JP7311608B2 - 対基板作業システム - Google Patents
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Description
XY平面に配置された基板に対して作業を行う対基板作業システムであって、
前記XY平面を移動する移動装置と、
前記移動装置に取り付けられ、前記XY平面上の対象物にR,G,Bのうち少なくとも2つの単色光を独立して照射可能な照明装置と、
前記移動装置に取り付けられ、前記照明装置で照射された前記対象物の単色画像を取得する単色カメラと、
前記対象物に基づいて前記少なくとも2つの単色光の中から1つ又は複数の単色光を選択し、前記選択された単色光が1つだったならば、前記1つの単色光で照射された前記対象物の単色画像を取得するよう前記照明装置及び前記単色カメラを制御すると共に前記対象物の単色画像を対象物検査用画像に設定し、前記選択された単色光が複数だったならば、前記複数の単色光でそれぞれ独立して照射された前記対象物の各単色画像を取得するよう前記照明装置及び前記単色カメラを制御すると共に前記各単色画像を合成した合成画像を前記対象物検査用画像に設定する画像処理装置と、
を備えたものである。
Claims (7)
- XY平面に配置された基板に対して作業を行う対基板作業システムであって、
前記XY平面を移動する移動装置と、
前記移動装置に取り付けられ、前記XY平面上の対象物にR,G,Bのうち少なくとも2つの単色光を独立して照射可能な照明装置と、
前記移動装置に取り付けられ、前記照明装置で照射された前記対象物の単色画像を取得する単色カメラと、
前記対象物に基づいて前記少なくとも2つの単色光の中から1つ又は複数の単色光を選択し、前記選択された単色光が1つだったならば、前記1つの単色光で照射された前記対象物の単色画像を取得するよう前記照明装置及び前記単色カメラを制御すると共に前記対象物の単色画像を対象物検査用画像に設定し、前記選択された単色光が複数だったならば、前記複数の単色光でそれぞれ独立して照射された前記対象物の各単色画像を取得するよう前記照明装置及び前記単色カメラを制御すると共に前記各単色画像を合成した合成画像を前記対象物検査用画像に設定する画像処理装置と、
を備え、
前記画像処理装置は、前記選択された単色光が1つだった場合に、定期的に、前記複数の単色光でそれぞれ独立して照射された前記対象物の各単色画像を取得するよう前記照明装置及び前記単色カメラを制御すると共に前記各単色画像を合成した合成画像を保存する、対基板作業システム。 - 前記画像処理装置は、前記対象物検査用画像を画像表示装置に表示する、
請求項1に記載の対基板作業システム。 - 前記画像処理装置は、前記対象物の背景からの前記対象物の識別性に基づいて、前記少なくとも2つの単色光の中から1つ又は複数の単色光を選択する、
請求項1又は2に記載の対基板作業システム。 - 前記照明装置は、前記対象物にR,G,Bの3つの単色光を独立して照射可能であり、
前記画像処理装置は、前記対象物に基づいて前記R,G,Bの3つの単色光の中から1つの単色光を設定するか又はすべての単色光を選択する、
請求項1~3のいずれか1項に記載の対基板作業システム。 - 前記画像処理装置は、前記対象物検査用画像における前記対象物の画像認識の結果に基づいて前記対象物の良否を判定し、前記対象物が不良だった場合には前記対象物のR,G,Bの3つの単色光のすべての単色画像及び/又は前記すべての単色画像を合成した合成画像を記憶装置に保存する、
請求項4に記載の対基板作業システム。 - 前記画像処理装置は、前記対象物に関連する事象が変化した場合には前記対象物のR,G,Bの3つの単色光のすべての単色画像及び/又は前記すべての単色画像を合成した合成画像を記憶装置に保存する、
請求項4又は5に記載の対基板作業システム。 - 前記対象物は、前記基板に付されたマーク、前記基板に実装された部品、前記基板へ部品を供給する部品供給装置に配置された部品、又は前記基板に印刷されたはんだである、
請求項1~6のいずれか1項に記載の対基板作業システム。
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