JP2548030B2 - コンタクトチェッカ - Google Patents

コンタクトチェッカ

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JP2548030B2
JP2548030B2 JP1006944A JP694489A JP2548030B2 JP 2548030 B2 JP2548030 B2 JP 2548030B2 JP 1006944 A JP1006944 A JP 1006944A JP 694489 A JP694489 A JP 694489A JP 2548030 B2 JP2548030 B2 JP 2548030B2
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motor
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外喜雄 河崎
卓也 亀井
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NITSUTO KOSHIN KK
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NITSUTO KOSHIN KK
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、所望配線が印刷されたPC基板を、IC等電子
部品が装着された状態、あるいはこれら電子部品が装着
されていない状態で、各種の試験を行う際に使用される
コンタクトチェッカに関する。
[従来技術] 最近、各種機械の制御装置はそのコンパクト化をはか
るため、各電子部品、IC部品を基板上で接続するに際し
て、配線図が印刷された基板が数多く用いられている。
この基板では、各電子部品の装着前、または装着後にそ
の耐電圧試験、導通試験等各種の試験を行って不良基板
を排除したり、この基板上に装着されたIC部品の機能試
験等を行って不良部品を排除する必要が生じている。こ
の種の試験を行う装置は各種あるが、中でも第4図に示
す装置が一般的である。この装置は、水平に延びる2枚
の取付けプレート9aでなるプローブヘッド9が昇降自在
に配置されたフレーム3を有し、このプローブヘッド9
には所定本数のプローブピン10が所望基板(図示せず)
上の接触位置に対応して取付けられている。また、前記
プローブピン10を昇降させるリバーシブルモータ7aが設
けられており、このリバーシブルモータ7aの作動により
プローブピン10が昇降するように構成されている。さら
に、前記フレーム3にはコネクタ12が取付けられてお
り、このコネクタ12の各端子にはリード線11を介して前
記プローブピン10が接続されている。しかも、前記プロ
ーブピン10の下方にはワーク固定治具35が配置されてお
り、これに保持されしかも所定試験に応じた電圧が加え
られた基板に対して前記プローブピン10が下降し、基板
上の目標位置に接触してその位置に加わる電圧がコネク
タ12の各端子に出力されるように構成さている。
[発明が解決しようとする課題] 上記装置では、作業者は基板をワーク固定治具35にセ
ットするとともに、リバーシブルモータ7aを作動して、
プローブピン10を下降させて後、コネクタ12の各端子に
現われる電圧を手動または自動的にチェックして所望の
試験を行うことができるが、基板によって印刷された配
線が基板に対してわずかに傾いていることがある。その
ため、基板をワーク固定治具35に正確にセットしても、
プローブピン10が基板上の所定位置に接触せず、所定の
試験を行うことができなくなる等の欠点が生じている。
本発明は上記欠点の除去を目的とするもので、基板に
印刷された配線の印刷ずれに拘わらず、位置検出センサ
に対して一定姿勢になるように基板を移動させることの
できる装置を備えたコンタクトチェッカを提供しようと
するものである。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため、直立するフレームに昇降手
段の作動により昇降自在でかつ水平に延びるプローブヘ
ッドを配置し、このプローブヘッドに所定本数のプロー
ブピンを基板の所定の位置に印刷された2個の基準点を
持つ配線中の所定接触位置に対応して取付け、これらプ
ローブピンにそれぞれリード線を接続してこのリード線
