KR101000843B1 - 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치 - Google Patents

비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101000843B1
KR101000843B1 KR1020090027676A KR20090027676A KR101000843B1 KR 101000843 B1 KR101000843 B1 KR 101000843B1 KR 1020090027676 A KR1020090027676 A KR 1020090027676A KR 20090027676 A KR20090027676 A KR 20090027676A KR 101000843 B1 KR101000843 B1 KR 101000843B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
probe card
unit
axis
support frame
Prior art date
Application number
KR1020090027676A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100109190A (ko
Inventor
임창민
심상범
이덕규
Original Assignee
주식회사 에스디에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스디에이 filed Critical 주식회사 에스디에이
Priority to KR1020090027676A priority Critical patent/KR101000843B1/ko
Publication of KR20100109190A publication Critical patent/KR20100109190A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101000843B1 publication Critical patent/KR101000843B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 프로브카드의 검사장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면 프로브 카드의 불량을 분석하고 찾아내는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 있어서, 프로브 카드가 탑재되는 본체와, 이 본체의 내부에 설치되는 지지프레임과, 이 지지프레임의 내부에 수용되며 지지프레임에 설치되는 구동모터에 의해 상하로 이동되는 승강부와, 이 승강부의 일측에 설치되어 프로브 카드의 핀의 정열 상태를 검사하는 카메라부와, 승강부의 타측에 설치되며 프로브 카드의 핀에 접촉되어 프로브 카드의 단락 또는 오픈 여부를 검사하는 탐침이 구비된 탐침부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치가 제공된다.
프로브 카드, 검사, 평탄도, 핀 정렬, 단락, 오픈

Description

비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치{PROBE CARD INSPECTION APPARATUS HAVING VISION INSPECTING FUNCTION}
본 발명은 프로브 카드의 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브 카드 핀들의 평탄도 검사, 핀들의 정렬상태검사, 프로브카드의 단락 또는 오픈 여부를 자동으로 검사할 수 있는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 관한 것이다.
프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것으로, PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.
프로브카드 검사장치는 반도체 전(前) 공정 마지막 단계에서 웨이퍼를 검사하는 장비에 들어가는 전술한 프로브 카드의 불량을 분석하고 찾아내는 검사장비로서 PCB 기판에서 프로브 카드의 핀(needle)과 여러 부품들을 부착한 상태에서 프로 브 카드의 불량을 찾아냄으로써 양질의 제품을 생산하기 위한 검사장치이다. 이러한 프로브카드 검사장치는 현재는 프로브 카드 분야에서 사용되고 있지만 앞으로는 다양한 분야의 계측시스템에도 적용이 가능하다.
전술한 프로브카드의 검사장치에 관련된 선행기술이 한국등록특허공보 제10-0787401호(2007.12.21) "프로브 장치 및 피검사체 검사 방법"에 개시되어 있다. 상기 선행기술은 웨이퍼 형상 기판(W)상에 형성된 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에 있어서, 프로버실과, 상기 프로버실내에 배치되고 복수의 피검사체가 형성된 웨이퍼 형상 기판을 탑재하기 위한 탑재대와, 상기 프로버실에 배치되며 복수의 프로브를 가지며 상기 탑재대와 대향하여 배치되는 프로브 카드와, 상기 피검사체의 Z축 방향의 위치를 측정하는 광학적 방법을 이용한 제 1 측장기와, 상기 프로브 카드의 Z 방향의 위치를 측정하는 광학적 방법을 이용한 제 2 측장기를 구비하는 프로브 장치에 관한 것이다.
상기 선행기술은 칩과 프로브 사이의 거리를 정확하게 실측하고, 정밀한 측정이 가능한 이점이 있다. 다만, 핀들의 정렬 상태나 프로브 카드의 단락 여부 등 복합적인 작업을 수행하기기 어렵고, 전술한 검사를 수행하기 위해서는 프로브 카드를 다른 장치로 이동시켜야 하고 이로 인해 시간의 지연 및 프로브 카드가 파손될 염려 등의 단점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 프로브 카드의 핀들의 평탄도 검사, 핀들의 정렬상태검사, 프로브카드의 단락 또는 오픈 여부를 하나의 장치내에서 연속적으로 검사할 수 있는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치와 관련된다.
