JP3139761B2 - ハンドラ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、被検査集積回路を検査状態にセットする
ハンドラ装置に関し、特に被検査集積回路と測定ソケッ
トとの接合性を改良したハンドラ装置に関する。

（従来の技術） 従来、ハンドラ装置を用いて集積回路を検査する場合
には、テスター装置と電気的に接続された測定ソケット
に、配送されてきた被検査集積回路をセットして、測定
検査を行なっていた。

例えば、被検査集積回路を吸着支持し、吸着支持した
被検査集積回路を測定ソケットにセットする場合に、被
検査集積回路を吸着支持する支持部材と測定ソケットと
の位置決めが、予め検査前に行なわれる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、支持部材と測定ソケットとの位置合せ
は、被検査集積回路のリードピンと測定ソケットの接触
子との寸法的余裕が少ないために、極めて手間がかかる
とともに熟練を要し、位置決めに多くの時間が費されて
いた。

また、支持部材と測定ソケットの位置決めが一旦行な
われると、支持部材は測定ソケットに対して垂直方向に
しか移動できず水平方向へは移動できないため、検査中
に位置決めがずれると、被検査集積回路のリードピンを
測定ソケットの接触子に確実に接触させることができな
くなり、リードピンに損傷を与えるとともに検査を正確
に行なうことができなくなるといった不具合を招くおそ
れがあった。

そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、被検査集積回路を正確か
つ容易に測定ソケットにセットして、被検査集積回路と
測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を防
止し得るハンドラ装置を提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は、被検査集積
回路を測定ソケットに位置合わせして前記被検査集積回
路のリードピンを前記測定ソケットの対応する接触子に
接触させ、前記被検査集積回路を前記測定ソケットにセ
ットするハンドラ装置において、被検査集積回路を吸着
支持し、前記測定ソケットとコレット本体とを位置合わ
せする案内機構が設けられ、前記コレット本体を前記測
定ソケットに位置合わせする際に、前記案内機構は前記
測定ソケットに設けられた案内機構に導かれて案内され
るコレット本体と、前記ハンドラ装置本体の動きとは独
立して前記コレット本体を所定の範囲内で水平方向に自
在に移動可能に、前記コレット本体を遊嵌するコレッド
ガイドとを具備し、前記コレット本体に設けられた案内
機構が前記測定ソケットに設けられた案内機構に案内さ
れ、前記コレット本体が前記コレットガイド内で前記ハ
ンドラ装置本体とは独立して水平方向に移動し、前記コ
レット本体に吸着支持された前記被検査集積回路を前記
測定ソケットに位置合わせしてセットすることを特徴と
する。

（作用） 上記構成において、この発明は、被検査集積回路を吸
着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内機構に倣
いながら本体装置と独立して水平方向に自在に移動さ
せ、被検査集積回路と測定ソケットとの位置決めを行な
うようにしている。

（実施例） 以下、図面を用いてこの発明の実施例を説明する。

第１図はこの発明の一実施例に係わるハンドラ装置に
おける要部構成を示す分解斜視図である。

第１図において、ハンドラ装置本体１には、コレット
本体２及びコレットガイド３、コレット支持材４とから
なり、被検査集積回路を吸着支持するコレットが取り付
けられる。

コレットは、第２図に示すように、コレット本体２が
コレットガイド３との間に数mm程度の間隔を有してコレ
ットガイド３に遊嵌され、遊嵌された状態でコレット支
持材４をコレットガイド３に取り付けることによってコ
レット本体２が支持されている。このようなコレット
は、コレット本体２内に被検査集積回路を吸着支持する
気体の吸引路となるバキュームパッド５が設けられてお
り、このバキュームパッド５の端部に生じる吸引力によ
って被検査集積回路６がコレット本体２に吸着されて支
持される。

このように構成されたコレットは、第２図に示すよう
に、コレット本体２がコレットガイド３に対して第２図
のＡで示す部分において水平移動可能となる。すなわ
ち、コレット本体２は、コレットガイド３に対して平面
方向（Ｘ−Ｙ方向）に第２図のＡで示す範囲内において
自在に移動可能となる。

このようなコレットは、コレット本体２のバキューム
パッド５の開口部７がハンドラ装置本体１のバキューム
ホース接続部８と位置合せされて、コレット本体２が本
体装置１のコレット取付部９に、コレットガイド３が本
体装置１のコレットガイド取付板10に取り付けられてハ
ンドラ装置本体１に取り付けられる。