の一端を前記フレームに取付けられたコネクタの各端子
に接続したコンタクトチェッカにおいて、 プローブヘッドにプローブピンから離れた位置に基板
の配線中の基準点を検出する2個の位置検出センサを取
付ける一方、 プローブヘッドの下方でかつプローブピンの下方から
離脱した位置にθ軸モータの回転を受けて回転するθ軸
テーブルをその回転中心が前記位置検出センサの一方の
下方に位置するように配置するとともに、このθ軸テー
ブルをプローブピンの下方まで移動自在に配置し、 さらに、前記θ軸テーブルにX軸モータの回転を受け
てX軸方向に移動するX軸移動台を持つX軸テーブルと
X軸移動台に固定されてY軸モータの回転を受けてY軸
方向に移動するワーク固定治具を持つY軸テーブルとを
保持し、 これらθ軸モータ、X軸モータ、Y軸モータを前記位
置検出センサの信号により制御して、X軸テーブル、Y
軸テーブルを駆動してワーク固定治具にセットされる基
板の一方の基準点をθ軸テーブルの回転中心に位置する
一方の位置検出センサの下方に位置決めして後、θ軸テ
ーブルを駆動して基板の他方の基準点を他方の位置検出
センサの下方に位置決めする制御装置を設けている。
[作用] 上記コンタクトチェッカでは、2個の基準点を持つ配
線が印刷された基板を作業者がワーク固定治具にセット
して、X軸モータおよびY軸モータを駆動して一方の基
準点を一方の位置検出センサの下方に移動させる。この
時、前記位置検出センサはθ軸テーブルの回転中心の上
方に位置しているため、配線中の一方の基準点も同一中
心上に位置決めされる。
この状態で、θ軸モータが駆動されると、θ軸テーブ
ルが回転し、これと一体に回転する基板に印刷された配
線は前記基準点を中心に回転することができる。そのた
め、θ軸テーブルの回転中心から所定の方向に所定距離
離れた位置にある他方の位置検出センサが配線中の他方
の基準点を検出することができ、その位置でθ軸テーブ
ルは位置決めされる。この時、配線中の2個の基準点は
対応する位置検出センサの下方に位置し、基板上の配線
は基板の姿勢とは関係なく位置検出センサにより決まる
姿勢に保持される。
その後、θ軸テーブルがプローブピンの下方に移動す
ると、昇降手段が下降するだけで、プローブピンが配線
中の所定接触位置に正確に当接することができ、作業者
は導通試験等を確実に行うことができる。
[実施例] 以下実施例を図面に基づき説明する。第1図および第
2図において、1はコンタクトチェッカであり、機台2
に直立して固定されたフレーム3を有している。このフ
レーム3には垂直方向に延びるガイドレール4aが固定さ
れており、このガイドレール4aにはスライダ5aを介して
昇降台6が摺動自在に案内されている。この昇降台6に
は昇降手段が連接されている。この昇降手段は昇降台6
を手動で下降させるためのレバー(図示せず)であって
もよいし、またシリンダ(図示せず)であってもよい
が、本実施例では昇降手段はフレーム3に取付けられた
リバーシブルモータ7a、その回転をギヤ機構7bを介して
受けてかつ前記フレーム3に水平に支持されて回転する
回転軸7c、その一端に固定されてこれを中心に回転する
アーム7d、これに穿設された長溝に嵌合する連結ピンを
有しかつ一方のリンクはフレーム3に他方のリンクは昇
降台6に回動自在に連結されたリンク機構7eで構成され
ている。この昇降手段は押圧スイッチ(図示せず)を設
けて作業者が手動で作動させるようにすることもできる
が、本実施例では後記するワーク位置決め装置8からの
位置決め完了後に自動的に作動するように構成されてい
る。
さらに、前記昇降台6にはプローブヘッド9をなす平
行に延びる2枚の保持プレート9aが固定されており、こ
の保持プレート9aには後記する配線中の所望接触位置に
対応して所定本数のプローブピン10がその先端を下方に
して固定されている。このプローブピン10の上端にはリ
ード線11が接続されており、このリード線11はフレーム
3の上部に固定されたコネクタ12の各端子に接続されて
いる。前記保持プレート9aには第1位置検出センサ13a
および第2位置検出センサ13bが後記するワーク固定治
具35にセットされる基板の所定位置に印刷された配線中
の2個の基準点に対応して所定距離離れて取付けられて
いる。これら位置検出センサ13a,13bは、基板セット時
には基板に印刷された配線が所定の位置から偏っていて
も、また位置検出センサに対して傾いて位置していても
