JP2607752Y2 - 自動テストハンドラー用ピック・プレース装置 - Google Patents
自動テストハンドラー用ピック・プレース装置Info
- Publication number
- JP2607752Y2 JP2607752Y2 JP1993061844U JP6184493U JP2607752Y2 JP 2607752 Y2 JP2607752 Y2 JP 2607752Y2 JP 1993061844 U JP1993061844 U JP 1993061844U JP 6184493 U JP6184493 U JP 6184493U JP 2607752 Y2 JP2607752 Y2 JP 2607752Y2
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- Japan
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- test
- dut
- suction
- pick
- vacuum
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、電子部品自動テスト
ハンドラー用のピック・プレース装置（つまみ上げ、配
置する装置）に関する。ピック・プレース装置は、搬送
用のトレイから電子部品の被測定物（以下「ＤＵＴ」と
いう）を取り出し、水平面上に沿って移動させ、別のト
レイに置き換える。また同時に、トレイ上のＤＵＴ同士
の間隔も調節するものである。
ハンドラー用のピック・プレース装置（つまみ上げ、配
置する装置）に関する。ピック・プレース装置は、搬送
用のトレイから電子部品の被測定物（以下「ＤＵＴ」と
いう）を取り出し、水平面上に沿って移動させ、別のト
レイに置き換える。また同時に、トレイ上のＤＵＴ同士
の間隔も調節するものである。
【０００２】
【従来の技術】集積回路（ＩＣ）や半導体チップ等の最
近の電子部品は、寸法がより小さくなり価格がより安価
になる一方で、ますます生産量と機能性を上げている。
電子部品の生産性を増やすためには、テスト時間とテス
トコストを減少させることが必要であり、これは、完全
に自動化された電子部品テストシステムによって達成さ
れる。
近の電子部品は、寸法がより小さくなり価格がより安価
になる一方で、ますます生産量と機能性を上げている。
電子部品の生産性を増やすためには、テスト時間とテス
トコストを減少させることが必要であり、これは、完全
に自動化された電子部品テストシステムによって達成さ
れる。
【０００３】従来のテストシステムのテストハンドラー
には大きく分けて二種類の方式があり、一つの方式はテ
ストされるＤＵＴがマガジンと呼ばれる入れ物から自ら
の重量によって、ガイドに沿ってテストヘッドにスライ
スするもので、テストヘッドでＬＳＩテスタによりテス
トされ、テスト終了後は自重によって更に下方に移動
し、テスト結果に従ってカテゴリー別に振り分けるよう
にする方式である。他の方式は、水平搬送型の自動テス
トハンドラーであり、テストトレイにＤＵＴを格納し、
テストトレイがテストハンドラー内部を搬送されて、そ
の間にテストヘッドでテストされ、テスト結果でカテゴ
リー別に分類振り分けるようにするものである。
には大きく分けて二種類の方式があり、一つの方式はテ
ストされるＤＵＴがマガジンと呼ばれる入れ物から自ら
の重量によって、ガイドに沿ってテストヘッドにスライ
スするもので、テストヘッドでＬＳＩテスタによりテス
トされ、テスト終了後は自重によって更に下方に移動
し、テスト結果に従ってカテゴリー別に振り分けるよう
にする方式である。他の方式は、水平搬送型の自動テス
トハンドラーであり、テストトレイにＤＵＴを格納し、
テストトレイがテストハンドラー内部を搬送されて、そ
の間にテストヘッドでテストされ、テスト結果でカテゴ
リー別に分類振り分けるようにするものである。
【０００４】水平搬送型の自動テストハンドラーのピッ
ク・プレース装置に関して、本願出願人が出願した特願
平４ー３４５６３８がある。本願の考案は、それの改良
考案である。図３に、本考案が用いられる一例のテスト
ハンドラー２０の動作を説明する後面図を示す。図４に
は、図３のテストハンドラー２０の上平面図を示し、カ
