JPH10268248A - 表示パネル基板の検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 手前の基板セット領域でワークテーブルに表
示パネル基板を水平状態でセットして、このワークテー
ブルを、水平面に対して傾斜した検査部に搬送するよう
にして、検査装置の占有面積を小さくし、基板のセット
作業を安定にし、オペレータの作業性を良くする。 【解決手段】 基板セット領域４２で液晶基板５０を水
平状態でワークテーブル４１にセットする。クランクホ
ルダー８４が駆動レール８２に沿って上昇すると、ワー
クテーブル４１を保持した搬送体７０はθ回転ステージ
３２の上方に来て、θ回転ステージ３２にワークテーブ
ル４１を受け渡す。搬送体７０は待機位置に移動する。
ワークテーブル４１を受け取ったθ回転ステージ３２は
アライメントを実施してから、上昇して、液晶基板５０
の電極をプローブ装置にコンタクトさせる。オペレータ
は、液晶基板５０に点灯表示されたテストパターンを観
察して液晶基板５０の良否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、水平面に対して
傾斜した検査部において表示パネル基板の点灯状態を目
視で検査するようにした検査方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１３は液晶表示パネルの基板（以下、
液晶基板という。）を検査するための従来の検査装置の
側面断面図、図１４はその正面図である。図１３におい
て、測定ステージ１０とプローブ装置１２は、共に、水
平面に対して傾斜している。図１４において、検査装置
の右側の開口部１４には、バックライト１１を備えた測
定ステージ１０が待機している。オペレータはこの測定
ステージ１０に液晶基板を載せる。測定ステージ１０の
外周部にはガイド板１５、１６があって、液晶基板の端
部をこのガイド板１５、１６に合わせることによって、
液晶基板の位置決めを行う。液晶基板は、バックライト
１１の外周部に設けられた吸着溝１８（負圧が供給され
る。）に吸着固定される。液晶基板を搭載した測定ステ
ージ１０は、そのＸ軸ステージが左方向に移動すること
により、プローブ装置１２の下方に搬送される。次に、
プローブ装置１２に設けられたアライメントカメラ２０
によりファインアライメントが行われ、プローブ針と液
晶基板の電極との位置合わせが完了する。

【０００３】それから、Ｚ軸ステージが上昇して測定ス
テージ１０が上昇し、液晶基板の電極にプローブ針がコ
ンタクトする。ＬＣＤパターン発生器からの信号により
液晶基板は全面点灯して、テストパターンを映し出す。
オペレータは、液晶基板のテストパターンを自分の目で
観察して、液晶基板の良品、不良品の判断をする。検査
が終了した液晶基板は、右側の開口部１４に搬送され
て、オペレータにより測定ステージ１０から外され、次
の液晶基板がセットされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の検査装
置は、液晶基板を測定ステージにセットするための基板
セット領域（装置右側の開口部１４に露出している部
分）と、液晶基板を点灯して検査を行う点灯検査部とが
左右に並んでいる。したがって、オペレータは基板セッ
ト領域と検査部とを絶えず行き来しなくてはならず、一
連の作業は立ち作業となり疲労が多いなど、作業性に問
題がある。また、この検査装置は、基板セット領域と検
査部とが左右に並んでいるので、プローブ装置の約２倍
の左右幅を必要とし、装置の占有面積が大きくなる。さ
らに、基板セット領域において測定ステージ面が水平面
から傾斜しているので、オペレータが液晶基板をセット
するときに液晶基板を落として破損させるおそれがあ
り、液晶基板の取り扱いに不安がある。

【０００５】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、オペレータの作業性
が良く、占有面積が小さく、液晶基板のセットも容易で
かつ安全な、表示パネル基板の検査方法および装置を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明の表示パネル基
板の検査装置は、次の（イ）〜（ニ）の構成を備えてい
る。（イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プ
ローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検
査部。（ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有
するワークテーブル。（ハ）前記ワークテーブルを前記
測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。
（ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域
と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬
送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域
にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になる
ように構成された搬送機構。