印刷精度の範囲であるので、前記基準点のほぼ上方に位
置するように構成されている。また、前記位置検出セン
サ13a,13bは基準点に光線を照射してその反射光から基
準点の縁部を検出して、基準点を検出可能に構成されて
おり、同軸型、並列型いずれの光ファイバを用いたもの
であってもよい。前記位置検出センサ13a,13bのうち、
第1位置検出センサ13aは後記するθ軸テーブル19の回
転中心に一致してしかもワーク固定治具35にセットされ
る基板の所定の位置に印刷された配線中の一方の基準点
に対応して設けられており、第2位置検出センサ13bは
他方の基準点に対応してθ軸テーブル19の回転中心から
所定の方向に所定水平距離離れて位置するように構成さ
れている。前記2個の位置検出センサ13a,13bの出力は
後記する制御装置に送られ、基準点の中心位置を検出す
る信号となるように構成されている。
前記機台2には、プローブヘッド9の下方に位置して
ワーク位置決め装置8が配置されている。このワーク位
置決め装置8は、機台2に水平に固定されたガイドレー
ル4b、スライダ5bを介してガイドレール4b上を摺動する
テーブル台16、このテーブル台16に固定されたXYΘロボ
ット17、ラック18aとピニオン(図示せず)とを組込ん
で回転を直線運動に代えて前記テーブル台16を水平方向
に前進後退させるスライド用モータ18からなっている。
前記スライド用モータ18はラック18aが前進位置にある
時に、XYΘロボット17をプローブピン10の下方から離脱
した位置で、しかも前記第1位置検出センサ13aおよび
第2位置検出センサ13bの下方に位置させ、後退位置に
ある時にはXYθロボット17をプローブピン10の下方に位
置させるように構成されている。
前記XYΘ軸ロボット17は、フィードバック制御された
3個のモータそれぞれの回転を受けて移動するΘ軸テー
ブル19、このΘ軸テーブル19に載置されたX軸テーブル
25、このX軸テーブル25に載置されたY軸テーブル30で
構成してもよいが、本実施例では簡易型のロボットを使
用する。XYΘロボット17は、前記テーブル台16と一体の
支持台19aに回転自在に保持されたΘ軸テーブル19を有
し、このΘ軸テーブル19には水平に延びる第1当り部19
bが突設されている。この第1当り部19bは、後記する第
1マイクロメータヘッド(以下、第1マイクロヘッドと
いう)20のスピンドル20bの先端位置にかかわらずテー
ブル台16側に保持された第1押圧ピン21により押圧され
るように構成されている。一方、前記テーブル台16には
取付具22aを介してステッピングモータでなるΘ軸モー
タ23がその回転軸を水平にして取付けられており、この
回転軸にはカップリング24aを介してこれと平行に延び
るように保持された第1マイクロヘッド20のシンブル20
aが連結されている。しかも、この第1マイクロヘッド2
0のスピンドル20bの先端は前記第1当り部19bに当接し
ており、前記第1押圧ピン21により押圧された第1当り
部19bを押止めるように構成されており、スピンドル20b
の前進後退により第1当り部19bが回動してΘ軸テーブ
ル19が回動するように構成されている。
前記Θ軸テーブル19にはX軸テーブル25が固定されて
おり、このX軸テーブル25には後記するY軸テーブル30
のガイド部30aと同形状をなしかつX軸方向に延びるガ
イド部(図示せず)が突設されている。このガイド部2
は、これに嵌合するガイド溝を有するX軸移動台26が摺
動自在に案内されている。このX軸移動台26には前記第
1当り部19bの反対側で水平に延びる第2当り部26aが突
設されており、この第2当り部26aは後記する第2マイ
クロメータヘッド(以下、第2マイクロヘッドという)
27のスピンドル27bの先端位置にかかわらずX軸テーブ
ル25側に保持された第2押圧ピン28により押圧されるよ
うに構成されている。一方、前記X軸テーブル25には取
付具22bを介してステッピングモータでなるX軸モータ2
9がその回転軸を水平にして取付けられており、この回
転軸にはカップリング24bを介してこれと平行に延びる
ように保持された第2マイクロヘッド27のシンブル27a
が連結されている。しかも、この第2マイクロヘッド27
のスピンドル27bの先端は前記第2当り部26aに当接して
おり、前記第2押圧ピン28により押圧さた第2当り部28
を押止めるように構成されており、スピンドル27bの前
