KR101971139B1 - 표시패널 검사장치 및 검사방법과 이를 사용한 표시장치 제조방법 - Google Patents

표시패널 검사장치 및 검사방법과 이를 사용한 표시장치 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과; 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치되며, 독립적으로 선형 운동하도록 구성된 적어도 하나의 프로브블럭과; 상기 프로브블럭 단위로 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하기 위해 구성된 제1카메라를 포함하는 표시패널 검사장치를 제공한다.

Description

표시패널 검사장치 및 검사방법과 이를 사용한 표시장치 제조방법{Inspection apparatus and method of display panel and method of manufacturing display device using the same}
본 발명은 표시패널 검사장치에 대한 것으로서, 보다 상세하게는, 표시패널 검사장치 및 검사방법과 이를 사용한 표시장치 제조방법에 대한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 액정표시장치(LCD : liquid crystal display), 플라즈마표시장치(PDP : plasma display panel), 유기발광소자 (OLED : organic light emitting diode)와 같은 여러가지 평판표시장치(flat display device)가 활용되고 있다.
평판표시장치로서는, 매트릭스형태로 배치된 화소 각각에 스위칭트랜지스터가 형성된 액티브매트릭스 타입(active matrix type)의 표시장치가 현재 보편적으로 사용되고 있다.
이와 같은 표시장치는, 표시패널 제조 공정과, 검사 공정과, 구동회로 부착 공정 등을 통해 제조될 수 있게 된다.
검사 공정에서는 검사장치로서 예를 들면 오토프로브(auto probe) 장치가 사용된다. 검사장치의 프로브핀을 표시패널의 패드에 접촉한 후, 전기적 신호를 인가하여 테스트영상을 표시하고, 작업자가 육안으로 확인하여 표시패널의 불량 유무를 검사하게 된다.
한편, 전기적 신호 인가전에 표시패널을 올바른 위치에 정렬하는 과정이 진행된다. 이와 관련하여, 표시패널이 검사장치의 작업테이블에 놓여진 상태에서, 작업테이블을 움직여 표시패널의 얼라인마크(align mark)와 카메라의 얼라인마크를 일치시킨다.
위와 같은 위치정렬이 완료되면, 프로브핀을 표시패널의 패드에 접촉시켜 전기적 신호를 인가한다.
그런데, 고품질의 영상을 표시하기 위해 고해상도의 표시패널이 개발되고 있으며, 이에 따라 표시패널에 형성되는 패드의 피치(pitch) 및 폭이 점점 미세화되고 있다. 이로 인해, 프로브핀과 패드의 위치정렬에 있어 오차 발생률이 증가하게 된다.
이와 같은 오정렬이 발생하게 되면, 작업자가 프로브핀이 장착된 프로브블럭을 수동으로 움직이게 되는데, 이에 따라 부품이 파손되어 수명이 단축되는 문제가 발생하게 된다.
이처럼, 종래의 검사 장치를 사용하게 되면, 프로브핀과 패드의 정확한 위치 정렬이 곤란하게 되어, 표시패널의 검사효율 및 제조효율이 저하되는 문제가 발생된다.
본 발명은 표시패널의 검사효율 및 제조효율을 향상시킬 수 있는 방안을 제공하는 데 과제가 있다.
전술한 바와 같은 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과; 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치되며, 독립적으로 선형 운동하도록 구성된 적어도 하나의 프로브블럭과; 상기 패드와 프로브핀을 촬영하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하기 위해 구성된 제1카메라를 포함하며, 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 피드백회로를 포함하며, 상기 피드백 신호가 설정된 기준값 이하인 경우에는 오정렬이 발생한 것을 판단하여 상기 제1카메라를 구동하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하고, 피드백 신호가 설정된 기준값 보다 큰 경우에는 오정렬이 발생하지 않은 것을 판단하여 상기 제1카메라를 구동하지 않는 표시패널 검사장치를 제공한다.
여기서, 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 피드백회로를 포함하고, 상기 피드백 신호가 설정된 기준에 부합하지 않는 경우에, 상기 제1카메라를 구동하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하도록 구성될 수 있다.
상기 제1카메라는 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며, 상기 제1카메라를 통해 촬영된 영상을 분석하여 오정렬 정도를 검출하는 분석부를 포함할 수 있다.