본 발명의 바람직한 일 실시예는 프로브 카드의 불량을 분석하고 찾아내는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 있어서, 프로브 카드가 탑재되는 본체와, 이 본체의 내부에 설치되는 지지프레임과, 이 지지프레임의 내부에 수용되며 지지프레임에 설치되는 구동모터에 의해 상하로 이동되는 승강부와, 이 승강부의 일측에 설치되어 프로브 카드의 핀의 정열 상태를 검사하는 카메라부와, 승강부의 타측에 설치되며 프로브 카드의 핀에 접촉되어 프로브 카드의 단락 또는 오픈 여부를 검사하는 탐침이 구비된 탐침부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치를 제공한다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면 첫째, 하나의 장치 내에서 프로브 카드의 핀들의 평탄도 검사, 핀들의 정렬상태검사, 프로브카드의 단락 또는 오픈 여부를 자동으로 검사할 수 있는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치를 제공할 수 있다.
둘째, 전술한 검사를 하나의 장치에서 수행하므로 검사 시간의 감소 및 검사 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치를 도시한 사시도이고, 도 2 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 측면도이고, 도 3 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 정면도이고, 도 4 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 평면도이고, 도 5 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 지지프레임을 도시한 사시도이고, 도 6 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 승강부의 측면도이고, 도 7 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 카메라부의 측면도이고, 도 8 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 평탄측정척을 도시한 사시도이고, 도 9 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 탐침부를 도시한 측면도이고, 도 10 은 도 9에 도시된 탐침부의 수평이동부를 도시한 측면도이고, 도 11 은 도 10에 도시된 탐침부의 수직이동부를 도시한 측면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치(1)는 본체(10), X축 구동부(20), Y축 구동부(30), 지지프레임(40), 승강부(50), 카메라부(60), 탐침부(70), 제어부(80)를 포함한다.
본체(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 내부가 비어 있는 육면체 형상이며, 이 본체(10)의 상측에는 포고블록 인터페이스(11a)가 형성된 마더보드(Mother Board,11)가 설치된다. 상기 마더보드(11)에는 프로브 카드(미도시)가 장착되며, 마더보드(11)는 포고블록 인터페이스(11a)에 의해 프로브 카드를 후술할 제어부(80)와 연결시키는 역할을 한다.
X축 구동부(20)는 후술할 Y축 구동부(30)를 X축 방향으로 이동시키는 역할을 하며, 도 2 및 3에 도시된 바와 같이 본체(10)의 내부 바닥에 설치되는 X축 구동모터(21)와, 일측이 X축 구동모터(21)의 단부에 연결되는 X축 커플링(22)과, 단부가 X축 커플링(22)의 타측에 연결되어 X축 구동모터(21)와 연동되는 X축 볼스크류(23)와, 이 X축 볼스크류(23)에 설치되며 X축 구동모터(21)의 회전에 의해 X축 볼스크류(23)를 따라 X축 방향으로 이동되는 X축볼스크류 슬라이더(24)로 구성된다.
상기 X축 구동부(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 본체(10)의 내부 바닥에 설치되는 X축 레일(25)과, 일측은 X축 레일(25)에 연결되고 타측은 X축볼스크류 슬라이더(24)에 고정되어 X축볼스크류 슬라이더(24)를 지지하는 X축 슬라이더(26)와, 일측은 본체(10)의 내부 바닥에 고정되고 타측은 X축볼스크류 슬라이더(24)에 고정되어 X축 슬라이더(26)를 지지하는 X축 체인(27)과, 본체(10)의 내부 바닥에 설치되어 X축볼스크류 슬라이더(24)의 이동 거리를 제한하는 X축리미트스위치(28)를 더 구비한다.
