KR100424442B1 - 납형상 3차원 측정기 - Google Patents

납형상 3차원 측정기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 실장용 인쇄회로기판의 납형상에 대한 3차원 검사 및 측정을 위한 납형상 3차원 측정기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높이 및 면적, 부피의 3차원 형상을 갖는 표면 실장용 인쇄회로기판의 납형상을 기계적인 장치에 의해서 고속고정밀의 측정이 가능하도록 함으로써 측정의 신속성 및 효율성 그리고 신뢰성을 확보할 수 있도록 하고, 또한 제품의 질적향상을 기할 수 있도록 한 납형상 3차원 측정기에 관한 것으로서, 이는 본체(1)의 상면 베이스 플레이트(2)의 상부측에 프로브(3)가 본체(1)의 일측 상방으로 형성된 한 쌍의 지지대(41)(42)에 의해 양측이 지지된 서포터(4)에 의해 지지되고; 상기 베이스 플레이트(2) 상에는 인쇄회로기판(50)을 양측에서 고정하는 한 쌍의 기판 지지대(65)(65A)를 갖는 스테이지(5)가 구비되며; 상기 스테이지(5) 내부에는 X축 조절놉(66)과 연동되는 X축 구동부(6)가 구비되어 상기 X축 구동부(6)에 의해 상기 기판 지지대(65)(65A)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되고; 상기 베이스 플레이트(2) 내부에 Y축 조절놉(76)과 연동되는 Y축 구동부(7)가 구비되어 상기 Y축 구동부(7)에 의해 상기 스테이지(5)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되며; 상기 프로브(3)와 서포터(4) 사이에는 X축 조절놉(66)과 연동되는 Z축 구동부(8)가 구비되어 상기 Z축 구동부(8)에 의해 프로브(3)를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성함으로써 측정속도의 신속성을 기할 수 있을 뿐만 아니라 고속고정밀 측정으로 측정의 신뢰성을 확보할 수 있고, 또한 측정작업의 간편성 및 효율성으로 제품의 질적 향상 및 생산성을 한층 증대시킬 수 있는 효과를 갖게 된다.

Description

납형상 3차원 측정기{Solder paste inspection system}
본 발명은 표면 실장용 인쇄회로기판의 납형상에 대한 3차원 검사 및 측정을 위한 납형상 3차원 측정기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 높이 및 면적, 부피의 3차원 형상을 갖는 표면 실장용 인쇄회로기판의 납형상을 기계적인 장치에 의해서 고속고정밀의 측정이 가능하도록 함으로써 측정의 신속성 및 효율성 그리고 신뢰성을 확보할 수 있도록 하고, 또한 제품의 질적향상을 기할 수 있도록 하는데 있다.
주지된 바와 같이 표면 실장 기술(Surface Mount Technology)은 인쇄회로기판 위에 납을 인쇄하여 그 위에 칩(Chip) 부품을 장착하고 리플로우(reflow)를 이용하여 인쇄회로기판과 리드 부품간의 접합(납땜)을 하는 기술로서, 이는 적정 높이 및 면적, 부피의 납형상이 관건이 된다.
상기 납형상이 적정 높이 및 면적, 부피를 갖지 못하게 되면, 납에 의한 칩 부품의 기계적 강도가 저하되거나 리드 간의 단선(short) 현상 등에 의해 불량을 초래하게 되므로 납땜 후에는 이의 검사 및 측정이 필수적이다.
