TWI401436B - 探針單元及檢查裝置 - Google Patents

Description

探針單元及檢查裝置

本發明是關於應用在液晶面板等的點亮檢查之探針單元及檢查裝置。

在液晶面板等的製造過程，必須檢查該面板是否具有符合規格書的性能。在該檢查，一般是使用具備探針單元(具有複數個探針)之檢查裝置。在此情況，是在檢查裝置的各探針接觸檢查對象面板的全部端子(full contact)的狀態下，施加檢查訊號使其點亮而進行檢查。

在這種檢查裝置，若在點亮檢查時發生線缺陷等的異常，為了判別該異常是起因於面板或是起因於探針單元，須進行該點亮檢查步驟以外的其他檢查。具體而言，可採取使用簡易點亮檢查用探針單元(使用導電性橡膠)的檢查方法、或使用1G1D檢查用探針單元的檢查方法，來判別前述異常是起因於面板或是起因於探針單元。前述檢查方法的例子包括專利文獻1。

[專利文獻1]日本特開平9-138422號公報

然而，在前述檢查裝置，由於是進行通常的點亮檢查步驟以外的其他檢查，而必須經由2種檢查步驟，因此有檢查效率不佳的問題。

本發明是為了解決上述問題點而開發完成的，其目的是為了提供：在通常的點亮檢查步驟即可判別前述異常是起因於面板或是起因於探針單元之探針單元及檢查裝置。

為了解決前述課題之本發明的探針單元，其特徵在於，係具備：讓複數個探針分別接觸設置於檢查對象面板之複數個端子而進行點亮檢查之探針塊、在讓前述各探針分別接觸前述各端子而進行點亮檢查時使各端子短路之短路裝置；前述短路裝置是具備：與前述各端子對置而同時接觸前述各端子以使全部端子短路之短路構件、在被前述探針塊側支承的狀態下支承該短路構件而使其接觸前述各端子之推壓機構。

本發明之檢查裝置，是用來檢查檢查對象面板之檢查裝置，其特徵在於，係具備：將從外部插入的檢查對象面板在檢查結束後往外部搬出之面板設置部、將從該面板設置部送來的檢查對象面板予以支承而進行試驗之測定部；作為前述測定部的探針單元是使用前述探針單元。

在前述構造，當前述檢查對象面板發生線缺陷等的異常時，藉由前述推壓機構使前述短路構件接觸前述各端子，而對全部端子施加檢查訊號，藉此容易判別前述檢查對象面板的異常是起因於面板或是起因於探針單元，而能提昇檢查效率。

以下，參照圖式來說明本發明的實施形態之探針單元及檢查裝置。

本實施形態之檢查裝置1，如第2圖所示，主要是由面板設置部2及測定部3所構成。

面板設置部2，是用來將從外部插入的液晶面板5搬運至測定部3並將檢查結束後的液晶面板5搬運至外部的裝置。面板設置部2，在開口部6的裏側具有面板交接裝置7，利用該面板交接裝置7來從外部接收液晶面板5，再藉由搬運臂8支承而搬運至測定部3。此外，面板交接裝置7，是接收在測定部3檢查結束後的液晶面板5而搬運至外部。

測定部3，是將從面板設置部2送來的液晶面板5予以支承而進行試驗的裝置。測定部3，是具備工作台10和探針單元11等。

工作台10，是用來支承液晶面板5並調整XYZθ方向的裝置。工作台10，是將藉由搬運臂8送來的液晶面板5予以支承，且讓該液晶面板5正確對準而接觸探針單元11。液晶面板5，如第7圖所示係具備：顯示影像之面板顯示部5A、位於面板顯示部5A的周圍之面板端子部5B、設置在面板端子部5B而將訊號傳送給面板顯示部5A之端子5C。探針單元11是正確地對準端子5C。