Y축 구동부(30)는 후술할 지지프레임(40)을 Y축 방향으로 이동시키는 역할을 하며, 도 2에 도시된 바와 같이 X축볼스크류 슬라이더(24)의 상측에 설치되는 Y축 구동모터(31)와, 일측이 Y축 구동모터(31)의 단부에 연결되는 Y축 커플링(32)과, 단부가 Y축 커플링(32)의 타측에 연결되어 Y축 구동모터(31)와 연동되는 Y축 볼스크류(33)와, 이 Y축 볼스크류(33)에 설치되며 Y축 구동모터(31)의 회전에 의해 Y축 볼스크류(33)를 따라 Y축 방향으로 이동되는 Y축볼스크류 슬라이더(34)로 구성된다.
상기 Y축 구동부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 본체(10)의 내부 바닥에 설치되는 Y축 레일(35)과, 일측은 Y축 레일(35)에 연결되고 타측은 Y축볼스크류 슬라이더(34)에 고정되어 Y축볼스크류 슬라이더(34)를 지지하는 Y축 슬라이더(36)와, 일측은 본체(10)의 내부 바닥에 고정되고 타측은 Y축볼스크류 슬라이더(34)에 고정되어 Y축 슬라이더(36)를 지지하는 Y축 체인(37)과, 본체(10)의 내부 바닥에 설치되어 Y축볼스크류 슬라이더(34)의 이동 거리를 제한하는 Y축리미트스위치(38)를 더 구비한다.
지지프레임(40)은 도 2에 도시된 바와 같이 Y축볼스크류 슬라이더(34)의 상측에 설치되며 Y축 구동부(30)의 구동에 의해 Y축볼스크류 슬라이더(34)와 같이 이 동된다. 또한, 지지프레임(40)은 X축 방향으로도 이동된다. Y축 구동부(30)가 X축 구동부(20)의 상측에 설치되어 있으므로 X축 구동모터(21)의 작동에 의해 Y축 구동부(30)와 지지프레임(40)이 X축 방향으로 함께 이동된다. 따라서, 지지프레임(40)에 설치되는 후술할 승강부(50), 카메라부(60), 탐침부(70)도 X축 또는 Y축 방향으로 이동이 가능하다.
상기 지지프레임(40)의 내벽에는 도 5에 도시된 바와 같이 후술할 승강부(50)의 상하 이동을 지지하는 지지레일(41)이 설치된다.
승강부(50)는 도 2에 도시된 바와 같이 지지프레임(40)의 내부에 수용되어 상하로 이동되는 승강몸체(51)와, 지지프레임(40)의 바닥에 설치되어 승강몸체(51)를 상하로 이동시키는 구동부(52)로 구성된다.
상기 승강몸체(51)의 외벽에는 도 6에 도시된 바와 같이 지지프레임(40)의 지지레일(41)에 지지되는 승강지지 슬라이더(51a)가 설치되고, 승강몸체(51)의 내벽 중앙에는 경사판(51b)이 설치된다.
상기 구동부(52)는 도 6에 도시된 바와 같이 지지프레임(40)의 바닥에 설치되는 구동모터(52a)와, 이 구동모터(52a)에 연결되어 좌우로 이동되는 구동슬라이더(52b)와, 이 구동슬라이더(52b)와 지지로드에 의해 연결되는 구동경사판(52c)으 로 구성된다. 구동경사판(52c)은 도 6에 도시된 바와 같이 승강몸체(51)의 경사판(51b)보다 면적이 작게 형성된다.
