JP2008083034A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板検査装置をコンパクト化すること、好ましくは作業性の良いもにすること。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板Ｐを保持し移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３および検査結果を表示する液晶表示パネル４等を共通のベースフレーム１０に組み込み、これらをケーシングＣａにより外側から覆った一体構成を有する。また、基板Ｐの出し入れ口６と基板Ｐの検査部（撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像位置）とが前後方向に並び、かつ検査部が出し入れ口６よりも上方に配置される。そして、被検査面が上向きになるように基板Ｐをテーブル３０により保持した状態で、当該テーブル３０を斜め方向に移動させるように基板保持機構が構成されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、プリント基板等の基板に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置に関するものである。

プリント基板に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置として、従来から、インライン型のものとは別に、作業者のマニュアル操作により個別にプリント基板を検査するアウトライン用の卓上据え置き型（単に卓上型という）の検査装置が知られている。

例えば特許文献１には、この種の卓上型検査装置の一つが提案されている。この検査装置は、プリント基板をセットする試験ユニットと、良否判定等の処理を行うメインユニットとから構成されており、作業者がプリント基板を試験ユニットにセットして開始操作を行うと、前記セット位置から試験ユニット内部にプリント基板が搬送されて基板表面が撮影され、その画像データがメインユニットに転送される。そして、その画像データに基づきメインユニットにおいて良否判定等の処理が行われるとともにその結果がモニタに表示されるようになっている。
特開２００２−１８１７３０号公報

上記のような基板の検査にはある程度の時間を要するため、通常は、複数台の卓上型検査装置を一列に並べて設置し、各検査装置に時間差を持たせて検査を実施することにより、一人の作業者の下で検査を効率的に進めることが行われている。そのため、全体がコンパクトであるのが好ましい。また、卓上型検査装置は、机上に設置した状態で椅子に座った作業者が操作する場合も多いため、そのような姿勢で作業性の良いものが好ましい。

この点、特許文献１に開示されるものでは、検査装置が試験ユニットとメインユニットとの別個独立した二つのユニットから構成され、さらにメインユニットがデスクトップ型のパーソナルコンピュータから構成されているため到底コンパクトな構成とは言えない。また、試験ユニットに対してプリント基板を水平にセットする必要があるため、椅子に座った状態ではプリント基板後側（奥側）のセット状態を確認し難く、例えば基板後側に大きめの部品が並んだ状態で実装されているような場合には、プリント基板のセット状態を確認し辛くなることも考えられる。そのため、これらの点を改善することが望まれる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は、基板検査装置をコンパクト化すること、第２の目的は、より作業性のよいものにすることを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明は、基板を検査する検査手段と、被検査基板を保持し、所定の基板出し入れ部と前記検査手段による検査部との間で前記基板を搬送する基板搬送手段と、検査結果を表示する表示手段と、を備えた基板検査装置において、前記各手段が共通のフレーム部材に一体に組み込まれるとともに、作業者の立ち位置側を装置前側としたときに当該前側から順に前記基板出し入れ部と検査部とが前後方向に並び、かつ検査部が基板出し入れ部に対して上方に配置され、前記基板搬送手段が、被検査面を上向きにした状態で、装置前側から後側に向かって斜め後上がりに基板を搬送するように構成されているものである（請求項１）。

このような基板検査装置によると、装置を構成する上記各手段が共通のフレーム部材に組み込まれて一体化されているため、複数のユニットが分離している従来のものに比べて装置がコンパクト化される。特に、基板搬送手段が、装置前側から後側に向かって斜め後上がりに基板を搬送するように構成されているので、基板を水平に同じ距離だけ搬送する場合に比べて装置を前後方向にコンパクト化することが可能となる。

この装置において、前記基板搬送手段は、被検査面が搬送方向とほぼ平行となるように基板を支持し、その状態で当該基板を搬送するものである（請求項２）。

この構成によると、後側が起きあがった状態で基板が基板搬送手段に支持されるので、基板を基板搬送手段にセットする際の基板後側の視認性が向上する。そのため、より確実、かつ適切に基板を基板搬送手段にセットすることが可能となる。

上記装置において、前記基板搬送手段は、前後一対の基板保持フレームを有し、これらフレーム間に基板を挟持した状態で、かつ一方側のフレームから他方側のフレームに弾性的に前記基板を押圧した状態で保持するように構成されているのが好適である（請求項３）。