探針單元11，是用來接觸液晶面板5的端子5C而施加檢查訊號來讓液晶面板5點亮(檢查用)的裝置。探針單元11，如第1、3~7圖所示係具備：探針座12、探針裝置13、對準攝影機15、短路裝置15。

探針座12，是將探針裝置13和對準攝影機15一體地支承之板材。該探針座12，在固定於裝置本體側的狀態下，支承探針裝置13和對準攝影機15等而讓其等面對工作台10上的液晶面板5。

探針裝置13，是用來進行通常的全部端子接觸(full contact)的點亮檢查的裝置。該探針裝置13，如第1、4圖所示是由支承部16及探針組裝體17所構成。

前述支承部16，是以其基端側被前述探針座12支承的狀態下。藉由其前端側支承前述探針組裝體17的構件。該支承部16係具備：直接安裝於前述探針座12而支承全體之懸吊塊19、在該懸吊塊19的前端部透過導軌20而被支承成可滑動之滑動塊21、在該滑動塊21的下側面安裝成一體之探針板22。滑動塊21相對於懸吊塊19的高度，是藉由調整螺絲23來調整。

探針組裝體17，是接觸液晶面板5的電路之端子5C而施加檢查訊號的構件。探針組裝體17是安裝在探針板22的下側面。該探針組裝體17係具備探針塊24及探針25。探針塊24是直接安裝在探針板22的下側面。在該探針塊24安裝探針25。探針25，是接觸液晶面板5的電路之端子5C而施加點亮檢查用的檢查訊號的針材。探針25，如第1圖所示是透過TCP27、連接FPC28、中繼基板29及纜線30來連接至訊號產生器31。訊號產生器31是用來產生檢查訊號的裝置。訊號產生器31是產生個別的檢查訊號，而透過TCP27等發送至各探針25。

對準攝影機14，如第3圖所示，是在使探針裝置13的探針塊24的各探針25和液晶面板5的端子5C對準時，用來攝影設置在液晶面板5的表面之對準標記之攝影機。對準攝影機14是分別設置在3個探針裝置13的兩側。

短路裝置15，是在液晶面板5發生線缺陷等的異常時用來進行短路檢查的裝置。亦即，短路裝置15，是在使探針塊24的各探針25分別接觸液晶面板5的各端子5C而進行液晶面板5的點亮檢查之際，在該液晶面板5發生異常時，用來讓液晶面板5的各端子5C成為短路狀態的裝置。短路裝置15，如第1、4~7圖所示，是由短路構件33和推壓機構34所構成。

短路構件33，是同時接觸前述液晶面板5的各端子5C而使全部端子5C短路的構件。短路構件33，在藉由推壓機構34支承的狀態下，是與前述液晶面板5的各端子5C對置。短路構件33，是由豎板部33A及上部橫板部33B所構成，呈截面L字形。短路構件33的長度是設定成與探針塊24的寬度大致相同。短路構件33是由導電性橡膠所構成。如此，具有柔軟性之薄型的導電性橡膠製的豎板部33A，可將各端子5C全體覆蓋而同時且確實的接觸(第7圖的狀態)，而使全部端子5C確實地成為短路狀態。

推壓機構34，是用來支承短路構件33，在液晶面板5發生異常時，使短路構件33的豎板部33A接觸前述各端子5C的機構。推壓機構34係具備：基板部35、支承腕部36、滑動板部37、保持部38、移動支承部39。

基板部35，是用來支承支承腕部36等的構件。基板部35，是固定在支承部16的懸吊塊19的上面側。在基板部35設置複數個螺孔35A。對應於該基板部35的螺孔35A，在懸吊塊19的上側面也設有螺孔19A。藉由將螺絲40旋入螺孔35A、19A，而使基板部35固定在懸吊塊19的上側面。