상기 표시패널에 형성된 제1얼라인마크에 대응하는 제2얼라인마크가 구성된 제2카메라를 포함할 수 있다.
다른 측면에서, 본 발명은 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과, 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치된 적어도 하나의 프로브블럭을 포함하는 검사장치를 이용한 표시패널 검사방법에 있어서, 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 단계와; 상기 피드백 신호가 설정된 기준값 이하인 경우에는 오정렬이 발생한 것으로 판단하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하고, 상기 피드백 신호가 설정된 기준값 보다 큰 경우에는 오정렬이 발생하지 않은 것을 판단하는 단계와; 상기 오정렬이 발생한 경우에만, 제1카메라에 의해 패드와 프로브핀을 촬영하는 단계와; 촬영된 영상을 분석하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하는 단계와; 상기 검출된 오정렬 정도에 따라, 대응되는 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계를 포함하는 표시패널 검사방법을 제공한다.
상기 제1카메라는 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며, 상기 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계는, 상기 패드와 프로브핀이 접촉 해제된 상태에서 수행될 수 있다.
상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 확인하는 단계 이전에, 상기 표시패널의 비표시영역에 형성된 제1얼라인마크와, 상기 검사장치의 제2카메라에 구성된 제2얼라인마크를 정렬하는 단계를 포함할 수 있다.
또 다른 측면에서, 본 발명은 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과, 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치된 적어도 하나의 프로브블럭을 포함하는 검사장치를 이용한 표시장치 제조방법에 있어서, 상기 표시패널을 제조하는 단계와; 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 단계와; 상기 피드백 신호에 따라 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 판단하는 단계와; 상기 오정렬이 발생한 경우에만, 제1카메라 에 의해 패드와 프로브핀을 촬영하는 단계와; 상기 촬영된 영상을 분석하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하는 단계와; 상기 검출된 오정렬 정도에 따라, 대응되는 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계를 포함하는 표시장치 제조방법을 제공한다.
여기서, 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 확인하는 단계는, 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 단계와; 상기 피드백 신호가 설정된 기준에 부합하지 여부를 통해 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 확인하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1카메라는 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며, 상기 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계는, 상기 패드와 프로브핀이 접촉 해제된 상태에서 수행될 수 있다.
상기 표시패널을 제조하는 단계와 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 확인하는 단계 사이에, 상기 표시패널의 비표시영역에 형성된 제1얼라인마크와, 상기 검사장치의 제2카메라에 구성된 제2얼라인마크를 정렬하는 단계를 포함할 수 있다.
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본 발명에서는, 검사장치의 프로브블럭을 독립적으로 구동가능하도록 구성하게 된다. 이에 따라, 프로브핀과 패드 사이에 오정렬이 발생하는 경우에, 해당 프로브블럭의 이동을 통해 오정렬을 해소할 수 있게 된다.
이처럼, 블럭 단위로 프로브핀과 패드의 오정렬을 개선할 수 있게 되어, 검사효율 및 공정효율이 상당한 수준으로 향상될 수 있게 된다.
도 1 내지 3은 각각 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사장치를 개략적으로 도시한 사시도, 단면도와 블럭도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 프로브블럭을 개략적으로 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 표시패널과 제1카메라에 구성된 얼라인마크를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 프로브블럭을 이동시켜 오정렬된 프로브핀과 패드를 정렬하는 모습을 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 제1카메라의 이동을 개략적으로 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사방법을 개략적으로 도시한 흐름도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1 내지 3은 각각 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사장치를 개략적으로 도시한 사시도, 단면도와 블럭도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 프로브블럭을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1 내지 4를 참조하면, 박막 증착 공정 등을 포함하는 제조 공정을 통해 제조된 표시패널(200)은, 검사 공정을 위해 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(100)에 놓여지게 된다.
여기서, 표시패널(200)로서는 다양한 형태의 평판표시패널이 사용될 수 있다. 예를 들면, 액정표시패널(liquid crystal display panel), 전계방출표시패널(field emission display panel), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel), 무기전계발광패널 및 유기발광다이오드패널(orgnic light emitting diode panel)을 포함하는 전계발광표시패널(electroluminescent display panel), 전기영동표시패널(electrophoresis display panel) 등 다양한 형태의 평판표시패널이 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예에서는, 설명의 편의를 위해, 표시패널(200)로서 액정표시패널이 사용되는 경우를 예로 든다.
