JPH06129831A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JPH06129831A JPH06129831A JP4319201A JP31920192A JPH06129831A JP H06129831 A JPH06129831 A JP H06129831A JP 4319201 A JP4319201 A JP 4319201A JP 31920192 A JP31920192 A JP 31920192A JP H06129831 A JPH06129831 A JP H06129831A
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- Japan
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- substrate
- ccd camera
- work transfer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板に印刷された回路パターンの位置ずれに
応じて検査ユニットを自動的に位置決めする基板検査装
置を提供する。 【構成】 ＸＹ平面上およびＸＹ平面と平行な回転方向
の位置決め機構に検査ユニット８を昇降自在に設け、検
査ユニット８の側方にＣＣＤカメラ６を取付ける。ＣＣ
Ｄカメラ６、検査ユニット８それぞれの下方で停止する
ワーク移載台４１を配置し、ＣＣＤカメラ６により検出
される基板上の２個のマークの位置情報から回路パター
ンの位置ずれおよび傾きを算出し、検査ユニット８を位
置決めしてその姿勢を回路パターンに沿って変化させる
ように構成されている。 【効果】 基板上の回路パターンの位置ずれに拘わら
ず、所定の検査を確実に行うことができ、不良検出の工
程を自動化、高速化することができる。
応じて検査ユニットを自動的に位置決めする基板検査装
置を提供する。 【構成】 ＸＹ平面上およびＸＹ平面と平行な回転方向
の位置決め機構に検査ユニット８を昇降自在に設け、検
査ユニット８の側方にＣＣＤカメラ６を取付ける。ＣＣ
Ｄカメラ６、検査ユニット８それぞれの下方で停止する
ワーク移載台４１を配置し、ＣＣＤカメラ６により検出
される基板上の２個のマークの位置情報から回路パター
ンの位置ずれおよび傾きを算出し、検査ユニット８を位
置決めしてその姿勢を回路パターンに沿って変化させる
ように構成されている。 【効果】 基板上の回路パターンの位置ずれに拘わら
ず、所定の検査を確実に行うことができ、不良検出の工
程を自動化、高速化することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種電子部品が装着さ
れる基板に印刷された回路パターンの電気特性等を検査
する基板検査装置特に回路パターン上の少なくとも２個
のマークの位置情報から回路パターンの位置ずれ量およ
び傾き量を算出して検査ユニットを位置決めし、その姿
勢を変化させる基板検査装置に関する。
れる基板に印刷された回路パターンの電気特性等を検査
する基板検査装置特に回路パターン上の少なくとも２個
のマークの位置情報から回路パターンの位置ずれ量およ
び傾き量を算出して検査ユニットを位置決めし、その姿
勢を変化させる基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、各種機械の制御装置はコンパクト
化をはかるため、各電子部品、ＩＣ部品を基板上で接続
するに際して配線図が回路パターンとして印刷された基
板が数多く利用されている。この基板では、各電子部品
の装着前、または装着後にその耐電圧試験、導通試験等
の各種の試験を行って不良基板を排除したり、この基板
上に装着されたＩＣ部品の機能試験等を行って不良回路
パターン、不良部品を排除する工程が必要となってい
る。
化をはかるため、各電子部品、ＩＣ部品を基板上で接続
するに際して配線図が回路パターンとして印刷された基
板が数多く利用されている。この基板では、各電子部品
の装着前、または装着後にその耐電圧試験、導通試験等
の各種の試験を行って不良基板を排除したり、この基板
