JP2008051753A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の基板検査装置を少ないスペースにコンパクトに配置できるようにする。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板Pを保持し移動させる基板保持機構、基板Pを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ63および検査結果を表示する液晶表示パネル4等を共通のベースフレーム10に組み込み、これらをケーシングCaにより外側から覆った一体構成を有する。また、検査装置1に対して作業者が立つ側を装置前側としたときに、検査装置1のうち前側部分2Bの幅が装置後側から前側に向かって先細りに構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板Pを保持し移動させる基板保持機構、基板Pを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ63および検査結果を表示する液晶表示パネル4等を共通のベースフレーム10に組み込み、これらをケーシングCaにより外側から覆った一体構成を有する。また、検査装置1に対して作業者が立つ側を装置前側としたときに、検査装置1のうち前側部分2Bの幅が装置後側から前側に向かって先細りに構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、プリント基板等の基板に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置に関するものである。
プリント基板に実装された部品の実装状態等を検査する基板検査装置として、従来よりインライン型のものとは別に、作業者のマニュアル操作により個別にプリント基板を検査するアウトライン用の卓上据え置き型(単に卓上型という)の検査装置が知られている。
例えば特許文献1には、この種の卓上型検査装置の一つが開示されている。この検査装置は、プリント基板をセットする試験ユニットと、良否判定等の処理を行うメインユニットとから構成されており、作業者がプリント基板を試験ユニットにセットして開始操作を行うと、当該ユニットに搭載されたカメラにより基板表面の画像が取り込まれてその画像データがメインユニットに転送され、この画像データに基づき良否判定等の処理が行われるとともに、その結果がメインユニットのモニタに表示されるようになっている。
特開2002−181730号公報
上記のような基板の検査にはある程度の時間を要するため、通常は、複数台の卓上型検査装置を一列に並べて設置し、各検査装置に時間差を持たせて検査を実施することによって、一人の作業者の下で検査を効率的に進めることが行われている。
そのため、複数の検査装置を少ないスペースにコンパクトに配置できる方が作業者の移動範囲が少なくて済むため都合がよく、また、省スペース化の上でも望ましい。
しかし、特許文献1に開示されるものでは、検査装置が試験ユニットとメインユニットとの別個独立した二つのユニットから構成され、さらにメインユニットがデスクトップ型のパーソナルコンピュータから構成されているため、複数の検査装置を少ないスペースにコンパクトに配置することは到底望めない。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、複数の検査装置を少ないスペースにコンパクトに配置できる基板検査装置を提供することを目的とするものである。
上記課題を解決するために、本発明は、基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段に保持された基板を検査する検査手段と、検査結果を表示する表示手段と、を備えた基板検査装置において、前記各手段が共通のフレーム部材に一体に組み込まれ、かつ作業者の立ち位置側を装置前側としたときに装置の前後方向と直交する方向の寸法である装置の幅が装置の後側から前側に向かって先細りに形成されているものである(請求項1)。
このような基板検査装置によると、装置を構成する上記各手段が共通のフレーム部材に組み込まれて一体化されているため、複数のユニットが分離している従来のものに比べて装置をコンパクトに設置することが可能になる。特に、装置の幅が先細りに構成されているため、複数の基板検査装置を互いに当接させた状態で設置することにより、作業者を中心とした扇形状の配列でコンパクトに複数の基板検査装置を設置することが可能となる。
なお、請求項の記載において「作業者の立ち位置」とは、基板検査装置に対向する位置であって、主に作業者が装置に対して基板の出し入れ等の作業を行う位置を意味する。