【０００７】検査部の手前の基板セット領域において、
表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセットす
ると、このワークテーブルは搬送機構によって、傾斜し
た検査部まで搬送される。このような装置構成を採用し
たことにより、基板セット領域と検査部を左右に配置し
た従来装置と比較して、検査装置の占有面積が小さくな
る。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるの
で、傾斜した測定ステージ面にセットする従来装置に比
べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレー
タは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点
灯検査作業の場所とを往復移動する必要がなく、オペレ
ータの疲労が少ない。

【０００８】この検査装置の測定対象は、点灯表示状態
をオペレータが観察して良否を判定する必要のある表示
パネル基板であり、代表的には、液晶表示パネルやプラ
ズマディスプレーパネルなどのフラットディスプレーパ
ネルの基板である。

【０００９】この検査装置では、検査部の手前かつ下方
に基板セット領域があるが、「手前」とは、点灯状態を
観察するためにオペレータが検査装置に向き合ったとき
に、検査装置からオペレータに向かう方向を意味する。

【００１０】この検査装置で使用する搬送機構は、基板
セット領域から検査部まで延びる１対の搬送レールと、
これらの搬送レールに沿って移動する搬送体を備えてい
る。そして、搬送体には、ワークテーブルを着脱可能に
保持できる保持機構を設けている。

【００１１】この発明は、本願出願人が出願した特願平
８−５２５４２号の発明（以下、先願発明という。）を
改良したものである。この先願発明と本願発明との違い
を以下に説明する。先願発明では、基板セット領域の基
板設置台に表示パネル基板を水平状態で設置してから、
この基板設置台から搬送体へと表示パネル基板を受け渡
している。そして、この搬送体を検査部まで搬送して、
搬送体から測定ステージへと表示パネル基板を受け渡し
ている。すなわち、表示パネル基板の受け渡し作業が２
回必要になる。この２回の受け渡し作業は、表示パネル
基板の位置ずれの原因となる。位置ずれが大きくなる
と、表示パネル基板が測定ステージに吸着固定された状
態で、表示パネル基板のアライメントマークがアライメ
ントカメラの視野に入らなくおそれがある。特に、吸着
パッドで吊り下げた状態の表示パネル基板を、水平面か
ら傾斜した状態で、測定ステージに受け渡すときに、吸
着パッドのゴムが歪むなどして、位置ずれが発生しやす
い。これに対して、本願発明では、表示パネル基板を最
初からワークテーブルにセットしているので、表示パネ
ル基板の位置ずれの原因となる受け渡し作業は、ワーク
テーブルをθ回転ステージに受け渡す作業の１回だけと
なる。しかも、吸着パッドで表示パネル基板を吊り下げ
る構造を採用していないので、傾斜状態での上述のゴム
の歪みの問題もなく、また、表示パネル基板が吸着パッ
ドから落下する危険もない。さらに、受け渡し作業が１
回なので、検査のサイクルタイムも短くなる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の検査装置の第
１の実施形態の側面断面図、図２はその正面図である。
図１において、この検査装置は、大きく分けて、検査部
４０と基板セット領域４２とその間の搬送機構４４とか
らなる。基板セット領域４２は検査部４０の手前（オペ
レータの側）かつ下方に位置しており、この基板セット
領域４２は前面テーブル４３のところに位置している。

【００１３】検査部４０には、測定ステージ２２とプロ
ーブ装置２４があり、両者は共に水平面に対して同じ角
度だけ傾斜している。装置フレームに取り付けられた基
台２１の上には、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２
８、Ｚ軸ステージ３０、θ回転ステージ３２がある。θ
回転ステージ３２の表面には、ワークテーブルを吸着保
持するための吸着溝３４（図３参照）がある。この吸着
溝３４には負圧が供給される。