この構成によると、基板を前後方向に位置決めした状態でテーブル上に保持することが可能となる。

また、前記装置は、前記基板搬送手段の下方に所定の制御装置が配設されているものである（請求項４）。

この構成によると、基板を斜め方向に搬送するという基本構造を利用して制御装置を配設した合理的な構成が達成される。すなわち、上記のように後上がりに基板を搬送する構成では、基板搬送手段の下方に楔型の空間を確保することが可能となるため、この空間を利用することにより制御装置を合理的に配置することができる。

より具体的には、前記フレーム部材として前後方向に傾斜する傾斜面をもつ基台が設けられ、この基台の前記傾斜面に前記基板搬送手段が組み付けられるとともに、この基台に形成される中空部又は凹部内に前記制御装置が配設されている（請求項５）。

この構成によると、フレーム部材に囲まれた頑丈なスペースに制御装置を配設することができるので制御装置を保護する上で有利な構成となる。

なお、上記装置において、前記検査手段が基板の被検査面を撮像装置により撮像するものである場合には、この撮像装置が前記基板搬送手段の上方に配置され、この撮像装置の後側に所定の制御装置が配置されるのが好適である（請求項６）。

すなわち、上記のように斜め方向（後上がり）に基板を搬送し、撮像装置により上側から被検査面を撮像する構成では、撮像装置の後側にスペースを確保し易くなる。そのため、このスペースを利用することにより制御装置を合理的に配置することが可能となる。

本発明の基板検査装置によれば、基板搬送手段、検査手段および表示手段が共通のフレーム部材に組み込まれて一体化されるため装置全体がコンパクトになる。特に、基板取り出し部と検査部との間で斜め後上がりに基板を搬送するため、基板を水平方向に移動させる場合に比べて装置が前後方向にコンパクト化される。

また、被検査面が搬送方向とほぼ平行となるように基板を支持し、その状態で当該基板を搬送するように基板搬送手段を構成したものでは、基板をセットする際の基板後側の視認性が向上するため作業性が向上する。

さらに、基板搬送手段の下方に所定の制御装置を配設したものでは、基板を斜め方向に搬送するという構造を利用して制御装置を合理的に装置内に収容することができる。

本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。

図１及び図２は、本発明に係る基板検査装置を概略的に示しており、図１は斜視図で、図２は平面図でそれぞれ基板検査装置を示している。

基板検査装置１（以下、検査装置１と略す）は全体が箱形を成し、同図に示すように後側部分２Ａとその前端下部から前方に延びる前側部分２Ｂとを具備した側面視Ｌ字型の外観形状を有している。このような検査装置１の外観形状は、後記ベースフレーム１０等に固定されるケーシングＣａにより形成されている。このケーシングＣａは、実際には幾つかのパーツからなるが、以下の説明では便宜上、各パーツを区別することなくケーシングＣａとして一体に取り扱うものとする。

この検査装置１のうち前記前側部分２Ｂには上向きに開口する基板Ｐの出し入れ口６（本発明に係る基板の出し入れ部）が設けられている。この出し入れ口６は、ケーシングＣａに形成される開口部からなり、検査装置１の幅方向中央（図２では左右方向における中央）に設けられている。

この出し入れ口６の後端上方であって前記後側部分２Ａの前面部分には、液晶表示パネル４（本発明に係る表示手段に相当する）が配置されている。この液晶表示パネル４は、いわゆるタッチパネル型液晶表示器からなり、検査結果等の各種情報がこの液晶表示パネル４上に表示されるとともに、作業者がモニタ表示に指先で触れることにより検査装置１に対して各種操作入力を行えるようになっている。

液晶表示パネル４は、装置前側、つまり作業者の立ち位置側（図２では下側）に指向する状態で、検査装置１の中央からやや幅方向片側（図２では右側）に偏った位置に配置されている。前側部分２Ｂのうち液晶表示パネル４に並ぶ部分にはメンテナンス用の扉９が設けられている。この扉９は、前記ケーシングＣａの一部が開閉可能に構成されたもので、必要に応じてこの扉９を開くことにより作業者が検査装置１内部にアクセスして後述するチェックペン５６の交換や撮像ユニット５０のメンテナンス等を行えるようになっている。

