JPH06118115A - 両面基板検査装置 - Google Patents
両面基板検査装置Info
- Publication number
- JPH06118115A JPH06118115A JP4302814A JP30281492A JPH06118115A JP H06118115 A JPH06118115 A JP H06118115A JP 4302814 A JP4302814 A JP 4302814A JP 30281492 A JP30281492 A JP 30281492A JP H06118115 A JPH06118115 A JP H06118115A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work transfer
- inspection
- board
- ccd cameras
- transfer table
- Prior art date
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- Granted
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各種電子部品が装着される基板の上下両面に
印刷された回路パターンの電気特性等を検査する両面基
板検査装置を提供する。 【構成】 プローブピンを備えた検査ユニット8,9を
XY平面上で移動させかつXY平面と平行に回転させる
位置決め機構を上下に対向して昇降自在に設ける。それ
ぞれの検査ユニットに隣接してCCDカメラ6,7を上
下に対向して固定する一方、CCDカメラ間、検査ユニ
ット間それぞれで停止するように移動するワーク移載台
41を配置し、このワーク移載台の中央部に基板の裏面
が露出する窓部を設け、下方からプローブピンが基板に
接触できるように構成している。 【効果】 基板の上、下面それぞれに印刷された回路パ
ターンの正規の位置からのずれ、傾きをCCDカメラで
検出してその検出量に応じてプローブピンの位置を変更
でき、所定の検査を確実に行うことができる。また、基
板上、下面同時に検査を行うことができる。
印刷された回路パターンの電気特性等を検査する両面基
板検査装置を提供する。 【構成】 プローブピンを備えた検査ユニット8,9を
XY平面上で移動させかつXY平面と平行に回転させる
位置決め機構を上下に対向して昇降自在に設ける。それ
ぞれの検査ユニットに隣接してCCDカメラ6,7を上
下に対向して固定する一方、CCDカメラ間、検査ユニ
ット間それぞれで停止するように移動するワーク移載台
41を配置し、このワーク移載台の中央部に基板の裏面
が露出する窓部を設け、下方からプローブピンが基板に
接触できるように構成している。 【効果】 基板の上、下面それぞれに印刷された回路パ
ターンの正規の位置からのずれ、傾きをCCDカメラで
検出してその検出量に応じてプローブピンの位置を変更
でき、所定の検査を確実に行うことができる。また、基
板上、下面同時に検査を行うことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種電子部品が装着さ
れる基板の上下両面に印刷された回路パターンの電気特
性等を検査する両面基板検査装置に関する。
れる基板の上下両面に印刷された回路パターンの電気特
性等を検査する両面基板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、各種機械の制御装置はコンパクト
化をはかるため、各電子部品、IC部品を基板上で接続
するに際して配線図が回路パターンとして印刷された基
板が数多く利用されている。この基板では、各電子部品
の装着前、または装着後にその耐電圧試験、導通試験等
の各種の試験を行って不良基板を排除したり、この基板
上装着されたIC部品の機能試験等を行って不良部品、
不良回路パターンを排除する必要が生じている。この種
の試験を行う装置は各種あるが、いずれも所定位置に所
定数のプローブピンを備えた検査ユニットを手動操作に
より下降させて基板上の回路パターンに当接させる構成
となっている。
化をはかるため、各電子部品、IC部品を基板上で接続
するに際して配線図が回路パターンとして印刷された基
板が数多く利用されている。この基板では、各電子部品
の装着前、または装着後にその耐電圧試験、導通試験等
の各種の試験を行って不良基板を排除したり、この基板
上装着されたIC部品の機能試験等を行って不良部品、
