JPH06230061A - 回路基板検査機の基板矯正方法 - Google Patents

回路基板検査機の基板矯正方法

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JPH06230061A
JPH06230061A JP5034205A JP3420593A JPH06230061A JP H06230061 A JPH06230061 A JP H06230061A JP 5034205 A JP5034205 A JP 5034205A JP 3420593 A JP3420593 A JP 3420593A JP H06230061 A JPH06230061 A JP H06230061A
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JP
Japan
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circuit board
vacuum pad
inspected
warp
probe pin
Prior art date
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Pending
Application number
JP5034205A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuichi Shimizu
秀一 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
Priority to JP5034205A priority Critical patent/JPH06230061A/ja
Publication of JPH06230061A publication Critical patent/JPH06230061A/ja
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路基板14の反りを自動的に矯正する。 【構成】 回路基板14を支持板21,22上にセット
する。支持板21,22の間で基台23には、マグネッ
ト25,シャフト26を介しバキュームパッド27をセ
ットする。バキュームパッド27を吸引状態にする。X
−Yユニット15により可動部13を反りを矯正する部
位にセットする。Z軸ユニット12を作動させて、プロ
ーブピン10を下降させる。 【効果】 回路基板14の反りが最も大きい部分がプロ
ーブピン10により下方に押圧され、この部分がバキュ
ームパッド27で吸引される。これにより、回路基板1
4は平面状態に維持され、反りが矯正される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、回路基板検査機の基
板矯正方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】回路基板のプリント配線の断線や短絡、
回路基板に実装された部品の種類や性能等の各種検査を
するために、プローブピンを測定部位に接触させて検査
する検査機がある。この検査機では、回路基板に合わせ
てプローブピンを固定した専用の治具(ピンボード)を
用いる他に、プローブピンをX−Yユニット及びZ軸ユ
ニットにより移動させて行うものもある。
【0003】前記移動式のものでは、被測定基板毎に専
用のピンボードを作る必要が無く、しかもZ軸ユニット
を介してプローブピンをZ軸に対し傾斜させて取り付け
ることにより、測定部位に斜めに接触することができ、
通常のピンボードでは測定が困難な高密度実装基板に対
しても測定が可能になるという利点がある。
【0004】しかしながら、回路基板は部品の半田付け
等により反りが発生する場合が多い。この反りが発生す
ると、反りによる変位で測定部位が僅かにずれ、微小部
品を測定する場合に、測定ミスの原因となる。このた
め、従来では、回路基板の反りを矯正するために、図5
に示すように、吸引装置1を回路基板2の下側にセット
して、バキュームパッド3により回路基板2のほぼ中央
部分を下側に引っ張り、これにより反りを矯正するよう
にしていた。
【0005】前記吸引装置1は、シャフト4と、これの
先端に取り付けられるバキュームパッド3と、シャフト
4の下部に設けられるマグネット5とから構成されてい
る。マグネット5は回路基板2の反りの大きい部位の下
方位置で磁力によりシャフト4を基台6に固定するもの
である。バキュームパッド3は、電磁弁を介し真空ポン
プ(共に図示せず)に接続されており、電磁弁が開とな
ったときに、バキュームパッドから吸引を開始する。こ
の状態で、オペレータは回路基板2を検査機にセット
し、反りのある回路基板2のほぼ中央部分を手で下方に
押して、基板下面をバキュームパッド3に密着させる。
これにより、バキュームパッド3で基板2が下方に引っ
張られた状態になり、反りが矯正されて、基板2はほぼ
平らになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この方法によれば、回
路基板を人手により押すため、ある程度厚い基板であっ
ても確実に基板をバキュームパッドに密着させることが
できる利点がある。しかしながら、人手によるため、作
業効率が低下する他に、自動組み立てラインの中で基板
検査を行う場合に、自動化に容易に対応することができ
ないという問題がある。
【0007】この発明は上記課題を解決するためのもの
であり、人手に頼ることなく自動的に回路基板の反りを
