KR100969539B1

KR100969539B1 - 점등 검사장치

Info

Publication number: KR100969539B1
Application number: KR1020090012396A
Authority: KR
Inventors: 유타카 코사카; 키요히사 사이토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2008-04-10
Filing date: 2009-02-16
Publication date: 2010-07-12
Also published as: KR20090107917A

Abstract

본 발명의 목적은, 액정 패널과 같은 검사대상판을 안전하고 확실하게 주고받는데 있다.

본 발명은 검사대상판의 전극에 접촉자를 접촉시켜 검사를 하는 점등 검사장치이다. 상기 검사대상판을 지지하는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 지지된 상기 검사대상판의 가장자리에 접하여 위치를 정하는 위치결정 기구와, 상기 검사대상판의 가장자리를 상기 위치결정 기구쪽으로 눌러 상기 검사대상판의 위치를 정하여 지지하는 푸셔 기구를 갖추며, 상기 위치결정 기구가 가동 기능을 갖고, 상기 검사대상판의 탈착 시, 상기 푸셔 기구와 함께 대기시킨다.

점등 검사, 검사대상판, 액정 패널, 워크 테이블, 접촉자, 프로브 유닛, 수도(受渡) 장치, 반송(搬送) 장치, 푸셔 기구, 패널 파지(把持) 기구, 위치결정 기구

Description

점등 검사장치{Lighting Inspection Apparatus}

본 발명은, 액정 표시 패널과 같은 검사대상판의 점등 검사를 위해 상기 검사대상판을 구동시켜, 그 좋고 나쁨을 검사하는 점등 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 점등 검사장치는, 검사대상판으로서의 액정 패널을 지지하여, 상기 액정 패널의 전극과 프로브를 정합시키기 위한 워크 테이블을 갖추고 있다. 종래의 워크 테이블로서, 특허문헌 1에 기재되어 있는 것이 알려져 있다.

상기 특허문헌 1의 액정 패널용 검사 스테이지는, 액정 패널의 거치대(載置臺)인 워크 테이블과, 상기 워크 테이블을 탑재하는 XYZθ 테이블 및 XYZθ 테이블과 워크 테이블 사이에 설치되는 백라이트를 갖추어 구성되어 있다.

워크 테이블은, 액정 패널을 수용하는 패널받이와, 액정 패널의 서로 이웃하는 두 가장자리를 수용하도록 패널받이로부터 돌출하는 제1 및 제2 스토퍼 수단과, 액정 패널의 서로 이웃하는 두 가장자리를 양 스토퍼 수단에 접하도록 액정 패널을 누르는 압압(押壓) 수단을 갖추어 구성되어 있다.

반송(搬送) 장치에 의해 반송된 액정 패널은, 워크 테이블에 놓인 후, 서로 이웃하는 두 가장자리가 압압 수단에 의해 양 스토퍼 수단에 눌려져, 소정의 위치에 위치 결정된다.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평11-14956호 공보

그러나, 상기 종래의 워크 테이블에서, 액정 패널은, 워크 테이블에 놓인 후, 양 스토퍼 수단에 눌려져 위치가 정해지지만, 액정 패널의 위치가 어긋나 있으면, 워크 테이블에 액정 패널이 확실하게 놓이지 않는 경우가 있다. 즉, 스토퍼 수단의 구조상, 액정 패널의 위치가 다소 어긋나 있으면, 스토퍼 수단으로 누를 경우에 미세 조정 등을 필요로 하는 경우가 있고, 워크 테이블에 액정 패널이 매끄럽게 놓이지 않는 경우가 있다.