이와 같은 경우에, 표시패널(200)은 서로 마주보는 제1 및 2기판(210, 220)을 포함할 수 있다.
제1기판(210)은 어레이기판(210)에 해당된다. 이와 같은 제1기판(210)에는, 제1방향으로서 예를 들면 x방향을 따라 연장된 다수의 게이트배선과, 제2방향으로서 예를 들면 y방향을 따라 연장된 다수의 데이터배선이 형성되어 있다. 이와 같이 서로 교차하는 게이트배선 및 데이터배선은 화소영역을 정의하게 된다. 화소영역에는 게이트배선 및 데이터배선과 연결되는 스위칭소자로서 박막트랜지스터가 형성되어 있다.
제2기판(220)은 제1기판(210)과 마주보는 대향기판에 해당된다. 제2기판(220)으로서는 예를 들면 컬러필터가 형성된 컬러필터기판이 사용될 수 있다.
이와 같은 두 기판(210, 220) 사이에는 액정층이 개재된다.
제2기판(220)은 제1기판(210)보다 작은 면적을 가져, 제1기판(210)의 비표시영역의 외곽부을 노출하게 된다.
제1기판(210)의 비표시영역의 외곽부에는 신호를 인가받는 다수의 패드(211)가 구성되어 있다. 예를 들면, 비표시영역에 위치하는 다수의 데이터배선의 끝단에는 다수의 데이터패드(211a)가 구성되며, 게이트배선의 끝단에는 게이트패드가 구성되어 있다.
데이터패드(211a)는 제1기판(210)의 일측 외곽에서 x방향을 따라 배치되며, 게이트패드는 제1기판(210)의 타측 외곽에서 y방향을 따라 배치될 수 있다.
전술한 바와 같은 구성을 갖는 표시패널(200)에 전기적 신호를 인가하여 검사 공정을 수행하는 검사장치(100)는, 적어도 하나의 프로브블럭(110)과 작업테이블(120)과 제1 및 2카메라(130, 140)와, 제어부(160)와, 제1 및 2구동장치(170, 180)를 포함할 수 있다.
작업테이블(120)은, 검사 공정을 위해 검사 장치(100)로 반입된 표시패널(200)이 놓여지는 구성에 해당된다.
도 2를 참조하면, 작업테이블(120)은 예를 들면 안치테이블(121)과 이동테이블(122)을 포함할 수 있다. 안치테이블(121)은 그 상면에 표시패널(200)이 직접 놓여지게 된다. 그리고, 이동테이블(122)은 안치테이블(121)의 후방에 위치하며 지지기둥을 통해 안치테이블(121)과 연결될 수 있다.
이동테이블(122)은 xy평면상의 평면이동이 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 이동테이블(122)이 x방향 및/또는 y방향으로 이동가능하도록 구성될 수 있다.
더욱이, 이동테이블(122)은 xy평면과 경사를 이루도록 구성될 수 있다. 즉, 이동테이블(122)이 기울어지도록 구성될 수 있다.
또한, 이동테이블(122)은 z축을 따라 상하로 승강이 가능하도록 구성될 수 있다.
이와 같은 이동테이블(122)의 동작은 구동수단으로서 제2구동장치(180)를 통해 수행될 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 이동테이블(122)의 동작에 따라, 이동테이블(122)과 연결된 안치테이블(121)이 이동할 수 있게 된다.
이와 같이 작업테이블(120)을 구동함으로써, 결과적으로 표시패널(200)의 이동이 이루어질 수 있게 되며, 이에 따라 표시패널(200)의 위치정렬이 일차적으로 이루어질 수 있게 된다.
이와 관련하여, 도 5를 더욱 참조하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 표시패널과 제1카메라에 구성된 얼라인마크를 도시한 도면이다.
표시패널(200)의 비표시영역에는 위치정렬을 위해 적어도 하나의 제1얼라인마크(M1)가 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1기판(210)의 비표시영역의 양측에 제1얼라인마크(M1)가 형성될 수 있다.
제1얼라인마크(M1)에 대응하여 제2카메라(140)에는 제2얼라인마크(M2)가 구성될 수 있다. 여기서, 제2카메라(140)는 검사장치(100)에서 그 위치가 고정되도록 설치되는 것이 바람직한데, 이에 한정되지는 않는다.