그러나 종래에는 납형상의 높이 및 면적, 부피를 검사 및 측정하는 것이 전적으로 수작업에 의존해왔기 때문에 검사 및 측정의 정확성이 결여될 수 밖에 없고, 이로인해 제품 불량 및 질적 저하를 초래하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 창안된 것으로서, 그 목적은 높이 및 면적, 부피의 3차원 형상을 갖는 표면 실장용 인쇄회로기판의 납형상을 기계적인 장치에 의해서 고속고정밀의 측정이 가능하도록 함으로써 측정의 신속성 및 효율성 그리고 신뢰성을 확보할 수 있도록 하고, 또한 제품의 질적향상을 기할 수 있도록 하는데 있다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본체의 상면 베이스 플레이트의 상부측에 프로브가 본체의 일측 상방으로 형성된 한 쌍의 지지대에 의해 양측이 지지된 서포터에 의해 지지되고; 상기 베이스 플레이트 상에는 인쇄회로기판을 양측에서 고정하는 한 쌍의 기판 지지대를 갖는 스테이지가 구비되며; 상기 스테이지 내부에는 X축 조절놉과 연동되는 X축 구동부가 구비되어 상기 X축 구동부에 의해 상기 기판 지지대를 X축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되고; 상기 베이스 플레이트 내부에 Y축 조절놉과 연동되는 Y축 구동부가 구비되어 상기 Y축 구동부에 의해 상기 스테이지를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되며; 상기 프로브와 서포터 사이에는 X축 조절놉과 연동되는 Z축 구동부가 구비되어 상기 Z축 구동부에 의해 프로브를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 납형상 3차원 측정기가 제공된다.
상기 X축 구동부는, 스테이지 상에 한 쌍의 X축 슬라이드공이 서로 평행하게 X축 방향으로 형성되고, 상기 X축 슬라이드공의 하부측에는 조임나사를 갖는 X축 슬라이더가 구비된 한 쌍의 X축 가이드가 구비되며, 상기 X축 슬라이더 상에는 X축 슬라이드공에 대해서 직각을 이루는 한 쌍의 기판 지지대가 상호 대향되게 연결 고정되고, 상기 X축 가이드 사이에는 다수의 X축 가이드롤러에 의해 안내되고 X축 연결구에 의해 X축 슬라이더와 연결된 X축 와이어가 구비되며, 상기 X축 와이어는 X축 조절놉의 축상에 설치된 X축 구동롤러에 의해 전동될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.
상기 Y축 구동부는, 베이스 플레이트 상에 한 쌍의 Y축 슬라이드공이 서로 평행하게 Y축 방향으로 형성되고, 상기 Y축 슬라이드공의 하부측에는 Y축 슬라이더가 구비된 한 쌍의 Y축 가이드가 구비되며, 상기 Y축 가이드의 일측부에는 다수의 Y축 가이드롤러에 의해 안내되고 Y축 연결구에 의해 Y축 슬라이더와 연결된 Y축 와이어가 구비되며, 상기 Y축 와이어는 Y축 조절놉의 축상에 설치된 Y축 구동롤러에 의해 전동될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.
상기 Z축 구동부는, 서포터의 전면 중간부 양측에 한 쌍의 Z축 가이드가 수직 방향으로 형성되고, 프로브의 배면 양측에는 상기 Z축 가이드를 따라 상.하로 이동하는 Z축 슬라이더가 구비되며, 상기 Z축 가이드 사이의 서포터 전면부에는 수직 방향으로 래크가 형성되어 프로브의 후방측 측방의 Z축 조절놉의 축상에 설치된 피니언이 치합되어 상기 Z축 조절놉의 회전조작에 의한 피니언의 회전에 의해 상기 프로브를 Z축 방향으로 상.하 이동시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명의 전체적인 구성을 보인 사시도.
도 2a,도 2b는 본 발명의 X축 구동부 구성을 보인 것으로서,
도 2a는 종단면도.
도 2b는 평면도.
도 3은 본 발명의 Y축 구동부 구성을 보인 평면도.
도 4는 본 발명의 Z축 구동부 구성을 보인 평단면도.
*도면의주요부분에대한부호의설명
1:본체 2:베이스 플레이트
3:프로브
4:서포터
41,42:지지대
5:스테이지
50:인쇄회로기판
6:X축 구동부
61,61A:X축 슬라이드공 62:X축 가이드
63:X축 슬라이더 64:조임나사
65,65A:기판 지지대 66:X축 조절놉
66A:X축 구동롤러 67,67A,67B,67C:X축 가이드롤러
68:X축 와이어 69:X축 연결구
7:Y축 구동부
71,71A:Y축 슬라이드공 72,72A:Y축 가이드
73,73A:Y축 슬라이더 74,74A,74B,74C:Y축 가이드롤러
75:Y축 와이어 76:Y축 조절놉
77:Y축 구동롤러 78:Y축 연결구
8:Z축 구동부
81:Z축 가이드 82:Z축 슬라이더
83:래크 84:Z축 조절놉
85:피니언
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 구성을 실시예에 따라 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 전체적인 구성을 보인 사시도이다.