본 발명의 목적은, 검사대상판을 확실하게 주고받을 수 있게 한 점등 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명에 따른 점등 검사장치는, 상기 과제를 해결하기 위해 만들어진 것으로, 검사대상판의 전극에 접촉자를 접촉시켜 검사를 하는 점등 검사장치에 있어서, 상기 검사대상판을 지지하는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 지지된 상기 검사 대상판의 가장자리에 접하여 위치를 정하는 위치결정 기구와, 상기 검사대상판의 가장자리를 상기 위치결정 기구쪽으로 눌러 상기 검사대상판의 위치를 정하여 지지하는 푸셔 기구를 갖추며, 상기 위치결정 기구가 가동 기능을 갖고, 상기 검사대상판의 탈착 시, 상기 푸셔 기구와 함께 대기시키는 것을 특징으로 한다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 검사대상판을 확실하게 주고받을 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치에 관하여, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 덧붙여 여기에서는, 검사대상판으로서 액정 패널을 예로 들어 설명한다. 그러므로, 이하에서는, 본 발명의 점등 검사장치를 액정 점등 검사장치로서 설명한다.

본 실시 형태에 따른 액정 점등 검사장치(1)는 도2에 나타나 있는 것처럼 구성되어 있다. 상기 액정 점등 검사장치(1)는, 액정 패널(2)(도9 참조)의 전극(도시되어 있지 않음)에 프로브(3)(도9 참조)를 접촉시켜, 전기 신호를 주고, 액정 패널(2)을 점등시켜, 검사자가 눈으로 보아 불량 등을 검사하는 장치이다. 즉, 본 실시 형태의 액정 점등 검사장치(1)에 있어서는, 액정 패널(2)을 경사지게 하여 사람의 손으로 검사를 하고 있다. 또한, 화상 처리에 의해, 자동으로 검사하게 해도 되 는 것은 말할 것도 없다.

이하, 이해를 용이하게 하기 위하여, 점등 검사장치, 액정 패널의 어느 것에 있어서나, 액정 패널의 긴 가장자리 방향(도4 중, 좌우 방향)을 X방향(X축)이라 하고, 짧은 가장자리 방향(도4 중, 상하 방향)을 Y방향(Y축)이라 하며, XY방향 모두에 수직인 방향을 Z방향(Z축)이라 하고, Z방향과 평행인 축을 중심으로 회전하는 방향을 θ방향(θ축)이라 한다.

액정 점등 검사장치(1)는, 도2 및 도3에 나타나 있듯이, 그 본체(4)의 내부에, 액정 패널(2)을 공급 배출하는 수도부(受渡部)(5)와, 검사를 하는 검사부(6)와, 이들 수도부(5) 및 검사부(6) 사이에서 액정 패널(2)을 반송하는 반송 장치(7)를 갖추어 구성되어 있다.

수도부(5)는, 외부로부터 삽입된 액정 패널(2)을 검사부(6)로 반송하고, 검사 종료 후의 액정 패널(2)을 외부로 반출하기 위한 장치이다. 여기에서는, 사람의 손으로 수도부(5)에 액정 패널(2)을 공급 배출한다.

수도부(5)는 개구부(9)를 갖추고 있으며, 상기 개구부(9) 속에 수도 장치(10)와, 반송 장치(7)가 설치되어 있다.

수도(受渡) 장치(10)는, 액정 패널(2)을 직접 주고받기 위한 장치이다. 즉, 수도 장치(10)는, 외부로부터 반입된 액정 패널(2)의 위치를 정하고 지지하여 반송 장치(7)로 건네고, 검사 종료 후의 액정 패널(2)을 반송 장치(7)로부터 받아 외부로 반송하기 위한 장치이다.