図１および図２中、符号３は、ハンドキャリー用の取っ手であり、ケーシングＣａに形成される凹部からなり後側部分２Ａの左右側面に設けられている。また、符号８は、非常停止用ボタンであり、前側部分２Ｂのうち前記出し入れ口６の側方に配置されている。

なお、検査装置１は、これらの図に示すように、その幅が装置後側から前側に向かって先細りに形成されている。詳しくは、前記ケーシングＣａにより構成される検査装置１の側面のうち前側部分２Ｂの一方側の側面（図２では左側の側面）が前後方向に対して所定角度αだけ傾斜して設けられることにより検査装置１の幅が先細りに形成されている。これは複数台の検査装置１をコンパクトに設置して作業性を高めるための工夫であって、この点については後に詳述する。

図３，図４は、検査装置１の具体的な内部構成を示しており、図３は縦断面で、図４は平断面でそれぞれ検査装置１を示している。

これらの図示に示すように、検査装置１はベースフレーム１０を有している。このベースフレーム１０は、前側から後側（図３，図４では左方から右方）に向かって先上がりに傾斜する傾斜面１２ａをもつ基台部１２と、この基台部１２の左右両端からそれぞれ立ち上がる側壁部１４とを一体に備えた構造を有しており、例えばアルミダイカスト等の鋳物により一体成形されている。

このベースフレーム１０には、被検査基板Ｐを保持し、かつこの基板Ｐを前記傾斜面１２ａに沿って移動させる基板保持機構（本発明に係る基板搬送手段に相当する）と、この基板保持機構に保持された被検査基板Ｐを撮像するための撮像機構と、必要に応じて基板Ｐに対してチェック（マーク）を入れるためのマーキング機構等が組み付けられている。

基板保持機構は、基台部１２の前記傾斜面１２ａに固定され、スライダ２２を前後方向であって、かつ前記傾斜面１２ａに沿った方向（以下、この方向をＹ軸方向という）に移動させるリニアモータ式の単軸ロボット２０と、前記スライダ２２に組み付けられるテーブル３０とから構成されている。

テーブル３０は基板Ｐを保持するものである。このテーブル３０は、基板Ｐをその被検査面、ここでは部品実装面が上向きとなり、かつ傾斜面１２ａと略平行に保持した状態で、前記単軸ロボット２０の作動により前記出し入れ口６に対向するホームポジション（図３に示す位置）と後述する撮像ユニット５０による撮像位置とに亘ってＹ軸方向に移動可能となっている。なお、この実施形態では、撮像ユニット５０により基板Ｐを撮像する部分が本発明の検査部に相当する。

このテーブル３０は、前記スライダ２２に固定されるプレート３２と、このプレート３２に組み付けられて左右方向（以下、この方向をＸ軸方向という）に延びる前後一対の基板保持フレーム３６，３８（前側フレーム３６，後側フレーム３８という）とを有しており、これらフレーム３６，３８により被検査基板Ｐを前後に挟持した状態で保持する構成となっている。詳しくは、図７に示すように、両フレーム３６，３８のうち後側フレーム３８に、Ｙ軸方向に変位可能で、かつ圧縮コイルバネ３８ａ等の弾性部材により前側に付勢される可動部３９が設けられ、前側フレーム３６および可動部３９の互いに対向する部分に、それぞれ階段状の基板受部３６ａ，３９ａが形成されている。そして、これら基板受部３６ａ，３９ａに基板Ｐの前後縁部を載せ、当該基板Ｐを前側フレーム３６と可動部３９との間に嵌め込むと、圧縮コイルバネ３８ａの弾性力により基板Ｐが両フレーム３６，３８の間に弾性的に挟み込まれる、すなわち、前側フレーム３６を基準として基板ＰがＹ軸方向に位置決めされた状態でテーブル３０に保持されるようになっている。また、前側フレーム３６の一端には、位置決めプレート３７が設けられており、このプレート３７に基板Ｐの一端（左右方向の一端）を当接させることにより、基板ＰがＸ軸方向に位置決めされた状態でテーブル３０に保持されるようになっている。