이하에서 승강부(50)의 작동 원리를 설명한다. 먼저 구동모터(52a)가 반시계 방향으로 회전되면 도 6을 기준으로 구동슬라이더(52b)가 좌측으로 이동된다. 구동슬라이더(52b)가 좌측으로 이동되므로 이와 연결된 구동경사판(52c)이 좌측으로 이동된다. 구동경사판(52c)이 좌측으로 이동되면 구동경사판(52c)과 면 접촉되어 있던 경사판(51b)이 마찰력에 의해서 우측으로 이동된다. 이때 경사판(51b)이 경사져 있으므로 우측 상방으로 이동된다. 경사판(51b)이 이동되므로 경사판(51b)이 일체로 고정된 승강몸체(51)가 상승된다. 승강몸체(51)는 승강지지 슬라이더(51a)가 지지레일(41)에 지지된 상태이고, 상승 범위가 마이크로미터 단위이므로 수직으로 상승된다.
카메라부(60)는 X축 구동부(20)와 Y축 구동부(30)에 의해 특정 좌표가 세팅된 후 승강부(50)에 의해 상승되어 프로브 카드의 핀들의 평탄도와 정렬상태를 차례로 검사하는 것으로, 도 7에 도시된 바와 같이 승강부(50)의 일측에 고정되는 카메라 브래킷(61)과, 이 카메라 브래킷(61)에 고정되는 카메라(62)와, 도 8에 도시된 바와 같이 카메라(62)의 상측에 설치되는 평탄측정척(63)으로 구성된다.
이하에서 카메라부(60)의 작동 원리를 설명한다. 먼저, X축 구동부(20)와 Y 축 구동부(30)에 의해 카메라(62)를 프로브 카드의 중앙으로 이동시킨다. 다음으로, 승강부(50)에 의해 카메라(62)를 상승시켜 평탄측정척(63)이 프로브 카드의 핀에 접촉되도록 한다. 이 상태에서 프로브 카드의 핀과 평탄측정척(63)에 전류를 인가하여 평탄데이터를 측정한다. 측정이 완료되면 카메라(62)를 하강시킨다. 측정된 평탄데이터를 근거로 카메라(62)를 적정 위치로 상승시킨다. 이 상태에서 핀들의 정렬 상태를 검사한다.
탐침부(70)는 프로브 카드의 평탄 및 정렬 상태 검사 이후에 프로브 카드의 오픈 또는 단락 여부를 검사하는 것으로, 도 2 및 9에 도시된 바와 같이 승강부(50)의 타측에 설치되어 탐침(74)을 수평 방향으로 이동시키는 탐침수평이동부(71)와, 이 탐침수평이동부(71)의 상측에 설치되어 탐침(74)이 프로브 카드의 핀에 접촉되도록 하는 탐침수직이동부(72)와, 이 탐침수직이동부(72)의 상측에 설치되어 탐침(74)의 접촉 하중을 측정하는 로드셀(73)과, 이 로드셀(73)의 단부에 설치되는 탐침(74)으로 구성된다.
상기 탐침수평이동부(71)는 도 10에 도시된 바와 같이 승강부(50)의 일측에 설치되는 브래킷(71a)과, 이 브래킷(71a)에 고정되며 일측에 리미트스위치(71ba)가 설치된 수평베이스(71b)와, 이 수평베이스(71b)에 고정되는 수평구동실린더(71c)와, 이 수평구동실린더(71c)의 단부에 연결되어 도 10을 기준으로 좌우로 이동되며 일측에 수평구동실린더(71c)에 지지되는 지지돌기(71da)가 형성된 수평이동브래 킷(71 d)으로 구성된다.
상기 탐침수직이동부(72)는 도 11에 도시된 바와 같이 탐침수평이동부(71)의 수평이동브래킷(71 d)에 고정되며 상측에 하부지지돌기(72aa)가 형성된 하부베이스(72a)와, 하측에 하부베이스(72a)의 하부지지돌기(72aa)와 상응되는 상부지지돌기(72ba)가 형성되며 중앙에 캠홀(72bb)이 형성된 상부베이스(72b)와, 하부베이스(72a)에 설치되며 단부에 캠홀(72bb)에 수용되는 편심캡이 결합된 수직구동모터(72c,도 5참조)와, 일측은 하부베이스(72a)에 고정되고 타측은 상부베이스(72b)에 고정되어 수직구동모터(72c)의 구동에 의해 이격된 하부베이스(72a)와 상부베이스(72b)의 간격을 원상 회복시키는 탄성체(72d)로 구성된다.