上に装着されたＩＣ部品の機能試験等を行って不良回路
パターン、不良部品を排除する工程が必要となってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、不良回路パ
ターン、不良部品を排除する工程では、専用の検査装置
があるものの、回路パターンの印刷のずれ、傾きがある
関係で、基板の位置決めの自動化ができず、手作業によ
り基板の位置を決めて検査装置を作動させねばならな
い。そのため、これら作業が煩わしく、基板の回路パタ
ーンの位置ずれに拘わらず基板を自動供給して所定の検
査を行う装置が要望されている。
ターン、不良部品を排除する工程では、専用の検査装置
があるものの、回路パターンの印刷のずれ、傾きがある
関係で、基板の位置決めの自動化ができず、手作業によ
り基板の位置を決めて検査装置を作動させねばならな
い。そのため、これら作業が煩わしく、基板の回路パタ
ーンの位置ずれに拘わらず基板を自動供給して所定の検
査を行う装置が要望されている。
【０００４】本発明は、上記要望に鑑み発明されたもの
で、基板に印刷された回路パターンの姿勢に応じて検査
ユニットを自動的に位置決めすることができる基板検査
装置を提供するものである。
で、基板に印刷された回路パターンの姿勢に応じて検査
ユニットを自動的に位置決めすることができる基板検査
装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】回路パターンの姿勢を示
すマークを持つ基板が載置されるワーク移載台を水平方
向に往復移動させる移動手段が配置されており、このワ
ーク移載台の移動路の上方にはワーク移載台上の基板の
マークの位置を検出するＣＣＤカメラが配置されてい
る。
すマークを持つ基板が載置されるワーク移載台を水平方
向に往復移動させる移動手段が配置されており、このワ
ーク移載台の移動路の上方にはワーク移載台上の基板の
マークの位置を検出するＣＣＤカメラが配置されてい
る。
【０００６】前記ＣＣＤカメラから水平方向に所定距離
離れた位置には、ワーク移載台の移動路の上方に位置し
て所定の検査を行う検査ユニットのプローブピンをＸＹ
平面上で移動させかつθ方向に回転させる位置決め機構
が昇降自在に配置されている。
離れた位置には、ワーク移載台の移動路の上方に位置し
て所定の検査を行う検査ユニットのプローブピンをＸＹ
平面上で移動させかつθ方向に回転させる位置決め機構
が昇降自在に配置されている。
【０００７】さらに、前記ＣＣＤカメラにはこれにより
検出される少なくとも２個のマークの位置から回路パタ
ーンの位置ずれ量および傾き量を算出する演算部を持つ
制御部が接続されており、この制御部はワーク移載台が
位置決め機構の下方に位置すると、前記位置ずれ量およ
び傾き量に応じて位置決め機構を作動させるように構成
されている。
検出される少なくとも２個のマークの位置から回路パタ
ーンの位置ずれ量および傾き量を算出する演算部を持つ
制御部が接続されており、この制御部はワーク移載台が
位置決め機構の下方に位置すると、前記位置ずれ量およ
び傾き量に応じて位置決め機構を作動させるように構成
されている。
【０００８】
【作用】この装置では、ワーク移載台に基板がセットさ
れて後、移動手段が作動して基板がＣＣＤカメラの下方
に達すると、ＣＣＤカメラが回路パターン内にその姿勢
検出用に設けられた２個のマークの位置を読取り、それ
ぞれのマークの位置情報を制御部に送る。制御部ではこ
れら位置情報とあらかじめ記憶された各マークの基準位
置情報とから回路パターンそれぞれの位置ずれ量および
傾き量が算出され、この値が記憶される。
れて後、移動手段が作動して基板がＣＣＤカメラの下方
に達すると、ＣＣＤカメラが回路パターン内にその姿勢
検出用に設けられた２個のマークの位置を読取り、それ
ぞれのマークの位置情報を制御部に送る。制御部ではこ
れら位置情報とあらかじめ記憶された各マークの基準位
置情報とから回路パターンそれぞれの位置ずれ量および
傾き量が算出され、この値が記憶される。
【０００９】さらに、前記ワーク移載台が水平方向に移
動して、位置決め機構の下方で停止すると同時に、演算
部で算出された位置ずれ量および傾き量は位置決め機構
