JP2002014047A - 表示用パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表示用パネルと直交する方向における検
査ステージの高さ寸法を可能な限り小さくすること 【解決手段】 検査装置は、本体と、仮想的な四角形の
少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つ
のプローブユニットであって対応する辺に沿って伸びる
板状のプローブベース及び該プローブベースに配置され
た複数のプローブブロックをそれぞれ備えるプローブユ
ニットと、該プローブユニットに個々に対応され、対応
するプローブユニットを検査すべき表示用パネルと交差
する第１の方向へ移動させる少なくとも２つの移動装置
とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用パネルの通電試験を行う検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】四角形の隣り合う２つの辺に対応する縁
部のそれぞれに複数の電極を配置した液晶表示パネルの
ような表示用パネルは、一般に、仕様書通りに製造され
たか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、一
般に、表示用パネルの電極に押圧される接触子を有する
複数のプローブを備えた１以上のプローブユニットと、
検査すべき表示用パネルを受ける検査ステージ（測定ス
テージ）とを本体に配置した検査装置（プローバ）を用
いて行われる。

【０００３】プローブユニットは、先端を接触子とする
ポゴピンタイプのプローブ、針先を接触子とするニード
ルタイプ又はブレードタイプのプローブ（プローブ
針）、若しくは、電気絶縁性のフィルムの一方の面に形
成された複数の配線の先端部又はこの先端部に形成され
た突起電極を接触子とするフィルムタイプのプローブ
（プローブ要素）をプローブとして用いている。

【０００４】本体は、表示用パネルの検査（測定）をす
る検査部（測定部）と、検査ステージに対する前記表示
用パネルの受け渡しをするローダ部とを備える。検査ス
テージは、検査部とローダ部とに移動可能である。プロ
ーブユニットは、検査部に配置されて、複数のねじ部材
により本体に移動不能に装着されている。

【０００５】検査ステージは、受けた表示用パネルをこ
れと平行の面内で二次元的（Ｘ及びＹ方向）に移動させ
ると共に、表示用パネルと直交する方向（Ｚ方向）へ伸
びる軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、表
示用パネルは、その電極をプローブの接触部に正しく位
置決められる。

【０００６】検査ステージは、また、受けた表示用パネ
ルをこれと直交する方向へ移動させる。これにより、表
示用パネルは、その電極をプローブの接触子に押圧され
ることにより、プローブにオーバードライブを作用さ
せ、その状態で通電試験をされ、その後電極をプローブ
から離される。

【０００７】

【解決しようとする課題】しかし、従来の検査装置で
は、表示用パネルとプローブユニットとを表示用パネル
と直交する方向へ相対的に移動させる機構を検査ステー
ジに設けているから、表示用パネルと直交する方向にお
ける検査ステージの高さ寸法が大きく、その結果プロー
ブユニットに対する表示用パネルの位置が不安定であ
る。

【０００８】それゆえに、表示用パネルの検査装置にお
いては、表示用パネルと直交する方向における検査ステ
ージの高さ寸法を可能な限り小さくすることが望まし
い。

【０００９】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係る検査装置は、
本体と、仮想的な四角形の少なくとも２つの辺に個々に
対応された少なくとも２つのプローブユニットであって
対応する辺に沿って伸びる板状のプローブベース及び該
プローブベースに配置された複数のプローブブロックを
それぞれ備えるプローブユニットと、該プローブユニッ
トに個々に対応され、対応するプローブユニットを検査
すべき表示用パネルと交差する第１の方向へ移動させる
少なくとも２つの移動装置とを含む。

【００１０】通電試験時、表示用パネルの電極がプロー
ブユニットに設けられたプローブの接触子に対し所定の
状態に位置決められた状態において、各プローブユニッ
トが第１の方向に移動されて、表示用パネルの電極とプ
ローブの接触子とが相互に押圧される。この状態で検査
が行われる。検査が終了すると、各プローブユニットが
前記と逆の方向に個々に移動されて、表示用パネルの電
極とプローブの接触子とが相互に離される。