【００１４】検査部４０の上部には、枠状のベースプレ
ート３６が４本の支柱３８によって基台２１に固定され
ている。このベースプレート３６にプローブ装置２４が
取り付けられている。プローブ装置２４はθ回転ステー
ジ３２に対向している。

【００１５】図２に示すように、プローブ装置２４には
複数のプローブブロック４６が固定されている。このプ
ローブブロック４６は、液晶基板の全ての電極にプロー
ブ針（またはその他の接触手段）が同時にコンタクトで
きるように、プローブ針がＴＡＢ単位にブロック化され
たものである。各プローブブロック４６のプローブ針
は、フレキシブル配線板により、液晶駆動回路を経由し
て、ＬＣＤパターン発生器につながっている。このプロ
ーブ装置２４にはアライメントを行うためのＣＣＤカメ
ラ４８が２台取り付けられている。

【００１６】図３、図４、図５は基板セット領域４２と
搬送機構４４とθ回転ステージ３２とを示す斜視図であ
り、図３は、搬送体７０によってワークテーブル４１を
基板セット領域まで搬送してきた状態、図４は搬送体７
０によってワークテーブル４１をθ回転ステージ３２の
ところまで搬送した状態、図５は搬送体７０を待機位置
に待機させた状態をそれぞれ示す。

【００１７】図３において、ワークテーブル４１は、そ
の上面が液晶基板５０の搭載面になっていて、この搭載
面の周辺部には、液晶基板５０を吸着固定するための吸
着溝５２が形成されている。この吸着溝５２には負圧が
供給される。吸着溝５２の内側には、液晶基板を点灯検
査するときに使うバックライト５３が設置されている。
ワークテーブル４１の互いに隣り合う二つの辺にはガイ
ド板５４、５５が搭載面から上方に突き出すように固定
されている。第１のガイド板５４は液晶基板の左右方向
の位置決めをするものであり、第２のガイド板５５は液
晶基板の前後方向の位置決めをするものである。液晶基
板５０をこのガイド板５４、５５に突き当てることで、
ワークテーブル４１の搭載面上の所定位置に液晶基板５
０を位置決めできる。

【００１８】図５に良く示されているように、基板セッ
ト領域４２と検査部４０の間には搬送機構４４がある。
この搬送機構４４は、１対の互いに平行な搬送レール６
４、６６を備えている。この搬送レール６４、６６は、
基板セット領域４２のところでは水平方向に延びており
（水平部）、検査部４０のところではθ回転ステージ３
２の表面に平行になるように水平面に対して傾斜してい
る（傾斜部）。そして、搬送レール６４、６６の水平部
と傾斜部の間は曲線部で滑らかにつながっている。搬送
レール６４、６６の内面にはローラ溝６８が形成されて
おり、このローラ溝６８の内部を搬送体７０のローラ７
２が転がることができる。これにより、搬送体７０は搬
送レール６４、６６に沿って摺動する。

【００１９】搬送体７０はコの字状のフレーム７１を備
えており、このフレーム７１の内面には、互いに対向す
る１対の搬送板７３が進退可能に取り付けられている。
搬送板７３は、２本のガイドシャフト７６で案内されな
がら、エアーシリンダ７４によって矢印７５の方向に進
退できる。フレーム７１の左右の外面には、それぞれ２
個のローラ７２が回転可能に取り付けられている。