不良回路パターンを排除する必要が生じている。この種
の試験を行う装置は各種あるが、いずれも所定位置に所
定数のプローブピンを備えた検査ユニットを手動操作に
より下降させて基板上の回路パターンに当接させる構成
となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そのため、作業開始前
にプローブピンの下方に基板をセットする際には、作業
者が目視により基板上の回路パターンの所定の位置に所
望プローブピンが位置するようにプローブピンの位置を
調整しなければならず、この作業が大変面倒な作業とな
るばかりか、基板下面に印刷された回路パターンの検査
の際には一旦基板を取外して基板を裏返してセットし、
再度位置決めして検査を行わねばならない等の欠点が生
じている。
にプローブピンの下方に基板をセットする際には、作業
者が目視により基板上の回路パターンの所定の位置に所
望プローブピンが位置するようにプローブピンの位置を
調整しなければならず、この作業が大変面倒な作業とな
るばかりか、基板下面に印刷された回路パターンの検査
の際には一旦基板を取外して基板を裏返してセットし、
再度位置決めして検査を行わねばならない等の欠点が生
じている。
【0004】本発明は、上記欠点の除去を目的とするも
ので、基板上下両面に印刷された回路パターンの姿勢に
応じて検査ユニットを自動的に位置決めするとともに、
上下両面の回路パターンの検査を行えるようにした両面
基板検査装置を提供するものである。
ので、基板上下両面に印刷された回路パターンの姿勢に
応じて検査ユニットを自動的に位置決めするとともに、
上下両面の回路パターンの検査を行えるようにした両面
基板検査装置を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】回路パターンの姿勢を示
すマークを上、下面に持つ基板が載置されるワーク移載
台を水平方向に往復移動させる移動手段が配置されてお
り、この移動手段のワーク移載台の中央部には基板の下
面が露出する窓部が設けられている。また、前記ワーク
移載台の移動路を挟む位置に上、下面のマークの位置を
それぞれ検出するCCDカメラが対向して配置されてお
り、その下方または上方に位置する基板に印刷された回
路パターン中のマークの位置を検出するように構成され
ている。
すマークを上、下面に持つ基板が載置されるワーク移載
台を水平方向に往復移動させる移動手段が配置されてお
り、この移動手段のワーク移載台の中央部には基板の下
面が露出する窓部が設けられている。また、前記ワーク
移載台の移動路を挟む位置に上、下面のマークの位置を
それぞれ検出するCCDカメラが対向して配置されてお
り、その下方または上方に位置する基板に印刷された回
路パターン中のマークの位置を検出するように構成され
ている。
【0006】一方、前記CCDカメラそれぞれから水平
方向に所定距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路を
挾む位置には所定検査を行う所定本数のプローブピンが
備付けられた検査ユニットをXY平面上で移動させかつ
XY平面に平行に回転させる位置決め機構が対向して昇
降するように配置されている。
方向に所定距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路を
挾む位置には所定検査を行う所定本数のプローブピンが
備付けられた検査ユニットをXY平面上で移動させかつ
XY平面に平行に回転させる位置決め機構が対向して昇
降するように配置されている。
【0007】さらに、前記各CCDカメラにはこれによ
り検出されるマークの位置から回路パターンの位置ずれ
量および傾き量を算出する演算部を持ち、しかもワーク
移載台が対向する位置決め機構の間に位置すると、前記
演算部から転送される位置ずれ量および傾き量を受けて
各位置決め機構を順次作動させる制御部が接続されてい
る。
り検出されるマークの位置から回路パターンの位置ずれ
量および傾き量を算出する演算部を持ち、しかもワーク
移載台が対向する位置決め機構の間に位置すると、前記
演算部から転送される位置ずれ量および傾き量を受けて
各位置決め機構を順次作動させる制御部が接続されてい
る。
【0008】
【作用】この装置では、ワーク移載台に基板がセットさ
れて後、移動手段が作動して基板が対向するCCDカメ
ラ間に達すると、それぞれのCCDカメラが回路パター
ン内にその姿勢検出用に設けられた2個のマークの位置
を読取り、それぞれのマークの位置情報を制御部に送