【００１１】プローブユニットを表示用パネルに対し第
１の方向に個々に移動させる検査装置は、表示用パネル
とプローブユニットとを第１の方向へ相対的に移動させ
る移動機構を検査ステージに設ける必要がない。これに
より、第１の方向における検査ステージの高さ寸法が小
さくなり、プローブユニットに対する表示用パネルの位
置が安定する。

【００１２】また、各プローブユニットが対応する移動
装置により表示用パネルに対し第１の方向に移動される
検査装置は、移動装置による第１の方向へのプローブユ
ニットの移動量をプローブユニット毎に設定することが
できる。これにより、全てのプローブを共通のプローブ
ベースに配置した場合に比べ、プローブ相互間のオーバ
ードライブ量及び針圧の差を小さくすることができる。

【００１３】さらに、各プローブユニットが複数のプロ
ーブブロックをプローブベースに配置していると、オー
バードライブ及び針圧をプローブブロック毎に設定する
場合に比べ、オーバードライブ及び針圧の設定作業が容
易になる。

【００１４】各移動装置は、対応するプローブユニット
を受ける可動テーブルであって前記対応する辺の方向に
伸びる可動テーブルと、該可動テーブルを前記本体に装
着している１以上のリニアガイドと、前記可動テーブル
を前記第１の方向へ移動させる移動機構とを備えること
ができる。

【００１５】前記リニアガイドは、前記第１の方向へ伸
びるガイドレールであって前記本体及び前記可動テーブ
ルのいずれか一方に組み付けられたガイドレールと、該
ガイドレールに前記第１の方向へ移動可能に嵌合された
ガイドであって前記本体及び前記可動テーブルの他方に
組み付けられたガイドとを含むことができる。

【００１６】検査装置は、さらに、前記表示用パネルを
受ける検査ステージを含み、該検査ステージは、前記表
示用パネルを受けるチャックトップと、該チャックトッ
プが組み付けられたバックライトユニットと、前記チャ
ックトップ及び前記バックライトユニットを前記パネル
と平行の面内で二次元的に移動させると共に前記第１の
方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるアライメ
ントステージとを備えることができる。そのようにすれ
ば、バックライトユニットを備えた点灯検査装置として
用いることができるにも関わらず、第１の方向における
検査ステージの高さ寸法をより小さくすることができ
る。

【００１７】前記本体は、前記表示用パネルの検査をす
る検査部と、前記検査ステージに対する前記表示用パネ
ルの受け渡しをするローダ部とを備え、前記検査ステー
ジは前記検査部と前記ローダ部とに移動可能であり、前
記プローブユニットは前記検査部に配置されていてもよ
い。

【００１８】少なくとも一方のプローブユニットは、さ
らに、そのプローブベースを前記本体に対し前記プロー
ブベースの長手方向へ移動させる第２の移動機構を備え
ることができる。そのようにすれば、第２の移動機構を
備えるプローブベースの長手方向における他方のプロー
ブユニットの接触子に対する一方のプローブユニットの
接触子の位置を調整することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１から図７を参照するに、検査
装置１０は、液晶を封入した液晶表示パネルを検査すべ
き表示用パネル１２とする目視点灯検査装置として用い
られる。表示用パネル１２は、長方形の平面形状を有し
ており、また図示してはいないが長方形の対向する２つ
の長辺（Ｘ辺）とそれら両辺の間の１つの短辺（Ｙ辺）
とにそれぞれ複数の電極を有する。しかし、表示用パネ
ルの電極が形成される辺は、表示用パネルの種類により
異なる。

【００２０】検査装置１０は、長尺の複数のチャンネル
部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレームに取
り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより、筐
体の形に形成された本体１４を含む。本体１２の前面上
部は、斜め上向きの傾斜面部１６とされている。

【００２１】図１に示すように、本体１４は、表示用パ
ネル１２の検査部（すなわち、測定部）２０とされた左
側領域と、表示用パネル１２の受け渡しのためのローダ
部２２とされた右側領域とに分けられている。本体１４
は、表示用パネル１２の形状に類似した長方形の開口２
４及び２６を傾斜面部１６にあって検査部２０及びロー
ダ部２２にそれぞれ有し、また後に詳細に説明する遮光
板２８をローダ部２２に有する。