スタマトレイ５０、プリサイサー５５、テストトレイ４
０やピック・プレース装置２１間の位置関係を表してい
る。図５に、ピック・プレース装置２１からキャリアー
モジュール４１にＤＵＴ１０が移される状況の斜視図を
示す。ＬＳＩやＩＣメモリ等のＤＵＴ１０は、電子部品
製造者によってトレイ（カスタマトレイ５０）にきっち
り詰められて、市場に売りに出されている。カスタマト
レイ５０の形状やサイズは製造元によって異なる。図示
されていないが、カスタマトレイ５０が格納されたカス
タマトレイマガジンがこのテストハンドラー２０のロー
ダ部に設置されると、ローダエレベータが作動し、カス
タマトレイ５０はテストハンドラー２０の上平面部に移
動設置される。
ク・プレース装置に関して、本願出願人が出願した特願
平４ー３４５６３８がある。本願の考案は、それの改良
考案である。図３に、本考案が用いられる一例のテスト
ハンドラー２０の動作を説明する後面図を示す。図４に
は、図３のテストハンドラー２０の上平面図を示し、カ
スタマトレイ５０、プリサイサー５５、テストトレイ４
０やピック・プレース装置２１間の位置関係を表してい
る。図５に、ピック・プレース装置２１からキャリアー
モジュール４１にＤＵＴ１０が移される状況の斜視図を
示す。ＬＳＩやＩＣメモリ等のＤＵＴ１０は、電子部品
製造者によってトレイ（カスタマトレイ５０）にきっち
り詰められて、市場に売りに出されている。カスタマト
レイ５０の形状やサイズは製造元によって異なる。図示
されていないが、カスタマトレイ５０が格納されたカス
タマトレイマガジンがこのテストハンドラー２０のロー
ダ部に設置されると、ローダエレベータが作動し、カス
タマトレイ５０はテストハンドラー２０の上平面部に移
動設置される。
【０００５】図４で、ＤＵＴ１０を格納したカスタマト
レイ５０がテストハンドラー２０の上平面部に設置され
るとロードピックプレース装置２１ａが稼動して、カス
タマトレイ５０のＤＵＴ１０を８個同時にプリサイサー
５５に移動させる。ピック・プレース装置２１は、Ｘ−
Ｙプロター技術またはロボット技術で知られているステ
ップモーターやエンコーダーを利用して、梁２８および
横梁２９に沿って移動し、水平上のいかなるＸ・Ｙ軸位
置にでもＤＵＴ１０を搬送することができ、また真空に
よって生じる吸引力を利用し、ＤＵＴ１０を吸着する複
数個の吸着パッド４５を有している。吸着パッド４５
は、導電性シリコンゴムで作られ、中央に直径約１．８
ｍｍの吸引口が有り、先端は柔らかい。ＤＵＴ１０には
厚いものから非常に薄いものもあるので、吸着パッド４
５が下降動作するときはＤＵＴ１０の吸着位置よりオー
バストロークするように設計し、テストトレイ４０のキ
ャリアーモジュール４１やプリサイサー５５の底部に接
触するようになっている。
レイ５０がテストハンドラー２０の上平面部に設置され
るとロードピックプレース装置２１ａが稼動して、カス
タマトレイ５０のＤＵＴ１０を８個同時にプリサイサー
５５に移動させる。ピック・プレース装置２１は、Ｘ−
Ｙプロター技術またはロボット技術で知られているステ
ップモーターやエンコーダーを利用して、梁２８および
横梁２９に沿って移動し、水平上のいかなるＸ・Ｙ軸位
置にでもＤＵＴ１０を搬送することができ、また真空に
よって生じる吸引力を利用し、ＤＵＴ１０を吸着する複
数個の吸着パッド４５を有している。吸着パッド４５
は、導電性シリコンゴムで作られ、中央に直径約１．８
ｍｍの吸引口が有り、先端は柔らかい。ＤＵＴ１０には
厚いものから非常に薄いものもあるので、吸着パッド４
５が下降動作するときはＤＵＴ１０の吸着位置よりオー
バストロークするように設計し、テストトレイ４０のキ
ャリアーモジュール４１やプリサイサー５５の底部に接
触するようになっている。
【０００６】プリサイサー５５は各サイド５６が比較的
大きなテーパー状（先が細くなっている状態）に構成さ
れ、各受け皿の底部５７はＤＵＴ１０が置かれる姿勢を
固定するように、即ち、底部５７のスペースはテストト
レイ４０上のキャリアーモジュール４１の底部のスペー
スと一致するように精密に作られている。従って、ＤＵ
Ｔ１０がプリサイサー５５に一旦落とされるとＤＵＴ１
０間のスペースと姿勢（向き等）が修正され、テストト