수도 장치(10)는, 위치결정 지지 기구(13)와, Z축 이동기구(14)로 구성되어 있다. 위치결정 지지 기구(13)는, 사각형의 지지판(15)과, 상기 지지판(15)으로부터 방사상으로 배설된 지지봉(16)과, 상기 지지판(15) 및 지지봉(16)에 각각 배설되어 액정 패널(2)을 그 뒷면으로 수용하여 지지하는 패널받이 부재(17)와, 각 패널받이 부재(17)에 의해 지지된 액정 패널(2)을 X방향 및 Y방향으로 지지하는 클램프 기구(18)로 구성되어 있다. 클램프 기구(18)는, X방향으로 배설된 X축 레일(19)과, 상기 X축 레일(19)에 이동 가능하게 설치된 가이드(20)와, 상기 가이드(20)에 설치된 패널 클램프(21)와, Y방향으로 배설된 Y축 레일(22)과, 상기 Y축 레일(22)에 이동 가능하게 설치된 가이드(23)와, 상기 가이드(23)에 설치된 패널 클램프(24)로 구성되어 있다. 이에 의해, 외부로부터 개구부(9)를 통해 반입된 액정 패널(2)이 위치결정 지지 기구(13)에 설치되면, 액정 패널(2)의 뒷면이 각 패널받이 부재(17)에 접촉한 상태로, 액정 패널(2)의 X방향 및 Y방향에서 패널 클램프(21과 24)가 접촉하여, 액정 패널(2)의 위치가 정해지고 지지되게 되어 있다.

Z축 이동기구(14)는, 위치결정 지지 기구(13)를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 기구이다. Z축 이동기구(14)는, 위치결정 지지 기구(13)를 지지하여 Z방향으로 이동시키는 Z방향 이동부(26)와, 상기 Z방향 이동부(26)를 액정 점등 검사장치(1)의 본체(4) 측에 고정하는 지주(支柱)(27)로 구성되어 있다. Z방향 이동부(26)는, Z축 방향으로 배설된 볼나사(29)와, 상기 볼나사(29)를 회전시키는 구동 모터(30)와, 볼나사(29)에 설치되어 위치결정 지지 기구(13)와 함께 Z방향으로 이동되는 가이드(31)로 구성되어 있다. 지주(27)에는, 회전 모터(32)가 설치되어, Z방향 이동부(26)를 회전하여 Z축의 방향을 조정할 수 있게 되어 있다.

반송 장치(7)는, 수도 장치(10)로부터 받은 액정 패널(2)을 검사부(6)로 반송함과 동시에, 검사 종료후의 액정 패널(2)을 검사부(6)에서 수도 장치(10)로 반송하기 위한 장치이다. 반송 장치(7)는, 도3, 도6∼8에 나타나 있듯이, 패널 파지(把持) 기구(34)와, 이동기구(35)로 구성되어 있다.

패널 파지 기구(34)는, 액정 패널(2)의 반송에 따라 상기 액정 패널(2)을 파지하기 위한 기구이다. 상기 패널 파지 기구(34)는, Y방향으로 배설된 Y방향 볼나사 지지판(37)과, 상기 Y방향 볼나사 지지판(37)에 지지되어 Y방향으로 배설된 볼나사(38)와, 상기 볼나사(38)를 회전 구동하는 구동 모터(39)와, 액정 패널(2)을 지지하여 반송하는 지지 암(40)으로 구성되어 있다. 볼나사(38)는, 연결 부재(41)에 의해 분할되어, 한쪽이 오른쪽 나사부(38A), 다른 쪽이 왼쪽 나사부(38B)로 되어 있다. 볼나사(38)는, Y방향 볼나사 지지판(37)의 지지판편(片)(37A)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 지지 암(40)은, 그 기단부의 너트(40A)를 통해, 상기 오른쪽 나사부(38A)와 왼쪽 나사부(38B)에 각각 설치되어 있다. 그리고 상기 2개의 지지 암(40)은, 볼나사(38)가 한 방향으로 회전하면 서로 근접하여 액정 패널(2)을 파지(把持)하고, 반대 방향으로 회전하면 서로 이간(離間)하여 액정 패널(2)의 파지를 해제하게 되어 있다. 각 지지 암(40)의 선단(先端)에는, 서로 마주 보는 방향에 패널 파지 부재(43)가 각각 설치되어 있다. 이에 따라, 각 지지 암(40)이 서로 근접함으로써 각 패널 파지 부재(43)에 의해 액정 패널(2)이 지지되고, 서로 이간함으로써 액정 패널(2)의 지지가 해제되게 되어 있다.