このようなコレットが取り付けられたハンドラ装置本
体１の下方には、第１図に示すように、ソケットゲージ
11に規整されたICソケット12が配設されている。ICソケ
ット12は、例えば第３図に示すように集積回路のリード
ピンが４方向に配設されたフラットパッケージ用のソケ
ットであり、４方向に被検査集積回路６のリードピンと
接触する接触子13が配設されている。また、ICソケット
12には、コレットとの接合における位置合わせとして機
能し、コレット本体２に設けられた溝部とともに案内機
構を構成するソケットガイド14が、第３図に示すように
四隅に設けられている。

次に、被検査集積回路６をICソケット12にセットする
際の動作を説明する。

まず、ハンドラ装置本体１から与えられる吸引力によ
り被検査集積回路６が、第２図に示すようにコレット本
体２の下部に吸着支持される。このような状態におい
て、コレットがハンドラ装置本体１とともに下降し、コ
レット本体２に設けられた溝がICソケット12に設けられ
たソケットガイド14に倣いながら案内されるように、コ
レット本体２がコレットガイド３内のＡで示す範囲内で
水平方向に自在に移動する。この時に、コレット本体２
がソケットガイド13に倣う範囲は、第２図のＢで示す範
囲となる。

このようにして、被検査集積回路６とICソケット12と
の位置合せが行なわれ、被検査集積回路６のリードピン
が第４図に示すようにソケット12の接触子13に接触し
て、被検査集積回路６がICソケット12にセットされる。

このように、被検査集積回路６を吸着支持したコレッ
ト本体２が、ハンドラ装置本体１やICソケット12に対し
て所定の範囲内において平面方向に自在に移動し、コレ
ット本体２とICソケット12に設けられた案内機構に倣う
ようにして被検査集積回路６とICソケット12との位置決
めが行なわれるため、被検査集積回路６を容易かつ正確
にICソケットにセットすることが可能となる。

また、被検査集積回路６をICソケット12の接触子13に
正確に接触させることが可能となるため、被検査集積回
路６におけるリードピンの損傷や接触不良を防止するこ
とができ、確実に測定検査を行なうことができるように
なる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、被検査集積
回路を吸着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内
機構に倣いながら本体装置と独立して水平方向に所定の
範囲内において自在に移動させるようにしたので、被検
査集積回路と測定ソケットとの位置決めを正確かつ容易
に行なうことが可能となる。この結果、被検査集積回路
と測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を
防止して、確実に測定検査を行なえるハンドラ装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係わるハンドラ装置の要
部構成を示す分解斜視図、 第２図は第１図に示す装置の要部構成を示す断面図、 第３図はICソケットの構造を示す平面図、 第４図は被検査集積回路のリードピンとICソケットの接
触子との接触状態を示す断面図である。 １……ハンドラ装置本体 ２……コレット本体 ３……コレットガイド ４……コレット支持材 ５……バキュームパッド ６……被検査集積回路 12……ICソケット 13……接触子 14……ソケットガイド

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査集積回路を測定ソケットに位置合わ
   せして前記被検査集積回路のリードピンを前記測定ソケ
   ットの対応する接触子に接触させ、前記被検査集積回路
   を前記測定ソケットにセットするハンドラ装置におい
   て、 被検査集積回路を吸着支持し、前記測定ソケットとコレ
   ット本体とを位置合わせする案内機構が設けられ、前記
   コレット本体を前記測定ソケットに位置合わせする際
   に、前記案内機構は前記測定ソケットに設けられた案内
   機構に導かれて案内されるコレット本体と、 前記ハンドラ装置本体の動きとは独立して前記コレット
   本体を所定の範囲内で水平方向に自在に移動可能に、前
   記コレット本体を遊嵌するコレッドガイドとを具備し、 前記コレット本体に設けられた案内機構が前記測定ソケ
   ットに設けられた案内機構に案内され、前記コレット本
   体が前記コレットガイド内で前記ハンドラ装置本体とは
   独立して水平方向に移動し、前記コレット本体に吸着支
   持された前記被検査集積回路を前記測定ソケットに位置
   合わせしてセットする ことを特徴とするハンドラ装置。