在基板部35的上側面設有鉸鏈41和支承台部42。鉸鏈41(轉動機構)，是用來將構成推壓機構34的支承腕部36等藉由前述探針塊24側的懸吊塊19支承成可轉動。具體而言，鉸鏈41，是用來將後述支承腕部36的水平板部45的基端部藉由懸吊塊19支承成可轉動。支承台部42，是用來將支承腕部36的水平板部45支承成水平狀態。支承台部42的上側面是形成平坦面狀，該支承台部42的上側面是抵接於支承腕部36的水平板部45的側面(第1圖中的下側面)。而且，在支承腕部36的水平板部45的基端部被鉸鏈41支承的狀態下，藉由使水平板部45的中間部抵接於支承台部42，利用鉸鏈41和支承台部42來將支承腕部36的水平板部45支承成水平狀態。在支承台部42設有螺孔42A，藉由將螺絲43旋入該螺孔42A和後述支承腕部36的水平板部45的螺孔45A，而將支承腕部36固定在基板部35。

支承腕部36，是被前述探針裝置13的支承部16側支承，用來將滑動板部37以面對液晶面板5的複數個端子5C(與前述探針25接觸)側的方式支承成可滑動。支承腕部36，是將滑動板部37支承成可滑動且能固定在設定位置。支承腕部36，主要是由水平板部45和垂直板部46所構成。水平板部45，在將滑動板部37支承成面對液晶面板5之複數個端子5C側的狀態，是呈水平配設的構件。水平板部45，其基端部被前述基板部35的鉸鏈41支承成可轉動，其一側面(第1圖中的下側面)抵接於基板部35的支承台部42，而被支承成水平狀態。水平板部45當中，在與前述支承台部42的螺孔42A相對向的位置，設置與該支承台部42的螺孔42A同樣的螺孔45A。

垂直板部46，是用來將滑動板部37支承成可滑動的構件。垂直板部46，是和水平板部45設置成一體。垂直板部46，是從被支承成水平狀態的水平板部45垂直往下下垂而形成。在垂直板部46，沿垂直方向(水平板部45被配設成水平狀態之垂直方向)設有導軌57。

滑動板部37，是以將短路構件33支承成面對液晶面板5的端子5C的狀態來滑動，而使短路構件33相對於端子5C適當地進行裝卸的構件。滑動板部37，是由平板狀構件所構成，在其一側面設置導件58。該導件58是以可滑動的方式嵌合於前述垂直板部46的導軌57，如此藉由垂直板部46將滑動板部37支承成可沿上下方向滑動。

在滑動板部37的基端部(第1圖的上端部)設有：供後述的推桿49的螺桿部54旋入之螺孔37A。將推桿49的螺桿部54旋入螺孔37A並將該推桿49適當地旋轉，即可調整滑動板部37的位置。滑動板部37的前端部(第1圖的下端部)是呈凸緣狀擴大以安裝保持部38。

保持部38，是用來支承短路構件33的構件。保持部38的基端部是被滑動板部37的前端部支承，保持部38的前端部是將短路構件33支承成面對液晶面板5的端子5C的狀態。

移動支承部39，是用來在設定位置(待機位置和短路位置)支承滑動板部37的機構。該移動支承部39，如第5、6圖所示，是設置在水平板部45的前端部。該移動支承部39是由推桿49和制動件50所構成。

推桿49，是透過滑動板部37等將短路構件33按壓於端子5C的構件。在水平板部45的前端部，設有貫穿垂直方向(在該水平板部45被水平支承的狀態下)之推桿支承孔51。推桿49，是被該推桿支承孔51支承成可滑動。推桿49，在上端設有頭部49A，在下端設有凸緣部49B，以避免從推桿支承孔51脫落。再者，在推桿49的頭部49A側設置彈簧52。該彈簧52，是將推桿49往上方(在支承腕部36的水平板部45呈水平狀態下之上方)彈壓。再者，彈簧52也具備：避免被推桿支承孔51支承的推桿49自由旋轉之旋轉抑制功能。如此，在旋轉推桿49而利用後述的螺桿部54來對滑動板部37的高度進行微調後，可避免推桿49旋轉而造成滑動板部37的高度改變。