이동기구(35)는, 패널 파지 기구(34)를 지지하여 수도부(5)와 검사부(6) 사 이를 이동시키기 위한 기구이다. 상기 이동기구(35)는, X방향으로 평행하게 2개 배설된 베이스판(45)과, 각 베이스판(45)에 각각 X방향으로 배설된 레일(46)과, 상기 레일(46)에 이동 가능하게 지지됨과 동시에 Y방향 볼나사 지지판(37)을 지지하는 가이드(47)와, 각 베이스판(45)에 각각 X방향을 향해 설치된 볼나사(48)와, 상기 볼나사(48)를 회전 구동하는 구동 모터(49)와, Y방향 볼나사 지지판(37)에 설치되어 볼나사(48)에 결합된 너트부(50)로 구성되어 있다.

검사부(6)는, 수도부(5)로부터 건네진 액정 패널(2)을 검사하기 위한 장치이다. 검사부(6)는 XYZθ 스테이지(52)와, 백라이트(53)와, 워크 테이블(54)과, 프로브 유닛(55)과, 패널받이부(56)를 갖추어 구성되어 있다.

XYZθ 스테이지(52)는, 패널받이부(56)에 지지된 액정 패널(2)의 전극과, 프로브 유닛(55)의 각 프로브를 서로 정합시켜 접촉시키기 위한 기구이다. XYZθ 스테이지(52)는, 그 내부에, X이동기구, Y이동기구, Z이동기구, θ회전기구(모두 도시되어 있지 않음)를 갖추어 구성되어 있다.

백라이트(53)는, 패널받이부(56)에 지지된 액정 패널(2)을 그 뒷면으로부터 조명하기 위한 라이트이다. 상기 백라이트(53)는, XYZθ 스테이지(52)에 설치된 백라이트 베이스(58)의 위쪽 면에 지지되어 있다. 백라이트(53)의 위쪽에는 워크 테이블 수용 부재(59)가, 가장자리의 복수의 지주(60)에 의해 백라이트 베이스(58)에 고정되어 있다. 이에 따라, 백라이트(53)는, 백라이트 베이스(58)와 워크 테이블 수용 부재(59) 사이에 지지되어 있다.

워크 테이블(54)은, 패널받이부(56)를 지지하기 위한 판재이다. 워크 테이 블(54)은, 워크 테이블 수용 부재(59)에 설치되고, 지주(60) 및 백라이트 베이스(58)를 사이에 두고 XYZθ 스테이지(52)에서 XYZ 방향으로 이동되고, θ방향으로 회전되게 되어 있다. 워크 테이블(54)은, 워크 테이블 수용 부재(59)에 탈착 가능하게 설치된 워크 테이블 베이스(61)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 유닛(55)은, 액정 패널(2)의 각 전극에 직접 접촉하여 액정 패널(2)에 전기 신호를 줌으로써, 액정 패널(2)을 점등시키기 위한 장치이다. 프로브 유닛(55)은 주로, 액정 점등 검사장치(1)의 본체(4) 측에 지지된 프로브 스테이지(63)와, 상기 프로브 스테이지(63)에 지지된 프로브 베이스(64)와, 상기 프로브 베이스(64)에 지지된 프로브 조립체(65) 및 얼라인먼트 카메라(66)를 갖추어 구성되어 있다. 프로브 조립체(65)의 패널받이부(56) 측에 프로브(3)가 설치되어 있다.

패널받이부(56)는, 액정 패널(2)의 위치를 정하여 지지하기 위한 부재이다. 패널받이부(56)는, 도1, 9∼12에 나타나 있듯이, 지지 프레임체(70)와, 위치결정 기구(71)와, 푸셔 기구(72)를 갖추어 구성되어 있다.