【００２０】右側の搬送レール６６の外側には駆動レー
ル８２があり、この駆動レール８２に沿ってローディン
グホルダー８４が摺動する。駆動レール８２は搬送レー
ル６６の傾斜部と平行に配置されている。ローディング
ホルダー８４と、搬送体７０のフレーム７１は、クラン
クアーム８６を介して連結されている。ローディングホ
ルダー８４とクランクアーム８６の間、及び、クランク
アーム８６とフレーム７１の間は、回転可能に連結され
ている。ローディングホルダー８４が駆動レール８２に
沿って斜め上方に摺動すると、クランクアーム８６を介
してフレーム７１が引っ張られることにより、搬送体７
０が搬送レール６４、６６に沿って移動する。この実施
形態では、ローディングホルダー８４の駆動は、パルス
モータの回転運動を直線運動に変換することで、駆動レ
ール８２上を移動するようにしているが、ボールねじや
エアーシリンダなどのその他の駆動機構を用いてローデ
ィングホルダー８４を駆動してもよい。

【００２１】図６は搬送体７０とワークテーブル４１と
を着脱可能に保持するための保持機構を示す平面図であ
る。搬送体７０のコの字形のフレーム７１の左右の外面
にはエアーシリンダ７４が固定されていて、そのピスト
ン７７は、フレーム７１の貫通孔を通過してから搬送板
７３に固定されている。搬送板７３には１対のガイドシ
ャフト７６が固定されていて、このガイドシャフト７６
はフレーム７１のガイド孔に案内されている。エアーシ
リンダ７４のピストン７７が進退すると、搬送板７３は
ワークテーブル４１に近づいたり遠ざかったりする。搬
送板７３のほぼ中央には結合ピン７８が突き出してい
る。一方、ワークテーブル４１の左右の側面にはそれぞ
れ結合穴７９が形成されている。左右の搬送板７３がワ
ークテーブル４１に近づくと、各搬送板７３の結合ピン
７８がワークテーブル４１の左右の結合穴７９に入り、
搬送板７３とワークテーブル４１が結合される。この実
施形態では、搬送体７０とワークテーブル４１とを着脱
可能に保持する保持機構は、進退する１対の搬送板７３
と、この搬送板７３を駆動および案内するエアーシリン
ダ７４やガイドシャフト７６と、結合ピン７８と結合穴
７９の組み合わせとから成る。

【００２２】図７はθ回転ステージ３２とワークテーブ
ル４１とを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図で
ある。この断面図は図４の矢印６０の方向から見たもの
である。θ回転ステージ３２の上面には１対の結合ピン
５６が上方に突き出すように固定されている。一方、ワ
ークテーブル４１の底面には１対の結合穴５７が形成さ
れている。Ｚ軸ステージ３０の駆動によりθ回転ステー
ジ３２が上昇すると、結合ピン５６が結合穴５７に入
り、ワークテーブル４１がθ回転ステージ３２に結合す
る。それから、θ回転ステージ３２の表面の吸着溝３４
（図３を参照）に負圧を供給すると、ワークテーブル４
１がθ回転ステージ３２に吸着固定される。

【００２３】この図７では、搬送板７３の結合ピン７８
がワークテーブル４１の結合穴７９に結合する様子も示
している。また、ワークテーブル４１の上面の吸着溝５
２とバックライト５３も示している。さらに、フレーム
７１の外面のローラ７２がレール６４のローラ溝６８に
入っている様子も示している。

【００２４】次に、図３〜図５を参照して、この検査装
置の動作を説明する。この検査装置は、初期状態では、
図３に示すように、搬送体７０がワークテーブル４１を
保持した状態で基板セット領域４２に位置している。こ
のとき、ワークテーブル４１の搭載面は水平になってい
る。この状態で、オペレータは、ワークテーブル４１の
搭載面に液晶基板５０を載せる。そして、２個のガイド
板５４、５５に液晶基板５０の端部を押し当てることに
よって、液晶基板５０を位置決めする。それから、吸着
溝５２に負圧を供給して、液晶基板５０をワークテーブ
ル４１に吸着固定する。このようにして、液晶基板５０
はワークテーブル４１に対して正確に位置決めされ、こ
の位置決め状態が、検査が完了してワークテーブル４１
が基板セット領域４２に戻ってくるまで維持される。す
なわち、液晶基板５０自体の受け渡し作業は不要にな
る。