進後退により第2当り部26aが前進後退してX軸移動台2
6がX軸方向に移動するように構成されている。
さらに、前記X軸移動台26にはY軸テーブル30が固定
されており、このY軸テーブル30にはY軸方向に延びる
ガイド部30aが突設されている。このガイド部30aにはY
軸移動台31が摺動自在に案内されており、このY軸移動
台31には前記第2当り部26aと交叉する方向にかつ水平
に延びる第3当り部31aが突設されている。この第3当
り部31aは後記する第3マイクロメータヘッド(以下、
第3マイクロヘッドという)32のスピンドル32bの先端
位置にかかわらずY軸テーブル30側に保持された第3押
圧ピン33により押圧されるように構成されている。一
方、前記Y軸テーブル30には取付具22cを介してステッ
ピングモータでなるY軸モータ34がその回転軸を水平に
して取付けられており、この回転軸にはカップリング24
cを介してこれと平行に延びるように保持された第3マ
イクロヘッド32のシンブル32aが連結されている。しか
も、この第3マイクロヘッド32のスピンドル32bの先端
は前記第3当り部31aに当接しており、前記第3押圧ピ
ン33により押圧された第3当り部31aを押止めるように
構成されており、スピンドル32bの前進後退により第3
当り部31aが前進後退してY軸移動台31がY軸方向に移
動するように構成されている。
さらに、前記Y軸移動台31にはワーク固定治具35が固
定されており、このワーク固定治具35に所望試験を行う
基板をセットして、X軸テーブル25およびY軸テーブル
30を原点復帰させると、基板上の一方の基準点が第1位
置検出センサ13aの下方に位置するように構成されてい
る。前記基板には2個の基準点を任意の位置に持つ配線
が印刷されており、この基準点により配線の位置および
位置検出センサ13a,13bに対する傾きが検出されるよう
に構成されている。また、前記基準点は円形、矩形に限
定されず一定形状の縁部を持っていればよく、しかも位
置検出センサ13a,13bから照射される光線を反射するよ
うに構成されていればよい。
前記コンタクトチェッカの制御装置は、前記Θ軸モー
タ23、X軸モータ29、Y軸モータ34を第1位置検出セン
サ13aおよび第2位置検出センサ13bの信号により制御す
るように構成されており、第3図に示すように、 1]X軸モータ29を時計方向に回転させるとともにΘ軸
テーブル19の回転中心上に位置する第1位置検出センサ
13aの出力を判断する。
2]第1検出センサ13aが基準点から離脱せず、その出
力が反転しない時、1]に戻る。
3]第1位置検出センサ13aが基準点から離脱して、そ
の出力が反転し、基板上の基準点の一方の縁部を検出し
た時X軸モータ29を停止させる。
4]X軸モータ29を逆方向に移動させるとともに現在位
置からのX軸モータ29の移動量を計測するためにX軸モ
ータ29に加えられる駆動パルスを計測してこれを積算
し、さらに第1位置検出センサ13aの出力を判断する。
5]第1位置検出センサ13aが直ちに基準点上に復帰し
てその出力が復帰した後再度反転しない時、4]に戻
る。
6]第1位置検出センサ13aが再度基準点から離脱し
て、その出力が再度反転し、基板上の基準点の他方の縁
部を検出した時、X軸モータ29を停止させるとともに、
この時のX軸モータ29の移動量すなわち駆動パルスの積
算値の1/2の値だけX軸モータ29を復帰する方向に回転
させる。
7]Y軸モータ34をX軸モータ29同様に回転させて基板
を移動させ、第1位置検出センサ13aを基板上の基準点
のY軸方向の中心に位置させる。
8]Θ軸モータ23を時計方向に回転させ、第2位置検出
センサ13bの出力を判断する。
9]この第2位置検出センサ13bが基準点から離脱せ
ず、その出力が反転しない時、8]に戻る。
10]第2位置検出センサ13bが基準点から離脱して、そ
の出力が反転し、前記基準点の一方の縁部が検出される
と、Θ軸モータ23を停止させる。
11]Θ軸モータ23を逆方向に回転させるとともに現在位
置からのΘ軸モータ23の移動量を計測するためにΘ軸モ
ータ23に加えられる駆動パルス数を積算し、さらに第2
位置検出センサ13bの出力を判断する。
12]第2位置検出センサ13bが直ちに基準点上に復帰し
てその出力が復帰して後再度反転しない時、11]に戻
る。
13]第2位置検出センサ13bが再度基準点から離脱し