【００２２】図３から図８に示すように、本体１２内に
は、検査ステージ（測定ステージ）３０が配置されてい
る。検査ステージ３０は、表示用パネル１２を本体１４
の傾斜面部１６とほぼ平行の斜め上向きの状態に受けた
状態で、搬送ステージ３２により検査部２０とローダ部
２２とに選択的に移動される。表示用パネル１２は、そ
の長手方向を左右方向とした状態に、検査ステージ３０
に受けられる。検査ステージ３０への表示用パネル１２
の受け渡しは、作業者によりローダ部２２において行わ
れる。

【００２３】以下、説明を簡略にし、かつ、容易に理解
し得るようにするために、検査ステージ３０に受けられ
た表示用パネル１２と平行の面内における左右方向及び
斜め上下の方向（斜め前後方向）をそれぞれＸ方向及び
Ｙ方向といい、その表示用パネル１２に垂直の方向をＺ
方向という。また、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向へ伸びる
軸線を、それぞれ、Ｘ軸線、Ｙ軸線及びＺ軸線という。

【００２４】検査ステージ３０は、表示用パネル１２を
受けるチャックトップ３４と、チャックトップ３４が組
み付けられたバックライトユニット３６と、チャックト
ップ３４及びバックライトユニット３６を表示用パネル
１２と平行の面内で二次元的に移動させると共にＺ軸線
の周りに角度的に回転させるアライメントステージ３８
とを備える。検査ステージ３０及び搬送ステージ３２に
ついては、後に詳細に説明する。

【００２５】図１から図４に示すように、検査部２０に
は、複数の検査（測定）用プローブユニット４０と、各
プローブユニット４０に個々に対応されて対応するプロ
ーブユニット４０をＺ方向に移動させるＺ移動装置４２
とが傾斜面部１６の開口２４に配置されている。プロー
ブユニット４０は、表示用パネル１２の辺のうち、電極
が設けられた辺に対応する箇所のそれぞれに配置されて
いる。

【００２６】図示の例では、プローブユニット４０及び
Ｚ移動装置４２は、長方形の対向する２つの長辺（Ｘ
辺）及び１つの短辺（Ｙ辺）に配置されている。また、
他の短辺（Ｙ辺）にもＺ移動装置４２が配置されてい
る。しかし、プローブユニット４０及びＺ移動装置４２
は、検査すべき表示用パネル１２の電極の配置位置及び
検査の種類に応じて、１つの辺、隣り合う２つの辺又は
３つの辺に配置される。

【００２７】各プローブユニット４０は、複数のプロー
ブブロック４４を矩形の板状プローブベース４６に取り
付け、プローブベース４６を移動装置４２に備えられた
板状の可動テーブル（ベースプレート）４８の上に配置
している。可動テーブル４８については、移動装置４２
と共に、後に詳細に説明する。

【００２８】各プローブブロック４４は、その下側に並
列的に組み付けられた複数のプローブを有する。各プロ
ーブは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプロー
ブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタ
イプのプローブ（プローブ針）、若しくは、電気絶縁性
のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部
又はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフ
ィルム状プローブ（プローブ要素）である。そのような
各プローブブロックの１つとして、特開平１０−１３２
８５３号公報に記載されている公知のものを用いること
ができる。

【００２９】Ｘ辺に配置されたプローブユニット４０の
各プローブベース４６は、少なくともプローブブロック
４４が可動テーブル４８から本体１４内に突出するよう
に、Ｘ方向へ伸びるリニアガイド５０によりＸ方向へ移
動可能に可動テーブル４８に組み付けられていると共
に、Ｘ駆動機構５２によりＸ方向における位置を調整さ
れる。

【００３０】各リニアガイド５０は、Ｘ方向へ伸びるガ
イドレールと、該ガイドレールにこれの長手方向へ移動
可能に嵌合されたスライドガイドとを備える市販されて
いる一般的なリニアガイドである。図示の例では、ガイ
ドレールは可動テーブル４８に組み付けられており、ス
ライドガイドはプローブベース４６に組み付けられてい
る。しかし、ガイドレールをプローブベース４６に組み
付け、スライドガイドを可動テーブル４８に組み付けて
もよい。