【００２５】次に、オペレータが操作パネルのスタート
スイッチを押すと、ローディングホルダー８４が駆動レ
ール８２に沿って上限位置まで上昇し、搬送体７０は、
図４に示すように、θ回転ステージ３２の上方に来る。
θ回転ステージ３２はこのとき、図７に示すように、Ｚ
軸ステージ３０により下限位置まで下がった状態にあ
る。それから、θ回転ステージ３２がＺ軸ステージ３０
の駆動により上昇して、搬送体７０に保持されているワ
ークテーブル４１が、θ回転ステージ３２に結合する。
それからθ回転ステージ３２の吸着溝３４に負圧を供給
してワークテーブル４１をθ回転ステージ３２に吸着固
定する。次に、搬送体７０のエアーシリンダ７４のピス
トンを収縮して、左右の搬送板７３を開くと、搬送板７
３の結合ピン７８がワークテーブル４１の結合穴７９か
ら抜ける。その後、図５に示すように、ローディングホ
ルダー８４を下げて、搬送体７０を待機位置、すなわち
検査部４０と基板セット領域４２の中間位置、まで下げ
て、この場所に待機させる。

【００２６】次に、図１に示すように、ワークテーブル
４１を受け取った測定ステージ２２は、２個のアライメ
ントカメラ４８（図２を参照）と、Ｘ軸ステージ２６、
Ｙ軸ステージ２８、θ回転ステージ３２とを用いて、フ
ァインアライメントを実施する。このファインアライメ
ントが完了したら、Ｚ軸ステージ３０の駆動によりワー
クテーブル４１が上昇して、液晶基板の電極にプローブ
装置２４のプローブ針がコンタクトして、ＬＣＤパター
ン発生器からの信号により液晶基板はテストパターンを
表示する。オペレータは、バックライトを点灯させた状
態で、このテストパターンを観察して液晶基板の良否の
検査を行う。

【００２７】検査が終了したら、オペレータが終了スイ
ッチを押すことにより、図５において、待機位置にあっ
た搬送体７０が検査部４０まで上昇して、ワークテーブ
ル４１は上述と逆の順序で、θ回転ステージ３２から搬
送体７０に受け渡されて、図３に示すように、基板セッ
ト領域４２まで戻ってくる。それから、オペレータはワ
ークテーブル４１から液晶基板５０を取り外して、次の
液晶基板５０をワークテーブル４１にセットする。この
ようにして、液晶基板５０を次々と検査できる。

【００２８】図８〜１０は、この発明の第２の実施形態
の図３〜図５と同様の図面である。図８において、この
実施形態では、ワークテーブル４１ａにはバックライト
が設けられておらず、拡散板８８だけが設けられてい
る。そして、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３
ａが設けられている。したがって、この第２の実施形態
では、ワークテーブル４１ａの厚さは第１の実施形態の
ものよりも薄くなっており、重量も軽くなっている。な
お、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３ａと拡散
板８８の両方を設けてもよい。

【００２９】図１１は、θ回転ステージ３２ａとワーク
テーブル４１ａとを着脱可能に結合する結合機構を示す
断面図である。この断面図は図９の矢印６０ａの方向か
ら見たものである。θ回転ステージ３２ａの上面は矩形
になっていて（図８を参照）、その左右両端に一段下が
った肩部６１が形成されている。この肩部６１の上面に
２個の結合穴６２と吸着溝３４ａ（図８を参照）が形成
されている。一方、ワークテーブル４１ａの左右両端部
の底面にはそれぞれ１対の（合計で４個の）結合ピン６
３が下方に突き出すように固定されている。ワークテー
ブル４１ａの中央部分は拡散板８８になっている。Ｚ軸
ステージ３０の駆動によりθ回転ステージ３２ａが上昇
すると、結合穴６２に結合ピン６３がに入り、ワークテ
ーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに結合される。そ
れから、θ回転ステージ３２ａの肩部６１の表面の吸着
溝３４ａ（図８を参照）に負圧を供給すると、ワークテ
ーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに吸着固定され
る。