이에 도시된 바와 같이 본 발명은 본체(1)의 상면에 일정면적의 평판형태로 베이스 플레이트(2)가 구비되어 있고, 상기 베이스 플레이트(2)의 상부측에는 프로브(probe)()가 구비되어 있는 것으로서, 상기 프로브(3)는 본체(1)의 일측 상방으로 형성된 한 쌍의 지지대(41)(42)에 의해 양측이 지지되는 서포터(suppoter)(4)에 의해 일정 높이로 구비된다.
또한 상기 베이스 플레이트(2) 상에는 피측정물로써 인쇄회로기판(50)이 탑재되는 스테이지(5)가 구비되어 있고, 상기 스테이지(5)에 탑재된 인쇄회로기판(50)은 작업자의 조작에 의해서 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시킬수 있도록 구비된다.
즉, 본 발명은 인쇄회로기판(50)을 베이스 플레이트(2) 상에서 X축 방향으로 이동시키기 위한 수단으로서 X축 구동부(6)가 구비되고, 인쇄회로기판(50)을 베이스 플레이트(2) 상에서 Y축 방향으로 이동시키기 위한 수단으로서 Y축 구동부(7)가 구비되는 것이다.
상기 X축 구동부(6)는 횡방향으로 서로 평행하게 천공된 한 쌍의 X축 슬라이드공(61)(61A) 내부에 구비되어 X축 조절놉(66)의 회전조작에 의해 상기 X축 슬라이드공(61)(61A)에 대해서 직각을 이루는 한 쌍의 기판 지지대(65)(65A)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것으로서, 이는 도 2a에 도시된 바와 같이 상기 X축 슬라이드공(61)(61A)의 하부측에 횡봉 형태의 X축 가이드(62)(62A)가 구비되고, 상기 X축 가이드(62)(62A) 상에는 X축 슬라이더(63)가 X축 가이드(62)(62A) 상에서 이동이 자유롭게 구비되며, 상기 X축 슬라이더(63)에는 수직방향으로 조임나사(64)가 구비되어 상기 조임나사(64)의 조임력에 의해 X축 슬라이더(63)를 결정된 위치에 고정시킬 수 있도록 구성되어 있으며, 상기 X축 슬라이더(63)에 기판 지지대(65)(65A)가 고정되어 상기 기판 지지대(65)(65A)와 함께 연동되도록 구성되어 있다.
또한 상기 X축 슬라이더(63)를 작업자의 X축 조절놉(66) 조작에 의해 일측 X축 가이드 상에서 이동시키기 위한 수단으로서, 도 2b에 도시된 바와 같이 스테이지(5)의 저면부에는 다수의 X축 가이드롤러(67)(67A)(67B)(67C)가 사각 형태로 배열 및 배치되어 X축 와이어(68)의 안내기능을 수행할 수 있도록 구성되어 있고, X축 와이어(68) 상에는 X축 조절놉(66)의 축 상에 결합되어 상기 X축 조절놉(66)의 회전조작에 의해 함께 회전하면서 X축 와이어(68)와의 마찰력으로 상기 X축 와이어(68)가 구동되게 하는 X축 구동롤러(66A)가 구비되며, 상기 X축 와이어(68)와 X축 슬라이더(63)는 X축 연결구(69)에 의해 상호 연결된다.