なお、上記のように装置の幅を先細りに設ける場合には、幅方向に対向する側面のうち一方側の側面が前記前後方向に対して平行に設けられ、他方側の側面が前記前後方向に対して傾斜して設けられるのが好適である(請求項2)。すなわち、装置全体が平面視で左右非対称となっているのが好適である。また、前記前後方向における前端部分の装置の幅が先細りに形成され、当該前端部分よりも後側では装置の幅が略一定に形成されているのが好適である(請求項3)。
このような装置構成によれば、複数の基板検査装置を上記のように扇形状に配置できるようにしながらも、内部スペースを広く確保して検査手段や基板保持手段等を支障なく組み込むことが可能となる。また、スイッチ類等の配置スペースも確保し易くなる。
本発明の基板検査装置によれば、基板保持手段、検査手段および表示手段が共通のフレーム部材に組み込まれて一体化されるため装置全体がコンパクトになる。しかも、基板検査装置同士を互いに当接させるだけで複数の装置を容易に扇形状に配置することができるため、作業者を中心とする少ないスペースに複数の装置をコンパクトに設置できるようになる。
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
図1及び図2は、本発明に係る基板検査装置を概略的に示しており、図1は斜視図で、図2は平面図でそれぞれ基板検査装置を示している。
基板検査装置1(以下、検査装置1と略す)は全体が箱形を成し、同図に示すように後側部分2Aとその前端下部から前方に延びる前側部分2Bとを具備した側面視L字型の外観形状を有している。このような検査装置1の外観形状は、後記ベースフレーム10等に固定されるケーシングCaにより形成されている。このケーシングCaは、実際には幾つかのパーツからなるが、以下の説明では便宜上、各パーツを区別することなくケーシングCaとして一体に取り扱うものとする。
この検査装置1のうち前記前側部分2Bには上向きに開口する基板Pの出し入れ口6が設けられている。この出し入れ口6は、ケーシングCaに形成される開口部からなり、検査装置1の幅方向中央(図2では左右方向における中央)に設けられている。
この出し入れ口6の上方であって前記後側部分2Aの前面部分には、液晶表示パネル4(本発明に係る表示手段に相当する)が配置されている。この液晶表示パネル4は、いわゆるタッチパネル型液晶表示器からなり、検査結果等の各種情報がこの液晶表示パネル4上に表示されるとともに、作業者がモニタ表示に指先で触れることにより検査装置1に対して各種操作入力を行えるようになっている。
液晶表示パネル4は、作業者の立ち位置側(図2では下側)に指向する状態で、検査装置1の中央からやや幅方向片側(図2では右側)に偏った位置に配置されている。
前側部分2Bのうち液晶表示パネル4に並ぶ部分にはメンテナンス用の扉9が設けられている。この扉9は、前記ケーシングCaの一部が開閉可能に構成されたもので、必要に応じてこの扉9を開くことにより作業者が検査装置1内部にアクセスして後述するチェックペン56の交換や撮像ユニット50のメンテナンス等を行えるようになっている。
図1および図2中、符号3は、ハンドキャリ用の取っ手であり、ケーシングCaに形成される凹部からなり後側部分2Aの左右側面に設けられている。また、符号8は、非常停止用ボタンであり、前側部分2Bのうち前記出し入れ口6の側方に配置されている。
なお、検査装置1は、これらの図に示すように、その幅が装置後側から作業者の立ち位置である装置前側に向かって先細りに形成されている。詳しくは、前記ケーシングCaにより構成される検査装置1の側面のうち前側部分2Bの一方側の側面(図2では左側の側面)が前後方向に対して所定角度αだけ傾斜して設けられることにより検査装置1の幅が先細りに形成されている。これは複数台の検査装置1をコンパクトに設置して作業性を高めるための工夫であって、この点については後に詳述する。
図3,図4は、検査装置1の具体的な内部構成を示しており、図3は縦断面で、図4は平断面でそれぞれ検査装置1を示している。
これらの図示に示すように、検査装置1はベースフレーム10を有している。このベースフレーム10は、前側から後側(図3,図4では左方から右方)に向かって先上がりに傾斜する傾斜面12aをもつ基台部12と、この基台部12の左右両端からそれぞれ立ち上がる側壁部14とを一体に備えた構造を有しており、例えばアルミダイカスト等の鋳物により一体成形されている。
このベースフレーム10には、被検査基板Pを保持し、かつこの基板Pを前記傾斜面12aに沿って移動させる基板保持機構と、この基板保持機構に保持された被検査基板Pを撮像するための撮像機構と、必要に応じて基板Pに対してチェック(マーク)を入れるためのマーキング機構等が組み付けられている。