在推桿49的中間部設置供制動件50嵌合之嵌合溝槽53。該嵌合溝槽53是在推桿49的中間部形成環狀。嵌合溝槽53是設置在：當制動件50嵌合於該嵌合溝槽53而將推桿49定位支承的狀態下，透過滑動板部37的保持部38而被支承的短路構件33能確實地接觸液晶面板5之複數個端子5C的位置(短路位置)。在推桿49的下端部設置螺桿部54，以旋入滑動板部37。如此，推桿49，藉由將制動件50嵌合於嵌合溝槽53而被支承在短路位置，當液晶面板5的端子5C接觸探針25時，是透過滑動板部37等將短路構件33按壓於端子5C。

制動件50，是將推桿49在待機位置和短路位置之間進行切換的構件。該制動件50，是設置在水平板部45的前端部。在水平板部45的前端部，沿水平方向(水平板部45成為水平狀態下之水平方向)設置制動件支承孔55。該制動件支承孔55，是從水平板部45的前端部貫穿到推桿支承孔51。在制動件支承孔55的內壁形成螺紋，以供制動件50旋入。制動件50是由：嵌合爪部50A、螺紋部50B、旋鈕部50C所構成。嵌合爪部50A，是嵌合於推桿49的嵌合溝槽53而在短路位置支承推桿49的部分。螺紋部50B，是用來旋入制動件支承孔55的部分。旋鈕部50C，是用來旋轉制動件50使其在制動件支承孔55內移動，而使嵌合爪部50A相對於推桿49的嵌合溝槽53進行出入的部分。藉由旋轉該旋鈕部50C而將嵌合爪部50A從嵌合溝槽53拔出，利用彈簧52能使推桿49移動至待機位置；藉由壓下推桿49而使嵌合爪部50A嵌合於嵌合溝槽53，可將推桿49支承在短路位置。

以上構造之探針單元11可發揮以下的作用。此外，由於檢查裝置整體的作用是與習知的檢查裝置相同，在此是以探針單元11的作用為中心來作說明。

將被工作台10支承的液晶面板5正確地對準，而使液晶面板5的端子5C和探針塊24的探針25互相接觸。

接著，將訊號產生器31所產生的檢查訊號透過纜線30等而從探針25施加至液晶面板5的端子5C，以進行液晶面板5的點亮檢查。

這時，若發生異常，將與發生該異常的位置對應之探針單元11的短路裝置15從待機模式切換至進行短路檢查的短路模式。

通常是成為待機模式。亦即，制動件50的嵌合爪部50A脫離推桿49的嵌合溝槽53而使滑動板部37被彈簧52推向上方以在待機位置待機之待機模式。如此，短路構件33是被支承在離開端子5C的位置。而從該待機模式切換至短路模式。

在短路模式，是將推桿49壓下，而使推桿49的嵌合溝槽53和制動件50的嵌合爪部50A的位置對齊以將制動件50旋入，而使嵌合爪部50A嵌合於嵌合溝槽53。如此，短路構件33的前端部(下端部)是被支承在：與探針25的前端高度相同，或比探針25的前端更低的位置。

在此狀態下，若工作台10動作而使液晶面板5的端子5C接觸探針25，在此同時探針25所接觸的全部端子5C會和短路構件33接觸，而使該等端子5C全部成為短路狀態。

在此狀態下，若從訊號產生器31產生檢查訊號，即使異常是起因於探針單元的情況，各探針25所發送的檢查訊號會施加至全部的端子5C(藉由短路構件33而成為短路狀態)。亦即，可確實地對各端子5C施加檢查訊號。

即使是短路模式下，在液晶面板5發生異常的情況，可知異常是起因於面板。另一方面，在短路模式下，在液晶面板5未發生異常的情況，可知異常是起因於探針單元。據此即可進行隨後的處理。