이와 같은 제2카메라(140)에 의해 촬영된 영상을 통해, 제1 및 2얼라인마크(M1, M2)가 서로 매칭(matching)되는지 여부를 모니터링(monitoring)할 수 있게 된다.
따라서, 제2카메라(140)를 통해 제1 및 2얼라인마크(M1, M2)의 정렬 여부를 확인하고, 작업테이블(120)을 이동시켜 제1 및 2얼라인마크(M1, M2)를 정렬시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 검사 공정을 위한 올바른 위치로 표시패널(200)을 정렬할 수 있게 된다.
이처럼, 얼라인마크(M1, M2)를 사용하여 표시패널(200)과 검사장치(100)의 위치정렬이 이루어질 수 있게 된다.
프로브블럭(110)에는 다수의 프로브핀(111)이 장착되어 있다. 프로브핀(111)은 표시패널(200)의 패드(211)에 각각 대응되며, 검사를 위한 전기적 신호 인가를 위해 패드(211)에 접촉되도록 구성된다. 이에 따라, 전기적 신호가 프로브핀(111)을 통해 패드(211)에 전달되어, 패드(211)에 연결된 신호배선에 인가될 수 있게 된다.
프로브블럭(110)은 데이터패드(211a)에 대응되며 x방향을 따라 배치된 적어도 하나의 제1프로브블럭(110a)과, 게이트패드에 대응되며 y방향을 따라 배치된 적어도 하나의 제2프로브블럭(110b)을 포함할 수 있다.
제1프로브블럭(110a)에는 데이터패드(211a)와 접촉하는 다수의 제1프로브핀(111a)이 설치되어 있고, 제2프로브블럭(110b)에는 게이트패드와 접촉하는 다수의 제2프로브핀이 설치되어 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는, 프로브블럭(110)이 독립적으로 구동될 수 있도록 구성된다. 예를 들면, x방향을 따라 배치된 제1프로브블럭(110a)은 x방향을 따라 선형 운동할 수 있게 되는데, 이와 같은 선형 운동은 블럭 단위로 독립적으로 이루어질 수 있게 된다.
이와 같은 독립 구동은 y방향으로 배치된 제2프로브블럭(110b)에 대해서도 마찬가지로 적용된다.
여기서, 프로브블럭(110)의 선형 운동은, 선형으로 연장된 가이드로서 가이드레일(190)을 따라 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제1프로브블럭(110a)은 x방향을 따라 연장된 제1가이드레일(190a)를 따라 선형 운동을 할 수 있다. 그리고, 제2프로브블럭(110b)은 y방향을 따라 연장된 제2가이드레일(190a)를 따라 선형 운동을 할 수 있다.
위와 같은 프로브블럭(110)의 독립 구동에 의해, 블럭 단위로 프로브핀 및 패드(111, 211)의 위치 정렬이 올바르게 이루어질 수 있게 된다.
이와 관련하여, 표시패널 형성시의 공정상 요인 등에 의해 제1얼라인마크(M1)나 패드(211)의 위치에 편차가 발생되어 이들이 정위치에 형성되지 않을 수 있다. 그리고, 프로브블럭(110)의 위치에 편차가 발생되어 이들이 정위치에 놓여지지 않을 수 있다. 이와 같은 여러 요인들에 의해, 얼라인마크(M1, M2)를 통해 표시패널(200)의 위치정렬이 수행되더라도, 도 6에 도시한 바와 같이, 프로브핀(111)과 패드(211) 사이의 위치정렬이 올바르게 이루어지지 않을 수 있다.
이처럼, 프로브핀 및 패드(111, 211) 사이의 오정렬이 발생하게 되면, 정상적인 검사가 수행될 수 없게 되어 검사효율이 저하되고, 결과적으로 제조효율이 저하되게 된다.
이를 개선하기 위해, 본 발명의 실시예에서는 프로브블럭(110)을 독립적으로 구동하여 블럭 단위로 프로브핀 및 패드(111, 211)의 위치정렬을 수행하게 된다. 이처럼, 블럭 단위로 세분화하여 표시패널(200)과 검사장치(100) 사이의 위치정렬을 2차적으로 수행함으로써, 프로브핀 및 패드(111, 211) 사이의 오정렬을 효과적으로 개선할 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 프로브블럭(110)의 구동은 제2구동장치(180)를 통해 수행될 수 있다. 제2구동장치(180)로서는 선형모터(linear motor)가 사용될 수 있는데, 이에 한정되지는 않는다.