る。制御部ではこれら位置情報とあらかじめ記憶された
各マークの基準位置情報とから上面の回路パターン、下
面の回路パターンそれぞれの位置ずれ量および傾き量が
算出される。さらに、前記ワーク移載台が水平方向に移
動して、対向する位置決め機構間に達して停止すると同
時に、制御部で算出された位置ずれ量および傾き量はそ
れぞれ上、下面用の位置決め機構に送られ、位置ずれ量
および傾き量に応じて上、下面側それぞれの位置決め機
構が駆動され、それぞれの回路パターンの位置ずれ、傾
きに応じた検査ユニットの姿勢を保持する。上、下面側
の位置決めが完了すると、上面側の検査台が下降すると
ともに下面側の検査台が上昇し、上、下側のプローブピ
ンが回路パターンの位置ずれおよび傾きに拘わらず確実
に回路パターン上の所定の位置に当接し、所定の検査が
行われる。
れて後、移動手段が作動して基板が対向するCCDカメ
ラ間に達すると、それぞれのCCDカメラが回路パター
ン内にその姿勢検出用に設けられた2個のマークの位置
を読取り、それぞれのマークの位置情報を制御部に送
る。制御部ではこれら位置情報とあらかじめ記憶された
各マークの基準位置情報とから上面の回路パターン、下
面の回路パターンそれぞれの位置ずれ量および傾き量が
算出される。さらに、前記ワーク移載台が水平方向に移
動して、対向する位置決め機構間に達して停止すると同
時に、制御部で算出された位置ずれ量および傾き量はそ
れぞれ上、下面用の位置決め機構に送られ、位置ずれ量
および傾き量に応じて上、下面側それぞれの位置決め機
構が駆動され、それぞれの回路パターンの位置ずれ、傾
きに応じた検査ユニットの姿勢を保持する。上、下面側
の位置決めが完了すると、上面側の検査台が下降すると
ともに下面側の検査台が上昇し、上、下側のプローブピ
ンが回路パターンの位置ずれおよび傾きに拘わらず確実
に回路パターン上の所定の位置に当接し、所定の検査が
行われる。
【0009】
【実施例】以下、実施例を図面に基づいて説明する。図
1ないし図4において、1は両面基板検査装置であり、
基台2に直立して固定されたコラム3を有し、このコラ
ム3にはその中間位置で水平に延びる移動手段の一例の
直交座標型のXYテーブル4が固定されている。このX
Yテーブル4は、XY平面上で移動するワーク移載台4
1を有しており、ワーク移載台41に被検査ワークの一
例の基板5が載置されると、モータ(図示せず)の駆動
によりワーク移載台41がワークセット位置から後記す
る第1,第2CCDカメラ6,7間まで移動するように
構成されている。また、前記XYテーブルはワーク移載
台41を第1,第2CCDカメラ6,7間からさらに水
平方向に所定距離離れて位置する第1,第2検査ユニッ
ト8,9間まで移動させてワーク移載台41上の基板5
の中心が後記する位置決め機構10,13の回転台10
a,13aの中心に一致させるように構成されている。
前記ワーク移載台41は中央部に基板5の裏面に印刷さ
れた回路パターンが露出するように窓部41aを有して
おり、この窓部41aから回路パターン内のマークが露
出するように構成されている。
1ないし図4において、1は両面基板検査装置であり、
基台2に直立して固定されたコラム3を有し、このコラ
ム3にはその中間位置で水平に延びる移動手段の一例の
直交座標型のXYテーブル4が固定されている。このX
Yテーブル4は、XY平面上で移動するワーク移載台4
1を有しており、ワーク移載台41に被検査ワークの一
例の基板5が載置されると、モータ(図示せず)の駆動
によりワーク移載台41がワークセット位置から後記す
る第1,第2CCDカメラ6,7間まで移動するように
構成されている。また、前記XYテーブルはワーク移載
台41を第1,第2CCDカメラ6,7間からさらに水
平方向に所定距離離れて位置する第1,第2検査ユニッ
ト8,9間まで移動させてワーク移載台41上の基板5
の中心が後記する位置決め機構10,13の回転台10
a,13aの中心に一致させるように構成されている。
前記ワーク移載台41は中央部に基板5の裏面に印刷さ
れた回路パターンが露出するように窓部41aを有して
おり、この窓部41aから回路パターン内のマークが露
出するように構成されている。
【0010】また、前記直立するコラム3には前記ワー
ク移載台41の移動路を挟むように後記する第1昇降ヘ
ッド81,91の側部に位置して第1、第2CCDカメ
ラ6,7が対向して位置するように固定されており、各
第1、第2CCDカメラ6,7先端の周囲に設けられた
リング状の第1、第2ストロボ61,71から光が投射