在探針單元11，將制動件50旋鬆而使嵌合爪部50A脫離嵌合溝槽53，以使滑動板部37返回待機位置。

在進行維修時，如第4圖所示，取下螺絲43，以轉動機構之鉸鏈41為中心而使短路裝置15轉動。在此狀態下進行探針塊24等的維修。也能進行短路裝置15本身的維修。

如上述般，在探針裝置13設置短路裝置15，而能切換成待機模式和短路模式，因此在點亮檢查步驟發生異常時，可容易且確實地判別該異常是起因於面板或是起因於探針單元。

如此，不須另外設置點亮檢查步驟以外的其他檢查步驟，而能謀求檢查作業的效率化。

此外，由於短路裝置15能以轉動機構之鉸鏈41為中心而轉動，故容易進行維修。

由於短路構件33是由將液晶面板5之複數個端子5C全體覆蓋而同時接觸之導電性橡膠所構成，可容易且確實地讓全部端子5C短路。

由於推壓機構34具備：將短路構件33以支承成面對液晶面板5的端子5C的狀態滑動而使短路構件33相對於端子5C進行裝卸之滑動板部37、以及讓該滑動板部37移動至待機位置和短路位置並予以支承的移動支承部39，因此在發生異常時，經由手動能容易地切換至短路模式，而謀求檢查作業的效率化。

由於移動支承部39具備：透過滑動板部37而將短路構件33按壓於各端子5C之推桿49、以及在前述滑動板部37的待機位置和短路位置支承推桿49之制動件50，因此經由手動能容易地在短路模式和待機模式之間進行切換。

[第1變形例]

在前述實施形態，移動支承部39是採用推桿49和制動件50所構成的手動式的移動支承部，但也能採用自動式的移動支承部。具體而言，可採用第8圖所示的構造。

第8圖係顯示僅設置1個驅動缸的例子。由於檢查裝置的整體構造是與前述實施形態相同，在此是以探針單元的短路裝置為中心來作說明。在第8圖的探針單元，短路裝置59是具備：支承腕部60、滑動板部61、驅動缸62和控制部63。

支承腕部60，是被探針座12支承成可轉動。該支承腕部60是形成寬廣的板狀，而能覆蓋5個探針塊24。支承腕部60的基端部是透過鉸鏈65而被探針座12支承成可轉動。在鉸鏈65的端部設置制動件66。該制動件66是形成銷狀，而安裝在長方體狀的銷收容部67(固定在鉸鏈65的旋轉軸)。在銷收容部67，沿正交方向設有2個銷孔68。對應於該銷孔68，在探針座12設有銷支承孔69。使制動件66貫穿銷收容部67的銷孔68而嵌合固定在探針座12的銷支承孔69，而將支承腕部60固定成無法轉動。而且，藉由拔出制動件66，可將支承腕部60轉動以進行維修等。

支承腕部60的側面形狀呈L字形，其豎板部60A配設成可覆蓋各探針塊24，在豎板部60A設置縱向的導軌71。

滑動板部61是由1片板材所構成，分別對應於5個滑動塊24而設有5個支部61A。在滑動板部61的背面設置導件(未圖示)，以嵌合於導軌71而將滑動板部61支承成可上下滑動。

在各支部61A的前端(下端)設置與前述實施形態同樣的保持部38，在該保持部38安裝短路構件33。如此，藉由1個滑動板部61可同時支承全部的短路構件33。

驅動缸62，是用來使滑動板部61在上下方向移動的驅動裝置。驅動缸62，是在延伸位置和縮回位置支承滑動板部61，而使其在短路位置和待機位置移動。在藉由 驅動缸62使滑動板部61延伸而處於短路位置的狀態下，藉由工作台10讓液晶面板5的端子5C接觸探針25，而使短路構件33按壓於各端子5C。