상기 Y축 구동부(7)는 도 1에 도시된 바와 같이 X축 슬라이드공(61)(61A)에 대해서 직각을 이루는 방향으로 베이스 플레이트(2) 상에 서로 평행하게 형성된 Y축 슬라이드공(71)(71A) 내부에 구비되어 작업자의 조작에 의해 스테이지(5)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것으로서, 이는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 Y축 슬라이드공(71)(71A)의 직하부 본체(1) 상에 레일 형태로 한 쌍의 Y축 가이드(72)(72A)가 서로 평행하게 구비되고, 상기 Y축 가이드(72)(72A) 상에는 스테이지(5)와 연결되는 한 쌍의 Y축 슬라이더(73)(73A)가 구비되어 상기 Y축 슬라이더(73)(73A)가 Y축 가이드(72)(72A)를 따라 이동하는 것에 의해 스테이지(5)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것이다.
그리고 일측 Y축 슬라이더(73)(73A)를 작업자의 Y축 조절놉(76) 조작에 의해 일측 Y축 가이드() 상에서 이동시키기 위한 수단으로서, 상기 Y축 조절놉(76)과 상기 Y축 슬라이더(73)(73A) 사이의 본체(1) 상에는 다수의 Y축 가이드롤러(74)(74A)(74B)(74C)가 사각형태로 배열 및 배치되어 상호 Y축 와이어(75)로 연동될 수 있게 구성되고, 상기 Y축 와이어(75) 상에는 Y축 조절놉(76)의 축 상에 결합되어 상기 Y축 조절놉(76)의 회전조작에 의해 함께 회전되면서 Y축 와이어(75)와의 마찰력으로 상기 Y축 와이어(75)가 구동되게 하는 Y축구동롤러(77)가 구비되며, 상기 Y축 와이어(75)와 Y축 슬라이더(73)(73A)는 Y축 연결구(78)에 의해 상호 연결된다.
한편, 프로브(probe)(3)는 도 1에 도시된 바와 같이 서포터(4)와 상기 프로브(3) 사이에 구비된 Z축 구동부(8)에 의해 상.하로 이동될 수 있도록 구성된 것으로서, 이의 구성은 도 4에 도시된 바와 같이 서포터(4)의 전면 중간부 양측에 한 쌍의 Z축 가이드(81)가 수직 방향으로 형성되고, 프로브(3)의 배면 양측에는 상기 Z축 가이드(81)를 따라 상.하로 이동하는 Z축 슬라이더(82)가 구비된다.
또한 상기 Z축 가이드(81) 사이의 서포터(4) 전면부에는 수직 방향으로 래크(83)가 형성되어 있고, 프로브(3)의 후방측에는 측방의 Z축 조절놉(84)의 축상에 상기 래크(83)와 치합되는 피니언(85)이 구비되어 상기 Z축 조절놉(84)의 회전조작에 의한 피니언(85)의 회전에 의해 상기 프로브(3)를 Z축 방향으로 상.하 이동시킬 수 있도록 구성된 것이다.
다음은 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 사용 및 작동과정을 상세히 설명한다.
먼저, 작업자는 X축 구동부(6)의 조임나사(64)를 풀어 양측 기판 지지대(65)(65A)가 X축 방향으로 자유롭게 이동될 수 있도록 한다. 그런 다음 스테이지(5) 상에 피측정물인 인쇄회로기판(50)이 재치되는데, 이때 상기 인쇄회로기판(50)의 양단이 도 2에 도시된 바와 같이 상기 기판 지지대(65)(65A) 상에 위치되게 한다.(도 1 참조.)
그 후, 상기 인쇄회로기판(50)이 측정위치에 놓여질 수 있도록 X축조절놉(66)을 회전시켜 기판 지지대(65)(65A) 및 X축 슬라이더(63)를 X축 가이드(72)(72A)를 따라 이동시킨 다음, 그 위치가 결정되면 조임나사(64)를 조임방향으로 회전시켜 상기 X축 가이드(62)(62A)에 대한 조임력이 작용하는 것에 의해 결정된 위치의 고정이 이루어진다.
그리고 상기 인쇄회로기판(50)에 대한 Y축 방향의 위치조정은 본체(1)의 일측부에 구비된 Y축 조절놉(76)의 회전조작에 의한 스테이지(5)의 이동에 의해서 이루어지게 되는 것으로서, 이의 작동은 도 3에 도시된 바와 같다.
