KR102514951B1 - 불량 기판 자동 마킹 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 불량 여부를 검사하는 검사부; 상기 검사부에서 검사하여 불량으로 판정되는 기판에 불량 표시를 하는 마킹 유니트; 상기 검사부 및 상기 마킹 유니트의 동작을 제어하는 제어부; 를 포함하고, 상기 마킹 유니트는 상기 기판에 마킹부를 표시하기 위한 마킹펜을 구비하며, 상기 마킹펜의 승강 동작에 의해 불량으로 판정되는 기판에 상기 마킹부를 표시하는 불량 기판 자동 마킹 시스템이 제공될 수 있다.

Description

불량 기판 자동 마킹 시스템{Faulty Substrate Automatic Marking System}

본 발명은 기판 검사후 불량 기판에 불량 표시를 위한 마킹을 자동적으로 할 수 있는 불량 기판 자동 마킹 시스템에 관한 것이다.

기판(PCB)에 칩이나 기타 다른 전자 부품들을 실장하기에 앞서, 제조된 기판 검사후 불량으로 판정된 기판에 대한 표시를 작업자가 해당 기판에 대한 검사 결과를 바탕으로 수작업으로 스탬프를 찍는 방식으로 표시하였다.

작업자가 불량 기판에 대하여 수작업으로 표시하다보니 생산성이 저하되고, 불량이 있음에도 간과하고 표시를 하지 않거나, 불량 표시 영역이 불명확하여 어느 지점에 불량이 있는지 파악하기 어렵게 되는 문제가 발생할수 있다.

또한, 기기를 이용하여 레이저를 통해 기판의 일측에 표시하는 방식도 있었으나, 레이저 장비는 고가의 장비이므로, 전체적인 기판 검사 장치의 비용이 상승되는 문제점이 있다.

레이저 마킹 장비가 가격이 고가임은 물론이고, 특히 고장시 고가의 수리비 지급과 수리에 따른 장기간 장비의 사용불가에 따른 생산성 저하의 단점이 있다.

본 발명은 기판 검사후 불량으로 판정된 기판에 불량 표시를 위한 마킹을 자동적으로 수행할 수 있는 불량 기판 자동 마킹 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명은 기판의 불량 여부를 검사하는 검사부; 상기 검사부에서 검사하여 불량으로 판정되는 기판에 불량 표시를 하는 마킹 유니트; 상기 검사부 및 상기 마킹 유니트의 동작을 제어하는 제어부; 를 포함하고,

상기 마킹 유니트는 상기 기판에 마킹부를 표시하기 위한 마킹펜을 구비하며, 상기 마킹펜의 승강 동작에 의해 불량으로 판정되는 기판에 상기 마킹부를 표시하는 불량 기판 자동 마킹 시스템이 제공될 수 있다.

이와 같이, 본 발명은 기판의 불량 여부 검사를 수행한 다음, 불량으로 판정된 기판의 회로 패턴부에 마킹펜을 이용하여 마킹부를 표시하고, 간편하게 폐기 처분할 수 있다.

본 발명은 마킹펜을 구비한 마킹 유니트를 수직 방향으로 승강시키고, 기판을 클램핑한 셔틀부를 전후좌우로 이동시키면서 셋팅되어 고정된 위치의 마킹펜 위치까지 이동한 다음, 마킹 유니트를 하강시켜서 마킹펜을 불량 회로 패턴부에 마킹할 수 있으며, 마킹시 해당 위치의 기판 저면에 지지볼을 포함하는 지지 수단이 지지하므로, 기판이 처지지 않게 되어 정확한 마킹 동작이 이루어지며, 마킹펜에 의한 마킹시 기판을 가압하더라도 기판의 변형을 방지할 수 있다.

본 발명은 시중에서 쉽게 구매할 수 있는 저렴한 비용의 마킹펜을 교체가능하게 구비하여 사용함으로써, 전체 검사 장치의 비용과 지속적인 사용에 따른 소모품 비용을 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 기판을 검사하는 기판 검사 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 클램프에 의해 클램핑된 상태의 기판에 마킹부를 표시한 상태를 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 불량 기판 자동 마킹 시스템의 개략도이다.
도 5는 본 발명의 자동 마킹 시스템의 마킹 동작을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 자동 마킹 시스템의 구체적인 구조를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 자동 마킹 시스템에서 마킹 유니트의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 클램프 조립체의 구체적인 일 예를 나타낸 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명은 기판 검사 장치를 구비한 자동 마킹 시스템으로서, 기판 검사 장치는 검사부(100), 셔틀부(200), 적재부(300), 로딩부(400), 정렬부(500)를 포함할 수 있다.