【００３０】この第２の実施形態では、液晶基板のサイ
ズを変更する場合、θ回転ステージ３２ａに設けたバッ
クライト５３ａよりも小さいサイズであれば、ワークテ
ーブル４１の構成を変更するだけでよい。この点につい
て図１２を参照して説明する。

【００３１】図１２（Ａ）は、図１１に示したワークテ
ーブル４１ａとその着脱保持機構を示す平面図である。
２個のガイド板５４ａ、５５ａはワークテーブル４１ａ
の二つの辺に沿って固定されており、吸着溝５２ａはワ
ークテーブル４１ａの周辺の近傍に形成されている。そ
して、吸着溝５２ａの内側に拡散板８８が配置されてい
る。このワークテーブル４１ａに載せる液晶基板のサイ
ズは、ワークテーブル４１ａの外形寸法とほぼ同じであ
る。

【００３２】これに対して、液晶基板のサイズを小さく
した場合は、ワークテーブルの構成は図１２（Ｂ）に示
すようになる。このワークテーブル４１ｂは、外形寸法
については、図１２（Ａ）に示すワークテーブル４１ａ
と同じであって、同じ着脱保持機構を使うことができ
る。ただし、ガイド板と吸着溝と拡散板が異なってい
る。すなわち、ワークテーブル４１ｂでは、ガイド板５
４ｂ、５５ｂは、ワークテーブル４１ｂの各辺から所定
距離だけ中央寄りに配置されていて、吸着溝５２ｂも、
このガイド５４ｂ、５５ｂの内側に形成されている。そ
して、吸着溝５２ｂの内側に拡散板８８ｂが配置されて
いる。

【００３３】このように、第２の実施形態では、ワーク
テーブル４１ａからバックライト５３ａを分離して、θ
回転ステージ３２ａの側にバックライト５３ａを設けた
ことにより、液晶基板のサイズを変更しても、バックラ
イト５３ａのサイズよりも液晶基板の表示面が小さい限
りにおいて、バックライト５３ａを交換することなく、
ワークテーブルのガイド板と吸着溝と拡散板の構成を変
更するだけで足りる。したがって、θ回転ステージ３２
ａとそれに設けるバックライト５３ａは、検査する可能
性のある一番大きな液晶基板に対応できるような大きさ
にしておけばよい。

【００３４】この第２の実施形態は、ワークテーブル４
１ａとθ回転ステージ３２ａの構造以外は、上述の第１
の実施形態と基本的に同じ構造であり、その動作も同様
である。

【００３５】

【発明の効果】この発明は、検査部の手前の基板セット
領域で表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセ
ットして、このワークテーブルを、水平面に対して傾斜
した検査部に搬送するようにしたので、検査装置の占有
面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態で
セットできるので、傾斜した測定ステージ面にセットす
る従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さ
らに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作
業の場所と、点灯検査作業の場所との間を往復移動する
必要がなく、作業性が良くなる。オペレータは、椅子に
座った状態で一連の作業を実施することも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の検査装置の第１の実施形態の側面断
面図である。

【図２】図１の検査装置の正面図である。

【図３】ワークテーブルを基板セット領域にもって来た
状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図であ
る。

【図４】ワークテーブルを検査部まで搬送した状態の、
基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。