されると、基板5の上、下面に印刷された回路パターン
の姿勢を示すマークに反射して得られる二値化信号から
マークの位置を検出するように構成されている。また、
この第1、第2CCDカメラ6,7は前記マークの位置
情報を検出すると、これを後記する制御部(図示せず)
に送り、制御部でこれが基準位置情報として記憶され
る。
ク移載台41の移動路を挟むように後記する第1昇降ヘ
ッド81,91の側部に位置して第1、第2CCDカメ
ラ6,7が対向して位置するように固定されており、各
第1、第2CCDカメラ6,7先端の周囲に設けられた
リング状の第1、第2ストロボ61,71から光が投射
されると、基板5の上、下面に印刷された回路パターン
の姿勢を示すマークに反射して得られる二値化信号から
マークの位置を検出するように構成されている。また、
この第1、第2CCDカメラ6,7は前記マークの位置
情報を検出すると、これを後記する制御部(図示せず)
に送り、制御部でこれが基準位置情報として記憶され
る。
【0011】さらに、前記コラム3にはワーク移載台4
1の移動路を挟むようにその上下部それぞれに第1検査
ユニット8、第2検査ユニット9が配置されている。前
記第1検査ユニット8は直立する方向に延びる2本の第
1リニアガイド82を有しており、これら第1リニアガ
イド82には第1軸受台83を介して第1昇降ヘッド8
1が案内され、第1昇降駆動源(図示せず)の作動によ
り所定ストローク往復移動自在でしかも最下位置で所定
検査時間停止するように構成されている。前記第1昇降
駆動源は制御部から駆動指令信号を受けると、1ストロ
ーク作動し、後記するプローブピン12a,12bを昇
降させるように構成されている。前記第1昇降ヘッド8
1の下部には第1位置決め機構10の第1回転台10a
が固定されており、この第1回転台10aは第1θ軸モ
ータ10dの駆動により後記するXY平面と平行にすな
わちθ方向に回転するように構成されている。また、前
記第1回転台10aには第1X軸モータ10eの駆動に
よりXY平面上のX方向に往復移動する第1X軸テーブ
ル台10bが配置されており、さらにこの第1X軸テー
ブル台10bには第1Y軸モータ10fの駆動によりY
方向に往復移動する第1Y軸テーブル台10cが配置さ
れている。この第1Y軸テーブル台10cには一体に移
動するように第1検査台11が固定されており、この第
1検査台11には基板5の所定位置に当接して導通検査
を行う所定本数のプローブピン12aが直立して、しか
もその先端が同一面上に位置するように配置されてお
り、前記第1位置決め機構10の作動によりプローブピ
ン12aが任意の位置に移動してその姿勢を変えること
ができるように構成されている。
1の移動路を挟むようにその上下部それぞれに第1検査
ユニット8、第2検査ユニット9が配置されている。前
記第1検査ユニット8は直立する方向に延びる2本の第
1リニアガイド82を有しており、これら第1リニアガ
イド82には第1軸受台83を介して第1昇降ヘッド8
1が案内され、第1昇降駆動源(図示せず)の作動によ
り所定ストローク往復移動自在でしかも最下位置で所定
検査時間停止するように構成されている。前記第1昇降
駆動源は制御部から駆動指令信号を受けると、1ストロ
ーク作動し、後記するプローブピン12a,12bを昇
降させるように構成されている。前記第1昇降ヘッド8
1の下部には第1位置決め機構10の第1回転台10a
が固定されており、この第1回転台10aは第1θ軸モ
ータ10dの駆動により後記するXY平面と平行にすな
わちθ方向に回転するように構成されている。また、前
記第1回転台10aには第1X軸モータ10eの駆動に
よりXY平面上のX方向に往復移動する第1X軸テーブ
ル台10bが配置されており、さらにこの第1X軸テー
ブル台10bには第1Y軸モータ10fの駆動によりY
方向に往復移動する第1Y軸テーブル台10cが配置さ
れている。この第1Y軸テーブル台10cには一体に移
動するように第1検査台11が固定されており、この第
1検査台11には基板5の所定位置に当接して導通検査
を行う所定本数のプローブピン12aが直立して、しか
もその先端が同一面上に位置するように配置されてお
り、前記第1位置決め機構10の作動によりプローブピ
ン12aが任意の位置に移動してその姿勢を変えること
ができるように構成されている。
【0012】前記第2検査ユニット9は直立する方向に
延びる2本の第2リニアガイド92を有しており、これ
ら第2リニアガイド92には第2軸受台93を介して第