レイ４０のキャリアモジュール４１の底部と正確に一致
する。ロードピック・プレース装置２１ａは再びＤＵＴ
１０をプリサイサー５５からピックし、テストトレイ４
０上のキャリアーモジュール４１の予め決められた底部
にプレースする。このように正確で精密な位置決めを行
うのは、ＤＵＴ１０のリードとテストヘッドのコンタク
タとの間で充分にコンタクトするのを確実にするためで
ある。図４のテストトレイ４０には解り易くするため
に、キャリアーモジュール４１は上半分にのみ３２個が
示されているが、使用時には全面に６４個配列される。
キャリアーモジュール４１にロードピック・プレース装
置２１ａからＤＵＴ１０が移される状況の斜視図を図５
に示している。ここの説明では、テストトレイ４０上に
キャリアーモジュール４１を定置する構成としている
が、キャリアーモジュール４１の機能を有するテストト
レイ４０のみの構成でもよい。
大きなテーパー状（先が細くなっている状態）に構成さ
れ、各受け皿の底部５７はＤＵＴ１０が置かれる姿勢を
固定するように、即ち、底部５７のスペースはテストト
レイ４０上のキャリアーモジュール４１の底部のスペー
スと一致するように精密に作られている。従って、ＤＵ
Ｔ１０がプリサイサー５５に一旦落とされるとＤＵＴ１
０間のスペースと姿勢（向き等）が修正され、テストト
レイ４０のキャリアモジュール４１の底部と正確に一致
する。ロードピック・プレース装置２１ａは再びＤＵＴ
１０をプリサイサー５５からピックし、テストトレイ４
０上のキャリアーモジュール４１の予め決められた底部
にプレースする。このように正確で精密な位置決めを行
うのは、ＤＵＴ１０のリードとテストヘッドのコンタク
タとの間で充分にコンタクトするのを確実にするためで
ある。図４のテストトレイ４０には解り易くするため
に、キャリアーモジュール４１は上半分にのみ３２個が
示されているが、使用時には全面に６４個配列される。
キャリアーモジュール４１にロードピック・プレース装
置２１ａからＤＵＴ１０が移される状況の斜視図を図５
に示している。ここの説明では、テストトレイ４０上に
キャリアーモジュール４１を定置する構成としている
が、キャリアーモジュール４１の機能を有するテストト
レイ４０のみの構成でもよい。
【０００７】カスタマトレイ５０からロードピック・プ
レース装置２１ａでプリサイサー５５を経由してテスト
トレイ４０上のキャリアーモジュル４１の定位置にＤＵ
Ｔ１０が移されると、図３に示すように、テストシステ
ムのテストハンドラー２０内を一巡してＤＵＴ１０はテ
ストされ、テスト結果でカテゴリー別に再びカスタマト
レイ５０に振り分けられる。即ち、ＤＵＴ１０が搭載さ
れたテストトレイ４０は、図３の右側に示すように通路
３１を通って右方の恒温室２２のエレベータ３２の上部
に搭載される。テストトレイ４０は時間をかけて下降す
るが、この間にテストトレイ４０内のＤＵＴ１０は恒温
室２２で高温あるいは冷温の一定の測定温度にコントロ
ールされ、通路３３からテストヘッド２３ａ及び２３ｂ
へと搬送される。
レース装置２１ａでプリサイサー５５を経由してテスト
トレイ４０上のキャリアーモジュル４１の定位置にＤＵ
Ｔ１０が移されると、図３に示すように、テストシステ
ムのテストハンドラー２０内を一巡してＤＵＴ１０はテ
ストされ、テスト結果でカテゴリー別に再びカスタマト
レイ５０に振り分けられる。即ち、ＤＵＴ１０が搭載さ
れたテストトレイ４０は、図３の右側に示すように通路
３１を通って右方の恒温室２２のエレベータ３２の上部
に搭載される。テストトレイ４０は時間をかけて下降す
るが、この間にテストトレイ４０内のＤＵＴ１０は恒温
室２２で高温あるいは冷温の一定の測定温度にコントロ
ールされ、通路３３からテストヘッド２３ａ及び２３ｂ
へと搬送される。
【０００８】テストヘッド２３ａ及び２３ｂではテスト
トレイ４０を下方に駆動するための垂直駆動２４と、Ｄ
ＵＴ１０にテスト信号を与えその結果の信号を受信する
ためコンタクトするテストフィクスチャ２５から成って
いる。テストフィクスチャ２５はＬＳＩテスタ（図示せ
ず）に接続されており、ＬＳＩテスタからの信号でＤＵ
Ｔ１０はテストされる。テスト終了後、テストトレイ４
０は通路３４を通って図３左側の室２６の一番下のエレ