이처럼, 선형모터를 사용하는 경우에는, 자기장 변화를 이용하여 프로브블럭(110)을 이동시킬 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 실시예에서는, 프로브핀 및 패드(111, 211)의 오정렬 정도를 확인하기 위해, 제1카메라(130)가 구비될 수 있다. 이와 관련하여, 도 7을 더욱 참조하여 설명한다. 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 제1카메라의 이동을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7을 참조하면, 제1카메라(130)는 프로브블럭(110)의 배치 방향을 따라 이동하면서 프로브핀 및 패드(111, 211)를 촬영하게 된다. 예를 들면, 제1카메라(130)는 y방향을 따라 이동하여 제2프로브핀(111b)과 게이트패드를 촬영하고, x방향을 따라 이동하여 제1프로브핀(111a)과 데이터패드(211a)를 촬영하게 된다.
여기서, 제1카메라(130)는 배치 방향을 따라 연속적으로 이동하면서 촬영하거나 스텝(step) 방식으로 이동하면서 촬영할 수 있다.
이와 같이 촬영된 영상을 분석함으로써, 프로프핀 및 패드(111, 211)의 오정렬 정도를 파악할 수 있게 된다. 여기서, 블럭 단위로 오정렬 정도를 파악할 수 있다.
이처럼, 블럭 단위의 오정렬 정도가 획득되면, 오정렬을 보정하기 위해, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1구동장치(170)를 구동하여 관련된 프로브블럭(110)을 선형 이동시키게 된다. 이에 따라, 해당 프로브블럭(110)의 프로브핀(111)과 대응되는 패드(211)의 오정렬이 보정되어, 위치정렬이 이루어질 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 실시예에서는 프로브핀 및 패드(111, 211)의 오정렬 여부를 파악하기 위해, 피드백회로(150)가 구비될 수 있다.
피드백회로(150)는, 프로브핀 및 패드(111, 211)가 접촉된 상태에서 인가된 전기적 신호에 대한 피드백 신호를 검출하게 된다.
이와 관련하여, 만약 프로브핀 및 패드(111, 211) 사이에 오정렬이 발생하게 되면, 저항이 증가하게 되어 신호 감쇄가 발생하게 된다.
따라서, 피드백회로(150)를 통해 검출된 피드백 신호를 기초로, 프로브핀 및 패드(111, 211) 사이의 오정렬 여부를 확인할 수 있게 된다.
이와 관련하여 예를 들면, 피드백 신호가 설정된 기준값 이하인 경우에는, 프로프핀 및 패드(111, 211) 사이에 오정렬이 발생한 것으로 판단될 수 있게 된다. 이와 같은 경우에, 전술한 바와 같이 제1카메라(130)를 동작시켜, 오정렬 정도를 파악할 수 있게 된다.
그리고, 피드백 신호가 설정된 기준값보다 큰 경우에는, 프로브핀 및 패드(111, 211) 사이에 오정렬이 발생하지 않은 것으로 판단될 수 있게 된다. 이와 같은 경우에, 제1카메라(130)를 사용한 오정렬 정도에 대한 검출 과정은 수행되지 않을 수 있게 된다.
한편, 전술한 오정렬 발생 여부는 블럭 단위로 수행될 수도 있으며, 이와 같은 경우에 오정렬이 발생되었다고 판단된 블럭에 대해 제1카메라(130)를 사용하여 오정렬 정도를 검출할 수 있다.
제어부(160)는 검사장치(100)의 구성요소들에 대한 구동을 제어하는 구성에 해당된다.
예를 들면, 제어부(160)는 제2카메라(140)를 통해 촬영된 영상을 분석하여 얼라인마크(M1, M2)의 정렬 여부를 확인하고, 오정렬시 제2구동장치(180)를 구동하여 작업테이블(120)을 이동시켜 얼라인마크(M1, M2)가 올바르게 위치정렬을 이루도록 할 수 있다.
그리고, 제어부(160)는 제1카메라(130)를 통해 촬영된 영상을 분석하여 프로브핀(111)과 패드(211)의 오정렬 정도를 확인하고, 오정렬을 보정하기 위한 위치 보정 정보를 제1구동장치(170)에 전송할 수 있다. 이에 응답하여, 제1구동장치(170)는 해당 프로브블럭(110)을 이동시켜 오정렬을 보정할 수 있다.