に送られ、位置ずれ量および傾き量に応じて位置決め機
構が駆動され、回路パターンの位置ずれ、傾きに応じて
検査ユニットが位置決めされ、その姿勢が変化する。位
置決め機構の位置決めが完了すると、基板の上方に位置
する検査ユニットが下降し、これに取付けられたプロー
ブピンが基板の位置ずれ量および傾き量に応じて移動し
ているので、回路パターン上の所定の位置に当接し、所
定の検査が行われる。
動して、位置決め機構の下方で停止すると同時に、演算
部で算出された位置ずれ量および傾き量は位置決め機構
に送られ、位置ずれ量および傾き量に応じて位置決め機
構が駆動され、回路パターンの位置ずれ、傾きに応じて
検査ユニットが位置決めされ、その姿勢が変化する。位
置決め機構の位置決めが完了すると、基板の上方に位置
する検査ユニットが下降し、これに取付けられたプロー
ブピンが基板の位置ずれ量および傾き量に応じて移動し
ているので、回路パターン上の所定の位置に当接し、所
定の検査が行われる。
【００１０】
【実施例】以下、実施例を図面に基づいて説明する。図
１ないし図４において、１は基板検査装置であり、基台
２に直立して固定されたコラム３を有し、このコラム３
にはその中間位置で水平に延びる移動手段の一例の直交
座標型のＸＹテーブル４が固定されている。このＸＹテ
ーブル４は、ＸＹ平面上で移動するワーク移載台４１を
有しており、モータ（図示せず）の駆動によりワーク移
載台４１をワークセット位置から後記するＣＣＤカメラ
６の下方まで移動させるように構成されている。また、
前記ＸＹテーブル４はワーク移載台４１をＣＣＤカメラ
６の下方からさらに水平方向に所定距離離れて位置する
検査ユニット７の下方まで移動させ、ワーク移載台４１
上の基板５の中心が後記する位置決め機構７の回転台７
ａの中心に一致するように構成されている。前記ワーク
移載台４１は中央部に基板５を水平に載置して着脱自在
に固定するように構成されており、ワーク移載台４１が
ワークセット位置にある時、その近傍に配置された基板
供給取出し手段の一例の吸着パッド（図示せず）を持つ
基板供給ロボットＲｏにより基板５が供給、または取出
されるように構成されている。また、この基板供給ロボ
ットＲｏは後記する制御部９から作業開始信号を受ける
と、マガジンラック（図示せず）等に積層して供給され
る基板５を上方から吸着してこれをワーク移載台４１上
に載置する一方、制御部９から取出し位置情報を受ける
とワーク移載台４１上の基板５を選別して所定の位置に
取出すように構成されている。なお、供給取出しを手作
業で行ってもよい。
１ないし図４において、１は基板検査装置であり、基台
２に直立して固定されたコラム３を有し、このコラム３
にはその中間位置で水平に延びる移動手段の一例の直交
座標型のＸＹテーブル４が固定されている。このＸＹテ
ーブル４は、ＸＹ平面上で移動するワーク移載台４１を
有しており、モータ（図示せず）の駆動によりワーク移
載台４１をワークセット位置から後記するＣＣＤカメラ
６の下方まで移動させるように構成されている。また、
前記ＸＹテーブル４はワーク移載台４１をＣＣＤカメラ
６の下方からさらに水平方向に所定距離離れて位置する
検査ユニット７の下方まで移動させ、ワーク移載台４１
上の基板５の中心が後記する位置決め機構７の回転台７
ａの中心に一致するように構成されている。前記ワーク
移載台４１は中央部に基板５を水平に載置して着脱自在
に固定するように構成されており、ワーク移載台４１が
ワークセット位置にある時、その近傍に配置された基板
供給取出し手段の一例の吸着パッド（図示せず）を持つ
基板供給ロボットＲｏにより基板５が供給、または取出
されるように構成されている。また、この基板供給ロボ
ットＲｏは後記する制御部９から作業開始信号を受ける
と、マガジンラック（図示せず）等に積層して供給され
る基板５を上方から吸着してこれをワーク移載台４１上
に載置する一方、制御部９から取出し位置情報を受ける
とワーク移載台４１上の基板５を選別して所定の位置に
取出すように構成されている。なお、供給取出しを手作
業で行ってもよい。
【００１１】また、前記直立するコラム３には前記ワー
ク移載台４１の移動路の上方でかつ後記する検査ユニッ
ト８の側部に位置してＣＣＤカメラ６が固定されてお