矯正することができるようにした回路基板検査機の基板
矯正方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載した発明は、被検査回路基板を保持
する保持部と、被検査回路基板と平行な平面に沿ってX
−Y軸方向に移動する可動部と、この可動部に取り付け
られ、Z軸方向に進退動可能なZ軸ユニットと、このZ
軸ユニットに取り付けられ、被検査回路基板の測定部位
に電気的に接触するプローブピンと、被検査回路基板の
反りを矯正する部位に密着して回路基板の反りを矯正す
るバキュームパッドとを備えた回路基板検査機におい
て、前記Z軸ユニットとプローブピンとを用いて、反り
を矯正する部位を押圧して、基板をバキュームパッドに
密着させたものである。
【0009】また、請求項2に記載した発明は、前記Z
軸ユニットとプローブピンとを用いて基板を押圧する代
わりに、専用の押動部を可動部に設けて、これにより基
板をバキュームパッドに密着させるようにしたものであ
る。
【0010】
【作用】回路基板の検査時には回路基板が保持部にセッ
トされる。保持部内には、回路基板の反りを矯正する部
位にバキュームパッドが配置されており、吸引状態にな
っている。この状態で、可動部が反りを矯正する部位に
セットされ、この後、可動部のZ軸ユニットが作動し
て、プローブピンを下降させる。これにより、回路基板
の反りが最も大きい部分が下方に押圧され、この部分が
バキュームパッドで吸引される。これにより、回路基板
の反りが矯正され、回路基板は平面状態が維持される。
この後、回路基板の測定部位にプローブピンを接触させ
て、各種検査が行われる。回路基板は平面状態が維持さ
れているため、プローブピンが正確に測定部位に位置決
めされ、検査ミスが無くなる。
【0011】
【実施例】図1に示すように、この発明を実施した回路
基板検査機において、プローブピン10は、チャックユ
ニット11に着脱自在に取り付けられている。チャック
ユニット11は、Z軸ユニット12を介し可動部13に
取り付けられている。Z軸ユニット12は、チャックユ
ニット11をZ軸方向に移動させて、プローブピン10
の先端を回路基板14に接触させる。
【0012】図2に示すように、可動部13はX−Yユ
ニット15のアーム16にY方向で移動自在に取り付け
られている。X−Yユニット15は、アーム16と案内
レール17とを備えており、図示しない駆動部により案
内レール17に沿ってアーム16を移動させるととも
に、アーム16に沿って可動部13を移動させることに
より、可動部13をX−Y方向に移動自在にしている。
【0013】被検査回路基板14は、案内レール17と
平行に設けた1対の支持板21,22上に載せられてい
る。支持板21,22は回路基板の両端部近くを支持す
るように、互いを十分に離して基台23に取り付けられ
ている。
【0014】回路基板14の中央部付近で、基台23上
には、マグネット25及びシャフト26を介してバキュ
ームパッド27が配置されている。マグネット25は磁
力により基台23にシャフト26を固定して、バキュー
ムパッド27を所定の高さにセットする。
【0015】バキュームパッド27にはチューブ28が
連結されており、チューブ28は図1に示すように、電
磁弁30を介しバキュームポンプ31に接続されてい
る。電磁弁30はコントローラ32で制御されており、
回路基板14の検査時にオンとなり、バキュームパッド
27を吸着状態にする。
【0016】バキュームパッド27はブラケット35を
介してシャフト26に固定されている。バキュームパッ
ド27のセット高さは、支持板21,22の上端面と同
じ高さに設定されている。したがって、バキュームパッ
ド27が吸着状態のときに、回路基板14を押し下げる
と、回路基板14がバキュームパッド27に吸着され
て、反りが矯正され平面状態になる。
【0017】コントローラ32は、周知のマイクロコン
ピュータから構成されており、各部をシーケンス制御す
る他に、回路基板14の反りを矯正する制御を行う。
【0018】次に、本実施例の作用を説明する。図3は
反りを矯正する処理手順を示すフローチャートである。
まず、コントローラ32はバキュームポンプ31,電磁
弁30をオンにして、バキュームパッド27を吸着状態
にする。次に、X−Yユニット15を制御して、プロー
ブピン10を矯正位置に移動する。移動後に、Z軸ユニ
ット12を作動させて、プローブピン10を下降させ、
この下降により回路基板14をバキュームパッド27に
密着させる。
【0019】密着状態が検出されると、Z軸ユニット1
2がプローブピン10を上昇させる。この後、プローブ
ピン10がX−Yユニット15により測定部位に位置さ
れて、回路基板14の各種測定が行われる。密着状態の
検出は、例えばチューブ28に圧力センサを設けてお
き、チューブ28内の負圧状態の変化を検出することで
行う。この他に、バキュームパッド27に近接させて、
マイクロスイッチを設け、これにより基板14の吸着の
有無を検出してもよい。また、マイクロスイッチに代え
て、光学的センサ等で基板14の吸着の有無を検出して
もよい。
【0020】なお、基板14の押し下げは、1本のプロ
ーブピン10を用いる他に、2〜3本のプローブピン1
0を同時に矯正位置に移動させ、これらを同時に押し下
げて行ってもよい。この場合には、押し下げ力が増すの
で、基板14が厚く、しかも反りが大きい場合に有効と
なる。
【0021】また、上記実施例では、プローブピン10
をチャックユニット11を介し可動部13に着脱自在に
取り付けたが、この他に、可動部13に取付ネジ等によ