ベータ３５に搬送される。各テストトレイ４０はエレベ
ータ３５で徐々に室内を上昇する。この間に、ＤＵＴ１
０は熱を放出あるいは吸収して室２６を出るときは外界
の温度とほぼ同じになるように設定されている。テスト
トレイ４０は通路３６を通って室外に取り出され、図３
に示されているように、テストハンドラー２０上の予め
決められた場所に配置される。
トレイ４０を下方に駆動するための垂直駆動２４と、Ｄ
ＵＴ１０にテスト信号を与えその結果の信号を受信する
ためコンタクトするテストフィクスチャ２５から成って
いる。テストフィクスチャ２５はＬＳＩテスタ（図示せ
ず）に接続されており、ＬＳＩテスタからの信号でＤＵ
Ｔ１０はテストされる。テスト終了後、テストトレイ４
０は通路３４を通って図３左側の室２６の一番下のエレ
ベータ３５に搬送される。各テストトレイ４０はエレベ
ータ３５で徐々に室内を上昇する。この間に、ＤＵＴ１
０は熱を放出あるいは吸収して室２６を出るときは外界
の温度とほぼ同じになるように設定されている。テスト
トレイ４０は通路３６を通って室外に取り出され、図３
に示されているように、テストハンドラー２０上の予め
決められた場所に配置される。
【０００９】テスト済みのＤＵＴ１０を格納した２個の
テストトレイ４０は、テストハンドラー２０の上表面に
配置され、２つのソーティングピック・プレース装置２
１ｂ及び２１ｃによってテストトレイ４０からカスタマ
トレイ５０にテスト結果に応じてカテゴリー別に移し換
えられる。ソーティングピック・プレース装置２１ｂ及
び２１ｃの動作は、前述のピック・プレース装置２１と
同じであるが、テスト結果のＤＵＴ１０を速やかに選び
分けるため２台有り、１台では最大４個のＤＵＴ１０を
ピック・プレースすることができる。
テストトレイ４０は、テストハンドラー２０の上表面に
配置され、２つのソーティングピック・プレース装置２
１ｂ及び２１ｃによってテストトレイ４０からカスタマ
トレイ５０にテスト結果に応じてカテゴリー別に移し換
えられる。ソーティングピック・プレース装置２１ｂ及
び２１ｃの動作は、前述のピック・プレース装置２１と
同じであるが、テスト結果のＤＵＴ１０を速やかに選び
分けるため２台有り、１台では最大４個のＤＵＴ１０を
ピック・プレースすることができる。
【００１０】このように、このテストハンドラー２０で
は、テストハンドラー２０内を２１枚の既設置のテスト
トレイ４０が、１，３４４個のＤＵＴ１０を搭載して間
断無く一巡し、テストしており、非常に生産性を上げて
いる。しかしながら、ロードピック・プレース装置２１
ａやソーティングピック・プレース装置２１ｂ及び２１
ｃが誤動作を起こし、ＤＵＴ１０をテストトレイ４０に
１つでも残すと、その排除に多くの無駄な時間を必要と
する。特にＤＵＴ１０に高温や冷温を与える恒温室２２
や常温に戻す室２６は密閉されているので、常温に戻し
た後に分解してＤＵＴ１０を取り除かなければならない
のでその工数も無視できない。
は、テストハンドラー２０内を２１枚の既設置のテスト
トレイ４０が、１，３４４個のＤＵＴ１０を搭載して間
断無く一巡し、テストしており、非常に生産性を上げて
いる。しかしながら、ロードピック・プレース装置２１
ａやソーティングピック・プレース装置２１ｂ及び２１
ｃが誤動作を起こし、ＤＵＴ１０をテストトレイ４０に
１つでも残すと、その排除に多くの無駄な時間を必要と
する。特にＤＵＴ１０に高温や冷温を与える恒温室２２
や常温に戻す室２６は密閉されているので、常温に戻し
た後に分解してＤＵＴ１０を取り除かなければならない
のでその工数も無視できない。
【００１１】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、ロードピッ
ク・プレース装置２１ａやソーティングピック・プレー
ス装置２１ｂ及び２１ｃが誤動作を起こささず、異常を
発生させず、ＤＵＴ１０を１つもテストトレイ４０やプ
リサイサー５５に残させないピック・プレース装置２１
を提供するものである。
ク・プレース装置２１ａやソーティングピック・プレー
ス装置２１ｂ及び２１ｃが誤動作を起こささず、異常を
発生させず、ＤＵＴ１０を１つもテストトレイ４０やプ
リサイサー５５に残させないピック・プレース装置２１