한편, 제1 및 2카메라(130, 140)를 통해 촬영된 영상을 분석하는 분석부(161)가 제어부(160)에 구성될 수 있다.
또한, 제어부(160)는 피드백회로(150)를 통해 검출된 피드백 신호를 전달받고, 피드백 신호가 설정된 기준에 부합하는지 여부를 판단할 수 있다. 즉, 피드백신호를 통해, 프로브핀(111)과 패드(211)가 오정렬 상태인지 여부를 판단할 수 있게 된다.
여기서, 오정렬 상태에 해당된다고 판단되면, 제어부(160)는 제1카메라(130)를 구동하여, 프로브핀(111)과 패드(211)의 오정렬 정도를 파악할 수 있게 된다.
이하, 도 8을 더욱 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사방법에 대해 보다 상세하게 설명한다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사방법을 개략적으로 도시한 흐름도이다.
도 8을 참조하면, 제조 공정을 통해 제조된 표시패널(200)을 작업테이블에 안치한 후, 제2카메라(140)에 의해 촬영된 영상을 통해 얼라인마크(M1, M2)를 인식하여, 얼라인마크(M1, M2)가 정렬되었는지 여부를 판단하게 된다 (st1, st2)
여기서, 만약 얼라인마크(M1, M2)가 정렬되지 않았다고 판단하면, 작업테이블(120)을 이동시키는 과정이 수행된다 (st3). 이와 같은 과정은, 얼라인마크(M1, M2)가 정렬될때까지 반복적으로 수행된다.
전술한 바와 같은 과정을 통해 얼라인마크(M1, M2)가 정렬되면, 프로브블럭(110)과 작업테이블(120) 중 적어도 하나를 z축 방향으로 이동시켜, 프로프핀(111)과 대응되는 패드(211)를 접촉시키게 된다 (st4).
다음으로, 테스트 신호를 인가하여, 프로브핀(111)과 패드(211)의 오정렬 여부를 확인하게 된다 (st5). 즉, 피드백회로(150)를 통해 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하여, 오정렬 여부와 관련하여 설정된 기준에 부합하는지를 판단하게 된다.
만약, 설정된 기준에 부합하지 않는 경우에는, 제1카메라(130)를 동작시켜 프로브핀(111)과 패드(211)의 오정렬 정도를 검출하게 된다 (st6).
다음으로, 프로브블럭(110)과 작업테이블(120) 중 적어도 하나를 z축 방향으로 이동시켜, 프로프핀(111)과 패드(211)의 접촉을 해제하게 된다 (st7).
다음으로, 오정렬 정도를 보정하기 위해, 프로브블럭(110)을 선형 이동시키게 된다 (st8).
다음으로, 프로브핀(111)과 패드(211)를 재차 접촉시키고, 테스트 신호를 인가하여 프로브핀(111)과 패드(211)의 오정렬 여부를 재차 확인하게 된다 (st4, st5).
이와 같은 과정은 프로프핀(111)과 패드(211)가 정렬될때까지 반복적으로 수행된다.
전술한 바와 같은 과정을 통해 프로프핀(111)과 패드(211)가 정렬되면, 검사용 신호를 인가하여 검사를 시작하게 된다 (st9).
전술한 바와 같은 과정을 통해, 본 발명의 실시예에 따른 표시패널 검사방법이 수행될 수 있게 된다.
한편, 전술한 바와 같은 검사 공정이 완료된 후에, 표시패널(200)에 구동회로 및 여러 기구적 부품을 부착하는 공정을 진행함으로써, 최종적으로 표시장치가 제조될 수 있게 된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 검사장치의 프로브블럭을 독립적으로 구동가능하도록 구성하게 된다. 이에 따라, 프로브핀과 패드 사이에 오정렬이 발생하는 경우에, 해당 프로브블럭의 이동을 통해 오정렬을 해소할 수 있게 된다.
이처럼, 블럭 단위로 프로브핀과 패드의 오정렬을 개선할 수 있게 되어, 검사효율 및 공정효율이 상당한 수준으로 향상될 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 실시예는 본 발명의 일예로서, 본 발명의 정신에 포함되는 범위 내에서 자유로운 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명은, 첨부된 특허청구범위 및 이와 등가되는 범위 내에서의 본 발명의 변형을 포함한다.
