JP4546227B2 - 膜厚抵抗測定装置 - Google Patents
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Description
5 ガラス基板
6 印刷パターン
10 基板搬送部
11 確認センサ
12 搬送コロ
13 搬送モータ
14 アクチェータ
20 基板固定部
21 位置決めピン
22 アクチェータ
23 吸着パッド
24 基板固定ベース
30 膜厚測定部
31 レーザ変位センサ
32 第1Z軸
33 XY微動ステージ
34 モニタ用光学系
35 レーザ光
36 0値補正
37 膜厚
40 第1抵抗測定部
41 第1測定端子
42 第2Z軸
43 回転アクチェータ
44 モニタ用光学系
50 第2抵抗測定部
51 第2測定端子
52 第3Z軸
53 回転アクチェータ
60 第1XY粗動ロボット
61 第2XY粗動ロボット
65 操作パネル
66 タッチパネル
67 モニタ
68 膜厚測定コントローラ
69 抵抗測定器
70 制御部
Claims (6)
- 被測定物を搬送する搬送手段と、
該搬送手段によって搬送された被測定物を位置決め固定する位置決め固定手段と、
該位置決め固定手段によって位置決め固定された被測定物の表面の印刷パターンの厚さを測定する膜厚測定手段と、
前記位置決め固定手段によって位置決め固定された被測定物の表面の印刷パターンの抵抗値を測定する測定端子を備えた第1抵抗測定手段及び第2抵抗測定手段と、
前記膜厚測定手段と前記第1抵抗測定手段とを搭載し、前記被測定物の任意の位置に前記膜厚測定手段及び前記第1抵抗測定手段を移動させる第1XY粗動ロボットと、
前記第2抵抗測定手段を搭載し、抵抗測定時にのみ前記第1抵抗測定手段と連動させて動作する第2XY粗動ロボットと、
前記膜厚測定手段による膜厚測定又は前記第1抵抗測定手段及び第2抵抗測定手段による抵抗測定のいずれを行うかを選択する選択手段と、
装置全体を制御する制御手段とを備えることを特徴とする膜厚抵抗測定装置。 - 前記搬送手段は、
前記被測定物の存在を確認する確認センサと、
前記被測定物の下方に位置する複数の搬送コロと、
該複数の搬送コロを駆動する搬送モータと、
前記複数の搬送コロを上下動させるアクチェータとを備えることを特徴とする請求項1に記載の膜厚抵抗測定装置。 - 前記位置決め固定手段は、
搬送された前記被測定物を位置決めする位置決めピンと、
該位置決めピンを駆動するアクチェータと、
前記被測定物を固定する吸着パッドと、
前記被測定物を固定保持する基板固定ベースとを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の膜厚抵抗測定装置。 - 前記膜厚測定手段は、
前記被測定物上の印刷パターンの膜厚を測定するレーザ変位センサと、
該レーザ変位センサを保持し、測定高さを微調するZ軸と、
該Z軸を搭載して測定動作を行うXY微動ステージと、
測定動作を観察するモニタ用光学系とを備えることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の膜厚抵抗測定装置。 - 前記第1抵抗測定手段及び第2抵抗測定手段の各々は、接触式端子を備えた2個の測定部を、XYZθ軸方向に対し、独立して駆動可能な機構を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の膜厚抵抗測定装置。
- 前記被測定物は、プラズマディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の膜厚抵抗測定装置。
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- 2004-11-30 JP JP2004345251A patent/JP4546227B2/ja not_active Expired - Fee Related
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