基板保持機構は、基台部12の前記傾斜面12aに固定され、スライダ22を前後方向であって、かつ前記傾斜面12aに沿った方向(以下、この方向をY軸方向という)に移動させるリニアモータ式の単軸ロボット20と、前記スライダ22に組み付けられるテーブル30とから構成されている。
テーブル30は基板Pを保持するもので、被検査面、ここでは部品実装面を上向きにし、かつ傾斜面12aと略平行にした状態で基板Pを保持し、前記単軸ロボット20の作動により前記出し入れ口6に対向するホームポジション(図3に示す位置)と後述する撮像ユニット50に対向する検査ポジションとに亘ってY軸方向に移動可能となっている。
このテーブル30は、前記スライダ22に固定されるプレート32と、このプレート32に組み付けられて左右方向(以下、この方向をX軸方向という)に延びる前後一対の基板保持フレーム36,38(前側フレーム36,後側フレーム38という)とを有しており、これらフレーム36,38により被検査基板Pを挟持した状態で保持する構成となっている。詳しくは、両フレーム36,38のうち後側フレーム38に、Y軸方向に変位可能で、かつ圧縮コイルバネ等の弾性部材により前側に付勢される可動部39が設けられ、この可動部39と前側フレーム36との対向する部分に、それぞれ階段状の基板受部が形成されている。そして、これら基板受部に基板Pの前後縁部を載せ、当該基板Pを前側フレーム36と可動部39との間に嵌め込むと(図3参照)、圧縮コイルバネ等の弾性力により基板Pが両フレーム36,38の間に弾性的に挟み込まれる、すなわち、前側フレーム36を基準として基板PがY軸方向に位置決めされた状態でテーブル30に保持されるようになっている。また、前側フレーム36の一端には、位置決めプレート36aが設けられており、このプレート36aに基板Pの一端(左右方向の一端)を当接させることにより、基板PがX軸方向に位置決めされた状態でテーブル30に保持されるようになっている。
なお、両フレーム36,38の間隔は基板サイズに応じて可変となっている。具体的には、前記プレート32の後端にエンドプレート34が固定され、このエンドプレート34と前記前側フレーム36とに亘って互いに平行な左右一対のガイドバー35が固定されている。そして、これらガイドバー35に対して前記後側フレーム38がスライド可能に装着されるとともに、前記ガイドバー35に対して後側フレーム38を任意の位置でロックするための図外のロック手段が設けられている。つまり、前側フレーム36を基準として後側フレーム38をスライドさせ、前記ロック手段により後側フレーム38を所望の位置でロックすることによって両フレーム36,38の間隔を変更できる構成となっている。
撮像機構は、スライダ42をX軸方向に移動させる単軸ロボット40と、この単軸ロボット40の前記スライダ42に組み付けられる撮像ユニット50およびマーキングユニット55等とから構成されている。
単軸ロボット40は、基板保持機構を構成する前記単軸ロボット20と同様にリニアモータ式の単軸ロボットからなり、前記両側壁部14に亘って横架された状態でベースフレーム10に固定されている。
撮像ユニット50は、CCDあるいはCMOSイメージセンサ等のエリアセンサからなるカメラ52と照明装置54等とから構成されており、テーブル30に保持された被検査基板Pの表面を、その上方であって、かつ当該表面に対して直交する方向から撮像するように構成されている。
マーキングユニット55は、マークを記載するためのチェックペン56と、このチェックペン56を進退駆動する駆動機構とから構成されており、この駆動機構により、チェックペン56を、テーブル30に保持された基板Pに対して当接させる作動位置(図3中二点鎖線に示す位置)とこの位置から上方に退避する退避位置(図3中実線で示す位置)とに亘って進退駆動する構成となっている。なお、詳細図を省略しているが、上記駆動機構としては、例えばモータによりボールネジ軸を回転させることによりチェックペン56を一軸方向に進退移動させるいわゆるボールネジ機構等が適用されている。
マーキングユニット55は、図3および図4に示すように、連結アーム58を介して撮像ユニット50に固定されている。これにより撮像ユニット50と一体的にY軸方向に移動するようになっている。なお、マーキングユニット55の可動領域のうちその一端(図4では上端;同図中に二点鎖線で示す位置)はホームポジションとされており、この位置ではちょうどマーキングユニット55が上述した扉9に対応するようになっている。つまり、上述の通りマーキングユニット55をホームポジションに配置した状態で扉9を開くことによって作業者が容易にチェックペン56の交換等を行えるようになっている。
検査装置1の内部において、ベースフレーム10の上方には、さらに前後方向に延びるビーム19が設けられている。