を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】ピック・プレース装置２
１のＤＵＴ１０のピック・プレース方法は、前述したよ
うに真空によって生じる吸引力を利用し、ゴム製の吸着
パッド４５をＤＵＴ１０に接して吸着し、移動して目的
の位置に達すると常圧に戻してＤＵＴ１０を離脱する方
法をとっている。このとき、ＤＵＴ１０を吸着したかし
ないかを判断するセンサーには、ＤＵＴ１０の大きさや
厚さが種々異なるものにしばしば変更するため光センサ
ーを用いることができず、真空度を測定する真空センサ
ーを用いている。吸着パッド４５は、非常に薄いＤＵＴ
１０まで吸着を確実にするため、ＤＵＴ１０の吸着位置
よりもオーバストロークするように設計し、テストトレ
イ４０のキャリアーモジュール４１の底部４２やプリサ
イサー５５の底部５７に接触する。従って、吸着パッド
４５は、ＤＵＴ１０をピックするために下降したとき、
ＤＵＴ１０に達したのか底部４２または５７に達したの
かが判断出来なかった。そこで、底部４２または５７に
達したときには吸着パッドが空気を吸入出来るようにし
て、ＤＵＴ１０か底部４５または５７かの判断ができる
構成にした。
１のＤＵＴ１０のピック・プレース方法は、前述したよ
うに真空によって生じる吸引力を利用し、ゴム製の吸着
パッド４５をＤＵＴ１０に接して吸着し、移動して目的
の位置に達すると常圧に戻してＤＵＴ１０を離脱する方
法をとっている。このとき、ＤＵＴ１０を吸着したかし
ないかを判断するセンサーには、ＤＵＴ１０の大きさや
厚さが種々異なるものにしばしば変更するため光センサ
ーを用いることができず、真空度を測定する真空センサ
ーを用いている。吸着パッド４５は、非常に薄いＤＵＴ
１０まで吸着を確実にするため、ＤＵＴ１０の吸着位置
よりもオーバストロークするように設計し、テストトレ
イ４０のキャリアーモジュール４１の底部４２やプリサ
イサー５５の底部５７に接触する。従って、吸着パッド
４５は、ＤＵＴ１０をピックするために下降したとき、
ＤＵＴ１０に達したのか底部４２または５７に達したの
かが判断出来なかった。そこで、底部４２または５７に
達したときには吸着パッドが空気を吸入出来るようにし
て、ＤＵＴ１０か底部４５または５７かの判断ができる
構成にした。
【００１３】
【実施例】本考案の実施例を図１及び図２に示す。図１
はピック・プレース装置２１がテストトレイ４０上のキ
ャリアーモジュール４１に有るＤＵＴ１０をピックする
前の横断面図である。ピック・プレース装置２１は移動
してきてキャリアーモジュール４１の上方で止まり、全
体が下降しガイド４７が確実にガイド穴４８と合致した
ことを確認して位置決めを行う。位置が決まると吸着パ
ッド４５を降下させＤＵＴ１０に達すると、吸引を開始
する。ピック・プレース装置２１は吸着口４６の真空度
を真空センサーで計測して、吸着を確認すると吸着パッ
ド４５を上昇させ次の設置位置に移動する。このように
通常動作では従来の方法でも問題は無かったが、誤動作
でＤＵＴ１０の不在の場合や、ワン・ロットの検査が終
わり全ＤＵＴ１０の払い出し処理をするときは、ＤＵＴ
１０の有り無しに係わらず全キャリアーモジュール４１
及び全プリサイサー５５をチェックするので問題が生じ
てきた。
はピック・プレース装置２１がテストトレイ４０上のキ
ャリアーモジュール４１に有るＤＵＴ１０をピックする
前の横断面図である。ピック・プレース装置２１は移動
してきてキャリアーモジュール４１の上方で止まり、全
体が下降しガイド４７が確実にガイド穴４８と合致した
ことを確認して位置決めを行う。位置が決まると吸着パ
ッド４５を降下させＤＵＴ１０に達すると、吸引を開始
する。ピック・プレース装置２１は吸着口４６の真空度
を真空センサーで計測して、吸着を確認すると吸着パッ
ド４５を上昇させ次の設置位置に移動する。このように
通常動作では従来の方法でも問題は無かったが、誤動作
でＤＵＴ１０の不在の場合や、ワン・ロットの検査が終
わり全ＤＵＴ１０の払い出し処理をするときは、ＤＵＴ
１０の有り無しに係わらず全キャリアーモジュール４１
及び全プリサイサー５５をチェックするので問題が生じ
てきた。
【００１４】従来の方法では、払い出しの際、ＤＵＴ１
０が無いキャリアーモジュール４１では吸着パッド４６
が底部４２に接触するため、吸着動作をすると真空セン
サーはＤＵＴ１０有りと判定し、次に上昇動作したとき
に真空センサーはＤＵＴ１０無しと判定する。よって、
矛盾が起こり異常が発生する。この場合は全てＤＵＴ１
０は無しとすると、万一吸着パッド４５やＤＵＴ１０の
上平面の不良のための空気洩れであったとき、テストハ
ンドラー内にＤＵＴ１０を残すことになる。
０が無いキャリアーモジュール４１では吸着パッド４６
が底部４２に接触するため、吸着動作をすると真空セン
サーはＤＵＴ１０有りと判定し、次に上昇動作したとき
に真空センサーはＤＵＴ１０無しと判定する。よって、
矛盾が起こり異常が発生する。この場合は全てＤＵＴ１
０は無しとすると、万一吸着パッド４５やＤＵＴ１０の
上平面の不良のための空気洩れであったとき、テストハ
ンドラー内にＤＵＴ１０を残すことになる。
【００１５】そこで、キャリアーモジュール４１の底部
４２とプリサイサー５５の底部５７の中央部に、図示す
るように貫通穴４３を設けて、空気の流通が出来るよう
にする。貫通穴４３の位置はピック・プレース装置２１
の位置決めが定まった後の吸着パット４５の吸着部が接
する範囲内で有れば良い。穴の大きさは、吸着パッド４
５の穴径よりやや大きいほうがよい。直径２ｍｍ以上は
欲しい。また、穴は真直でも斜めでもよい。あるいは、
底部４２または５７に大きな溝を設けて穴と同等の効果
を生じるような横穴でも良い。要は、吸着口４６が底部
４２または５７に達したときに、空気を吸入でき、真空
センサーが作動せず、ＤＵＴ１０無しとの判断をするよ
うに構成する。
４２とプリサイサー５５の底部５７の中央部に、図示す
るように貫通穴４３を設けて、空気の流通が出来るよう
にする。貫通穴４３の位置はピック・プレース装置２１
の位置決めが定まった後の吸着パット４５の吸着部が接
する範囲内で有れば良い。穴の大きさは、吸着パッド４
５の穴径よりやや大きいほうがよい。直径２ｍｍ以上は
欲しい。また、穴は真直でも斜めでもよい。あるいは、
底部４２または５７に大きな溝を設けて穴と同等の効果
を生じるような横穴でも良い。要は、吸着口４６が底部
４２または５７に達したときに、空気を吸入でき、真空
センサーが作動せず、ＤＵＴ１０無しとの判断をするよ
うに構成する。
【００１６】
【考案の効果】このように、本考案は密閉されたテスト
ハンドラー２０内において、そのピック・プレース装置
２１がピック動作の際、キャリアーモジュール４１やプ
リサイサー５５にＤＵＴ１０が存在するかしないかを確
実に真空センサーで確認でき、テストトレイ４０やプリ
サイサー５５にＤＵＴ１０を残すことが無いので、テス
ト時間の効率が向上し、その効果は大である。
ハンドラー２０内において、そのピック・プレース装置
２１がピック動作の際、キャリアーモジュール４１やプ
リサイサー５５にＤＵＴ１０が存在するかしないかを確
実に真空センサーで確認でき、テストトレイ４０やプリ
サイサー５５にＤＵＴ１０を残すことが無いので、テス
ト時間の効率が向上し、その効果は大である。
【図１】本考案の一実施例の図である。
【図２】本考案の一実施例の他の図である。
【図３】本考案を用いるテストハンドラーの一例図であ
る。
る。
【図４】従来の説明図である。
【図５】従来の説明図である。
１０ ＤＵＴ（被測定物） ２０ テストハンドラー ２１ ピック・プレース装置 ２１ａ ロードピック・プレース装置 ２１ｂ、２１ｃ ソーティングピック・プレース装置 ２２ 恒温室 ２３ａ、２３ｂ テストヘッド ２４ 垂直駆動 ２５ テストフィクスチャ ２６ 室 ２７ ステップモータ ２８ 梁 ２９ 横梁 ３１ 通路 ３２ エレベータ ３３ 通路 ３４ 通路 ３５ エレベータ ３６ 通路 ４０ テストトレイ ４１ キャリアーモジュール ４２ 底部 ４３ 貫通穴 ４５ 吸着パッド ４６ 吸着口 ４７ ガイド ４８ ガイド穴 ５０ カスタマトレイ ５５ プリサイサー ５６ サイド ５７ 底部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66 - 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 自動テストハンドラー（２０）内で、
真空によって生じる吸引力により被測定物（１０）をピ
ックし、移動させ、別の位置にプレースするピック・プ
レース装置において、 被測定物（１０）を定置するテストトレイ（４０）ある
いはテストトレイ（４０）上に定置したキャリアーモジ
ュール（４１）の底部（４２）に、吸引パッド（４５）
の吸引部の範囲内に空気の流通する貫通穴（４３）と、 前記被測定物（１０）を定置するテストトレイ（４０）
あるいはテストトレイ（４０）上に定置したキャリアー
モジュール（４１）に被測定物（１０）が存在する場合
は真空によって生じる吸引力により被測定物（１０）を
吸着し、被測定物（１０）が存在しない場合は前記貫通
穴（４３）より空気を吸入する吸着パッドと、 該吸着パッドの吸着口の真空度の測定により被測定物
（１０）の存在を確認できる真空センサーと、 を具備することを特徴とする自動テストハンドラー用ピ
ック・プレース装置。 - 【請求項２】 自動テストハンドラー（２０）内で、
真空によって生じる吸引力により被測定物（１０）をピ
ックし、移動させ、別の位置にプレースするピック・プ
レース装置において、 被測定物（１０）を定置するプリサイサー（５５）の底
部（５７）に、吸引パッド（４５）の吸引部の範囲内に
空気の流通する貫通穴（４３）と、 前記被測定物（１０）を定置するプリサイサー（５５）
に被測定物（１０）が存在する場合は真空によって生じ
る吸引力により被測定物（１０）を吸着し、被測定物
（１０）が存在しない場合は前記貫通穴（４３）より空
気を吸入する吸着パッドと、 該吸着パッドの吸着口の真空度の測定により被測定物
（１０）の存在を確認できる真空センサーと、 を具備することを特徴とする自動テストハンドラー用ピ
ック・プレース装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993061844U JP2607752Y2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 自動テストハンドラー用ピック・プレース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993061844U JP2607752Y2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 自動テストハンドラー用ピック・プレース装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0726783U JPH0726783U (ja) | 1995-05-19 |
| JP2607752Y2 true JP2607752Y2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=13182808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993061844U Expired - Lifetime JP2607752Y2 (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 自動テストハンドラー用ピック・プレース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2607752Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008142744A1 (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-27 | Advantest Corporation | 部品搬送装置、電子部品試験装置および部品搬送装置の最適距離の認識方法 |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP1993061844U patent/JP2607752Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0726783U (ja) | 1995-05-19 |
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