り、このＣＣＤカメラ６の先端周囲にはリング状のスト
ロボ６１が取付けられている。前記ＣＣＤカメラ６は、
制御部９から作動指令信号を受けるとストロボ６１から
光が投射され、基板５に印刷された回路パターンのマー
クが反射してこのマークを二値化信号として取込み、そ
れぞれの中心を位置情報として検出し、これを制御部９
に送るように構成されている。
ク移載台４１の移動路の上方でかつ後記する検査ユニッ
ト８の側部に位置してＣＣＤカメラ６が固定されてお
り、このＣＣＤカメラ６の先端周囲にはリング状のスト
ロボ６１が取付けられている。前記ＣＣＤカメラ６は、
制御部９から作動指令信号を受けるとストロボ６１から
光が投射され、基板５に印刷された回路パターンのマー
クが反射してこのマークを二値化信号として取込み、そ
れぞれの中心を位置情報として検出し、これを制御部９
に送るように構成されている。
【００１２】さらに、前記コラム３には，ＣＣＤカメラ
６から水平方向に所定距離離れた位置でかつワーク移載
台４１の移動路の上方に位置して検査ユニット８が配置
されている。この検査ユニット８は直立する方向に延び
る２本のリニアガイド８２を有しており、これらリニア
ガイド８２には軸受台８３を介して昇降ヘッド８１が案
内され、昇降駆動源８６の作動により所定ストローク往
復移動自在でしかも最下位置で所定検査時間停止するよ
うに構成されている。前記昇降駆動源８６は制御部９か
ら駆動指令信号を受けると、１ストローク作動し、後記
するプローブピン８４を昇降させるように構成されてい
る。前記昇降ヘッド８１の下部には位置決め機構７の回
転台７ａが固定されており、この回転台７ａはθ軸モー
タ７ｄの駆動によりＸＹ平面と平行な方向にすなわちθ
方向に回転するように構成されている。また、前記回転
台７ａにはＸ軸モータ７ｅの駆動によりＸＹ平面上のＸ
方向に往復移動するＸ軸テーブル台７ｂが配置されてお
り、さらにこのＸ軸テーブル台７ｂにはＹ軸モータ７ｆ
の駆動によりＹ方向に往復移動するＹ軸テーブル台７ｃ
が配置されている。このＹ軸テーブル台７ｃには一体に
移動するように検査台８５が固定されており、この検査
台８５には基板５の所定位置に当接して導通検査を行う
所定本数のプローブピン８４が直立して、しかもその先
端が同一面上に位置するように配置されており、前記位
置決め機構７の作動によりプローブピン８４が任意の位
置に移動してその姿勢を変えるように構成されている。
６から水平方向に所定距離離れた位置でかつワーク移載
台４１の移動路の上方に位置して検査ユニット８が配置
されている。この検査ユニット８は直立する方向に延び
る２本のリニアガイド８２を有しており、これらリニア
ガイド８２には軸受台８３を介して昇降ヘッド８１が案
内され、昇降駆動源８６の作動により所定ストローク往
復移動自在でしかも最下位置で所定検査時間停止するよ
うに構成されている。前記昇降駆動源８６は制御部９か
ら駆動指令信号を受けると、１ストローク作動し、後記
するプローブピン８４を昇降させるように構成されてい
る。前記昇降ヘッド８１の下部には位置決め機構７の回
転台７ａが固定されており、この回転台７ａはθ軸モー
タ７ｄの駆動によりＸＹ平面と平行な方向にすなわちθ
方向に回転するように構成されている。また、前記回転
台７ａにはＸ軸モータ７ｅの駆動によりＸＹ平面上のＸ
方向に往復移動するＸ軸テーブル台７ｂが配置されてお
り、さらにこのＸ軸テーブル台７ｂにはＹ軸モータ７ｆ
の駆動によりＹ方向に往復移動するＹ軸テーブル台７ｃ
が配置されている。このＹ軸テーブル台７ｃには一体に
移動するように検査台８５が固定されており、この検査
台８５には基板５の所定位置に当接して導通検査を行う
所定本数のプローブピン８４が直立して、しかもその先
端が同一面上に位置するように配置されており、前記位
置決め機構７の作動によりプローブピン８４が任意の位
置に移動してその姿勢を変えるように構成されている。
【００１３】前記位置決め機構７は、まず前記傾き量に
応じて順次θ軸モータ７ｄを駆動して回転台７ａすなわ
ちプローブピン８４のθ方向の位置決めを行い、その後
Ｘ軸モータ７ｅおよびＹ軸モータ７ｆを駆動してプロー
ブピン８４のＸＹ方向の位置決めを行って位置決め完了
信号を制御部９に出力するように構成されている。
応じて順次θ軸モータ７ｄを駆動して回転台７ａすなわ
ちプローブピン８４のθ方向の位置決めを行い、その後
Ｘ軸モータ７ｅおよびＹ軸モータ７ｆを駆動してプロー
ブピン８４のＸＹ方向の位置決めを行って位置決め完了
信号を制御部９に出力するように構成されている。
【００１４】一方、前記基板検査装置１の制御部９は基
準値記憶指令信号を受けると、ＸＹテーブル４に移動指
令信号を送るとともに、ＣＣＤカメラ６から位置情報を
受けるとＸＹテーブル４を復帰させるように構成されて
いる。また、この制御部９は作業開始信号を受けると、
基板供給ロボットＲｏを駆動させて基板５を供給後にＸ
Ｙテーブル４に移動指令信号を送る一方で、ＣＣＤカメ
ラ６から位置情報を受けると、ＸＹテーブル４に検査位
置までの移動指令信号を送るように構成されている。し
かも、この制御部９はＣＣＤカメラ６から供給される位
置情報に基づき２個のマーク間の中心位置等の基準位置
情報を算出する第１演算部９ａと、これらマークの基準
位置情報を記憶する第１記憶部９ｂと、前記基準位置情
報と検査中の基板５から得られる位置情報とに基づき回
路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する第２演
算部９ｃとを有し、第２演算部９ｃの算出値を第２記憶
部９ｄで記憶するように構成されている。
準値記憶指令信号を受けると、ＸＹテーブル４に移動指
令信号を送るとともに、ＣＣＤカメラ６から位置情報を
受けるとＸＹテーブル４を復帰させるように構成されて
いる。また、この制御部９は作業開始信号を受けると、
基板供給ロボットＲｏを駆動させて基板５を供給後にＸ
Ｙテーブル４に移動指令信号を送る一方で、ＣＣＤカメ
ラ６から位置情報を受けると、ＸＹテーブル４に検査位
置までの移動指令信号を送るように構成されている。し
かも、この制御部９はＣＣＤカメラ６から供給される位
置情報に基づき２個のマーク間の中心位置等の基準位置
情報を算出する第１演算部９ａと、これらマークの基準
位置情報を記憶する第１記憶部９ｂと、前記基準位置情
報と検査中の基板５から得られる位置情報とに基づき回
路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する第２演
算部９ｃとを有し、第２演算部９ｃの算出値を第２記憶
部９ｄで記憶するように構成されている。
【００１５】また、前記制御部９は、ＸＹテーブル４か
ら検査位置での位置決め完了信号を受けると、前記位置
ずれ量および傾き量を位置決め機構７に送り、位置決め
機構７から位置決め完了信号が発信されると、昇降駆動
源８６に作動指令信号を発信して昇降駆動源８６を駆動
し、検査ユニット８からの検査結果を一時記憶して後、
この昇降駆動源８６からの原位置復帰信号を待って、Ｘ
Ｙテーブル４にワークセット位置復帰指令信号を送るよ
うに構成されている。
ら検査位置での位置決め完了信号を受けると、前記位置
ずれ量および傾き量を位置決め機構７に送り、位置決め
機構７から位置決め完了信号が発信されると、昇降駆動
源８６に作動指令信号を発信して昇降駆動源８６を駆動
し、検査ユニット８からの検査結果を一時記憶して後、
この昇降駆動源８６からの原位置復帰信号を待って、Ｘ
Ｙテーブル４にワークセット位置復帰指令信号を送るよ
うに構成されている。
【００１６】さらに、この制御部９はワーク移載台４１
のワークセット位置復帰時に、検査ユニット８の検査結
果が不良の場合には不良基板取出し位置情報を、検査結
果が良好である場合には良品基板取出し位置情報を基板
供給ロボットＲｏに送るように構成されている。
のワークセット位置復帰時に、検査ユニット８の検査結
果が不良の場合には不良基板取出し位置情報を、検査結
果が良好である場合には良品基板取出し位置情報を基板
供給ロボットＲｏに送るように構成されている。
【００１７】上記基板検査装置では、作業開始前に図５
（ａ）に示すように基準となる基板５をワーク移載台４
１に固定して後、制御部９が基準値記憶指令信号を受け
ると、ＸＹテーブル４が作動し、基板５がＣＣＤカメラ
６の下方まで移動する。この位置決めが完了すると、ス