て、その出力が再度反転し、前記基板上の基準点の他方
の縁部を検出した時、Θ軸モータ23の回転を停止させる
とともに、この時のΘ軸モータ23の移動量すなわち駆動
パルスの積算値の1/2の値だけΘ軸モータ23を復帰させ
る方向に回転させる。
14]スライド用モータ18に駆動指令信号を発信し、作業
位置確認センサ(図示せず)からの作業位置確認信号を
待つ。
15]昇降手段のリバーシブルモータ7aに下降指令信号を
与えてこれを回転させて昇降台6を下降させて後、手動
あるいは所望試験装置から発信される作業終了信号を待
つ。
16]昇降手段のリバーシブルモータ7aに上昇指令信号を
送って、これを前回と逆方向に回転させ、昇降台を上昇
させるとともに、スライド用モータに復帰指令信号を送
る。
17]エンド。
上記動作を行うように構成されている。
上記コンタクトチェッカでは、作業者がワーク固定治
具35に2個の基準点をもつ配線が印刷された基板を基板
をセットする。この時、第1位置検出センサ13aの下方
には一方の基準点が位置するため、第1位置検出センサ
13aは基準点の検出信号を出力する。この状態で、作業
スタート信号を発信すると、X軸モータ29が作動して、
第2マイクロヘッド27のシンブル27aを時計方向に回転
させ、スピンドル27bを前進させる。このスピンドル27b
の前進により第2当り部26aが前進してX軸移動台26が
前進し、第1位置検出センサ13aが基板上の一方の基準
点から離脱してその出力が反転し、第1位置検出センサ
13aが基準点の一方の縁部を検出するまで移動する。第
1位置検出センサ13aが基準点の縁部を検出すると、X
軸モータ29の回転が停止する。その後、X軸モータ29が
逆方向に回転して第2マイクロヘッド27が反時計方向に
回転する。そのため、スピンドル27bが後退し、第2当
たり部26aが第2押圧ピン28に押圧されて後退し、X軸
移動台26も後退する。この時、第1位置検出センサが前
記基準点の縁部を検出してからのX軸モータ29の移動量
がX軸モータ29に加えられる駆動パルス数の積算値とし
て計測される。その後、前記第1位置検出センサ13aが
前記基準点の他方の縁部を検出すると、X軸モータ29は
停止し、同時に駆動パルス数の積算値からその1/2の値
が算出され、この値だけX軸モータ29が復帰する方向に
回転する。これにより、ワーク固定治具35上の基板が移
動し、第1位置検出センサ13aは基板上の基準点のX軸
方向の中間点に達する。
続いて、同様にY軸モータ34が回転してY軸移動台31
が移動して基板をY軸方向に移動させ、前記第1位置検
出センサ13aを前記基準点のY軸方向の中間点に位置さ
せることができる。
その後、Θ軸モータ23が時計方向に回転し、第1マイ
クロヘッド20のシンブル20aが回転し、そのスピンドル2
0bが前進する。これにより、スピンドル20bが第1当り
部19bを前進させると、第1当り部19bが支持台19aを中
心に回動し、Θ軸テーブル19が一体に回動する。この
時、第1位置検出センサ13aとΘ軸テーブル19の回転中
心が一致して配置されているため、基板は前記基準点を
中心に回動する。
前記Θ軸テーブル19が回動するにともなって、第2位
置検出センサ13bの出力が反転し、基板上の別の基準点
の一方の縁部が検出されると、Θ軸モータ23の回転が停
止する。その後、Θ軸モータ23が反時計方向に回転する
とともに、この時点からのΘ軸モータ23の移動量がこれ
に加わる駆動パルス数を積算することにより計測され
る。その後、前記第2位置検出センサ13bが一旦復帰し
て後反転し、前記基準点の別の縁部が検出されると、Θ
軸モータ23の移動量すなわち前記駆動パルス数の積算値
の1/2の値が算出され、この値だけΘ軸モータ23は復帰
する方向に回転する。これにより、基板が一方の基準点
を中心に回動し、第2位置検出センサ13bが他方の基準
点の中心に位置することができ、基板上の配線が基板の
姿勢とは関係なく各位置検出センサ13a,13bに対する所
定の位置に位置決めされる。
その後、スライド用モータ18が作動し、ラック18aを
前進させて、テーブル台16を所定位置まで前進させる。
作業位置確認センサから作業位置確認信号が発信される
と、昇降手段のリバーシブルモータ7aが回転し、ギア機
構7b、回転軸7cおよびアーム7dを介してリンク機構7eが
作動して、昇降台6がガイドレール4aに沿って下降し、