이하에서 탐침부(70)의 작동 원리를 설명한다. 전술한 카메라부(60)에서 프로브 카드의 평탄도 및 정렬도 검사가 종료된 후 카메라(62)를 프로브 카드의 핀의 중앙 위치도 이동시킨다. 이 상태에서 탐침수평이동부(71)의 수평구동실린더(71c)를 구동시키면, 이 수평구동실린더(71c)에 고정된 탐침수직이동부(72)가 이동된다. 수평구동실린더(71c)를 구동시켜 탐침(74)이 카메라(62)의 중앙에 위치되도록 한다. 다음으로, 탐침수직이동부(72)의 수직구동모터(72c)를 구동시키면 수직구동모터(72c)에 고정된 편심캠(72ca)이 상부베이스(72b)의 캠홀(72bb)에서 회전되고, 이 편심캠(72ca)의 회전에 의해서 상부베이스(72b)가 위쪽으로 상승된다. 상부베이스(72b)가 상승되므로 이에 고정된 로드셀(73)이 상승되고, 로드셀(73)이 상승되므 로 탐침(74)이 상승되어 프로브 카드의 핀에 탐침(74)이 접촉된다. 이 상태에서 전류를 인가하여 오픈 또는 단락 여부를 검사한다.
제어부(80)는 전술한 구성요소를 제어하는 것으로 이 제어부(80)에는 도 1에 도시된 바와 같이 프로브 카드의 핀의 정열 상태 등을 시각적으로 볼 수 있도록 모니터(80a) 등이 설치된다.
본 발명은 특허청구범위에서 청구하는 요지를 벗어나지 않고도 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 본 발명의 기술보호범위는 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 않는다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치를 도시한 사시도,
도 2 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 측면도,
도 3 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 정면도,
도 4 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치의 평면도,
도 5 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 지지프레임을 도시한 사시도,
도 6 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 승강부의 측면도,
도 7 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 카메라부의 측면도,
도 8 은 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 평탄측정척을 도시한 사시도,
도 9 는 도 1에 도시된 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 채용된 탐침부를 도시한 측면도,
도 10 은 도 9에 도시된 탐침부의 수평이동부를 도시한 측면도,
도 11 은 도 10에 도시된 탐침부의 수직이동부를 도시한 측면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치
10 : 본체 11 : 마더보드
11a : 포고블록 인터페이스 20 : X축 구동부
21 : X축 구동모터 22 : X축 커플링
23 : X축 볼스크류 24 : X축볼스크류 슬라이더
25 : X축 레일 26 : X축 슬라이더
27 : X축 체인 28 : X축리미트스위치
30 : Y축 구동부 31 : Y축 구동모터
32 : Y축 커플링 33 : Y축 볼스크류
34 : Y축볼스크류 슬라이더 35 : Y축 레일
36 : Y축 슬라이더 37 : Y축 체인
38 : Y축리미트스위치 40 : 지지프레임
41 : 지지레일 50 : 승강부
51 : 승강몸체 51a : 승강지지 슬라이더
51b : 경사판 52 : 구동부
52a : 구동모터 52b : 구동슬라이더
52c : 구동경사판 60 : 카메라부
61 : 카메라 브래킷 62 : 카메라
63 : 평탄측정척 70 : 탐침부
71 : 탐침수평이동부 71a : 브래킷
71b : 수평베이스 71ba : 리미트스위치
71c : 수평구동실린더 71d : 수평이동브래킷
71da : 지지돌기 72 : 탐침수직이동부
72a : 하부베이스 72aa : 하부지지돌기
72b : 상부베이스 72ba : 상부지지돌기
72bb : 캠홀 72c : 수직구동모터
72ca : 편심캠 72d : 탄성체
73 : 로드셀 74 : 탐침
80 : 제어부 80a : 모니터

Claims (6)

  1. 프로브 카드의 불량을 분석하고 찾아내는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치에 있어서,
    프로브 카드가 탑재되는 본체;
    상기 본체의 내부에 설치되는 지지프레임;
    상기 지지프레임의 내부에 수용되며, 상기 지지프레임에 설치되는 구동모터에 의해 상하로 이동되는 승강부;
    상기 승강부의 일측에 설치되어 상기 프로브 카드의 핀의 정열 상태를 검사하는 카메라부; 및