2昇降ヘッド91が前記第1昇降ヘッド81の下方でこ
れと所定距離を隔てて昇降自在に配置されている。この
第2昇降ヘッド91は、後記する第2位置決め機構13
からの位置決め完了信号を受けて第2昇降駆動源(図示
せず)が作動するにともなって所定ストローク往復移動
し、しかも最上位置で所定検査時間停止するように構成
されている。前記第2昇降ヘッド91の上部側には第2
位置決め機構13の第2回転台13aが固定されてお
り、第2回転台13aは第2θ軸モータ13dの駆動に
より回転するように構成されている。また、前記第2回
転台13aには第2X軸モータ13eの駆動によりXY
平面上のX方向に往復移動する第2X軸テーブル台13
bが配置されており、さらにこの第2X軸テーブル台1
3bには第2Y軸モータ13fの駆動によりY方向に往
復移動する第2Y軸テーブル台13cが配置されてい
る。この第2Y軸テーブル台13cには一体に移動する
ように第2検査台14が固定されており、この第2検査
台14には基板5の所定位置に当接して導通検査を行う
所定本数のプローブピン12bが上向きに直立して、し
かもその先端が同一面上に位置するように配置されてお
り、前記第2位置決め機構13が作動するとプローブピ
ン12bが任意の位置に移動してその姿勢を変えるよう
に構成されている。
延びる2本の第2リニアガイド92を有しており、これ
ら第2リニアガイド92には第2軸受台93を介して第
2昇降ヘッド91が前記第1昇降ヘッド81の下方でこ
れと所定距離を隔てて昇降自在に配置されている。この
第2昇降ヘッド91は、後記する第2位置決め機構13
からの位置決め完了信号を受けて第2昇降駆動源(図示
せず)が作動するにともなって所定ストローク往復移動
し、しかも最上位置で所定検査時間停止するように構成
されている。前記第2昇降ヘッド91の上部側には第2
位置決め機構13の第2回転台13aが固定されてお
り、第2回転台13aは第2θ軸モータ13dの駆動に
より回転するように構成されている。また、前記第2回
転台13aには第2X軸モータ13eの駆動によりXY
平面上のX方向に往復移動する第2X軸テーブル台13
bが配置されており、さらにこの第2X軸テーブル台1
3bには第2Y軸モータ13fの駆動によりY方向に往
復移動する第2Y軸テーブル台13cが配置されてい
る。この第2Y軸テーブル台13cには一体に移動する
ように第2検査台14が固定されており、この第2検査
台14には基板5の所定位置に当接して導通検査を行う
所定本数のプローブピン12bが上向きに直立して、し
かもその先端が同一面上に位置するように配置されてお
り、前記第2位置決め機構13が作動するとプローブピ
ン12bが任意の位置に移動してその姿勢を変えるよう
に構成されている。
【0013】前記各位置決め機構10,13は制御部か
ら回路パターンの位置ずれ量および傾き量を受けると、
まず前記傾き量に応じて順次θ軸モータ10d,13d
を駆動して回転台10a,13aすなわちプローブピン
12a,12bのθ方向の位置決めを行い、その後X軸
モータ10e,13eおよびY軸モータ10f,13f
を駆動してプローブピン12a,12bのXY方向の位
置決めを行って位置決め完了信号を制御部に出力するよ
うに構成されている。
ら回路パターンの位置ずれ量および傾き量を受けると、
まず前記傾き量に応じて順次θ軸モータ10d,13d
を駆動して回転台10a,13aすなわちプローブピン
12a,12bのθ方向の位置決めを行い、その後X軸
モータ10e,13eおよびY軸モータ10f,13f
を駆動してプローブピン12a,12bのXY方向の位
置決めを行って位置決め完了信号を制御部に出力するよ
うに構成されている。
【0014】一方、前記第1、第2CCDカメラ6,7
には回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する
演算部(図示せず)を有する制御部が接続されており、
この制御部にはあらかじめマークの位置情報を基準位置
情報として記憶する記憶部(図示せず)が設けられてい
る。また、この制御部は前記基準位置情報と検査中の基
板5から得られる位置情報とにより算出したデータをそ
れぞれ第1、第2位置決め機構10,13に転送し、各
位置決め機構10,13から位置決め完了信号が発信さ
れると、第1、第2昇降駆動源に作動指令信号を発信し
て各昇降駆動源からの原位置復帰信号を待って、次の検
査に備えるように構成されている。
には回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する