지지 프레임체(70)는, 액정 패널(2)을 지지하기 위한 프레임체이다. 지지 프레임체(70)는, 액정 패널(2)의 치수와 거의 같은 치수의 사각형의 프레임 형태로 형성되어 있다. 지지 프레임체(70)는, 워크 테이블(54)의 위쪽에 설치되어 있다. 지지 프레임체(70)의 서로 이웃하는 2개의 변에는, 위치결정 기구(71)가 설치되어 있다. 각 위치결정 기구(71)에 대향하는, 서로 이웃하는 2개의 변에는, 푸셔 기구(72)가 설치되어 있다.

위치결정 기구(71)는, 액정 패널(2)의 가장자리에 접하여 상기 액정 패널(2) 의 위치를 정하기 위한 기구이다. 위치결정 기구(71)는, 도1, 8, 11에 나타나 있듯이, 지지 프레임체(70)의 홈(74)에 수용되어 있다. 위치결정 기구(71)는, 홈(74)에 장착된 상태로 워크 테이블 베이스(61)에 고정되는 레일(75)과, 상기 레일(75)에 슬라이드 가능하게 장착된 가이드(76)와, 워크 테이블 베이스(61) 측에 지지된 상태로 가이드(76)에 연결되어 그 가이드(76)를 설정 압력으로 누름과 동시에, 이동 가능하게 지지하는 제어 실린더(77)와, 가이드(76)에 설치된 위치결정 핀(78)으로 구성되어 있다. 위치결정 핀(78)은, 액정 패널(2)의 가장자리에 직접 접촉하는 핀이다.

제어 실린더(77)는, 위치결정 핀(78)을 액정 패널(2)의 가장자리에 내리누르기 위한 압압(押壓) 수단이다. 제어 실린더(77)는, 위치결정 핀(78)을 가동시키는 가동 기능으로서, 위치결정 핀(78)을 액정 패널(2)의 가장자리에 설정 압력으로 누르는 기능과, 액정 패널(2)의 탈착 시에 대기 위치로 이동시키는 기능(도12 중, t1만큼 이동하여 대기 상태가 되는 기능)을 갖추고 있다. 제어 실린더(77)에 의한 액정 패널(2)에의 압력은, 푸셔 기구(72)에 의한 액정 패널(2)에의 압력보다 크게 설정되어 있다. 이는, 위치결정의 기준이 되는 위치결정 핀(78)이 용이하게 이동하지 않도록 하기 위함이다.

푸셔 기구(72)는, 액정 패널(2)의 가장자리를 위치결정 기구(71)쪽으로 내리눌러 액정 패널(2)의 위치를 정하고 지지하기 위한 기구이다. 푸셔 기구(72)는, 도1, 8, 10에 나타나 있듯이, 홈(81)에 장착된 상태로 워크 테이블 베이스(61)에 고정되는 레일(82)과, 상기 레일(82)에 슬라이드 가능하게 장착된 가이드(83)와, 워 크 테이블 베이스(61) 측에 지지된 상태로 가이드(83)에 연결되어 그 가이드(83)를 설정 압력으로 누름과 동시에, 이동 가능하게 지지하는 제어 실린더(84)와, 가이드(83)에 설치된 푸셔(85)로 구성되어 있다. 푸셔(85)는, 액정 패널(2)의 가장자리에 직접 접촉하는 부재이다.

제어 실린더(84)는, 위치결정 기구(71)와 거의 마찬가지로, 푸셔(85)를 액정 패널(2)의 가장자리에 설정 압력으로 누르는 기능과, 액정 패널(2)의 탈착 시에 대기 위치로 이동시키는 기능(도12 중, t2만큼 이동하여 대기 상태가 되는 기능)을 갖추고 있다. 제어 실린더(84)에 의한 액정 패널(2)에의 압력은, 위에서 설명한 바와 같이, 위치결정 기구(71)에 의한 액정 패널(2)에의 압력보다 작게 설정되어 있다.