このビーム19は、図5に示すように、ベースフレーム10の両側壁部14に亘って固定された前後一対の門型のサブフレーム16,18に固定されている。そして、このビーム19の先端に前記液晶表示パネル4が組み付けられることにより、図3に示すように、前後方向において、液晶表示パネル4が前記撮像ユニット50による基板Pの撮像位置と前記出し入れ口6との略中間部分であって、かつ前記撮像ユニット50の前方に配置されている。なお、当実施形態では、前記ベースフレーム10、サブフレーム16,18およびビーム19等が本発明のフレーム部材に相当する。
液晶表示パネル4は、ビーム19に対してチルト可能に支持されている。具体的には、前記ビーム19の前端に横軸45(X軸方向に延びる軸)回りに回動可能なジョイント46が連結され、このジョイント46に前記液晶表示パネル4が組み付けられることによって、液晶表示パネル4が上下方向に姿勢変更可能(チルト可能)な状態で前記ビーム19の先端に支持されている。なお、ここでは液晶表示パネル4のチルト方向は上下方向のみであるが、加えて左右方向にチルト可能であってもよい。また、任意の方向にチルト可能であってもよい。
上記テーブル30の可動領域よりも上方であって撮像ユニット50等よりも後側のスペースには、図3に示すように、撮像機構の前記単軸ロボット40用のドライバ66が配置されている。具体的には、ベースフレーム10の両側壁部14に左右一対の側板67が固定されるとともにこれら側板67間に支持プレート68が横架され、この支持プレート68上に前記ドライバ66が固定されている。
一方、検査装置1の内底部には制御ユニット60が配置されている。すなわち、ベースフレーム10における前記基台部12には、図6に示すように、下方および後方に向かって開く凹部が形成されることにより断面楔型の空間15が設けられており、この空間15に制御ユニット60が配置されている。
制御ユニット60は、基板保持機構の前記単軸ロボット20用のドライバ62、検査装置1を統括的に制御するコントローラ63および冷却ファン64等からなり、検査装置1を主にその下面側および後側から覆うアンダカバー65に一体に固定されている。そして、同図に示すようにベースフレーム10に対してその下側から前記アンダカバー65が組み付けられることにより、上記のように制御ユニット60がベースフレーム10の前記空間15に配置されている。
なお、コントローラ63は、論理演算を実行するCPU、そのCPUを制御する種々のプログラム等を記憶するROM、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するRAMおよびHDD等から構成されている。このコントローラ63には、液晶表示パネル4、単軸ロボット20,40、カメラ52およびドライバ62,66等が電気的に接続されている。そして、基板Pの検査時には、予め記憶された動作プログラムに従って基板Pの検査を実行すべく単軸ロボット20,40や撮像ユニット50の駆動がこのコントローラ63により制御されるとともに、カメラ52の画像データに基づく基板Pの良否判定処理および液晶表示パネル4への検査結果の表示制御等がこのコントローラ63により行われるようになっている。つまり、この検査装置1では、前記撮像機構やこのコントローラ63等が本発明に係る検査手段に相当する。
以上のように構成された検査装置1では、以下のようにして基板Pの検査が実施される。
まず、この検査装置1では、起動後、試験が開始されるまで装置1がスタンバイ状態に保たれる。このスタンバイ状態では、前記テーブル30および撮像ユニット50はそれぞれホームポジションにセットされ、かつ液晶表示パネル4には所定のメニュー画面が示される。
そして、このスタンバイ状態で、作業者が被検査基板Pをテーブル30にセットし、さらに液晶表示パネル4に触れて前記メニュー画面から「検査開始」項目を選択すると、当該基板Pの検査が開始される。なお、テーブル30への基板Pのセットは、被検査面(部品実装面)を上向きにし、上述の通り、前記位置決めプレート36aに基板Pを突き当てた状態で前記基板保持フレーム36,38の間に基板Pを嵌め込むことにより行う。
検査が開始されると、単軸ロボット20の作動によりテーブル30がY軸方向に移動するとともに単軸ロボット40の作動により撮像ユニット50がX軸方向に移動し、これにより撮像ユニット50に対して基板Pが相対的に位置決めされ、前記照明装置54による照明光の下、カメラ52により基板Pが撮像される。なお、このような撮像ユニット50による基板Pの撮像は、例えば予めプログラムされたエリア毎に行われる。つまり、基板Pの被検査面は、基板Pのサイズや部品の実装密度等の諸条件に応じて予め複数の撮像エリアに分割されており、検査時には、テーブル30および撮像ユニット50の相対移動に伴い、予め設定された順番に従って撮像ユニット50が順次各エリアに対向する位置に位置決めされながらエリア毎に撮像が行われるようになっている。