演算部(図示せず)を有する制御部が接続されており、
この制御部にはあらかじめマークの位置情報を基準位置
情報として記憶する記憶部(図示せず)が設けられてい
る。また、この制御部は前記基準位置情報と検査中の基
板5から得られる位置情報とにより算出したデータをそ
れぞれ第1、第2位置決め機構10,13に転送し、各
位置決め機構10,13から位置決め完了信号が発信さ
れると、第1、第2昇降駆動源に作動指令信号を発信し
て各昇降駆動源からの原位置復帰信号を待って、次の検
査に備えるように構成されている。
【0015】上記両面基板検査装置では、図5(a)に
示すように基準となる基板5をワーク移載台41に固定
し、第1、第2CCDカメラ6,7間まで移動させ、各
CCDカメラ6,7により基板5に印刷された2個のマ
ークの位置を二値化信号として検出する。また、各CC
Dカメラ6,7はこの二値化信号からマークの位置を位
置情報として算出し、これが制御部に送られ、記憶部で
基準位置情報として記憶されるとともに、これら位置情
報から基板5の中心位置が算出されて記憶される。
示すように基準となる基板5をワーク移載台41に固定
し、第1、第2CCDカメラ6,7間まで移動させ、各
CCDカメラ6,7により基板5に印刷された2個のマ
ークの位置を二値化信号として検出する。また、各CC
Dカメラ6,7はこの二値化信号からマークの位置を位
置情報として算出し、これが制御部に送られ、記憶部で
基準位置情報として記憶されるとともに、これら位置情
報から基板5の中心位置が算出されて記憶される。
【0016】その後、被検査ワークの基板5がワークセ
ット位置でワーク載置台41にセットされると、図5
(b)に示すようにXYテーブル4の作動によりワーク
移載台41が第1、第2CCDカメラ6,7間まで移動
し、各CCDカメラ6,7により基板5に印刷された2
個のマークの位置が二値化信号として検出される。ま
た、各CCDカメラ6,7はこの二値化信号からマーク
の中心位置を算出し、これを位置情報として制御部に送
る。この時、基板5上の回路パターンが複数個印刷され
ていてマークの間隔が広い場合には、XYテーブル4が
作動してワーク移載台41を移動させ、基板5上の2個
のマークをCCDカメラ6,7の下方に位置させて、同
様に位置情報を得る。前記制御部ではこの位置情報から
基板5に印刷された回路パターンの中心位置が算出さ
れ、位置ずれ量および傾き量が算出され、これらが各位
置決め機構10,13に送られる。
ット位置でワーク載置台41にセットされると、図5
(b)に示すようにXYテーブル4の作動によりワーク
移載台41が第1、第2CCDカメラ6,7間まで移動
し、各CCDカメラ6,7により基板5に印刷された2
個のマークの位置が二値化信号として検出される。ま
た、各CCDカメラ6,7はこの二値化信号からマーク
の中心位置を算出し、これを位置情報として制御部に送
る。この時、基板5上の回路パターンが複数個印刷され
ていてマークの間隔が広い場合には、XYテーブル4が
作動してワーク移載台41を移動させ、基板5上の2個
のマークをCCDカメラ6,7の下方に位置させて、同
様に位置情報を得る。前記制御部ではこの位置情報から
基板5に印刷された回路パターンの中心位置が算出さ
れ、位置ずれ量および傾き量が算出され、これらが各位
置決め機構10,13に送られる。
【0017】同時に、XYテーブル4が作動し、図5
(c)に示すように基板5が第1、第2検査台11,1
4間に達してその中心が回転台10a,13aの中心に
一致するように位置決めされる。この位置決め完了後、
各位置決め機構10,13はまず各回路パターンの傾き
量に応じてθ軸モータ10d,13dを順次駆動して各
回転台10a,13aを回転させ、X軸テーブル台10
b,13bおよびY軸テーブル台10c,13cごと第
1、第2検査台11,14を介して取付けられたプロー
ブピン12a,12bを所定角度回転させる。続いて、
各回路パターンの位置ずれ量に応じて各X軸モータ10
e,13eおよびY軸モータ10f,13fを駆動し、
各X軸テーブル台10b,13b、Y軸テーブル台10
c,13cを移動させ、第1、第2検査台11,14の
中心を基板5上の2個のマーク間の中心に一致させ、基
板5にずれてしかも傾いて印刷された回路パターンに沿
って第1、第2検査台11,14のプローブピン12
a,12bの姿勢を変えることができる。その後、各位
置決め機構10,13から位置決め完了信号が発信され