控制部63，是控制驅動缸62而使滑動板部61移動至待機位置和短路位置的裝置。控制部63，可利用能控制檢查裝置1整體的控制部，也能設置驅動缸62專用的控制部。

依據以上的構造，若液晶面板5發生異常，控制部63會使驅動缸62動作而讓滑動板部61從待機狀態移動至短路狀態。在此狀態下，藉由工作台10讓液晶面板5的端子5C接觸探針25，而進行與上述實施形態同樣的判斷。

如此，可發揮與前述實施形態同樣的作用效果，且在液晶面板5的檢查作業線上可自動判斷異常的原因。結果可謀求檢查作業的效率化。

〔第2變形例〕

在前述第1變形例，是僅設置1個驅動缸62，而驅動1個滑動板部61使全部的短路構件33同時移動，但也能對應於各探針塊24而設置複數個。由於本變形例之探針單元的整體構造是與前述第1變形例的探針單元大致相同，在此以短路裝置為中心來作說明。

本實施例的短路裝置，是對每個探針塊24設置驅動缸。

滑動板部73，是對應於各探針塊24而設置5個。透過導軌71而被支承腕部60的豎板部60A支承成可滑動。

驅動缸74，是對前述各個滑動板部73分別設置，以將各滑動板部73予以個別驅動。各驅動缸74分別連接於控制部63(參照第8圖)，而藉由控制部63來進行個別控制。而且，藉由控制部63，僅在各驅動缸74當中驅動對應於發生異常的位置之驅動缸74，而進行短路檢查。

在此情況也是，可發揮與前述實施形態及第1變形例同樣的作用效果。再者，在本變形例，由於藉由各驅動缸74使各短路構件33個別接觸端子5C，而能迅速地進行檢查作業。

[其他變形例]