위치결정 기구(71)와 푸셔 기구(72)는, 지지 프레임체(70)의 대향하는 변에 각각 설치되어 있다. 위치결정 기구(71)는 2개씩, 푸셔 기구(72)는 1개씩 설치되어 있다. 위치결정 기구(71) 및 푸셔 기구(72)의 개수는, 액정 패널(2)의 크기 등에 따라 적당히 설정한다.

지지 프레임체(70)의 대향하는 2개의 변에는, 지지 프레임체(70)에 대하여 액정 패널(2)을 탈착할 때, 패널 파지 부재(43)가 끼워지는 패널 파지 부재 도입부(86)가 설치되어 있다.

[동작]

이상과 같이 구성된 점등 검사장치는 다음과 같이 동작한다.

액정 패널(2)이 본체(4)의 개구부(9)에서 수도부(5)로 반입되면, 상기 액정 패널(2)은, 수도 장치(10)의 패널받이 부재(17)에 의해 지지되고 패널 클램프(21)에 의해 위치가 정해진다. 이어서, Z축 이동기구(14)에 의해 Z축 방향으로 이동되어 반송 장치(7)로 건네진다.

반송 장치(7)는, 액정 패널(2)을 Y축 구동부(40)의 패널 파지 부재(43)로 지지하여 검사부(6)로 반송한다.

검사부(6)에서는, 패널 파지 부재(43)가 지지 프레임체(70)의 패널 파지 부재 도입부(86)에 끼워지고, 액정 패널(2)을 패널받이부(56)로 건넨다.

이 때, 위치결정 기구(71) 및 푸셔 기구(72)는, 그 제어 실린더(77)와 제어 실린더(84)가, 위치결정 핀(78)과 푸셔(85)를 대기 위치로 이동시키고 있다. 이 때문에, 액정 패널(2)은 매끄럽게 지지 프레임체(70)에 놓인다.

이어서, 위치결정 기구(71)의 제어 실린더(77)가 위치결정 핀(78)을 대기 상태에서 원래 설정 위치로 이동시키고, 그 설정 위치에서 액정 패널(2)의 가장자리를 지지한다. 그 다음, 푸셔 기구(72)의 제어 실린더(84)가 푸셔(85)를 대기 상태에서 원래 설정 위치로 이동시키고, 액정 패널(2)의 가장자리를 설정 압력으로 눌러 지지한다.

이 때, 위치결정 기구(71)의 제어 실린더(77)의 설정 위치에서의 압력 쪽이, 푸셔 기구(72)의 제어 실린더(84)보다 강한 힘으로 액정 패널(2)을 지지하고 있기 때문에, 액정 패널(2)은 설정 위치에서 고정된다.

이 상태에서, 검사가 종료되면, 상기 제어 실린더(77) 및 제어 실린더(84)가 위치결정 핀(78) 및 푸셔(85)를 대기 위치로 이동시켜, 액정 패널(2)의 가장자리로부터 떨어진다.

이 상태로, 액정 패널(2)을 반송 장치(7)의 패널 파지 부재(43)가 용이하게 파지(把持)하여 수도부(5)로 반송한다.

그 후, 액정 패널(2)이 본체(4)의 개구부(9)에서 외부로 반출된다.

[효과]

이상과 같이, 액정 패널(2)을 지지할 때, 위치결정 기구(71)의 제어 실린더(77)의 설정 위치에서의 압력 쪽이, 푸셔 기구(72)의 제어 실린더(84)보다 강한 힘으로 액정 패널(2)을 지지하고, 액정 패널(2)의 탈착 시에 위치결정 핀(78) 및 푸셔(85)가 대기 위치로 이동되기 때문에, 액정 패널(2)을 안전하고 확실하게 주고받을 수 있게 된다.