100: 검사장치 110: 프로브블럭
110a: 제1프로브블럭 110b: 제2프로브블럭
120: 작업테이블 130: 제1카메라
140: 제2카메라 190: 가이드레일
190a: 제1가이트레일 190b: 제2가이드레일
200: 표시패널 210: 제1기판
220: 제2기판

Claims (12)

  1. 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과;
    상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치되며, 독립적으로 선형 운동하도록 구성된 적어도 하나의 프로브블럭과;
    상기 패드와 프로브핀을 촬영하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하기 위해 구성된 제1카메라를 포함하며,
    상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 피드백회로를 포함하며, 상기 피드백 신호가 설정된 기준값 이하인 경우에는 오정렬이 발생한 것을 판단하여 상기 제1카메라를 구동하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하고, 피드백 신호가 상기 설정된 기준값 보다 큰 경우에는 오정렬이 발생하지 않은 것을 판단하여 상기 제1카메라를 구동하지 않는 표시패널 검사장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1카메라는 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며, 상기 제1카메라를 통해 촬영된 영상을 분석하여 오정렬 정도를 검출하는 분석부를 포함하는 표시패널 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시패널에 형성된 제1얼라인마크에 대응하는 제2얼라인마크가 구성된 제2카메라를 포함하는
    표시패널 검사장치.
  5. 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과, 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치된 적어도 하나의 프로브블럭을 포함하는 검사장치를 이용한 표시패널 검사방법에 있어서,
    상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 단계와;
    상기 피드백 신호가 설정된 기준값 이하인 경우에는 오정렬이 발생한 것으로 판단하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하고, 상기 피드백 신호가 상기 설정된 기준값 보다 큰 경우에는 오정렬이 발생하지 않은 것을 판단하는 단계와;
    상기 오정렬이 발생한 경우에만, 제1카메라에 의해 패드와 프로브핀을 촬영하는 단계;
    촬영된 영상을 분석하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하는 단계와;
    상기 검출된 오정렬 정도에 따라, 대응되는 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계를 포함하는 표시패널 검사방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1카메라는 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며,
    상기 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계는, 상기 패드와 프로브핀이 접촉 해제된 상태에서 수행되는
    표시패널 검사방법.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 판단하는 단계 이전에,
    상기 표시패널의 비표시영역에 형성된 제1얼라인마크와, 상기 검사장치의 제2카메라에 구성된 제2얼라인마크를 정렬하여 표시패널을 검사장치에 정렬하는 단계를 포함하는 표시패널 검사방법.
  9. 패드를 포함하는 표시패널이 안착되는 작업테이블과, 상기 패드에 대응되는 프로브핀이 설치된 적어도 하나의 프로브블럭을 포함하는 검사장치를 이용한 표시장치 제조방법에 있어서,
    상기 표시패널을 제조하는 단계와;
    상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 인가된 테스트 신호에 대한 피드백 신호를 검출하는 단계와;
    상기 피드백 신호에 따라 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 판단하는 단계와;
    상기 오정렬이 발생한 경우에만, 제1카메라 에 의해 패드와 프로브핀을 촬영하는 단계;
    상기 촬영된 영상을 분석하여 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 정도를 검출하는 단계와;
    상기 검출된 오정렬 정도에 따라, 대응되는 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계를 포함하는 표시장치 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 판단하는 단계는 상기 피드백 신호가 설정된 기준값 이하로 감쇄하는 경우 오정렬이 발생한 것으로 판단하고 상기 피드백 신호가 상기 설정된 기준값 보다 큰 경우 오정렬이 발생하지 않은 것으로 판단하는 단계를 포함하는 표시장치 제조방법하는 단계를 포함하는 표시장치 제조방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 제1카메라는 상기 패드와 프로브핀이 접촉된 상태에서 상기 프로브블럭의 배치 방향을 따라 이동하여 상기 패드와 프로브핀을 촬영하며, 상기 프로브블럭을 선형 이동시켜 오정렬을 보정하는 단계는, 상기 패드와 프로브핀이 접촉 해제된 상태에서 수행되는 표시장치 제조방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 표시패널을 제조하는 단계와 상기 패드와 프로브핀의 오정렬 여부를 판단하는 단계 사이에,
    상기 표시패널의 비표시영역에 형성된 제1얼라인마크와, 상기 검사장치의 제2카메라에 구성된 제2얼라인마크를 정렬하는 단계를 포함하는 표시장치 제조방법.
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