前述實施形態之具備探針單元11的檢查裝置1，並不限於前述檢查裝置1，本發明能適用於可具備探針單元11之所有的檢查裝置。

1．．．檢查裝置

2．．．面板設置部

3．．．測定部

5．．．液晶面板

5A．．．面板顯示部

10．．．工作台

11．．．探針單元

12．．．探針座

13．．．探針裝置

14．．．對準攝影機

15．．．短路裝置

16．．．支承部

17．．．探針組裝體

18．．．短路裝置

19．．．懸吊塊

20．．．導軌

21．．．滑動塊

22．．．探針板

23．．．調整螺絲

24．．．探針塊

25．．．探針

31．．．訊號產生器

33．．．短路構件

34．．．推壓機構

35．．．基板部

36．．．支承腕部

37．．．滑動板部

38．．．保持部

39．．．移動支承部

41．．．鉸鏈

42．．．支承台部

45．．．水平板部

46．．．垂直板部

48．．．位置調整部

49．．．推桿

50．．．制動件

51．．．推桿支承孔

53．．．嵌合溝槽

54．．．螺桿部

55．．．制動件支承孔

57．．．導軌

58．．．導件

59．．．短路裝置

60．．．支承腕部

61．．．滑動板部

62．．．驅動缸

63．．．控制部

65．．．鉸鏈

66．．．制動件

67．．．銷收容部

68．．．銷孔

69．．．銷支承孔

71．．．導軌

73．．．滑動板部

74．．．驅動缸

第1圖係顯示本發明的實施形態之探針單元的局部透視側視圖。

第2圖係顯示檢查裝置的立體圖。

第3圖係顯示本發明的實施形態之探針單元的立體圖。

第4圖係顯示本發明的實施形態之探針單元的短路裝置轉動後的狀態之立體圖。

第5圖係顯示本發明的實施形態之探針單元的短路裝置之局部透視狀態的主要部位放大圖。

第6圖係顯示本發明的實施形態之探針單元的短路裝置之分解立體圖。

第7圖係顯示本發明的實施形態之探針單元之將短路裝置卸除的狀態之俯視圖。

第8圖係顯示第1變形例的立體圖。

第9圖係顯示第2變形例的立體圖。

5．．．液晶面板

11．．．探針單元

12．．．探針座

13．．．探針裝置

15．．．短路裝置

16．．．支承部

17．．．探針組裝體

19．．．懸吊塊

19A．．．螺孔

20．．．導軌

21．．．滑動塊

22．．．探針板

23．．．調整螺絲

24．．．探針塊

25．．．探針

27．．．TCP

28．．．連接FPC

29．．．中繼基板

30．．．纜線

31．．．訊號產生器

33．．．短路構件

34．．．推壓機構

35．．．基板部

35A．．．螺孔

36．．．支承腕部

37．．．滑動板部

37A．．．螺孔

38．．．保持部

39．．．移動支承部

40．．．螺絲

41．．．鉸鏈

42．．．支承台部

42A．．．螺孔

43．．．螺絲

45．．．水平板部

45A．．．螺孔

46．．．垂直板部

49．．．推桿

49A．．．頭部

49B．．．凸緣部

50．．．制動件

51．．．推桿支承孔

52．．．彈簧

54．．．螺桿部

55．．．制動件支承孔

57．．．導軌

58．．．導件

Claims (9)

1. 一種探針單元，其特徵在於，係具備：讓複數個探針分別接觸：設置於檢查對象面板之複數個端子而進行點亮檢查之探針塊、以及在讓前述各探針分別接觸前述各端子而進行點亮檢查之際使各端子短路之短路裝置；前述短路裝置是具備：與前述各端子對置而同時接觸前述各端子以使全部端子短路之短路構件、以及在被前述探針塊側支承的狀態下支承該短路構件而使其接觸前述各端子之推壓機構。
2. 如申請專利範圍第1項記載的探針單元，其中，前述短路構件，是由將前述檢查對象面板之複數個端子全體覆蓋而同時接觸之導電性橡膠所構成。
3. 如申請專利範圍第1項記載的探針單元，其中，前述推壓構件係具備：將前述短路構件以支承成面對前述檢查對象面板之端子的狀態滑動而使前述短路構件相對於前述端子進行裝卸之滑動板部、以及讓該滑動板部移動至待機位置和短路位置並予以支承的移動支承部。
4. 如申請專利範圍第3項記載的探針單元，其中，前述移動支承部係具備：透過前述滑動板部而將前述短路構件按壓於前述端子 之推桿、以及在前述滑動板部的待機位置和短路位置支承該推桿之制動件。
5. 如申請專利範圍第3項記載的探針單元，其中，前述移動支承部係具備：透過前述滑動板部而將前述短路構件按壓於前述端子之驅動缸、以及控制該驅動缸而使前述滑動板部移動至待機位置和短路位置之控制部。
6. 如申請專利範圍第5項記載的探針單元，其中，前述滑動板部僅設有1個，且具有分別對應於配設複數個的前述探針塊之支部以將全部的短路構件同時支承；前述驅動缸僅設有1個，用來驅動前述滑動板部而使全部的短路構件同時移動。
7. 如申請專利範圍第5項記載的探針單元，其中，前述滑動板部，是分別對應於配設複數個的前述探針塊而設置複數個；前述驅動缸，是分別設置於前述複數個滑動板部各個而將各滑動板部個別驅動，且在各驅動缸當中僅驅動對應於發生異常的位置之驅動缸。
8. 如申請專利範圍第1項記載的探針單元，其中，進一步具備：將前述推壓機構在前述探針塊側支承成可轉動之轉動機構。
9. 一種檢查裝置，是用來檢查檢查對象面板之檢查裝置，其特徵在於，係具備：將從外部插入的檢查對象面板在檢查結束後往外部搬出之面板設置部、以及將從該面板設置部送來的檢查對象面板予以支承而進行試驗之測定部；作為前述測定部的探針單元，是使用申請專利範圍第1至8項中任一項記載的探針單元。