【００３１】Ｙ辺に配置された各プローブユニット４０
は、少なくともプローブブロック４４が可動テーブル４
８から本体１４内に突出するように、プローブベース４
６においてスペーサ４６ａにより可動テーブル４８に組
み付けられている。

【００３２】各Ｘ駆動機構５２は、Ｘ軸モータ５４を可
動テーブル４８に組み付け、Ｘ方向へ伸びるリードスク
リュー５６をＸ軸モータ５４に結合させ、リードナット
５８をプローブベース４６に組み付けると共に、リード
スクリュー５６に螺合させている。

【００３３】各Ｘ駆動機構５２は、リードスクリュー５
６をＸ軸モータ５４により回転させて、リードスナット
５８をＸ方向へ移動させることにより、プローブベース
４６を可動テーブル４８に対してＸ方向へ変位させる。
これにより、長方形の短辺に配置されたプローブユニッ
ト４０の接触子に対する長辺に配置されたプローブユニ
ット４０の接触子の位置を調整することができる。

【００３４】Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０
は、その長手方向の各端部にテレビカメラ６０を有して
おり、またＸ辺に配置された各プローブユニット４０
は、Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０の側と反対
の側の端部にテレビカメラ６０を有している。

【００３５】各テレビカメラ６０は、表示用パネル１２
に形成されているアライメントマークを撮影するよう
に、プローブベース４６に配置されている。テレビカメ
ラ６０の出力信号は、表示用パネル１２とプローブユニ
ット４０との相対的な位置決め（アライメント）に用い
られる。位置決めは、表示用パネル１２のアライメント
マークがテレビカメラ６０の視野内の所定の座標位置に
なるように、表示用パネル１２を検査ステージ３０のア
ライメントステージ３８により移動させることにより行
われる。

【００３６】各Ｚ移動装置４２は、前記した可動テーブ
ル４８のほかに、さらに、可動テーブル４８を本体１４
に装着している一対のリニアガイド６２と、可動テーブ
ル４８を第１の方向へ移動させるＺ移動機構６４とを備
える。

【００３７】各可動テーブル４８は、長方形の対応する
辺の方向に伸びる板状部材から形成されており、またリ
ニアガイド６２及びＺ移動機構６４により本体１４の傾
斜面部１６と平行に支持されている。

【００３８】各リニアガイド６２は、Ｚ方向へ伸びるガ
イドレール６６と、ガイドレール６６にＺ方向へ移動可
能に嵌合されたスライドガイド６８とを含む一般的なリ
ニアガイドである。ガイドレール６６は開口２４を形成
する面に組み付けられており、スライドガイド６８は可
動テーブル４８に組み付けられている。

【００３９】各Ｚ移動機構６４は、開口２４を形成する
面に配置された中空モータ７０と、中空モータ７０の中
空部に螺合されたリードスクリュー７２とにより形成す
ることができる。中空モータ７０はその回転軸線がＺ方
向へ伸びるように傾斜面部１６に組み付けられており、
リードスクリュー７２はＺ方向へ伸びるように可動テー
ブル４８に回転可能に組み付けられている。

【００４０】待機時、検査ステージ３０の移動時及び検
査ステージ３０への表示用パネル１２の受け渡し時、Ｚ
移動機構６４は、各プローブユニット４０を検査ステー
ジ３０及びそれに受けられた表示用パネル１２から離し
ている。

【００４１】しかし、検査ステージ３０が表示用パネル
１２を受けた状態で、検査部２０に移動され、その状態
で表示用パネル１２とプローブユニット４０との位置決
めをするとき、Ｚ移動機構６４はプローブユニット４０
を１回以上検査ステージ３０に接近させる。

【００４２】また、上記位置決めが終了すると、Ｚ移動
機構６４は、プローブユニット４０を検査ステージ３０
に向けて移動させて、プローブの接触子を表示用パネル
１２の電極に押圧する。この状態で通電試験が行われ
る。