검사부(100)는 기판의 회로 패턴에 접촉되는 프로브 유니트(110)를 포함할 수 있다.

프로브 유니트(110)는 지그 몸체(111), 지그 몸체(111)로부터 소정 거리 돌출되어 구비되는 지지 부재(112), 지지 부재(112)의 단부에 마련되고 복수의 프로브핀을 구비한 프로브핀 블록(113)을 포함할 수 있다.

검사부(100)는 프로브 유니트(110)가 구비되는 베이스 부재(120)를 포함할 수 있다.

베이스 부재(120)에 프로브 유니트(110)가 구비되어 한셋트를 이룰 수 있고, 이러한 검사부(100)는 기판(10)의 일면 또는 양면에 대하여 통전 검사를 할 수 있다.

전기적 통전 검사는 BBT(Bare Board Tester) 검사 공정에 해당하며, 기판에 프로브 핀을 접촉시켜, 기판에 형성된 회로의 쇼트(Short)나 신호 전류가 회로 패턴에 정확히 흐르는지 등의 전기적 불량을 검사하는 것이다.

기판(10)의 양면을 검사하는 경우, 기판(10)의 상부 및 하부에 각각 프로브 유니트(110)가 마련될 수 있고, 동기화되어 동시에 기판(10)의 양면을 검사할 수 있다.

검사부(100)는 카메라를 포함할 수 있다. 프로브 유니트(110)에 의해 기판(10)의 양면을 검사할 때, 기판(10)에 마련된 검사 위치에 정확하게 프로브 유니트(110)를 접촉시키기 위해 카메라를 통해 검사 대상인 기판을 촬영하고, 촬영된 이미지에 기초하여 제어부(700)에서 판단하여 고정된 상태의 프로브 유니트(110) 위치에 맞도록 기판(10)이 구비된 셔틀부(200)를 이동시킬 수 있다.

또한, 본 발명에서 검사하는 기판(10)은 복수의 회로 패턴부(11)가 형성된 기판 스트립(strip) 타입일 수 있다.

이러한 기판 스트립 타입인 경우, 복수의 회로 패턴부(11)가 마련되므로, 전체 면적이 커질 수 있고, 따라서, 검사부(100)에 의해 순차적으로 복수의 회로 패턴부(11)를 검사할 수 있다.

정렬부(500)는 초기 위치와 검사 위치 사이에 배치될 수 있고, 셔틀부(200)에 기판(10)이 탑재되면, 기판(10)의 정렬 상태를 검사 또는 확인할 수 있고, 셔틀부(200)는 정렬부(500)의 검사가 완료되면, 검사 위치로 이동할 수 있다.

정렬부(500)에서 확인된 기판의 정렬 정보는 셔틀부(200) 또는 검사부(100)로 전달될 수 있고, 기판(10)과 검사부(100)간의 정렬은 정렬부(500)에서 확인된 기판의 정렬 정보를 기반으로 하여 수행될 수 있다. 기판과 검사부(100) 간의 정렬은 셔틀부(200) 또는 검사부(100)에 의해 이루어질 수 있다.

일 예로, 기판의 정렬 정보를 획득한 셔틀부(200)는 기판(10)이 검사부(100)에 정렬되도록 기판(10)을 움직일 수 있다. 탑재된 기판이 검사부(100)에 정렬되도록 셔틀부(200)는 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도를 가질 수 있다.

또한, 기판의 정렬 정보를 획득한 검사부(100)는 기판에 정렬되도록 움직일 수 있다. 기판에 정렬되도록 검사부(100)는 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도를 가질 수 있다.

기판의 이송을 위해 x축 이동 자유도 또는 y축 이동 자유도가 이미 셔틀부(200)에 부여된 상태일 수 있다.