즉, Y축 조절놉(76)을 일측 방향으로 회전시키게 되면, 상기 Y축 조절놉(76)의 축상에 설치된 Y축 구동부(7)의 Y축 구동롤러(77)가 회전하게 되고, 상기 Y축 구동롤러(77)가 회전하는 것에 의해 Y축 구동롤러(77)와 연결되고 Y축 가이드롤러(74)(74A)(74B)(74C)에 의해 안내되는 Y축 와이어(75)의 전동이 이루어게 되는 것이며, 상기 Y축 와이어(75)의 전동에 의해 Y축 와이어(75)와 일측 Y축 슬라이더(73)(73A)를 상호 연결하는 Y축 연결구(78)가 상기 Y축 슬라이더(73)(73A)를 당기는 견인력의 작용에 의해 Y축 슬라이더(73)(73A)가 Y축 가이드(72)(72A) 상에서 이동됨으로써 상기 Y축 슬라이더(73)(73A)에 연결된 스테이지(5)에 대한 Y축 방향으로의 위치조정이 이루어질 수 있게 되는 것이다. 이때 타측 Y축 슬라이더(73)(73A)는 상기 Y축 슬라이더(73)(73A)와 함께 스테이지(5)의 저면부에 연결 및 고정되어 있어 타측 Y축 가이드(72)(72A) 상에서 상기 Y축 슬라이더(73)(73A)와 함께 이동된다.
이와함께 상기 인쇄회로기판(50)에 대한 프로브(3)의 Z축 방향, 즉 상.하 위치조정은 도 1에 도시된 바와 같이 Z축 구동부(8)의 측방에 형성된 Z축 조절놉(84)의 회전조작에 의해 이루어지는 것으로서, 이는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 Z축 조절놉(84)을 일측 방향으로 회전시키게 되면, Z축 조절놉(84)의 축상에 설치되고 래크(83)와 치합된 피니언(85)이 회전되는 것에 의해 프로브(3)의 Z축 방향, 즉 상.하 위치를 조절할 수 있게 되는 것이고, 상기 프로브(3)는 Z축 가이드(81)를 따라 Z축 슬라이더(82)가 이동하는 것에 의해 상.하 이동이 안내될 수 있게 되는 것이다.
한편, 상기 X축 구동부(6) 및 Y축 구동부(7), Z축 구동부(8)에 의해 인쇄회로기판(50)이 프로브(3)의 하부측 적정위치에 놓인 후 상기 프로브(3)의 작동에 의한 검사 및 측정이 이루어지면, 그 신호는 컴퓨터의 프로그램에 입력되어 모니터 상에서 측정값과 기준값과의 오차 등의 관련 데이터가 디스플레이되고, 작업자는 그 디스플레이된 자료를 통해 표면실장용 인쇄회로기판의 3차원 납형상 불량 여부를 판단할 수 있게 되는 것으로서, 이는 본원인이 기 출원한 바 있는 특허 제2001-18523호 "색정보를 이용한 실시간 3차원 표면형상 측정방법 및 장치"를 통해 이루어진다.
그리고 본 발명은 표면 실장용 인쇄회로기판에 국한되지 않고 BGA(Ball Grid Array)기판에 사용하는 볼(Ball)형상의 3차원 검사 및 측정에 사용될 수 있으며, 반도체 칩의 리드(Lead) 들뜸검사 등에도 사용될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 표면 실장용 인쇄회로기판 상의 3차원 납형상을X축 구동부 및 Y축 구동부와 프로브를 상.하로 이동시키는 Z축 구동부로 이루어진 기계적 장치에 의해 그 높이 및 면적, 부피를 에리어 스캐닝(Area Scanning)방식으로 검사 및 측정할 수 있도록 함으로써 측정속도의 신속성을 기할 수 있을 뿐만 아니라 고속고정밀 측정으로 측정의 신뢰성을 확보할 수 있고, 또한 측정작업의 간편성 및 효율성으로 제품의 질적 향상 및 생산성을 한층 증대시킬 수 있는 효과를 갖게 된다.