昇降台6とともに下降するプローブピン10が基板上の所
定接触位置に当接して停止することができる。そのた
め、作業者は各種基板の試験を行なうことができる。作
業完了後に作業完了信号が発信されると、昇降手段のリ
バーシブルモータ7aが逆転して昇降台6が上昇し、次回
の作業に備えることができる。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明は基板に印刷された配線
が僅かにずれて位置している場合でも、基板の所望試験
を行うときには基板上の基準点から基板上の配線を所定
姿勢に修正した後、プローブピンを下降させることがで
き、プローブピンを正確に所定接触位置に位置させるこ
とができ、基板の各種試験を確実に行うことができる等
の利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の正面図、第2図は第1図の一部を切欠
いた要部拡大平面図、第3図は本発明の制御装置の動作
を説明するフローチャート、第4図は従来例を示す正面
図である。 1……コンタクトチェッカ、2……機台、3……フレー
ム、4a,4b……ガイドレール、5a,5b……スライダ、6…
…昇降台、7a……リバーシブルモータ、7b……ギア機
構、7c……回転軸、7d……アーム、7e……リンク機構、
8……ワーク位置決め装置、9……プローブヘッド、9a
……保持プレート、10……プローブピン、11……リード
線、12……コネクタ、13a……第1位置検出センサ、13b
……第2位置検出センサ、16……テーブル台、17……XY
Θロボット、18……スライド用モータ、18a……ラッ
ク、19……Θ軸テーブル、19a……支持台、19b……第1
当り部、20……第1マイクロメータヘッド、20a……シ
ンブル、20b……スピンドル、21……第1押圧ピン、22
a,22b,22c……取付具、23……Θ軸モータ、24a,24b,24c
……カップリング、25……X軸テーブル、26……X軸移
動台、26a……第2当り部、27……第2マイクロメータ
ヘッド、27a……シンブル、27b……スピンドル、28……
第2押圧ピン、29……X軸モータ、30……Y軸テーブ
ル、30a……ガイド部、31……Y軸移動台、31a……第3
当り部、32……第3マイクロメータヘッド、32a……シ
ンブル、32b……スピンドル、33……第3押圧ピン、34
……Y軸モータ、35……ワーク固定治具、

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直立するフレームに昇降手段の作動により
    昇降自在でかつ水平に延びるプローブヘッドを配置し、
    このプローブヘッドに所定本数のプローブピンを基板の
    所定位置に2個の基準点を持って印刷された配線中の所
    定接触位置に対応して取付け、これらプローブピンにそ
    れぞれリード線を接続してこのリード線の一端を前記フ
    レームに取付けられたコネクタの各端子に接続したコン
    タクトチェッカにおいて、 プローブヘッドにプロープピンから離れた位置に基板の
    配線中の基準点を検出する2個の位置検出センサを取付
    ける一方、 プローブヘッドの下方でかつプローブピンの下方から離
    脱した位置に、θ軸モータの回転を受けて回転するθ軸
    テーブルをその回転中心が一方位置検出センサの下方に
    位置するように配置するとともに、このθ軸テーブルを
    プローブピンの下方まで移動自在に配置し、 さらに、前記θ軸テーブルにX軸モータの回転を受けて
    X軸方向に移動するX軸移動台を持つX軸テーブルとX
    軸移動台に固定されてY軸モータの回転を受けてY軸方
    向に移動するワーク固定治具を持つY軸テーブルとを保
    持し、 これらθ軸モータ、X軸モータ、Y軸モータを前記位置
    検出センサの信号により制御して、X軸テーブル、Y軸
    テーブルを駆動してワーク固定治具にセットされる基板
    の一方の基準点をθ軸テーブルの回転中心に位置する一
    方の位置検出センサの下方に位置決めして後、θ軸テー
    ブルを駆動して基板の他方の基準点を他方の位置検出セ
    ンサの下方に位置決めする制御装置を設けたことを特徴
    とするコンタクトチェッカ。
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