左側の基
板セット台５２に固定されている。第２のガイド板５８
は液晶基板の前後方向の位置決めをするものであり、テ
ーブルに固定されている。１対の基板セット台５２、５
４はエアーシリンダ６０、６２によって上下動する。

【００１６】図３において、基板セット部４２と検査部
４０の間には搬送機構４４がある。この搬送機構４４
は、１対の互いに平行な搬送レール６４、６６を備えて
いる。この搬送レール６４、６６は、基板セット部４２
のところでは水平方向に延びており（水平部）、検査部
４０のところではチャックトップ２２の表面に平行にな
るように水平面に対して傾斜している（傾斜部）。そし
て、搬送レール６４、６６の水平部と傾斜部の間は曲線
部で滑らかにつながっている。搬送レール６４、６６の
内面にはローラ溝６８が形成されており、このローラ溝
６８の内部を搬送体７０のローラ７２が転がることがで
きる。これにより、搬送体７０は搬送レール６４、６６
に沿って摺動する。搬送体７０は、１対の摺動体７４、
７６とこれらをつなぐ２本の横棒７８を備えている。各
摺動体７４、７６にはそれぞれ２個のローラ７２が回転
可能に取り付けられている。各横棒７８の下面には、そ
れぞれ２個の吸着パッド８０が取り付けられている。し
たがって、搬送体７０には４個の吸着パッド８０があ
り、この吸着パッド８０で液晶基板５０を吸着保持でき
る。

【００１７】右側の搬送レール６６の外側には駆動レー
ル８２があり、この駆動レール８２に沿ってローディン
グホルダー８４が摺動する。駆動レール８２は搬送レー
ル６６の傾斜部と平行に配置されている。ローディング
ホルダー８４と、搬送体７０の右側の摺動体７６は、ク
ランクアーム８６を介して連結されている。ローディン
グホルダー８４とクランクアーム８６の間、及び、クラ
ンクアーム８６と摺動体７６の間は、回転可能に連結さ
れている。ローディングホルダー８４が駆動レール８２
に沿って斜め上方に摺動すると、クランクアーム８６を
介して摺動体７６が引っ張られることにより、搬送体７
０が搬送レール６４、６６に沿って移動する。この実施
形態では、ローディングホルダー８４は、パルスモータ
の回転を直線運動に変換することによって駆動レール８
２上を移動するが、ボールねじやエアーシリンダなどの
その他の駆動機構を用いてローディングホルダー８４を
駆動してもよい。

【００１８】次に、図３〜図５を参照して、この検査装
置の動作を説明する。この検査装置は、初期状態では、
図５に示すように、搬送体７０が基板セット部と検査部
の間の待機位置にある。ローディングホルダー８４は駆
動レール８２の途中に位置している。この状態で、オペ
レータは、下限位置にある１対の基板セット台５２、５
４の上に液晶基板を載せる。このとき、２個のガイド板
５６、５８に液晶基板の端部を押し当てることによっ
て、液晶基板を位置決めできる。

【００１９】次に、オペレータが操作パネルのスタート
スイッチを押すと、ローディングホルダー８４が図５の
状態から下限位置まで下がって来て、搬送体７０は、図
３に示すように、基板セット部４２の液晶基板５０の上
方に移動する。次に、エアーシリンダ６０、６２の働き
により基板セット台５２、５４が上昇して、搬送体７０
の吸着パッド８０で液晶基板５０が吸着保持される。基
板セット台５２、５４はその後、下限位置まで下がる。
液晶基板５０が搬送体７０に保持されると、ローディン
グホルダー８４が駆動レール８２に沿って上限位置まで
上昇し、搬送体７０は、図４に示すように、チャックト
ップ２２の上方に来る。チャックトップ２２はこのと
き、Ｚ軸ステージにより下限位置まで下がった状態にあ
る。次に、チャックトップ２２がＺステージの駆動によ
り上昇して、搬送体７０に吸着保持されている液晶基板
５０をチャックトップ２２の周辺部に設けた吸着溝で吸
着保持し、搬送体７０からチャックトップ２２への液晶
基板５０の受け渡しが完了する。受け渡しが完了した
ら、搬送体７０は図５に示す待機位置に戻る。