り直接に固定するようにしてもよい。
【0022】また、上記実施例は、プローブピン10を
用いて、回路基板14を押圧するようにしたが、この他
に、図4に示すように、可動部40にプローブピン41
の横位置で専用のエアシリンダ42をブラケット43を
介し取り付けてもよい。そして、エアシリンダ42のロ
ッド44の先端に合成樹脂製のプッシャ45を取り付け
て、エアシリンダ42をオンさせることで、回路基板を
押し下げてこれをバキュームパッドに密着させるように
してもよい。この場合には、エアシリンダを適宜選択使
用することで、反りを矯正するための押圧力とストロー
ク量とを大きくすることができ、厚い基板で反りが大き
いときに特に有効になる。
【0023】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、プ
ローブピンにより、又は専用の押圧部により、回路基板
を押圧して、その矯正部位をバキュームパッドに密着さ
せるから、従来のように人手により回路基板を押圧する
必要がなくなり、効率良く回路基板の反りを矯正するこ
とができる。しかも、回路基板の押圧を自動的に行うか
ら、自動組み立てラインの中で基板検査を行う場合にも
基板の反りを矯正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の基板矯正方法を実施する回路基板検
査機の要部を示す概略図である。
【図2】同回路基板検査機の要部を示す斜視図である。
【図3】基板の矯正手順を示すフローチャートである。
【図4】この発明の他の実施例の可動部及び押圧部を示
す斜視図である。
【図5】従来の基板矯正方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 プローブピン 11 チャックユニット 12 Z軸ユニット 13 可動部 14 回路基板 15 X−Yユニット 27 バキュームパッド

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査回路基板を保持する保持部と、被
    検査回路基板と平行な平面に沿ってX−Y軸方向に移動
    する可動部と、この可動部に取り付けられ、Z軸方向に
    進退動可能なZ軸ユニットと、このZ軸ユニットに取り
    付けられ、被検査回路基板の測定部位に電気的に接触す
    るプローブピンと、被検査回路基板の反りを矯正する部
    位に密着して回路基板の反りを矯正するバキュームパッ
    ドとを備えた回路基板検査機において、前記Z軸ユニッ
    トとプローブピンとを用いて、反りを矯正する部位を押
    圧して、基板をバキュームパッドに密着させたことを特
    徴とする回路基板検査機の基板矯正方法。
  2. 【請求項2】 被検査回路基板を保持する保持部と、被
    検査回路基板と平行な平面に沿ってX−Y軸方向に移動
    する可動部と、この可動部に取り付けられ、Z軸方向に
    進退動可能なZ軸ユニットと、このZ軸ユニットに取り
    付けられ、被検査回路基板の測定部位に電気的に接触す
    るプローブピンと、被検査回路基板の反りを矯正する部
    位に密着して回路基板の反りを矯正するバキュームパッ
    ドとを備えた回路基板検査機において、前記可動部に、
    Z軸方向に進退動可能な押動部を設け、この押動部を用
    いて、回路基板の反りを矯正する部位を押圧して、基板
    をバキュームパッドに密着させたことを特徴とする回路
    基板検査機の基板矯正方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1131873A (ja) * 1997-07-14 1999-02-02 Hioki Ee Corp 基板の上反り矯正方法及び同矯正ユニット
JP2003078236A (ja) * 2001-09-03 2003-03-14 Ckd Corp 基板矯正装置
JP2010185733A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Hioki Ee Corp 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法
CN104154946A (zh) * 2014-08-26 2014-11-19 昆山迈致治具科技有限公司 一种按压测试治具
JPWO2018051495A1 (ja) * 2016-09-16 2019-06-27 株式会社Fuji 基板矯正方法,基板矯正システム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1131873A (ja) * 1997-07-14 1999-02-02 Hioki Ee Corp 基板の上反り矯正方法及び同矯正ユニット
JP2003078236A (ja) * 2001-09-03 2003-03-14 Ckd Corp 基板矯正装置
JP2010185733A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Hioki Ee Corp 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法
CN104154946A (zh) * 2014-08-26 2014-11-19 昆山迈致治具科技有限公司 一种按压测试治具
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