ると、各昇降駆動源が作動して第1昇降ヘッド81が所
定ストローク下降する一方で、第2昇降ヘッド91が所
定ストローク上昇する。そのため、各昇降ヘッド81,
91とともに移動するプローブピン12a,12bが基
板5に印刷された回路パターン上の所定の位置に正確に
接触でき、所定の導通検査を行うことができる。
(c)に示すように基板5が第1、第2検査台11,1
4間に達してその中心が回転台10a,13aの中心に
一致するように位置決めされる。この位置決め完了後、
各位置決め機構10,13はまず各回路パターンの傾き
量に応じてθ軸モータ10d,13dを順次駆動して各
回転台10a,13aを回転させ、X軸テーブル台10
b,13bおよびY軸テーブル台10c,13cごと第
1、第2検査台11,14を介して取付けられたプロー
ブピン12a,12bを所定角度回転させる。続いて、
各回路パターンの位置ずれ量に応じて各X軸モータ10
e,13eおよびY軸モータ10f,13fを駆動し、
各X軸テーブル台10b,13b、Y軸テーブル台10
c,13cを移動させ、第1、第2検査台11,14の
中心を基板5上の2個のマーク間の中心に一致させ、基
板5にずれてしかも傾いて印刷された回路パターンに沿
って第1、第2検査台11,14のプローブピン12
a,12bの姿勢を変えることができる。その後、各位
置決め機構10,13から位置決め完了信号が発信され
ると、各昇降駆動源が作動して第1昇降ヘッド81が所
定ストローク下降する一方で、第2昇降ヘッド91が所
定ストローク上昇する。そのため、各昇降ヘッド81,
91とともに移動するプローブピン12a,12bが基
板5に印刷された回路パターン上の所定の位置に正確に
接触でき、所定の導通検査を行うことができる。
【0018】なお、実施例ではワーク移載台41はXY
テーブル4に取付けられているが、所定ストロークを持
つシリンダ機構(図示せず)を使用してもよい。また、
位置決め機構は回転台をXY平面上で移動するように構
成してもよい。
テーブル4に取付けられているが、所定ストロークを持
つシリンダ機構(図示せず)を使用してもよい。また、
位置決め機構は回転台をXY平面上で移動するように構
成してもよい。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は所定検査
を行うプローブピンを備えた検査ユニットをXY平面上
で移動させかつXY平面に平行に回転させる位置決め機
構を上下に対向して昇降自在に設けるとともにそれぞれ
の検査ユニットに隣接してCCDカメラを上下に対向し
て所定間隔を隔てて固定する一方、CCDカメラ間、検
査ユニット間それぞれで停止するように平行移動する基
板載置用ワーク移載台を配置し、このワーク移載台の中
央部に基板の裏面が露出する窓部を設け、下方からプロ
ーブピンが基板に接触できるように構成しているため、
基板の上、下面それぞれに印刷された回路パターンが正
規の位置からずれていたり、また傾いていたりしても、
これをCCDカメラで検出してその検出量に応じてプロ
ーブピンの位置を変更でき、導通検査等所定の検査を自
動化して確実に行うことができるばかりか、基板上、下
面同時に検査を行うことができ、検査時間を短縮するこ
とができる等の利点がある。
を行うプローブピンを備えた検査ユニットをXY平面上
で移動させかつXY平面に平行に回転させる位置決め機
構を上下に対向して昇降自在に設けるとともにそれぞれ
の検査ユニットに隣接してCCDカメラを上下に対向し
て所定間隔を隔てて固定する一方、CCDカメラ間、検
査ユニット間それぞれで停止するように平行移動する基
板載置用ワーク移載台を配置し、このワーク移載台の中
央部に基板の裏面が露出する窓部を設け、下方からプロ
ーブピンが基板に接触できるように構成しているため、
基板の上、下面それぞれに印刷された回路パターンが正
規の位置からずれていたり、また傾いていたりしても、
これをCCDカメラで検出してその検出量に応じてプロ
ーブピンの位置を変更でき、導通検査等所定の検査を自
動化して確実に行うことができるばかりか、基板上、下
面同時に検査を行うことができ、検査時間を短縮するこ
とができる等の利点がある。
【図1】本発明の両面基板検査装置の全体正面図であ
る。
る。
【図2】図1の要部側面図である。
【図3】図1の両面基板検査装置をシンボル化した一部
断面正面図である。
断面正面図である。
【図4】図1の両面基板検査装置をシンボル化した平面
図である。
図である。
【図5】本発明にかかる要部動作説明図である。