따라서, 기판(10)과 검사부(100) 간의 정렬은 셔틀부(200)에 의해 수행되는 것이 유리할 수 있다. 기판의 정렬에 필요한 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도가 셔틀부(200)에 부여되면, 검사부(100)에는 x축 이동 또는 y축 이동에 필요한 각종 수단이 배제될 수 있다. 따라서, 검사부(100)의 구조가 간소화되는 장점이 있다.

셔틀부(200)에는 기판(10)이 탑재될 수 있다. 셔틀부(200)는 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치 검사 위치 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복할 수 있다. 셔틀부(200)에 대해 기판이 로딩되는 것은 셔틀부(200)에 새로운 기판을 탑재하는 것을 나타낸다. 셔틀부(200)에 대해 기판이 언로딩되는 것은 셔틀부(200)에 탑재된 기판을 들어내는 것을 나타낸다.

적재부(300)는 제1 적재부와 제2 적재부로 이루어질 수 있고, 제1 적재부(310)에는 통전 검사를 위해 대기중인 기판이 적재될 수 있으며, 제2 적재부(320)에는 검사부(100)에 의해 통전 검사가 완료된 기판이 적재될 수 있다.

로딩부(400)는 적재부(300) 또는 셔틀부(200)에 탑재된 기판을 이동시킬 수 있다. 로딩부(400)는 제1 로딩부(410)와 제2 로딩부(420)로 이루어질 수 있고, 제1 로딩부(410)는 셔틀부(200)가 초기 위치에 배치되면, 제1 적재부(310)에 적재된 기판을 셔틀부(200)로 이동시키고, 제2 로딩부(420)는 셔틀부(200)에 탑재되고 검사부(100)를 거친 기판을 제2 적재부(320)로 이동시킬 수 있다.

로딩부(400)의 동선을 간소화하기 위해서 제1 적재부(410)와 제2 적재부(420)는 초기 위치를 사이에 두고 서로 대면되게 배치시킬 수 있다.

셔틀부(200)는 구동 수단에 의해 움직일 수 있는데, 구동 수단으로서 모터 및 볼스크류를 포함할 수 있고, 그러나 이에 한정되지 않고, 벨트 타입 등 다양한 구동 수단이 강구될 수 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 셔틀부(200)에는 기판(10)을 클램핑하여 고정시킬 수 있는 클램프(210)를 포함할 수 있다. 클램프(210)는 기판(10)의 양측면에 소정의 길이를 가지고 클램핑할 수 있다. 클램프(210)는 기판(10)의 저면에 배치되는 제1 클램프와, 기판(10)의 상면에 배치되어 클램핑하도록 회전하는 제2 클램프로 이루어질 수 있다.

도 8은 본 발명의 클램프 조립체의 구체적인 일 예를 나타낸 사시도로서, 도 8을 참조하면, 초기에 기판의 크기에 따라 클램프(210)가 적절한 위치에 배치된 후에는 클램프(210)의 미세한 움직임만으로 기판을 당길 수 있다.

그런데, 매번 기판(10)을 미세하게 당기기 위해 가이드부(260)를 따라 클램프(210)를 이동시키는 것은 자원의 낭비를 초래할 수 있다. 이러한 문제를 해소하기 위해 가이드부(260)는 클램프(210)의 초기 세팅 위치를 결정하는 용도로 사용될 수 있다. 이후, 기판(10)을 잡아당기는 것은 클램프(210)에서 수행될 수 있다. 이를 위해 클램프(210)에는 초기 세팅 위치에서 클램핑된 기판(10)을 잡아당기는 당김부(213)가 마련될 수 있다.

가상의 공간상에서 서로 직교하는 제1 축, 제2 축 및 제3 축을 정의할 때, 기판은 제1 축과 제2 축이 형성하는 평면상에 배치될 수 있다. 이때, 당김부(213)는 제1 축 또는 제2 축 방향으로 기판(10)을 당길 수 있다. 도면에서는 xy 평면에 기판(10)이 배치되고 있으며, x축 방향으로 기판(10)을 당기고 있다.

클램프(210)는 가이드부(260)를 따라 움직이는 이동부(211)를 포함할 수 있으며, 당김부(213)는 이동부(211) 상에 설치될 수 있다. 이때, 당김부(213)는 이동부(211)에 대해 상대 이동할 수 있다. 예를 들어 이동부(211) 상에 레일(212)이 형성되고, 당김부(213)는 레일(212)을 따라 이동할 수 있다.

이동부(211)와 당김부(213)에 의하면 가이드부(260)를 따라 움직이는 클램프 전체의 움직임이 멈춘 상태에서 당김부(213)만 구동됨으로써 기판(10)을 당길 수 있다.

당김부(213)는 공압 실린더 등의 구동 수단을 포함할 수 있으며, 당김부(213)는 이동부(211)에 대해 x축 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따르면 당김부(213)는 기판을 x축 방향으로 당기게 된다. 공압 실린더의 동작을 위해 당김부(213)에는 공기가 출입되는 밸브(214)가 설치될 수 있다.

구체적으로 당김부(213)에는 제1 핑거 부재(215), 제2 핑거 부재(216), 핑거 구동부(217) 및 장홀(218)이 형성될 수 있다.

제1 핑거 부재((215)는 기판(10)의 제1 면에 접촉될 수 있다.

제2 핑거 부재(216)는 기판(10)의 제1 면과 반대면인 제2 면에 접촉될 수 있다. 평면상으로 기판(10)에서 제1 핑거 부재(215)의 접촉면 위치와 제2 핑거 부재(216)의 접촉면 위치는 동일할 수 있다.

따라서, 기판이 개재되지 않는 경우 제1 핑거 부재(215)와 제2 핑거 부재(216)는 서로 맞닿을 수 있다. 다시 말해서, 제1 핑거 부재(215)와 제2 핑거 부재(216)에 의한 기판(10)의 접촉에 의해 클램프(210)는 기판(10)을 클램핑할 수 있다. 제1 핑거 부재(215)와 제2 핑거 부재(216)는 실질적인 기판(10)의 클램핑 수단일 수 있다.

제1 핑거 부재(215)는 당김부(213)에 고정될 수 있다. 이때, 제2 핑거 부재(216)는 핑거 회전축(219)을 중심으로 회전할 수 있다. 이때의 회전으로 제2 핑거 부재(216)는 제1 핑거 부재(215)에 맞닿음으로써 기판(10)을 클램핑할 수 있다. 또는 역회전에 의해 제2 핑거 부재(216)는 제1 핑거 부재(215)로부터 떨어질 수 있다.

제2 핑거 부재(216)의 회전은 핑거 구동부(217)에 의해 이루어질 수 있다. 핑거 구동부(217)는 공압 실린더 등으로 구성되어 도면에서 x축 방향으로 이동할 수 있다. 공압 실린더의 구동을 위해 핑거 구동부(217)에는 공기가 출입되는 밸브(214a)가 마련될 수 있다.

핑거 구동부(217)는 제1 핑거 부재(215)의 단부를 밀거나 당길 수 있다. 도면과 같이 제2 핑거 부재(216)가 'L' 형으로 이루어지고 일단부는 제1 핑거 부재(215)에 맞닿도록 구성되고, 타단부가 핑거 구동부(217)에 의해 움직일 때 'L' 형의 제2 핑거 부재(216)에서 꺾인 부분에 핑거 회전축(219)이 마련될 수 있다.

핑거 회전축(219)을 중심으로 한 제2 핑거 부재(216)의 회전시, 핑거 회전축(219)의 중심과 제2 핑거 부재(216)에서 핑거 구동부(217)에 연결된 부위까지의 길이는 회전 각도에 따라 달라진다.

따라서, 신뢰성 있는 제2 핑거 부재(216)의 회전을 위해 핑거 회전축(219)는 도면에서 z축 방향으로 움직여야 한다. 이를 위해 당김부(213)에는 장홀(218)이 형성될 수 있다. 장홀(218)은 핑거 회전축(219)의 움직임을 가이드할 수 있으며, 이를 위해 장홀(218)은 제1 방향(x축)에 기울어져 형성될 수 있다. 이때의 기울어진 방향은 z축과 x축이 이루는 가상의 평면 상에 형성될 수 있으며, 제2 핑거 부재(216)의 단부를 향할 수 있다.

본 발명은 가이드부(260)에 의해 초기 세팅이 완료된 클램프(210)에 기판(10)을 올려놓고 클램프(210)를 구성하는 당김부(213)가 구동됨으로써 최소의 동력, 시간으로 기판(10)을 잡아당길 수 있다. 이때, 당김부(213)에 의해 당겨지는 기판(10)은 x축 또는 y축 중 하나일 수 있으며, 도면에는 x축 방향으로 당기는 예가 개시될 수 있다.

또한, 셔틀부(200)에는 기판(10) 및 클램프(210)가 지지되는 지지판(220)이 형성될 수 있고, 지지판(220)의 저면에는 제1 이동판(230)이 마련되며, 제1 이동판(230)의 하부에는 제2 이동판(240)이 구비되고, 제2 이동판(240)의 저면 양측에는 LM 가이드를 이루는 가이드 레일(250)이 형성될 수 있다.

제1 이동판(230)은 제2 이동판(240)이 고정된 상태에서 제2 이동판(240)의 측면의 가이드를 받으면서 도면상 x축 방향인 제1 방향을 따라 왕복 이동할 수 있고, 제2 이동판(240)은 도면상 y축 방향인 제2 방향을 따라 그 하부에 마련된 가이드 레일(250)을 따라 왕복 이동할 수 있다.

또한, 본 발명은 프로브 유니트(110)의 일측에는 기판(10) 검사후 불량이 발생한 회로 패턴부(11)에 불량임을 나타내는 마킹부(M)를 표기하기 위한 마킹 유니트(600)가 구비될 수 있다.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 마킹 유니트(600)는 마킹펜(610), 마킹펜(610)을 지지하는 지지 부재(620)를 포함할 수 있고, 지지 부재(620)는 승강 수단(630)에 의해 기판(10)에 대하여 수직 방향으로 승강될 수 있다. 마킹펜(610)의 단부측에는 마킹을 기판(10)에 표시할 수 있는 펜심(611)이 마련되어 있다.

마킹펜(610)은 시중에서 쉽게 구매할 수 있는 펜(유성펜 등)이거나 또는 마킹펜(610)의 바디부 내부에 탄성 부재(예를 들어 코일 스프링 등)를 마련한 구조일 수 있다.

탄성 부재에 의해 펜심(611)은 지지된 상태일 수 있다. 따라서, 불량으로 판정된 기판에 마킹 작업시 펜심(611)이 약간 마킹펜(610)의 바디부안으로 탄성 부재를 수축하면서 들어갈 수 있고, 그에 따라 기판(10)에 어떠한 충격도 주지 않고 마킹 작업을 수행할 수 있다.

마킹펜(610)을 지지하는 지지 부재(620)는 2개의 결합편(621)의 사이에 마킹펜(610)이 관통되게 하고, 측면에서 결합편(621)을 조이는 조임 핸들(622)로 고정되는 구조로 구현될 수 있다. 조임 핸들(622)과 결합편(621)은 나사결합으로 결합 또는 분해될 수 있다.

따라서, 마킹펜(610)의 반복된 사용으로 마킹펜(610)이 소진된 경우에는 조임 핸들(622)을 돌려서 한쌍의 결합편(621)간의 조임 상태를 느슨하게 하고, 마킹펜(610)을 분리한 다음, 새로운 마킹펜(610)을 삽입하고 풀었던 조임 핸들(622)을 회전시켜서 조여서 고정시킬 수 있다.

승강 수단(630)은 실린더(631)와, 실린더(631)에서 인출되는 로드(632)를 포함하는 타입의 구조일 수 있다.

또한, 승강 수단(630)에는 로드(632)의 단부가 연결되는 브래킷(633), 브래킷(633)과 연결되고 마킹펜(610)을 고정하고 있는 지지 부재(620)의 결합편(621)의 일측면에 결합되는 연결 부재(634)가 포함될 수 있다.

또한, 승강 수단(630)의 일측에는 이동 수단(640)이 구비될 수 있다. 이동 수단(640)에 의해 승강 수단(630), 마킹펜(610) 및 지지 부재(620)가 동시에 수직 방향으로 이동(승강 동작)할 수 있다. 이동 수단(640)은 예를 들어 공압 실린더 또는 LM 가이드와 같은 구조로 이루어질 수 있다.

이동 수단(640)은 예를 들어 이동 부재(641) 및 이동 부재(641)가 직선 이동할 수 있도록 마련되는 LM 가이드(642)로 이루어질 수 있고, LM 가이드(642)를 따라 수직 방향으로 직선 이동하여 마킹펜(610)을 기판(10)에 근접되게 할 수 있다.

LM 가이드(642)는 장치의 상부에 마련되는 고정 프레임(644)에 고정될 수 있다.

따라서, 본 발명의 마킹펜 유니트(600)는 마킹펜(610)의 승강 동작시 2가지 동작으로 이동되도록 하는 이동 수단(640) 및 승강 수단(630)을 포함하고, 이동 수단(640)에 의해 마킹펜(611)은 제1 승강 동작을 수행하며, 상기 마킹펜(610)은 이동 수단(640)에 의해 상기 마킹펜(610)의 제1 승강 동작후 승강 수단(630)에 의해 기판(10)에 불량 표시를 위해 이동하는 제2 승강 동작을 수행할 수 있다.

또한, 마킹펜(610)의 하부에는 마킹펜(610)이 삽입되어서 커버링할 수 있는 마킹펜 캡 부재(650)이 마련될 수 있다.

마킹펜 캡 부재(650)에는 마킹펜(610)이 삽입되는 삽입공(650a)이 형성되고, 마킹펜(610)을 사용시에는 간섭이 일어나지 않도록 후퇴되고, 마킹펜(610)을 사용하지 않을 때에는 삽입공(650a)안에 삽입되도록 전후진 동작이 이루어지게 하는 이동 부재(651) 및 LM 가이드(652)가 구비될 수 있다.

또한, 기판(10)의 하부에는 기판(10)을 지지하기 위한 지지 수단(660)이 구비될 수 있다.

지지 수단(660)은 기판(10)에 접촉되면서 지지되는 지지볼(661), 지지볼(661)을 지지하는 서포트(662)를 포함할 수 있다.

지지볼(661)은 서포트(662)에서 회전 가능하게 결합된 구조일 수 있고, 기판(10)과의 접촉시 스크래치 등을 줄이기 위해 금속재가 아닌 수지재로 이루어지는 것이 바람직할 수 있다.

마킹 유니트(600)의 마킹펜(610)이 하강하여 기판(10)에 접촉될 때, 제어부(700)에 의한 제어 동작에 따라 지지 수단(660)도 동시에 상승하여 기판(10)의 저면을 지지할 수 있다.

따라서, 지지 수단(660)은 수직 방향으로 승강 동작을 수행할 수 있는 실린더 또는 LM 가이드와 같은 승강 수단이 마련될 수 있다.

지지 수단(660)은 마킹 유니트(600)의 마킹펜(610)과 수직 방향으로 동일 선상에 배치될 수 있다.

기판(10)의 검사후 불량으로 판정된 특정 회로 패턴부(11)에 마킹펜(610)으로 마킹부(M)를 표시하기 위해 기판(10)의 해당 위치에 접촉되어 마킹을 하면, 기판(10)은 마킹펜(610)에 의해 가압되므로, 마킹펜(610)의 배치 위치와 동일 수직선상에 배열되는 지지 수단(660)의 지지볼(661)이 기판(10)의 저면 해당 위치에서 지지하므로, 마킹펜(610)에 의한 마킹시 기판(10)은 처지지 않고 평평한 상태를 유지할 수 있게 되며, 그에 따라 마킹펜(610)에 의한 마킹 상태가 원활하면서도 확실하게 이루어질 수 있고, 기판(10)의 변형도 방지할 수 있다.

다시 말해서, 마킹펜(610)의 승강시 지지 수단(660)을 이루는 지지볼(661)과 서포트(662)도 동시에 승강될 수 있다.

특히, 기판(10)이 플렉서블한 기판인 경우, 클램프(210)에 의해 팽팽하게 클램핑한 상태라 하더라도 마킹펜(610)에 의한 마킹시 기판(10)은 처질 가능성이 많아질 수 있다. 따라서, 기판(10)의 하부에서 지지 수단(600)인 지지볼(661)에 의해 지지함으로써, 기판이 플렉서블하더라고 처지지 않고 정확하게 마킹부를 표시할 수 있다.