    상기 승강부의 타측에 설치되며, 상기 프로브 카드의 핀에 접촉되어 프로브 카드의 단락 또는 오픈 여부를 검사하는 탐침이 구비된 탐침부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체의 바닥에 설치되며 일측이 상기 지지프레임에 연결되는 X축 구동모터에 의해 상기 지지프레임을 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 X축 구동부와 지지프레임 사이에 설치되는 Y축 구동모터에 의해 상기 지지프레임을 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카메라부의 상측에는 상기 프로브카드의 평탄도를 측정하는 평탄측정척이 설치된 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 탐침부에는 지지프레임의 상측에 설치되는 수평구동모터에 의해 상기 탐침을 좌우로 이동시키는 탐침수평이동부가 구비된 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 탐침부에는 탐침수평이동부의 상측에 설치되며 편심캠을 갖는 수직구동모터에 의해 상기 탐침을 상하로 이동시키는 탐침수직이동부가 구비된 것을 특징으로 하는 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치.
KR1020090027676A 2009-03-31 2009-03-31 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치 KR101000843B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090027676A KR101000843B1 (ko) 2009-03-31 2009-03-31 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090027676A KR101000843B1 (ko) 2009-03-31 2009-03-31 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100109190A KR20100109190A (ko) 2010-10-08
KR101000843B1 true KR101000843B1 (ko) 2010-12-14

Family

ID=43130347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090027676A KR101000843B1 (ko) 2009-03-31 2009-03-31 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101000843B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452431B1 (ko) * 2012-08-28 2014-10-23 프롬써어티 주식회사 인쇄회로기판 테스트 장치용 테스트 핀의 검사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100109190A (ko) 2010-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100653028B1 (ko) 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사 방법 및 검사장치
US7504844B2 (en) Inspection apparatus and method
KR100283856B1 (ko) 프로우브장치 및 프로우브카드
KR100754543B1 (ko) 프로브 장치
KR100657105B1 (ko) 프로브 방법 및 장치
US7724007B2 (en) Probe apparatus and probing method
JP2009276215A (ja) プローブ装置及びコンタクト位置の補正方法
TW200935535A (en) Probe device and probe method
KR20010112838A (ko) 검사 스테이지
KR20100101451A (ko) 반도체 디바이스 테스트 장치 및 방법
CN115274484B (zh) 一种晶圆检测装置及其检测方法
JP2007121183A (ja) 回路基板検査装置
TWI772465B (zh) 檢查裝置、檢查方法及記憶媒體
KR101000843B1 (ko) 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치
TWI484192B (zh) Probe card, inspection device and inspection method
KR102366895B1 (ko) 프로브 장치 및 침적 전사 방법
KR100568513B1 (ko) 반도체 검사 장치
WO2024150616A1 (ja) プローバ及びプローブ検査方法
KR20050067759A (ko) 반도체 검사장치
US20230314362A1 (en) Inspection apparatus and inspection method
WO2022176664A1 (ja) 検査装置のセットアップ方法及び検査装置
KR20240124986A (ko) 검사 장치 및 검사 방법
KR20100043279A (ko) 프로브 카드, 검사 장치 및 검사 방법
KR20050067760A (ko) 반도체 검사장치
TW202311763A (zh) 對準方法及檢查裝置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131125

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141112

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151223

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee