TWI396848B - Electrical inspection probe unit, electrical inspection device and lighting inspection device - Google Patents

Description

電氣檢查用探針單元、電氣檢查裝置及點燈檢查裝置

本發明係關於一種適於使用在顯示面板之電氣檢查之探針單元、組裝有該探針單元之電氣檢查裝置及使用該電氣檢查裝置之點燈檢查裝置。

經過製程後之液晶面板，一般而言，係接受用以調查是否有像素缺陷般之缺陷之點燈檢查。在此點燈檢查，必須對作為被檢查體之液晶面板供應驅動訊號。因此，在點燈檢查裝置，作為其檢查站，設有電氣檢查裝置，該電氣檢查裝置具備將作為被檢查體之液晶面板配置成其電極朝向上方之檢查台、及設於被檢查體之上方之固定框體所支撐之探針單元。

在此種電氣檢查裝置，例如專利文獻1所揭示，在檢查台上裝載作為被檢查體之矩形液晶面板。在該檢查台之上方，配置具有與矩形液晶面板之各邊對應之各邊之矩形固定框體，沿著該固定框體之彼此成直角之相鄰一組之各邊排列有多數個探針組裝體。更詳細而言，在該固定框體之彼此相鄰一組之一邊，分別可調整地支撐有能移動於該邊之延伸方向之探針載台板，在該各探針載台板可移除地安裝有探針單元。

各探針單元具備可移除地固定在該探針載台板之支撐底座構件、及該各支撐底座構件所支撐之複數個探針組裝體。各探針組裝體係透過個別之懸架機構支撐於該支撐底座構件，以使該等之探針與對應液晶面板之電極對向。各懸架機構，在其下方支撐有訊號電路基板，經由設於各訊號電路基板之IC晶片所構成之液晶驅動IC電路對該探針組裝體之既定探針供應驅動訊號。

是以，在該點燈檢查裝置，該檢查台上之液晶面板係調整相對位置至設於該液晶面板之各電極、與該固定框體所支撐之各探針單元之探針對準之位置。在上述位置調整後，藉由該檢查台往該固定框體之移動，設於各探針單元之該各探針組裝體之探針之前端接觸該液晶面板之對應電極時，驅動訊號從既定探針經由該IC晶片傳至對應之該電極。藉由該驅動訊號，該液晶處於點燈狀態，接受既定檢查。

專利文獻1：日本特開2001-74778號公報

然而，在習知檢查裝置，包含產生對各探針之驅動訊號之液晶驅動IC電路之訊號電路基板，在各探針組裝體集合設置之探針單元之各懸架機構，係被該懸架機構之下方支撐。又，裝載作為被檢查體之液晶面板之檢查台位於各懸架機構之下方。因此，為了進行該訊號電路基板之維修檢查作業、或由於該訊號電路基板之主要構成元件之該IC晶片故障而需更換該晶片時，作業員必須從探針單元所支撐之該固定框體之下方經過該固定框體與位於其下方之檢查台之間之狹窄間隙進行作業，作業員被迫採取極不方便的姿勢。

又，為了避免在上述不方便姿勢下的作業，必須將複數個探針組裝體集合配置之各探針單元之該支撐底座構件從該探針載台板移除。該移除後之探針單元，藉由使其姿勢反轉，能朝向上方以使各懸架機構之下方所支撐之該訊號電路基板與作業員對向，因此作業員不會被迫採取不方便的姿勢即能進行該訊號電路基板之維修檢查或修理等作業。然而，由於各探針單元一般而言總重量超過30kg，因此將此種重量較重之探針單元從支撐構件移除、並使移除後之各探針單元之姿勢反轉之作業並不容易。

因此，本發明之目的在於提供一種能容易進行訊號電路基板之維修檢查或其構成元件之更換作業所伴隨之修理作業等之探針單元、電氣檢查裝置及點燈檢查裝置。

本發明之探針單元，具備設有為檢查配置於固定板下方之檢查台上之被檢查體而能接觸該被檢查體之電極之探針之至少一個探針組裝體，支撐於該固定板之支撐底座構件，在該檢查台上方將該探針組裝體支撐於該支撐底座構件以使該探針接觸該電極之懸架機構，及組裝有產生用以檢查該被檢查體之電氣訊號之電路、在該懸架機構下方支撐於該懸架機構、電氣連接於該探針以將該電氣訊號經由該探針供應至連接於該探針之該電極之訊號電路基板，其特徵在於：進一步具備將該懸架機構透過橫軸以可樞動之方式支撐於該支撐底座構件之樞軸機構、及以該懸架機構在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該懸架機構固定於該支撐底座構件之結合手段。

在本發明之上述探針單元，當進行該探針單元之該懸架機構所支撐之訊號電路基板之檢查或更換作業時，在該結合手段解除該懸架機構在該支撐底座構件之限制後，能使該懸架機構及其所支撐之探針組裝體繞該樞軸機構之橫軸一體地旋轉。藉此，不需將該探針單元及安裝有該探針單元之該支撐底座構件從該固定框體分離，即可改變該探針單元之懸架機構之姿勢，以使配置於該懸架機構之下方之該訊號電路基板朝向作業員。

是以，不需將重量較重之該探針單元從該固定框體移除，且關於該各懸架機構之下方所支撐之該訊號電路基板之作業，作業員不會被迫採取潛入該懸架機構之下般之不方便的姿勢，相較於以往更容易進行該訊號電路基板之維修檢查或設於該訊號電路基板之驅動IC晶片之更換作業等。

在該樞軸機構可設置透過該橫軸以可樞動之方式連結於該支撐底座構件之探針底板。可將包含該探針組裝體之複數個探針組裝體分別透過包含該懸架機構之複數個懸架機構支撐於該探針底板。此時，該結合手段，以該探針底板在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該探針底板固定於該支撐底座構件。

該結合手段，能以從該探針底板之下面突出至該支撐底座構件之下面之連結部、及將該連結部與該支撐底座構件以可解除之方式結合之緊固具構成。

該緊固具，可使用鎖接螺桿構件，該鎖接螺桿構件係 通過從該探針底板之上面朝向其下面形成之貫通孔，且螺合於形成在該連結部之母螺孔以配合該貫通孔。

在該探針底板，可支撐該探針組裝體之該探針及該被檢查體之對應該電極之彼此對位所使用之對準攝影機。

本發明之電氣檢查裝置，具備以設於板狀被檢查體之電極朝向上方之方式配置該被檢查體之檢查台、設於該被檢查體之上方之固定框體、及被該固定框體支撐之探針單元，其特徵在於：該探針單元具備被該固定框體支撐之支撐底座構件，設有可接觸該檢查台上之該被檢查體之該電極之探針之複數個探針組裝體，在該檢查台之上方將各該探針組裝體支撐於該支撐底座構件以使各該探針組裝體之該探針接觸對應之該電極之懸架機構，及組裝有產生用以檢查該被檢查體之電氣訊號之電路、在該懸架機構之下方被該懸架機構支撐、電氣連接於該探針以將該電氣訊號經由該探針供應至連接於該探針之該電極之訊號電路基板；該探針單元進一步具備將複數個各該懸架機構透過橫軸以可樞動之方式支撐於該支撐底座構件之樞軸機構、及以該懸架機構在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該懸架機構固定於該支撐底座構件之結合手段。

根據本發明之上述電氣檢查裝置，與上述探針單元相同，當進行該探針單元之該懸架機構所支撐之訊號電路基板之檢查或更換作業時，在該結合手段解除該懸架機構在該支撐底座構件之限制後，能使該懸架機構及其所支撐之探針組裝體繞該樞軸機構之橫軸一體地旋轉。藉此，不需 將該探針單元及安裝有該探針單元之該支撐底座構件從該固定框體分離，即可改變該探針單元之懸架機構之姿勢，以使配置於該懸架機構之下方之該訊號電路基板朝向作業員。

是以，不需將重量較重之該探針單元從該固定框體移除，且作業員不會被迫採取潛入該懸架機構之下般之不方便的姿勢，相較於以往更容易進行該各懸架機構之下方所支撐之該訊號電路基板之維修檢查及修理作業等。

於該固定框體，以可沿該框體之至少一邊移動之方式支撐有探針載台板，能以可移除之方式將該支撐底座構件結合於該探針載台板。

本發明之點燈檢查裝置，能具備上述本發明之電氣檢查裝置、及具有彼此排列配置之第1窗及第2窗之筐體。顯示用面板被處理作為該被檢查體，該電氣檢查裝置係配置於該筐體內，據以在該筐體內之與該第1窗對應之位置構成檢查站，在該筐體內之與該第2窗對應之位置配置構成在與該檢查站之間進行該顯示用面板之收授之面板交接站之面板交接裝置。

根據本發明，如上述，由於能使該懸架機構及其所支撐之探針組裝體繞樞軸機構之橫軸一體地旋轉，因此可改變該懸架機構之姿勢，以使作業員容易進行各懸架機構之下方所支撐之該訊號電路基板之作業。是以，不需將重量較重之探針單元從支撐其之固定板或固定框體移除，且作業員不會被迫採取以往般之不方便的姿勢，能更容易進行 該訊號電路基板之維修檢查及修理作業等。

圖1係顯示本發明之液晶面板用檢查裝置10之外觀。此檢查裝置10係使用於具有長方形平面形狀之液晶面板12之例如點燈檢查。檢查裝置10具備具有傾斜正面14a之筐體14，在該筐體14之傾斜正面14a，設有點燈檢查用之第1窗(開口)16a及與該第1窗相鄰之第2窗(開口)16b。

在筐體14內，液晶面板12之點燈檢查用之檢查站18係與第1窗16a對應設置，且在與檢查站18之間依序交接作為被檢查體之液晶面板12之習知面板交接站20係與第2窗16b對應，與檢查站18排列設置。

在矩形液晶面板12之一面，沿著其一側之長邊緣部排列多數個電極12a(參照圖5)，且沿著一側之短邊緣部排列同樣之多數個電極12a。在檢查站18接受點燈檢查之液晶面板12，如習知般，係以電極12a朝向上方之方式從未圖示之搬送機械臂經由設於筐體14背面之出入口22被搬入至面板交接站20之面板交接裝置24上。此面板交接裝置24上之液晶面板12，為了進行點燈檢查，係經由該面板交接裝置之搬送臂機構24a被移送至檢查站18。又，在檢查站18接受點燈檢查之液晶面板12，如習知般，係藉由搬送臂機構24a之處理，經由面板交接裝置24，藉由上述搬送機械臂從檢查裝置10被取出。

檢查站18，如圖1所示，具備保持來自面板交接站20之液晶面板12之工作台26、與該工作台相隔間隔配置之作為固定板之矩形固定框體28、及該固定框體所支撐之複數個探針單元30。

工作台26係液晶面板12用之檢查台，以液晶面板12之電極12a朝向第1窗16a之方式，在筐體14內將液晶面板12與第1窗16a對應保持。此工作台26，係藉由設置於筐體14內之與習知相同之XYZθ支撐機構(未圖示)所支撐。藉此，工作台26上之液晶面板12之平面位置，能與工作台26一體地在與傾斜正面14a平行之面內，於X方向、與該X方向成直角之Y方向及與X-Y面成直角之Z方向分別進行調整，且能調整繞Z軸之旋轉姿勢。

在工作台26之斜上方，亦即從工作台26沿著上述Z軸方向朝向傾斜正面14a之斜前方，與該工作台相隔間隔，上述矩形固定框體28係固定於筐體14。

此固定框體28，如圖2所示之例，具有沿著X方向之一對長邊部28a及沿著Y方向之一對短邊部28b。在各邊部28a,28b分別配置探針載台板32(32a,32a及32b,32b)。在各探針載台板32之上面形成用以安裝各探針單元30之凹處32c。安裝凹處32c，係沿著探針載台板32之長邊方向之一緣部開放於該緣部。各探針載台板32，使其安裝凹處32c從固定框體28之對應各邊部28a,28b露出至固定框體28之框內，沿著各邊部28a,28b配置。

在固定框體28之各邊部28a,28b、與對應之各探針載台板32a及32b之間，設有導引部34。藉由此導引部34，探針載台板32a及32b係以可移動於對應之各邊部28a及28b之長邊方向之方式支撐於固定框體28。又，用以使各探針載台板32移動於對應之各邊部28a,28b之驅動機構36係設於各邊部28a,28b。此驅動機構36，例如能以具備固定於固定框體28之電氣馬達36a、能與該電氣馬達之輸出軸一體旋轉之滾珠螺桿構件36b、及與該滾珠螺桿構件螺合之固定於探針載台板32之母螺桿構件36c之滾珠螺桿般之傳送機構構成。

圖2之例中，為了適用沿著液晶面板12之一長邊緣部及一短邊緣部排列電極12a之被檢查體12之檢查，在設於與其對應之一長邊部28a及一短邊部28b之探針載台板32a及32b分別安裝探針單元30。又，在安裝於一長邊部28a之探針載台板32a之探針單元30，5個探針組裝體38係隔著等間隔排列，在安裝於一短邊部28b之探針載台板32b之探針單元30，3個探針組裝體38係隔著等間隔排列。

各探針單元30，除了上述探針組裝體38之個數、後述對準攝影機及對準標記之個數不同之點外，皆為相同構成。是以，以下，以設於固定框體28之短邊部28b之探針單元30為例進行說明。

探針單元30，如圖2及圖3所示，具備整體矩形板狀之支撐底座構件40、及透過樞軸機構42之一對水平軸42a樞著於該底座構件之探針底板44，該探針組裝體38係透過各懸架機構46支撐於該探針底板。

在支撐底座構件40之一長邊與一短邊相交之角落部施加去角40a，在上述一長邊之兩去角40a之間，形成將矩形探針底板44以能繞水平軸42a旋動之方式收容之缺口部40b。支撐底座構件40，如圖3所示，在沿著另一長邊之緣部分嵌合於安裝凹處32c之狀態下，以允許探針底板44之上述旋動之方式，透過貫通支撐底座構件40之貫通孔40c且前端螺合於探針載台板32b之螺孔32d之螺栓般之螺桿構件48，以可移除之方式固定於探針載台板32。

在被以可移除之方式固定於探針載台板32之支撐底座構件40可旋動地支撐之探針底板44上，如圖3及圖4所示，3個探針組裝體38係分別透過懸架機構46被支撐成在探針底板44之長邊方向隔著等間隔排列。又，圖示之例中，在探針組裝體38之列之前後方向，分別配置一對對準攝影機50及能被該攝影機拍攝之一對透過對準標記52，各對係以探針組裝體38之列位於該等之間之方式被探針底板44支撐。對準攝影機50，捕捉形成於工作台26上之液晶面板12之對準標記(未圖示)與探針底板44所支撐之透過對準標記52之重疊影像。

各懸架機構46，如圖5所示，具備固定於探針底板44上之懸弔底座構件46a、及該懸弔底座構件所支撐之滑塊46b。滑塊46b係藉由在與懸弔底座構件46a之間設置之線性滑動機構46c能移動於上下方向，雖未圖示，但藉由組裝於滑塊46b內部之習知彈簧機構，可不受探針底板44之干涉，彈性支撐於懸弔底座構件46a。

在滑塊46b之下端，固定有用以安裝探針組裝體38之安裝塊46d，探針組裝體38，係以從其前端突出之探針前端38a接觸液晶面板12之對應電極12a之方式，使探針前端38a朝向下方、亦即朝向工作台26上之液晶面板12，安裝於安裝塊46d。

又，在安裝塊46d之下端固定有安裝板46e，在該安裝板46e之下面，支撐有例如由TCP(載帶封裝：Tape Carrier Package)構成之電路基板54。在該電路基板54，裝載用以產生液晶面板12之驅動訊號之驅動訊號產生IC晶片54a，形成包含該IC晶片之IC電路。探針組裝體38安裝於對應之懸架機構46之安裝塊46d時，以探針組裝體38之該探針接受該驅動訊號之方式，上述探針之後端38b從下方被按壓至電路基板54之對應之導電路，藉此，探針組裝體38之該各探針電氣連接於電路基板54。

電路基板54，係連接於透過間隔物56被探針底板44之下面支撐之中繼基板58。此中繼基板58，係經由配線60連接於控制訊號產生器62。是以，IC晶片54a，係經由中繼基板58及電路基板54之導電路接受來自控制訊號產生器62的控制訊號，據以將驅動訊號經由探針組裝體38之該各探針供應至液晶面板12之對應電極12a。

透過各懸架機構46安裝複數個探針組裝體38之探針底板44，如圖5所示，係藉由結合手段64，在與對應之支撐底座構件40位於相同面上之姿勢下固定於該支撐底座構件40。

結合手段64，具備透過螺栓64a固定於探針底板44之下面之結合板64b、及螺合於在該結合板之板厚方向貫通形成之螺孔64c之螺栓64d。在支撐底座構件40，對準螺孔64c在板厚方向貫通形成貫通孔40d。螺栓64d之配置，係從支撐底座構件40之上面貫通貫通孔40d，以其前端部螺合於螺孔64c之方式，將結合板64b鎖接於支撐底座構件40。藉由此螺栓64d之鎖接，阻止探針底板44繞水平軸42a之旋動，探針底板44如上述保持圖5所示之姿勢。

取代以螺栓64a將探針底板44固定於形成有螺孔64c之結合板64b，雖未圖示，但能以從探針底板44之下面與該探針底板一體延伸至支撐底座構件40之下面之延伸部分形成具有螺孔64c之結合部。

本發明之檢查裝置10中，選擇符合作為被檢查體之液晶面板12之規格之探針單元30。亦即，選擇具有與液晶面板12之電極12a對應之適當探針間隔之探針組裝體38隔著既定間隔配置之適當探針單元30，將該探針單元安裝於對應之各探針載台板32。

之後，如上述將液晶面板12從面板交接站20移送至檢查站18之工作台26上後，根據對準攝影機50所拍攝之影像上之透過對準標記52與液晶面板12上之上述對準標記之偏移，以電極12a與探針組裝體38之對應探針前端38a對準之方式，藉由上述XYZθ支撐機構調整工作台26之位置，且微調安裝有各探針單元30之各探針載台板32之位置。

在此等調整後，藉由上述XYZθ支撐機構之作動，使工作台26朝向固定框體28移動，據以將工作台26上之液 晶面板12之電極12a電氣連接於設於各探針單元30之探針組裝體38之對應探針前端38a。在此連接狀態下，來自IC晶片54a之驅動訊號經由對應該探針供應至液晶面板12時，對應該驅動訊號使液晶面板12點燈。作業員通過第1窗16a觀察此點燈狀態以進行點燈檢查。

設於本發明之檢查裝置10之電路基板54之維修檢查中，如圖5所示，鬆開螺合於結合手段64之結合板64b之螺孔64c之螺栓64d，如圖6所示，藉由將螺栓64d從結合板64b拉拔，解除結合手段64。

藉由該結合手段64之解除，透過懸架機構46支撐之探針組裝體38及對準攝影機50等，在固定於各探針載台板32之支撐底座構件40，與探針底板44一體地繞水平軸42a旋轉。其結果，在懸架機構46之下方被該懸架機構支撐之電路基板54朝向第1窗16a。

藉由該探針底板44之姿勢之旋轉，電路基板54及其IC晶片54a朝向第1窗16a露出，因此作業員不需從工作台26與支撐探針底板44之工作台26之間將手插入，且不需將重量較重之探針單元30從各探針載台板32移除分離，是以，相較於以往，能以較輕鬆之姿勢容易通過第1窗16a進行IC晶片54a之檢查或更換作業。

為了易於進行上述電路基板54之維修檢查，考慮將電路基板54設在探針底板44之上面或支撐底座構件40之上面等。然而，由於IC晶片54a與探針組裝體38之該探針之間之連接路徑長度增加，因此若考慮高頻訊號會流過此連接路徑，在雜訊對策上較不佳。

相對於此，根據本發明之檢查裝置10，由於能將電路基板54在懸架機構46之下方接近保持於探針組裝體38，因此不會導致IC晶片54a與探針組裝體38之接觸距離的增加，是以，不會引起上述雜訊問題，能進行上述電路基板54之容易的維修檢查作業。

上述說明中，雖以將對準攝影機50設於探針底板44之例說明本發明，但取代此，如圖7所示，能將對準攝影機50支撐於以可樞動之方式支撐探針底板44之支撐底座構件40。藉此，可謀求探針單元30之樞動部之重量減輕。

又，上述說明中，例示將探針單元30之支撐底座構件40以可移除之方式結合於被固定框體28可移動地支撐之各探針載台板32。取代此，如圖8所示，不透過可移動之探針載台板32，可將探針單元30之支撐底座構件40藉由螺桿構件48固定且可移除地結合於固定框體28。

本發明並不限於上述實施例，在不違背本發明思想之範圍內，可進行各種變更。例如，可不需要對準攝影機50及對準標記52。

10．．．檢查裝置

12．．．液晶面板(被檢查體)

12a．．．電極

14．．．筐體

16a．．．第1窗

16b．．．第2窗

18．．．檢查站

20．．．面板交接站

24．．．面板交接裝置

26．．．工作台(檢查台)

28．．．固定框體(固定板)

30．．．探針單元

32．．．各探針載台板

38．．．探針組裝體

38a．．．探針前端

40．．．支撐底座構件

40d．．．貫通孔

42．．．樞軸機構

42a．．．水平軸

44．．．探針底板

46．．．懸架機構

48．．．螺桿構件

50．．．對準攝影機

54．．．電路基板

64．．．結合手段

64b．．．結合板(連結部)

64c．．．螺孔

64d．．．螺栓(緊固具)

圖1係顯示本發明之點燈檢查裝置之外觀的立體圖。

圖2係圖1所示之點燈檢查裝置之檢查載台的俯視圖。

圖3係安裝於圖2所示之點燈檢查裝置之探針支撐構件之探針單元的立體圖。

圖4係圖3所示之探針單元的俯視圖。

圖5係沿著圖4所示之線V-V所得的截面圖。

圖6係顯示使本發明之探針單元傾斜之狀態的立體圖。

圖7係與顯示本發明之另一實施例之圖3相同的圖。

圖8係與顯示本發明之再另一實施例之圖2相同的圖。

12．．．液晶面板(被檢查體)

12a．．．電極

30．．．探針單元

38．．．探針組裝體

38a．．．探針前端

38b．．．探針後端

40．．．支撐底座構件

40d．．．貫通孔

44．．．探針底板

46．．．懸架機構

46a．．．懸弔底座構件

46b．．．滑塊

46c．．．線性滑動機構

46d．．．安裝塊

46e．．．安裝板

50．．．對準攝影機

52．．．對準標記

54．．．電路基板

54a．．．IC晶片

56．．．間隔物

58．．．中繼基板

60．．．配線

62．．．控制訊號產生器

64．．．結合手段

64a．．．螺栓

64．．．結合板(連結部)

64c．．．螺孔

64d．．．螺栓(緊固具)

Claims (14)

1. 一種探針單元，具備設有為檢查配置於固定板下方之檢查台上之被檢查體而能接觸該被檢查體之電極之探針之至少一個探針組裝體，支撐於該固定板之支撐底座構件，在該檢查台上方將該探針組裝體支撐於該支撐底座構件以使該探針接觸該電極之懸架機構，及組裝有產生用以檢查該被檢查體之電氣訊號之電路、在該懸架機構下方支撐於該懸架機構、電氣連接於該探針以將該電氣訊號經由該探針供應至連接於該探針之該電極之訊號電路基板，其特徵在於：進一步具備將該懸架機構透過橫軸以可樞動之方式支撐於該支撐底座構件之樞軸機構、及以該懸架機構在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該懸架機構固定於該支撐底座構件之結合手段。
2. 如申請專利範圍第1項之探針單元，其中，該樞軸機構具備透過該橫軸以可樞動之方式連結於該支撐底座構件之探針底板，包含該探針組裝體之複數個探針組裝體係分別透過包含該懸架機構之複數個懸架機構支撐於該探針底板，該結合手段，以該探針底板在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該探針底板固定於該支撐底座構件。
3. 如申請專利範圍第2項之探針單元，其中，該結合手段具備從該探針底板之下面突出至該支撐底座構件之下面之連結部、及將該連結部與該支撐底座構件以可解除之方式結合之緊固具。
4. 如申請專利範圍第3項之探針單元，其中，該緊固具具有鎖接螺桿構件，該鎖接螺桿構件係通過從該支撐底座構件之上面朝向該支撐底座構件之該下面形成之貫通孔，且螺合於形成在該連結部之母螺孔以配合該貫通孔。
5. 如申請專利範圍第4項之探針單元，其中，在該探針底板，支撐有該探針組裝體之該探針及該被檢查體之對應該電極之彼此對位所使用之對準攝影機。
6. 如申請專利範圍第1項之探針單元，其中，該樞軸機構，係藉由該結合手段之限制之解除，允許該懸架機構之姿勢旋轉以使該電路基板朝向作業員。
7. 一種電氣檢查裝置，具備以設於板狀被檢查體之電極朝向上方之方式配置該被檢查體之檢查台、設於該被檢查體之上方之固定框體、及被該固定框體支撐之探針單元，其特徵在於：該探針單元具備被該固定框體支撐之支撐底座構件，設有可接觸該檢查台上之該被檢查體之該電極之探針之複數個探針組裝體，在該檢查台之上方將各該探針組裝體支撐於該支撐底座構件以使各該探針組裝體之該探針接觸對應之該電極之懸架機構，及組裝有產生用以檢查該被檢查體之電氣訊號之電路、在該懸架機構之下方被該懸架機構支撐、電氣連接於該探針以將該電氣訊號經由該探針供應至連接於該探針之該電極之訊號電路基板；該探針單元進一步具備將複數個各該懸架機構透過橫軸以可樞動之方式支撐於該支撐底座構件之樞軸機構、及以該懸架機構在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該懸架機構固定於該支撐底座構件之結合手段。
8. 如申請專利範圍第7項之電氣檢查裝置，其中，該樞軸機構具備透過該橫軸以可樞動之方式連結於該支撐底座構件之探針底板，複數個該探針組裝體係透過對應之該懸架機構支撐於該探針底板，該結合手段，以該探針底板在該支撐底座構件之樞動之限制可解除之方式將該探針底板固定於該支撐底座構件。
9. 如申請專利範圍第8項之電氣檢查裝置，其中，該結合手段具備從該探針底板之下面突出至該支撐底座構件之下面之連結部、及將該連結部與該支撐底座構件以可解除之方式結合之緊固具。
10. 如申請專利範圍第9項之電氣檢查裝置，其中，該緊固具具有鎖接螺桿構件，該鎖接螺桿構件係通過從該支撐底座構件之上面朝向該支撐底座構件之該下面形成之貫通孔，且螺合於形成在該連結部之母螺孔以配合該貫通孔。
11. 如申請專利範圍第10項之電氣檢查裝置，其中，在該探針底板，支撐有該探針組裝體之該探針及該被檢查體之對應該電極之彼此對位所使用之對準攝影機。
12. 如申請專利範圍第7項之電氣檢查裝置，其中，於該固定框體，以可沿該框體之至少一邊移動之方式支撐有探針載台板，該支撐底座構件係以可移除之方式結合於該探針載台板。
13. 如申請專利範圍第7項之電氣檢查裝置，其中，該樞軸機構，係藉由該結合手段之限制之解除，允許該懸架機構之姿勢旋轉以使該電路基板朝向作業員。
14. 一種點燈檢查裝置，具備申請專利範圍第7項之電氣檢查裝置、及具有彼此排列配置之第1窗及第2窗之筐體，顯示用面板被處理作為該被檢查體，其特徵在於：該電氣檢查裝置係配置於該筐體內，據以在該筐體內之與該第1窗對應之位置構成檢查站，在該筐體內之與該第2窗對應之位置配置構成在與該檢查站之間進行該顯示用面板之收授之面板交接站之面板交接裝置。