【図５】搬送体を待機位置に待機させた状態の、基板セ
ット領域と搬送機構とを示す斜視図である。

【図６】搬送体とワークテーブルとを着脱可能に保持す
るための保持機構を示す平面図である。

【図７】θ回転ステージとワークテーブルとを着脱可能
に結合する結合機構を示す断面図である。

【図８】この発明の第２の実施形態の図３と同様の斜視
図である。

【図９】第２の実施形態の図４と同様の斜視図である。

【図１０】第２の実施形態の図５と同様の斜視図であ
る。

【図１１】第２の実施形態の図７と同様の断面図であ
る。

【図１２】第２の実施形態の図６と同様の平面図であ
る。

【図１３】液晶基板を検査するための従来の検査装置の
側面断面図である。

【図１４】図１３に示す従来の検査装置の正面図であ
る。

【符号の説明】

２２ 測定ステージ ２４ プローブ装置 ２６ Ｘ軸ステージ ２８ Ｙ軸ステージ ３０ Ｚ軸ステージ ３２ θ回転ステージ ３４ 吸着溝 ４０ 検査部 ４１ ワークテーブル ４２ 基板セット領域 ４４ 搬送機構 ４６ プローブブロック ５０ 液晶基板 ５２ 吸着溝 ５３ バックライト ５４、５５ ガイド板 ５６ 結合ピン ５７ 結合穴 ６４、６６ 搬送レール ６８ ローラ溝 ７０ 搬送体 ７１ フレーム ７２ ローラ ７３ 搬送板 ７４ エアーシリンダ ７６ ガイドシャフト ７８ 結合ピン ７９ 結合穴 ８２ 駆動レール ８４ ローディングホルダー ８６ クランクアーム

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次の構成を備える表示パネル基板の検査
   装置。 （イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プロー
   ブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査
   部。 （ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワ
   ークテーブル。 （ハ）前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可
   能に結合するための結合機構。 （ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域
   と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬
   送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域
   にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になる
   ように構成された搬送機構。
2. 【請求項２】 前記搬送機構は、前記基板セット領域か
   ら前記検査部の付近まで延びる１対の搬送レールと、こ
   れらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送
   体に設けられていて前記ワークテーブルを着脱可能に保
   持できる保持機構とを備えることを特徴とする請求項１
   記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記搬送レールは、前記基板セット領域
   にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあ
   って前記測定ステージの表面に平行に延びる傾斜部と、
   前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからな
   ることを特徴とする請求項２記載の検査装置。
4. 【請求項４】 前記搬送機構は、前記搬送レールの傾斜
   部に平行な駆動レールと、この駆動レールに沿って摺動
   するローディングホルダーと、このローディングホルダ
   ーに回転可能に連結されているクランクアームとを備
   え、このクランクアームが前記搬送体に回転可能に連結
   されていることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
5. 【請求項５】 前記ワークテーブルに、液晶基板の点灯
   検査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請
   求項１記載の検査装置。
6. 【請求項６】 前記測定ステージに、液晶基板の点灯検
   査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請求
   項１記載の検査装置。
7. 【請求項７】 次の各段階を備える表示パネル基板の検
   査方法。 （イ）検査部の手前かつ下方にある基板セット領域にお
   いて水平状態のワークテーブルの搭載面に表示パネル基
   板を載せる段階。 （ロ）表示パネル基板を搭載した状態の前記ワークテー
   ブルを、前記基板セット領域から、水平面に対して傾斜
   した検査部まで、搬送機構によって搬送する段階。 （ハ）前記搬送機構から前記検査部の測定ステージに前
   記ワークテーブルを受け渡す段階。 （ニ）前記検査部において、前記ワークテーブル上の表
   示パネル基板をプローブ装置に接触させて、表示パネル
   基板を点灯表示させる段階。 （ホ）前記検査部から前記基板セット領域まで前記搬送
   機構で前記ワークテーブルを戻す段階。
8. 【請求項８】 前記表示パネル基板は液晶基板であり、
   液晶基板の点灯検査のためのバックライトを前記測定ス
   テージに設けて、液晶基板のサイズを変更しても前記バ
   ックライトを変更せずに、液晶基板のサイズに合わせて
   前記ワークテーブルの構成だけを変更することを特徴と
   する請求項７記載の検査方法。