基板Pの全てのエリアの撮像が完了すると、その画像データに基づいて前記コントローラ63において部品の実装状態の良否が判定され、その結果(検査結果)が前記液晶表示パネル4に表示される。
また、マーキングユニット55が作動することにより、基板Pに設けられる所定のチェック欄に対し判定結果に応じたマークが記入される。具体的には、テーブル30および撮像ユニット50の相対移動に伴いマーキングユニット55が基板Pの所定のチェック欄に対向する位置に配置され、この状態でチェックペン56が駆動されることにより前記チェック欄に所定のマークが記入される。
マーキングが完了すると、テーブル30がホームポジションにリセットされ、作業者が出し入れ口6を通じて基板Pをテーブル30から取り外すことにより基板Pの検査が終了する。そして、検査終了後は、液晶表示パネル4に検査結果の「良」「否」表示が継続的に行われるとともに次の基板投入を促すメッセージが表示されることとなる。
なお、上記のような基板Pの検査にはある程度時間を要するため、通常は、上記検査装置1を複数台並べて設置し、各検査装置1に時間差を持たせて基板Pの検査を行わせることにより、一人の作業者で基板Pの検査を効率的に進めることを行う。この場合、上記の検査装置1では、図7に示すように複数台(図示の例では5台)の検査装置1を並べて配置することができる。すなわち、検査装置1は、上記の通り前側部分2Bの一方側の側面が前後方向に対して傾斜することにより、前側部分2Bの幅が先細りに形成されている。そのため、この傾斜した側面部分を互いに当接させた状態で複数の検査装置1を横並びに並べることにより、同図に示すように、複数の検査装置1を、作業者を中心として扇形状に配置することができる。
以上説明したように、この検査装置1では、基板Pを保持して移動させる基板保持機構、基板Pを撮像する撮像機構およびその画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ63、さらに検査結果を表示するとともに各種操作を行うための液晶表示パネル4等が共通のベースフレーム10に一体に組み込まれているため、従来のように、検査装置が別個独立した複数のユニット(試験ユニット、メインユニット)から構成され、さらにメインユニットがデスクトップ型のパーソナルコンピュータから構成されているものと比べると、検査装置1をコンパクトに設置することができる。そのため、上記のように複数の検査装置1を使用する場合でも、これらの検査装置1を少ないスペースにコンパクトに設置して作業を進めることができる。
特に、この検査装置1では、上述の通り複数の検査装置1を互いに当接させた状態で扇形状に配置することができるので、作業者を中心としてよりコンパクトに複数の検査装置1を配置できる。そして、このような配置によると、各検査装置1に対する作業者のアクセス距離を略均一化することができるため、例えば横並びに真っ直ぐに検査装置1を並べる場合に比べると、作業者は、より能率的に検査作業を進めることができるというメリットがある。
なお、上述した検査装置1は、本発明に係る検査装置1の好ましい実施の形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、実施形態の検査装置1では、前側部分2Bのうち一方側の側面部分だけが前後方向に対して傾斜した左右非対称な構成となっているが、前側部分2Bの両方の側面部分が傾斜した左右対称な構成であってもよい。この構成によれば、図7に示すように複数の検査装置1を扇形状に並べる場合の当該配列の曲率を大きくすることができる。
また、実施形態の検査装置1では、検査装置1の側面部分のうち前側部分2Bだけが傾斜した構成となっているが、勿論、後側部分2Aから前側部分2Bに亘って連続する傾斜面となる構成であってもよい。この場合、上記と同様に検査装置1の両方の側面部分が傾斜した左右対称な構成であってもよい。このような構成によれば、図7に示すように複数の検査装置1を扇形状に並べる場合に隣接するもの同士を隙間無く密着させることが可能となる。但し、この構成の場合には、検査装置1の側面部分のうち傾斜する部分が増える分、実施形態のものに比べて検査装置1の内部スペースが狭くなることが考えられるため、上記基板保持機構等を支障なく余裕をもって組み込む上では、実施形態のように側面部分のうち傾斜する部分を極力小さくする方が好ましい。