なお、両フレーム３６，３８の間隔は基板サイズに応じて可変となっている。具体的には、前記プレート３２の後端にエンドプレート３４が固定され、このエンドプレート３４と前記前側フレーム３６とに亘って互いに平行な左右一対のガイドバー３５が固定されている。そして、これらガイドバー３５に対して前記後側フレーム３８がスライド可能に装着されるとともに、前記ガイドバー３５に対して後側フレーム３８を任意の位置でロックするためのロック手段が設けられている。ロック手段は、後側フレーム３８に螺着されるねじ３８ｂを締め付け、その先端を、ガイドバー３５に対しその軸方向と直交する方向から押し当てることにより後側フレーム３８をガイドバー３５に対して固定するように構成されている。つまり、ねじ３８ｂを緩め、前側フレーム３６を基準として後側フレーム３８をスライドさせ、後側フレーム３８を所望の位置でロックする（ねじ３８ｂを締め付ける）ことによって両フレーム３６，３８の間隔を変更できる構成となっている。なお、図７中のねじ３８ｂは、便宜上、断面位置と異なるものを示している。

撮像機構は、図３及び図４に示すように、スライダ４２をＸ軸方向に移動させる単軸ロボット４０と、この単軸ロボット４０の前記スライダ４２に組み付けられる撮像ユニット５０（本発明に係る撮像装置に相当する）およびマーキングユニット５５等とから構成されている。

単軸ロボット４０は、基板保持機構を構成する前記単軸ロボット２０と同様にリニアモータ式の単軸ロボットからなり、前記両側壁部１４に亘って横架された状態でベースフレーム１０に固定されている。

撮像ユニット５０は、ＣＣＤあるいはＣＭＯＳイメージセンサ等のエリアセンサからなるカメラ５２と照明装置５４等とから構成されており、テーブル３０に保持された被検査基板Ｐの表面を、その上方であって、かつ当該表面に対して直交する方向から撮像するように構成されている。

マーキングユニット５５は、マークを記載するためのチェックペン５６と、このチェックペン５６を進退駆動する駆動機構とから構成されており、この駆動機構により、チェックペン５６を、テーブル３０に保持された基板Ｐに当接させる作動位置（図３中二点鎖線に示す位置）とこの位置から上方に退避する退避位置（図３中実線で示す位置）とに亘って進退駆動する構成となっている。なお、詳細図を省略しているが、上記駆動機構としては、例えばモータによりボールネジ軸を回転させることによりチェックペン５６を一軸方向に進退移動させるいわゆるボールネジ機構等が適用されている。

マーキングユニット５５は、図３および図４に示すように、連結アーム５８を介して撮像ユニット５０に固定されている。これにより撮像ユニット５０と一体的にＹ軸方向に移動するようになっている。なお、マーキングユニット５５の可動領域のうちその一端（図４では上端；同図中に二点鎖線で示す位置）はホームポジションとされており、この位置ではちょうどマーキングユニット５５が上述した扉９に対応するようになっている。つまり、上述の通りマーキングユニット５５をホームポジションに配置した状態で前記扉９を開くことによって作業者が容易にチェックペン５６の交換等を行えるようになっている。

検査装置１の内部において、ベースフレーム１０の上方には、さらに前後方向に延びるビーム１９が設けられている。

このビーム１９は、図５に示すように、ベースフレーム１０の両側壁部１４に亘って固定された前後一対の門型のサブフレーム１６，１８に固定されている。そして、このビーム１９の先端に前記液晶表示パネル４が組み付けられることにより、図３に示すように、前後方向において、液晶表示パネル４が前記撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像位置と前記出し入れ口６との略中間部分であって、かつ前記撮像ユニット５０の前方に配置されている。なお、当実施形態では、前記ベースフレーム１０、サブフレーム１６，１８およびビーム１９等が本発明のフレーム部材に相当する。

液晶表示パネル４は、ビーム１９に対してチルト可能に支持されている。具体的には、前記ビーム１９の前端に横軸４５（Ｘ軸方向に延びる軸）回りに回動可能なジョイント４６が連結され、このジョイント４６に前記液晶表示パネル４が組み付けられることによって、液晶表示パネル４が上下方向に姿勢変更可能（チルト可能）な状態で前記ビーム１９の先端に支持されている。なお、ここでは液晶表示パネル４のチルト方向は上下方向のみであるが、加えて左右方向にチルト可能であってもよい。また、任意の方向にチルト可能であってもよい。