1 両面基板検査装置 2 基台 3 コラム 4 XYテーブル 41 ワーク移載台 41a 窓部 5 基板 6 第1CCDカメラ 61 第1ストロボ 7 第2CCDカメラ 71 第2ストロボ 8 第1検査ユニット 81 第1昇降ヘッド 82 第1リニアガイド 83 第1軸受台 9 第2検査ユニット 91 第2昇降ヘッド 92 第2リニアガイド 93 第2軸受台 10 第1位置決め機構 10a 第1回転台 10b 第1X軸テーブル台 10c 第1Y軸テーブル台 10d 第1θ軸モータ 10e 第1X軸モータ 10f Y第1軸モータ 11 第1検査台 12a,12b プローブピン 13 第2位置決め機構 13a 第2回転台 13b 第2X軸テーブル台 13c 第2Y軸テーブル台 13d 第2θ軸モータ 13e 第2X軸モータ 13f 第2Y軸モータ 14 第2検査台
Claims (2)
- 【請求項1】 回路パターンの姿勢を示すマークを上、
下面に持つ基板が載置されるワーク移載台を水平方向に
往復移動させる移動手段を配置し、この移動手段のワー
ク移載台の中央部に基板の下面が露出する窓部を設ける
とともに、このワーク移載台の移動路を挾む位置に上、
下面のマークの位置をそれぞれ検出するCCDカメラを
対向して配置し、 さらに、前記CCDカメラそれぞれから水平方向に所定
距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路を挾むよう
に、所定検査を行う所定本数のプローブピンが備付けら
れた検査ユニットをXY平面上で移動させかつXY平面
に平行に回転させる位置決め機構を対向して昇降するよ
うに配置する一方、 前記各CCDカメラにはこれより検出されるマークの位
置から回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出す
る演算部を持ち、しかもワーク移載台が位置決め機構の
間に位置すると、前記演算部から転送される位置ずれ量
および傾き量を受けて各位置決め機構を順次作動させる
制御部を接続したことを特徴とする両面基板検査装置。 - 【請求項2】 移動手段はXYテーブルであることを特
徴とする請求項1に記載の両面基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4302814A JPH0687074B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 両面基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4302814A JPH0687074B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 両面基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06118115A true JPH06118115A (ja) | 1994-04-28 |
JPH0687074B2 JPH0687074B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=17913424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4302814A Expired - Lifetime JPH0687074B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 両面基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0687074B2 (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301653A (ja) * | 1994-04-29 | 1995-11-14 | Ibiden Co Ltd | 位置合せ方法及びその装置 |
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-
1992
- 1992-09-30 JP JP4302814A patent/JPH0687074B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0687074B2 (ja) | 1994-11-02 |
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