また、実施形態の検査装置1では、テーブル30が水平面に対して傾斜した方向(Y軸方向)に移動するように基板保持機構が構成されているが、勿論、水平方向に移動する構成であってもよい。また、実施形態では、基板Pの被検査面が上向きになるようにテーブル30に基板Pをセットしておき、撮像ユニット50により基板Pの上方から被検査面を撮像するようにしているが、例えば、被検査面が側方(図4では左方又は右方)を向くように基板Pをテーブル30にセットし、撮像ユニット50により被検査面をその側方から撮像するように基板保持機構および撮像機構を構成してもよい。
また、実施形態では、基板Pの任意の位置を撮像ユニット50により撮像するために、テーブル30をY軸方向に、撮像ユニット50をX軸方向にそれぞれ移動させ、これらの相互移動により基板P上の任意の位置に撮像ユニット50を配置し得るようにしているが、勿論、基板P又は撮像ユニット50の何れか一方側を静止させた状態で他方側だけをX軸方向およびY軸の両方向に移動させる構成としてもよい。
1 基板検査装置
2A 後側部分
2B 前側部分
4 液晶表示パネル
6 出入口
10 ベースフレーム
P プリント基板
Ca ケーシング
2A 後側部分
2B 前側部分
4 液晶表示パネル
6 出入口
10 ベースフレーム
P プリント基板
Ca ケーシング
Claims (3)
- 基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段に保持された基板を検査する検査手段と、検査結果を表示する表示手段と、を備えた基板検査装置において、
前記各手段が共通のフレーム部材に一体に組み込まれ、かつ作業者の立ち位置側を装置前側としたときに装置の前後方向と直交する方向の寸法である装置の幅が装置の後側から前側に向かって先細りに形成されている
ことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
幅方向に対向する側面のうち一方側の側面が前記前後方向に対して平行に設けられ、他方側の側面が前記前後方向に対して傾斜して設けられることにより装置の幅が先細りに形成されている
ことを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1又は2に記載の基板検査装置において、
前記前後方向における前端部分の装置の幅が先細りに形成され、当該前端部分よりも後側では装置の幅が略一定に形成されている
ことを特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006230560A JP2008051753A (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 基板検査装置 |
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EP07793043A EP2058646A1 (en) | 2006-08-28 | 2007-08-28 | Substrate inspecting apparatus |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2006230560A JP2008051753A (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 基板検査装置 |
Publications (1)
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JP2008051753A true JP2008051753A (ja) | 2008-03-06 |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101557783B1 (ko) | 2014-06-19 | 2015-10-07 | 주식회사 미르기술 | 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치 |
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2006
- 2006-08-28 JP JP2006230560A patent/JP2008051753A/ja active Pending
Cited By (1)
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KR101557783B1 (ko) | 2014-06-19 | 2015-10-07 | 주식회사 미르기술 | 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치 |
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