Claims (4)

  1. 본체(1)의 상면 베이스 플레이트(2)의 상부측에 프로브(3)가 본체(1)의 일측 상방으로 형성된 한 쌍의 지지대(41)(42)에 의해 양측이 지지된 서포터(4)에 의해 지지되고;
    상기 베이스 플레이트(2) 상에는 인쇄회로기판(50)을 양측에서 고정하는 한 쌍의 기판 지지대(65)(65A)를 갖는 스테이지(5)가 구비되며;
    상기 스테이지(5) 내부에는 X축 조절놉(66)과 연동되는 X축 구동부(6)가 구비되어 상기 X축 구동부(6)에 의해 상기 기판 지지대(65)(65A)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되고;
    상기 베이스 플레이트(2) 내부에 Y축 조절놉(76)과 연동되는 Y축 구동부(7)가 구비되어 상기 Y축 구동부(7)에 의해 상기 스테이지(5)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되며;
    상기 프로브(3)와 서포터(4) 사이에는 X축 조절놉(66)과 연동되는 Z축 구동부(8)가 구비되어 상기 Z축 구동부(8)에 의해 프로브(3)를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 납형상 3차원 측정기.
  2. 제1항에 있어서 상기 X축 구동부(6)는,
    스테이지(5) 상에 한 쌍의 X축 슬라이드공(61)(61A)이 서로 평행하게 X축 방향으로 형성되고, 상기 X축 슬라이드공(61)(61A)의 하부측에는 조임나사(64)를 갖는 X축 슬라이더(63)가 구비된 한 쌍의 X축 가이드(62)(62A)가 구비되며, 상기 X축 슬라이더(63) 상에는 X축 슬라이드공(61)(61A)에 대해서 직각을 이루는 한 쌍의 기판 지지대(65)(65A)가 상호 대향되게 연결 고정되고, 상기 X축 가이드(62)(62A) 사이에는 다수의 X축 가이드롤러(67)(67A)(67B)(67C)에 의해 안내되고 X축 연결구(69)에 의해 X축 슬라이더(63)와 연결된 X축 와이어(68)가 구비되며, 상기 X축 와이어(68)는 X축 조절놉(66)의 축상에 설치된 X축 구동롤러(66A)에 의해 전동될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 납형상 3차원 측정기.
  3. 제1항에 있어서 Y축 구동부(7)는,
    베이스 플레이트(2) 상에 한 쌍의 Y축 슬라이드공(71)(71A)이 서로 평행하게 Y축 방향으로 형성되고, 상기 Y축 슬라이드공(71)(71A)의 하부측에는 Y축 슬라이더(73)(73A)가 구비된 한 쌍의 Y축 가이드(72)(72A)가 구비되며, 상기 Y축 가이드(72)(72A)의 일측부에는 다수의 Y축 가이드롤러(74)(74A)(74B)(74C)에 의해 안내되고 Y축 연결구(78)에 의해 Y축 슬라이더(73)(73A)와 연결된 Y축 와이어(75)가 구비되며, 상기 Y축 와이어(75)는 Y축 조절놉(76)의 축상에 설치된 Y축 구동롤러(77)에 의해 전동될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 납형상 3차원 측정기.
  4. 제1항에 있어서 상기 Z축 구동부(8)는,
    서포터(4)의 전면 중간부 양측에 한 쌍의 Z축 가이드(81)가 수직 방향으로 형성되고, 프로브(3)의 배면 양측에는 상기 Z축 가이드(81)를 따라 상.하로 이동하는 Z축 슬라이더(82)가 구비되며, 상기 Z축 가이드(81) 사이의 서포터(4) 전면부에는 수직 방향으로 래크(83)가 형성되어 프로브(3)의 후방측 측방의 Z축 조절놉(84)의 축상에 설치된 피니언(85)이 치합되어 상기 Z축 조절놉(84)의 회전조작에 의한 피니언(85)의 회전에 의해 상기 프로브(3)를 Z축 방향으로 상.하 이동시킬 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 납형상 3차원 측정기.
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