トロボ６１が作動してＣＣＤカメラ６が基板５に印刷さ
れた２個のマークの位置を二値化信号として検出する。
このＣＣＤカメラ６はこの二値化信号からマークの中心
位置を算出し、マークの位置情報として制御部９に送
る。この位置情報から２個のマーク間の中心位置が第１
演算部９ａで算出され、この算出値が前記位置情報とと
もに第１記憶部９ｂで記憶されると同時に、ＸＹテーブ
ル４がワークセット位置に復帰する。
（ａ）に示すように基準となる基板５をワーク移載台４
１に固定して後、制御部９が基準値記憶指令信号を受け
ると、ＸＹテーブル４が作動し、基板５がＣＣＤカメラ
６の下方まで移動する。この位置決めが完了すると、ス
トロボ６１が作動してＣＣＤカメラ６が基板５に印刷さ
れた２個のマークの位置を二値化信号として検出する。
このＣＣＤカメラ６はこの二値化信号からマークの中心
位置を算出し、マークの位置情報として制御部９に送
る。この位置情報から２個のマーク間の中心位置が第１
演算部９ａで算出され、この算出値が前記位置情報とと
もに第１記憶部９ｂで記憶されると同時に、ＸＹテーブ
ル４がワークセット位置に復帰する。
【００１８】その後、制御部９が作業開始信号を受ける
と、基板供給ロボットＲｏが作動し、マガジンラックに
積層された基板５が最上のものから順に取出され、ワー
ク載置台４１に載置される。基板５が供給されると、図
５（ｂ）に示すようにＸＹテーブル４が往動してワーク
移載台４１がＣＣＤカメラ６の下方まで移動し、ＣＣＤ
カメラ６により基板５に印刷された２個のマークの位置
が二値化信号として検出される。また、ＣＣＤカメラ６
はこの二値化信号からマークの中心位置を算出し、これ
を制御部９に送る。制御部９ではこの位置情報から２個
のマークの中心位置すなわち基板５に印刷された回路パ
ターンの中心位置が算出され、この位置情報および算出
値と第１記憶部９ａで記憶された基準位置情報とから位
置ずれ量および傾き量が算出され、第２記憶部９ｄで記
憶される。
と、基板供給ロボットＲｏが作動し、マガジンラックに
積層された基板５が最上のものから順に取出され、ワー
ク載置台４１に載置される。基板５が供給されると、図
５（ｂ）に示すようにＸＹテーブル４が往動してワーク
移載台４１がＣＣＤカメラ６の下方まで移動し、ＣＣＤ
カメラ６により基板５に印刷された２個のマークの位置
が二値化信号として検出される。また、ＣＣＤカメラ６
はこの二値化信号からマークの中心位置を算出し、これ
を制御部９に送る。制御部９ではこの位置情報から２個
のマークの中心位置すなわち基板５に印刷された回路パ
ターンの中心位置が算出され、この位置情報および算出
値と第１記憶部９ａで記憶された基準位置情報とから位
置ずれ量および傾き量が算出され、第２記憶部９ｄで記
憶される。
【００１９】前記位置ずれ量および傾き量が算出されて
後、ＸＹテーブル４がさらに検査位置まで往動し、図５
（ｃ）に示すように基板５が検査ユニット８の下方に達
してその中心が回転台７ａの中心に一致するように位置
決めされる。この位置決め完了後、位置決め機構７はま
ず回路パターンの傾き量に応じて回転台７ａを回転さ
せ、Ｘ軸テーブル台７ｂおよびＹ軸テーブル台７ｃごと
検査ユニット８のプローブピン８４を所定角度回転させ
る。続いて、回路パターンの位置ずれ量に応じてＸ軸モ
ータ７ｅおよびＹ軸モータ７ｆが駆動され、Ｘ軸テーブ
ル台７ｂ、Ｙ軸テーブル台７ｃを移動させ、検査ユニッ
ト８の中心を基板５上の２個のマーク間の中心に一致さ
せ、基板５に傾いて印刷された回路パターンに沿って検
査ユニット８のプローブピン８４を位置させることがで
きる。その後、位置決め機構７から位置決め完了信号が
発信されると、昇降駆動源８６が作動して昇降ヘッド８
１が所定ストローク下降する。そのため、昇降ヘッド８
１とともに移動するプローブピン８４が基板５に印刷さ
れた回路パターン上の所定の位置に正確に接触でき、所
定の導通検査を行うことができる。
後、ＸＹテーブル４がさらに検査位置まで往動し、図５
（ｃ）に示すように基板５が検査ユニット８の下方に達
してその中心が回転台７ａの中心に一致するように位置
決めされる。この位置決め完了後、位置決め機構７はま
ず回路パターンの傾き量に応じて回転台７ａを回転さ