上記テーブル３０の可動領域よりも上方であって撮像ユニット５０等よりも後側のスペースには、図３に示すように、撮像機構の前記単軸ロボット４０用のドライバ６６が配置されている。具体的には、ベースフレーム１０の両側壁部１４に左右一対の側板６７が固定されるとともにこれら側板６７間に支持プレート６８が横架され、この支持プレート６８上に前記ドライバ６６が固定されている。

一方、検査装置１の内底部には制御ユニット６０が配置されている。すなわち、ベースフレーム１０における前記基台部１２には、図６に示すように、下方および後方に向かって開く凹部が形成されることにより断面楔型の空間１５が設けられており、この空間１５
に制御ユニット６０が配置されている。

制御ユニット６０は、基板保持機構の前記単軸ロボット２０用のドライバ６２、検査装置１を統括的に制御するコントローラ６３および冷却ファン６４等からなり、検査装置１を主にその下面側および後側から覆うアンダカバー６５に一体に固定されている。そして、同図に示すようにベースフレーム１０に対してその下側から前記アンダカバー６５が組み付けられることにより、上記のように制御ユニット６０がベースフレーム１０の前記空間１５に配置されている。

なお、この検査装置１では、この制御ユニット６０および前記ドライバ６６等が本発明に係る制御装置に相当する。

前記コントローラ６３は、論理演算を実行するＣＰＵ、そのＣＰＵを制御する種々のプログラム等を記憶するＲＯＭ、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭおよびＨＤＤ等から構成されている。このコントローラ６３には、液晶表示パネル４、単軸ロボット２０，４０、カメラ５２およびドライバ６２，６６等が電気的に接続されている。そして、基板Ｐの検査時には、予め記憶された動作プログラムに従って基板Ｐの検査を実行すべく単軸ロボット２０，４０や撮像ユニット５０の駆動がこのコントローラ６３により制御されるとともに、カメラ５２の画像データに基づく基板Ｐの良否判定処理および液晶表示パネル４への検査結果の表示制御等がこのコントローラ６３により行われるようになっている。

以上のように構成された検査装置１では、以下のようにして基板Ｐの検査が実施される。

まず、この検査装置１では、起動後、試験が開始されるまで装置１がスタンバイ状態に保たれる。このスタンバイ状態では、前記テーブル３０および撮像ユニット５０はそれぞれホームポジションにセットされ、かつ液晶表示パネル４には所定のメニュー画面が示される。

そして、このスタンバイ状態で、作業者が被検査基板Ｐをテーブル３０にセットし、さらに液晶表示パネル４に触れて前記メニュー画面から「検査開始」項目を選択すると、当該基板Ｐの検査が開始される。なお、テーブル３０への基板Ｐのセットは、被検査面（部品実装面）を上向きにし、上述の通り、前記位置決めプレート３７に基板Ｐを突き当てた状態で前記基板保持フレーム３６，３８の間に基板Ｐを嵌め込むことにより行う。

検査が開始されると、単軸ロボット２０の作動によりテーブル３０がＹ軸方向に移動するとともに単軸ロボット４０の作動により撮像ユニット５０がＸ軸方向に移動し、これに撮像ユニット５０に対して基板Ｐが相対的に位置決めされ、前記照明装置５４による照明光の下、カメラ５２により基板Ｐが撮像される。なお、このような撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像は、例えば予めプログラムされたエリア毎に行われる。つまり、基板Ｐの被検査面は、基板Ｐのサイズや部品の実装密度等の諸条件に応じて予め複数の撮像エリアに分割されており、検査時には、テーブル３０および撮像ユニット５０の相対移動に伴い、予め設定された順番に従って撮像ユニット５０が順次各エリアに対向する位置に位置決めされながらエリア毎に撮像が行われるようになっている。

基板Ｐの全てのエリアの撮像が完了すると、その画像データに基づいて前記コントローラ６３において部品の実装状態の良否が判定され、その結果（検査結果）が前記液晶表示パネル４に表示される。