【００２０】液晶基板５０を受け取ったチャックトップ
２２は、２個のアライメントカメラ４８（図２参照）と
Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、θ回転ステージとを用い
て、アライメントを実施する。このアライメントが完了
したら、Ｚステージの駆動によりチャックトップ２２が
上昇して、液晶基板５０の電極にプローブ装置のプロー
ブ針がコンタクトして、ＬＣＤパターン発生器からの信
号により液晶基板５０はテストパターンを表示する。オ
ペレータは、このテストパターンを観察して液晶基板５
０の良否の検査を行う。

【００２１】検査が終了したら、オペレータが終了スイ
ッチを押すことにより、液晶基板５０は上述と逆の順序
で、チャックトップ２２から搬送体７０に、さらに搬送
体７０から基板セット台５２、５４に受け渡される。基
板セット台５２、５４に戻った液晶基板５０はオペレー
タに取り外されて、次の液晶基板が基板セット台５２、
５４にセットされる。このようにして、液晶基板を次々
と検査できる。

【００２２】

【発明の効果】この発明の検査方法および装置は、手前
の基板セット部で表示パネル基板を水平状態でセットし
て、この基板を、水平面に対して傾斜した検査部に搬送
するようにしたので、検査装置の占有面積が小さくな
る。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるの
で、傾斜したチャックトップ面にセットする従来装置に
比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレ
ータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、
点灯検査作業の場所との間を往復移動する必要がなく、
作業性が良くなる。オペレータは、椅子に座った状態で
一連の作業を実施することも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の検査装置の一実施形態の側面断面図
である。

【図２】図１の検査装置の正面図である。

【図３】基板セット部に液晶基板をセットした状態の、
基板セット部と搬送機構とを示す斜視図である。

【図４】液晶基板をチャックトップのところまで搬送し
た状態の、基板セット部と搬送機構とを示す斜視図であ
る。

【図５】搬送体を待機位置に待機させた状態の、基板セ
ット部と搬送機構とを示す斜視図である。

【図６】液晶基板を検査するための従来の検査装置の側
面断面図である。

【図７】図６の従来の検査装置の正面図である。

【符号の説明】

２２チャックトップ２４プローブ装置４０検査部４２基板セット部４４搬送機構５０液晶基板５２、５４基板セット台５６、５８ガイド板６０、６２エアーシリンダ６４、６６搬送レール６８ローラ溝７０搬送体７２ローラ８０吸着パッド８２駆動レール８４ローディングホルダー８６クランクアーム

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【手続補正書】

【提出日】平成８年３月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】次の構成を備える表示パネル基板の検査
装置。（イ）水平面に対して傾斜した検査部。（ロ）前記検査部の手前かつ下方にあって表示パネル基
板を水平状態で載せることができる基板セット部。（ハ）前記基板セット部と前記検査部との間で表示パネ
ル基板を搬送する搬送機構。
【請求項２】前記搬送機構は、前記基板セット部から
前記検査部まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬
送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設け
られて表示パネル基板を吸着保持する吸着パッドとを備
えることを特徴とする請求項１記載の表示パネル基板の
検査装置。
【請求項３】前記搬送レールは、前記基板セット部の
付近にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近
にあって検査部のチャックトップの表面に平行に延びる
傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線
部とからなることを特徴とする請求項２記載の表示パネ
ル基板の検査装置。
【請求項４】前記搬送機構は、前記搬送レールの傾斜
部に平行な駆動レールと、この駆動レールに沿って摺動
するローディングホルダーと、このローディングホルダ
ーに回転可能に連結されているクランクアームとを備
え、このクランクアームが前記搬送体に回転可能に連結
されていることを特徴とする請求項３記載の表示パネル
基板の検査装置。
【請求項５】次の各段階を備える表示パネル基板の検
査方法。（イ）検査部の手前かつ下方にある基板セット部に水平
状態でセットされた表示パネル基板を搬送機構に受け渡
す段階。（ロ）水平面に対して傾斜した検査部まで前記搬送機構
で表示パネル基板を搬送する段階。（ハ）前記搬送機構から前記検査部のチャックトップに
表示パネル基板を受け渡す段階。（ニ）前記検査部においてチャックトップ上の表示パネ
ル基板をプローブ装置に接触させて、表示パネル基板を
点灯表示させる段階。（ホ）前記検査部から前記基板セット部まで前記搬送機
構で表示パネル基板を戻す段階。