せ、Ｘ軸テーブル台７ｂおよびＹ軸テーブル台７ｃごと
検査ユニット８のプローブピン８４を所定角度回転させ
る。続いて、回路パターンの位置ずれ量に応じてＸ軸モ
ータ７ｅおよびＹ軸モータ７ｆが駆動され、Ｘ軸テーブ
ル台７ｂ、Ｙ軸テーブル台７ｃを移動させ、検査ユニッ
ト８の中心を基板５上の２個のマーク間の中心に一致さ
せ、基板５に傾いて印刷された回路パターンに沿って検
査ユニット８のプローブピン８４を位置させることがで
きる。その後、位置決め機構７から位置決め完了信号が
発信されると、昇降駆動源８６が作動して昇降ヘッド８
１が所定ストローク下降する。そのため、昇降ヘッド８
１とともに移動するプローブピン８４が基板５に印刷さ
れた回路パターン上の所定の位置に正確に接触でき、所
定の導通検査を行うことができる。
【００２０】また、この導通検査が終了すると、その完
了信号によりＸＹテーブル４がワークセット位置に復動
すると同時に、その結果が制御部９に送られる。検査結
果が不良で取付け部品あるいは回路パターンに欠陥があ
る時には、制御部９から基板供給ロボットＲｏに不良基
板用取出し位置情報が送られ、不良基板は不良基板用位
置に取出される。一方、前記検査結果が良好で取付け部
品あるいは回路パターンが良品である場合には、良品基
板５の取出し位置情報が基板供給ロボットＲｏに送ら
れ、良品の基板５が良品基板用の取出し位置に取出され
る。
了信号によりＸＹテーブル４がワークセット位置に復動
すると同時に、その結果が制御部９に送られる。検査結
果が不良で取付け部品あるいは回路パターンに欠陥があ
る時には、制御部９から基板供給ロボットＲｏに不良基
板用取出し位置情報が送られ、不良基板は不良基板用位
置に取出される。一方、前記検査結果が良好で取付け部
品あるいは回路パターンが良品である場合には、良品基
板５の取出し位置情報が基板供給ロボットＲｏに送ら
れ、良品の基板５が良品基板用の取出し位置に取出され
る。
【００２１】なお、実施例ではワーク移載台４１はＸＹ
テーブル４に取付けられているが、所定ストロークを持
つシリンダ機構（図示せず）を使用してもよい。
テーブル４に取付けられているが、所定ストロークを持
つシリンダ機構（図示せず）を使用してもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は所定検査
を行う検査ユニットのプローブピンをＸＹ平面上で移動
させ、かつＸＹ平面に平行に回転させる位置決め機構を
昇降自在に設けるとともに検査ユニットから所定距離を
隔ててＣＣＤカメラを取付ける一方、ＣＣＤカメラ、検
査ユニットそれぞれの下方で停止するように平行移動す
るワーク移載台を配置し、このワーク移載台の基板に検
査ユニットのプローブピンが接触できるように構成して
いるため、基板に印刷された回路パターンが正規の位置
からずれていたり、また傾いていたりしても、これをＣ
ＣＤカメラで検出してプローブピンの位置を変更でき、
導通検査等所定の検査を確実に行うことができ、基板の
回路パターンの不良検出の工程を自動化、高速化でき、
検査選別に要する時間を短縮することができる等の利点
がある。
を行う検査ユニットのプローブピンをＸＹ平面上で移動
させ、かつＸＹ平面に平行に回転させる位置決め機構を
昇降自在に設けるとともに検査ユニットから所定距離を
隔ててＣＣＤカメラを取付ける一方、ＣＣＤカメラ、検
査ユニットそれぞれの下方で停止するように平行移動す
るワーク移載台を配置し、このワーク移載台の基板に検
査ユニットのプローブピンが接触できるように構成して
いるため、基板に印刷された回路パターンが正規の位置
からずれていたり、また傾いていたりしても、これをＣ
ＣＤカメラで検出してプローブピンの位置を変更でき、
導通検査等所定の検査を確実に行うことができ、基板の
回路パターンの不良検出の工程を自動化、高速化でき、
検査選別に要する時間を短縮することができる等の利点
がある。
【図１】本発明の基板検査装置の全体正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明に係る制御部の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図４】図１の基板検査装置をシンボル化した一部断面