또한, 마킹펜(610)에 의한 마킹부 표시를 위해 기판(10)의 하부에서 상승하여 기판(10)의 저면을 지지볼(661)이 지지할 때, 마킹펜(610)은 고정된 상태에서 기판(10)과 접촉하고 있고, 기판(10)이 약간 이동(도 2에서 x축 방향 또는 y축 방향)하여 마킹부(예를 들어 직선 등)를 표시할 수 있다. 물론, 기판(10)이 이동하지 않고 마킹펜(610)에 수직 하강하여 점으로 마킹부를 표시할 수도 있으나, 육안으로 쉽게 구분하기 위해 소정 길이의 직선으로 마킹부를 표시함이 바람직할 수 있다.

이때, 기판(10)이 약간 움직이게 되므로, 기판(10)의 저면에서 지지하고 있는 지지볼(661)과 기판(10)의 저면은 접촉하게 되고, 그러면 지지볼(661)은 서포트(662)에서 회전하게 되므로 접촉에 의해 기판(10)이 손상되지 않을 수 있다. 더욱이, 지지볼(661)은 구형으로 이루어진 구조이므로, 기판(10)과의 접촉 면적이 최소화(점 접촉)될 수 있고, 마킹시 기판의 하부에서 확실하게 지지할 수 있다.

또한, 본 발명은 프로브 유니트(110) 또는 프로브 유니트(110)를 구비한 베이스 부재(120)의 동작을 제어하고, 마킹 유니트(600)의 동작을 제어하는 제어부(700)가 갖추어질 수 있다.

즉, 제어부(700)는 베이스 부재(120)를 승강시키는 승강 수단과, 마킹 유니트(600)의 승강시키는 승강 수단(630) 및 이동 수단(640)의 작동을 제어할 수 있다.

또한, 제어부(700)는 프로브 유니트(110)에 의해 기판(10)을 검사하여 특정 회로 패턴부(11)에 대하여 불량으로 판정되면, 불량으로 판정된 해당 회로 패턴부(11)에 대한 정보(위치 정보)를 위치 감지 센서(예를 들어 적외선 센서 등)에 의해 입력받고, 이러한 정보를 토대로 마킹 유니트(600)가 해당 불량 상태의 회로 패턴부(11)에 마킹부(M)를 표시하도록 셔틀부(200)를 이동시킬 수 있다.

프로브 유니트(110)에 의해 기판(10)을 검사하여 불량으로 판정한 특정 회로 패턴부(11)에 대해서는 다시 한번 프로브 유니트(110)를 통해 재검사하여 최종적으로 불량으로 판정할 수 있고, 2회에 걸쳐서 검사를 수행한 다음, 마킹 유니트(600)에 의해 해당 회로 패턴부(11)의 일측에 마킹부(M)를 최종적으로 표시할 수 있다.

10... 기판 11... 회로 패턴부
100... 검사부
110... 프로브 유니트 111... 지그 몸체
112... 지지 부재 113... 프로브핀 블록
120... 베이스 부재
200... 셔틀부 210... 클램프
211... 이동부 212... 레일
213... 당김부 214,214a... 밸브
215... 제1 핑거 부재 216... 제2 핑거 부재
217... 핑거 구동부 218... 장홀
219... 핑거 회전축
220... 지지판 230... 제1 이동판
240... 제2 이동판 250... 가이드 레일
300... 적재부 310... 제1 적재부
320... 제2 적재부
400... 로딩부 410... 제1 로딩부
420... 제2 로딩부
500... 정렬부 600... 마킹 유니트
610... 마킹펜 611... 펜심
620... 지지 부재
621... 결합편 622... 조임 핸들
630... 승강 수단 631... 실린더
632... 로드 633... 브래킷
634... 연결 부재
640... 이동 수단 641... 이동 부재
642... LM 가이드 644... 고정 프레임
650... 마킹펜 캡 부재 650a... 삽입공
651... 이동 부재 652... LM 가이드
660... 지지 수단 661... 지지볼
662... 서포트 700... 제어부

Claims (9)