また、マーキングユニット５５が作動することにより、基板Ｐに設けられる所定のチェック欄に対し判定結果に応じたマークが記入される。具体的には、テーブル３０および撮像ユニット５０の相対移動に伴いマーキングユニット５５が基板Ｐの所定のチェック欄に対向する位置に配置され、この状態でチェックペン５６が駆動されることによりチェック欄に所定のマークが記入される。

マーキングが完了すると、テーブル３０がホームポジションにリセットされ、作業者が出し入れ口６を通じて基板Ｐをテーブル３０から取り外すことにより基板Ｐの検査が終了する。そして、検査終了後は、液晶表示パネル４に検査結果の「良」「否」表示が継続的に行われるとともに次の基板投入を促すメッセージが表示されることとなる。

なお、上記のような基板Ｐの検査にはある程度時間を要するため、通常は、上記検査装置１を複数台並べて設置し、各検査装置１に時間差を持たせて基板Ｐの検査を行わせることにより、一人の作業者で基板Ｐの検査を効率的に進めることを行う。この場合、上記の検査装置１では、図８に示すように複数台（図示の例では５台）の検査装置１を並べて配置することができる。すなわち、検査装置１は、上記の通り前側部分２Ｂの一方側の側面が前後方向に対して傾斜することにより、前側部分２Ｂの幅が先細りに形成されている。そのため、この傾斜した側面部分を互いに当接させた状態で複数の検査装置１を横並びに並べることにより、同図に示すように、複数の検査装置１を、作業者を中心として扇形状に配置することができる。

以上のような検査装置１によると、基板Ｐを保持して移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構およびその画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３、さらに検査結果を表示するとともに各種操作を行うための液晶表示パネル４等が共通のベースフレーム１０に組み込まれて一体化されているため、従来のように、検査装置が別個独立した複数のユニット（試験ユニット、メインユニット）から構成され、さらにメインユニットがデスクトップ型のパーソナルコンピュータから構成されているものと比べると検査装置１がコンパクト化される。特に、この検査装置１では、基板保持機構により基板出し入れ口６と検査部（撮像ユニット５０により基板Ｐを撮像する部分）との間で基板Ｐを搬送するが、上記のように検査部が基板出し入れ口６に対して上方に設けられ、基板Ｐを斜め方向（Ｙ軸方向）に搬送する構成となっているため、基板Ｐを水平方向に同じ距離だけ搬送する場合に比べると、基板保持機構の前後方向の占有スペースが小さくなり、その結果、検査装置１が前後方向にコンパクト化される。そのため、複数の検査装置１をコンパクトに設置できるようになる。

しかも、基板保持機構は、被検査面が搬送方向（Ｙ軸方向）とほぼ平行となる傾斜姿勢で基板Ｐをテーブル３０により支持し、その状態で当該基板を搬送するので、つまり後側が起きあがった状態でテーブル３０により基板Ｐを支持するので、基板取り出し口６において基板Ｐをテーブル３０にセットする際にも基板後側の視認性が良く、容易、かつ確実に基板Ｐをフレーム３６，３８の間に嵌め込んでテーブル３０にセットすることができる。そのため作業性が良く、不完全なセット状態のままで検査が進行するのを有効に防止することができるようになる。

また、この検査装置１では、基板Ｐを斜め方向に搬送するという構成上、基板保持機構（単軸ロボット２０）の下方に形成される楔型の空間（空間１５）に制御ユニット６０を配設し、これにより別途配置スペースを設けることなく制御ユニット６０を検査装置１に組み込んでいる。そのため、上記空間を制御ユニット６０の配設スペースとして利用した合理的な構成が達成され、この点でも検査装置１がコンパクト化されるという利点がある。特に、実施形態の検査装置１では、ベースフレーム１０のうち基板保持機構（単軸ロボット２０）を組み付ける基台部１２に凹部を設け、この凹部により形成される上記空間１
５内に制御ユニット６０を配設しているので、フレーム部材に囲まれた頑丈なスペースに制御ユニット６０が配設されることとなり、当該ユニット６０を保護する上で有効となる。

ところで、上述した検査装置１は、本発明に係る検査装置１の好ましい実施の形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、上記実施形態の検査装置１では、基板Ｐの任意の位置を撮像ユニット５０により撮像するために、テーブル３０をＹ軸方向に、撮像ユニット５０をＸ軸方向にそれぞれ移動させ、これらの相互移動により基板Ｐ上の任意の位置に撮像ユニット５０を配置し得るようにしているが、勿論、基板Ｐ又は撮像ユニット５０の何れか一方側を静止させた状態で他方側だけをＸ軸方向およびＹ軸の両方向に移動させる構成としてもよい。