그 결과, 액정 패널(2)의 반입, 반출 작업이 매끄럽게 이루어져, 검사 작업성이 향상된다.

도1은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 검사부를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치를 나타낸 사시도이다.

도3은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 내부 구조를 나타낸 사시도이다.

도4는 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 수도 장치를 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 수도 장치를 나타낸 측면도이다.

도6은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 반송 장치의 주요부를 나타낸 정면도이다.

도7은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 수도 장치를 나타낸 정면도이다.

도8은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 패널받이부를 나타낸 사시도이다.

도9는 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 패널받이부를 나타낸 평면도이다.

도10은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 푸셔 기구를 나타낸 주요부 사시도이다.

도11은 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 위치결정 기구를 나타낸 주요부 사시도이다.

도12는 본 발명의 실시 형태에 따른 점등 검사장치의 패널받이부를 나타낸 평면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

1: 점등 검사장치 2: 액정 패널

3: 프로브 4: 본체

5: 수도부(受渡部) 6: 검사부

7: 반송(搬送) 장치 9: 개구부

10: 수도 장치 11: 반송 장치

13: 위치결정 지지 기구 14: Z축 이동기구

15: 지지판 16: 지지봉

17: 패널받이 부재 18: 클램프 기구

19: X축 레일 20: 가이드

21: 패널 클램프 22: Y축 레일

23: 가이드 24: 패널 클램프

26: Z방향 이동부 27: 지주(支柱)

29: 볼나사 30: 구동 모터

31: 가이드 32: 회전 모터

34: 패널 파지(把持) 기구 35: 이동기구

37: Y방향 볼나사 지지판 38: 볼나사

38A: 오른쪽 나사부 38B: 왼쪽 나사부

39: 구동 모터 40: 지지 암

41: 연결 부재 43: 패널 파지 부재

45: 베이스판 46: 레일

47: 가이드 48: 볼나사

49: 구동 모터 50: 너트부

52: XYZθ 스테이지 53: 백라이트

54: 워크 테이블 55: 프로브 유닛

56: 패널받이부 58: 백라이트 베이스

59: 워크 테이블 수용 부재 60: 지주

61: 워크 테이블 베이스 63: 프로브 스테이지

64: 프로브 베이스 65: 프로브 조립체

66: 얼라인먼트 카메라 70: 지지 프레임체

71: 위치결정 기구 72: 푸셔 기구

74: 홈 75: 레일

76: 가이드 77: 제어 실린더

78: 위치결정 핀 81: 홈

82: 레일 83: 가이드

84: 제어 실린더 85: 푸셔

86: 패널 파지 부재 도입부

Claims

검사대상판의 전극에 접촉자를 접촉시켜 검사를 하는 점등 검사장치에 있어서,

상기 검사대상판을 지지하는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 지지된 상기 검사대상판의 가장자리에 접하여 위치를 정하는 위치결정 기구와, 상기 검사대상판의 가장자리를 상기 위치결정 기구쪽으로 눌러 그 검사대상판의 위치를 정하여 지지하는 푸셔 기구를 갖추며,

상기 위치결정 기구가 가동 기능을 갖고, 상기 검사대상판의 탈착 시에, 상기 푸셔 기구와 함께 대기시키는 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 위치결정 기구가, 상기 검사대상판의 가장자리부에 직접 접촉하는 위치결정 핀과, 상기 위치결정 핀을 상기 검사대상판의 가장자리부에 누르는 압압(押壓) 수단을 갖추고,

상기 압압 수단이, 상기 위치결정 핀을 누름과 동시에 퇴피(退避)시키는 기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 위치결정 기구의 압압 수단에 의한 상기 검사대상판으 로의 압력을, 상기 푸셔 기구에 의한 상기 검사대상판으로의 압력보다 크게 설정한 것을 특징으로 하는 점등 검사장치.