1. 기판의 불량 여부를 검사하는 검사부;
   상기 검사부에서 검사하여 불량으로 판정되는 기판에 불량 표시를 하는 마킹 유니트;
   상기 검사부 및 상기 마킹 유니트의 동작을 제어하는 제어부; 를 포함하고,
   상기 마킹 유니트는 상기 기판에 마킹부를 표시하기 위한 마킹펜을 구비하며,
   상기 마킹펜의 승강 동작에 의해 불량으로 판정되는 기판에 상기 마킹부를 표시하고,
   상기 검사부는 상기 기판의 일면 또는 양면에 대하여 통전 검사하는 프로브 유니트를 포함하고,
   상기 기판은 복수의 회로 패턴부가 마련되는 기판 스트립으로 이루어지며,
   상기 제어부는 상기 프로브 유니트에 의해 상기 기판의 일면 또는 양면 검사후 불량으로 판정된 회로 패턴부의 위치 정보를 제공받고, 상기 프로브 유니트를 마킹 유니트 위치까지 이동시키고,
   상기 프로브 유니트는 상기 복수의 회로 패턴부에 대한 1차 불량여부를 판별하고, 상기 1차 불량여부에 의해 불량으로 판정된 상기 기판의 특정 회로 패턴부에 대하여 2차 불량여부 검사를 수행하여 최종 불량여부를 판정하며,
   상기 마킹 유니트는 상기 마킹펜을 지지하는 지지 부재를 포함하고,
   상기 마킹펜에 의해 상기 기판에 마킹시, 상기 지지 부재는 승강 수단에 의해 상기 기판에 대하여 수직 방향으로 승강되며,
   상기 마킹펜이 마킹하는 상기 기판의 일면의 반대면인 저면에 상기 기판을 지지하는 지지 수단이 마련되고,
   상기 지지 수단은 상기 마킹펜과 일렬로 배치되어 지지하며,
   상기 지지 수단은 상기 기판의 저면에 지지하는 지지볼, 상기 지지볼을 지지하는 서포트를 포함하고,
   상기 지지볼은 상기 서포트에 회전 가능하게 결합되며,
   상기 지지 수단은 상기 제어부에 의해 상기 마킹 유니트의 마킹펜의 승강시 동시에 승강되고,
   상기 지지 수단은 상기 마킹펜에 의해 기판에 불량 표시를 위한 마킹시 기판이 처지지 않도록 지지하며,
   상기 마킹펜에 의한 마킹시, 기판이 이동하여 소정 길이로 마킹부를 표시하며, 상기 기판의 이동시 기판의 저면에서 지지하는 지지볼은 기판과의 접촉에 의한 손상을 최소화하기 위해 회전하는 불량 기판 자동 마킹 시스템.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1 항에 있어서,
   상기 마킹 유니트는,
   상기 마킹펜의 하부에 구비되고 상기 마킹펜이 삽입되어서 커버링할 수 있는 마킹펜 캡 부재를 포함하며,
   상기 마킹펜 캡 부재에는 상기 마킹펜이 삽입되는 삽입공이 형성되고,
   상기 마킹펜을 사용시에는 간섭이 일어나지 않도록 상기 마킹펜의 승강 동작시 위치로부터 후퇴되고,
   상기 마킹펜을 사용하지 않을 때에는 상기 마킹펜을 삽입공안에 삽입되도록 이동하는 이동 부재를 포함하는 불량 기판 자동 마킹 시스템.
   
7. 제1 항에 있어서,
   상기 마킹펜 유니트는 상기 마킹펜의 승강 동작시 2가지 동작으로 이동되도록 하는 이동 수단 및 승강 수단을 포함하고,
   상기 마킹펜은 상기 이동 수단에 의해 제1 승강 동작을 수행하며,
   상기 마킹펜은 상기 이동 수단에 의해 제1 승강 동작후 상기 승강 수단에 의해 상기 기판에 불량 표시를 위해 이동하는 제2 승강 동작을 수행하는 불량 기판 자동 마킹 시스템.
   
8. 제1 항에 있어서,
   상기 검사부에 의한 상기 기판의 검사시 상기 기판의 이동시키면서 검사를 수행하는 셔틀부를 포함하고,
   상기 셔틀부는,
   상기 기판을 제1 방향으로 왕복 이동시키는 제1 이동판,
   상기 제1 이동판의 이동 방향과 직교 방향으로 왕복 이동시키는 제2 이동판을 포함하는 불량 기판 자동 마킹 시스템.
   
9. 삭제

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