正面図である。
正面図である。
【図５】本発明に係る検査ユニットの概略動作説明図で
ある。
ある。
１ 基板検査装置 ２ 基台 ３ コラム ４ ＸＹテーブル ４１ ワーク移載台 ５ 基板 ６ ＣＣＤカメラ ６１ ストロボ ７ 位置決め機構 ７ａ 回転台 ７ｂ Ｘ軸テーブル台 ７ｃ Ｙ軸テーブル台 ７ｄ θ軸モータ ７ｅ Ｘ軸モータ ７ｆ Ｙ軸モータ ８ 検査ユニット ８１ 昇降ヘッド ８２ リニアガイド ８３ 軸受台 ８４ プローブピン ８５ 検査台 ８６ 昇降駆動源 ９ 制御部 ９ａ 第１演算部 ９ｂ 第１記憶部 ９ｃ 第２演算部 ９ｄ 第２記憶部 Ｒｏ 基板供給ロボット
Claims (1)
- 【請求項１】 回路パターンの姿勢を示すマークを持つ
基板が載置されるワーク移載台を水平方向に往復移動さ
せる移動手段を配置するとともに、このワーク移載台の
移動路の上方に位置して、ワーク移載台上の基板のマー
クの位置を検出するＣＣＤカメラを配置し、 さらに、前記ＣＣＤカメラから水平方向に所定距離離れ
た位置で、ワーク移載台の移動路の上方に位置して、所
定検査を行う検査ユニットのプローブピンをＸＹ平面上
で移動させかつθ方向に回転させる位置決め機構を昇降
するように配置する一方、 前記ＣＣＤカメラにより検出される少なくとも２個のマ
ークの位置から回路パターンの位置ずれ量および傾き量
を算出する演算部を持ち、ワーク移載台が位置決め機構
の下方に位置すると前記位置ずれ量および傾き量に応じ
て位置決め機構を作動させる制御部を設けたことを特徴
とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4319201A JPH06129831A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4319201A JPH06129831A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129831A true JPH06129831A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=18107544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4319201A Pending JPH06129831A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129831A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101374529B1 (ko) * | 2012-03-14 | 2014-03-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법 |
| CN106482712A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-03-08 | 荣旗工业科技（苏州）有限公司 | 一种质量检测装置及其应用 |
| JP2017181497A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-10-05 | ヤマハファインテック株式会社 | 回路基板の検査方法、検査装置、及びプログラム |
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-
1992
- 1992-10-14 JP JP4319201A patent/JPH06129831A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2019102890A1 (ja) * | 2017-11-24 | 2020-12-03 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置、検査位置補正方法、位置補正情報生成方法、及び位置補正情報生成システム |
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