また、上記実施形態の基板保持機構は、基板Ｐを傾斜姿勢で、つまり被検査面が搬送方向（Ｙ軸方向）と平行となる姿勢で搬送するように構成されているが、基板Ｐを水平姿勢に保ったままで斜め方向（Ｙ軸方向）に搬送する搬送するように構成してもよい。

また、上記実施形態の検査装置１では、基板Ｐを斜め方向に搬送し、撮像ユニット５０により上側から基板Ｐを撮像するという構成上、撮像ユニット５０の後方に比較的広いスペースが形成されるため、ここに撮像機構（単軸ロボット４０）のドライバ６６を配設するようにしているが、このドライバ６６を制御ユニット６０に含め、ベースフレーム１０内の前記空間１５に一体に配設するようにしてもよい。但し、実施形態のように撮像ユニット５０の後方にドライバ６６を配置する構成によると、撮像ユニット５０後方の広いスペースを有効に利用することができ、また、単軸ロボット４０とドライバ６６とを接続するワイヤーハーネス類の配索距離も短くて済むというメリットがある。

また、上記実施形態では、ベースフレーム１０の前記基台部１２に形成される凹部内に制御ユニット６０を配設するようにしているが、基台部１２に中空部を形成してその内部に制御ユニット６０を配設するようにしてもよい。

本発明に係る基板検査装置を示す斜視図である。 基板検査装置を示す平面図である。 基板検査装置の内部構成を示す縦断面図である。 基板検査装置の内部構成を示す平断面図である。 図３のうち液晶表示パネルを支持する部分を抽出した図である。 制御ユニットの組み付け構造を示すベースフレームの断面図である。 基板保持機構のテーブルの構成を示す断面図（図４のVII−VII断面図）である。 複数の基板検査装置を扇形状に並べた状態を示す平面図である。

符号の説明

１ 基板検査装置
２Ａ 後側部分
２Ｂ 前側部分
４ 液晶表示パネル
６ 出入口
１０ ベースフレーム
Ｐ プリント基板
Ｃａ ケーシング

Claims (6)

1. 基板を検査する検査手段と、被検査基板を保持し、所定の基板出し入れ部と前記検査手段による検査部との間で前記基板を搬送する基板搬送手段と、検査結果を表示する表示手段と、を備えた基板検査装置において、
   前記各手段が共通のフレーム部材に一体に組み込まれるとともに、作業者の立ち位置側を装置前側としたときに当該前側から順に前記基板出し入れ部と検査部とが前後方向に並び、かつ検査部が基板出し入れ部に対して上方に配置され、
   前記基板搬送手段が、被検査面を上向きにした状態で、装置前側から後側に向かって斜め後上がりに基板を搬送するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。
2. 前記基板搬送手段は、被検査面が搬送方向とほぼ平行となるように基板を支持し、その状態で当該基板を搬送することを特徴とする基板検査装置。
3. 請求項１又は２に記載の基板検査装置において、
   前記基板搬送手段は、前後一対の基板保持フレームを有し、これらフレーム間に基板を挟持した状態で、かつ一方側のフレームから他方側のフレームに弾性的に前記基板を押圧した状態で保持するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。
4. 請求項１乃至３の何れか一項に記載の基板検査装置において、
   前記基板搬送手段の下方に所定の制御装置が配設されていることを特徴とする基板検査装置。
5. 請求項４に記載の基板検査装置において、
   前記フレーム部材として前後方向に傾斜する傾斜面をもつ基台が設けられ、この基台の前記傾斜面に前記基板搬送手段が組み付けられるとともに、この基台に形成される中空部又は凹部内に前記制御手段が配設されていることを特徴とする基板検査装置。
6. 請求項１乃至３の何れか一項に記載の基板検査装置において、
   前記検査手段は基板の被検査面を撮像装置により撮像するものであって、
   この撮像装置が前記基板搬送手段の上方に配置され、この撮像装置の後側に所定の制御装置が配置されていることを特徴とする基板検査装置。

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