【００４３】通電試験が終了すると、Ｚ移動機構６４
は、プローブユニット４０を検査ステージ３０に対して
Ｚ方向へ移動させて、待機位置に待避させる。

【００４４】図１に示すように、操作盤７４が本体１４
の近傍に配置されており、また目視検査の補助装置とし
て用いる光学顕微鏡７６と、自動点灯検査装置の場合に
テレビカメラのような撮像装置により撮影した表示用パ
ネル１２の画像を映し出すために用いられるテレビジョ
ン受像機（モニタ）７８とが配置されている。

【００４５】操作盤７４は、作業者が、プローブのオー
バードライブ量、電極と接触子との接触圧等の検査条件
の設定、検査ステージ及びプローブユニットの作動開始
指令、表示用パネルの電極とプローブの接触子との相対
的な位置決め指令等の制御指令の入力をし、それにより
検査装置１０を作動させるためのものである。

【００４６】図１及び図１１に示すように、検査部２０
には、また、少なくとも電極と接触子とを再度接触させ
て再度検査をする再接触指令を発生する複数の再接触指
令スイッチ８０，８２，８４，８６が開口２４の近傍に
設けられている。

【００４７】再接触指令スイッチ８０は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせた後に、再度接触指
令を発生する。スイッチ８０が操作されると、検査装置
１０は、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性が高くなり、良品を不良品と判定される可能
性が低くなる。

【００４８】再接触指令スイッチ８２は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ電極と接触子と
の相対的な接触圧を増加した後に、電極と再度接触指令
を発生する。スイッチ８２が操作されると、検査装置１
０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行った
後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を
行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定され
る可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可
能性がより低くなる。

【００４９】再接触指令スイッチ８４は、第２のスイッ
チと、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせ
かつ表示用パネル１２をプローブユニット４０に対しＸ
方向に変位させた後に、再度接触指令を発生する。スイ
ッチ８４が操作されると、検査装置１０は、電極と接触
子との相対的な位置決めを再度行い、表示用パネル１２
をプローブユニット４０に対しＸ方向に所定量変位させ
た後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される
可能性がより低くなる。

【００５０】再接触指令スイッチ８６は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ表示用パネルを
プローブユニットに対しＹ方向に変位させた後に、再度
接触指令を発生する。スイッチ８６が操作されると、検
査装置１０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再
度行い、表示用パネル１２をプローブユニット４０に対
しＹ方向に所定量変位させた後に、電極と接触子を再度
接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表
示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、
良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。

【００５１】スイッチ８０，８２，８４，８６の操作
は、これらのスイッチが本体の検査部近傍に設けられて
いるから、制御盤７４を操作して上記のような指令を発
生する場合に比べ、極めて容易である。したがって、再
接触指令を容易に入力可能とすることができる。

【００５２】再接触指令スイッチによる上記動作を実行
するために、検査装置１０は、例えば、プローブユニッ
ト４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離
された後に、スイッチ８０，８２，８４，８６のいずれ
が圧下されたを確認し、圧下されたスイッチに応じて上
記動作を実行する。

【００５３】図３から図９に示すように、チャックトッ
プ３４は、表示用パネル１２を解除可能に真空吸着する
ワークテーブル（すなわち、真空チャック）である。チ
ャックトップ３４は、バックライトユニット３６からの
光が表示用パネル１２に達することを許す矩形の開口９
０を有すると共に、表示用パネル１２を真空的に吸着す
る複数の吸着溝９２を開口９０の周りに有する。

【００５４】開口９０の上端は、ガラス板のような透明
板９４により閉塞されている（図９参照）。透明板９４
は、チャックトップ３４自体の上端面と共に、表示パネ
ル１２を受けるパネル受け面９６とされている。各吸着
溝９２は、パネル受け面９６に開放されている。図示の
例では、チャックトップ３４は、仮想的な矩形の隣り合
う２つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る２つの吸着溝９２を有している。

【００５５】しかし、仮想的な矩形の、１つ、３つ又は
４つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る、１つ、３つ又は４つの吸着溝９２を有していてもよ
い。また、各辺の吸着溝は、その辺の方向に連続してい
てもよいし、複数に分割されていてもよい。さらに、複
数の吸着溝を各辺に複数列に設けていてもよい。

【００５６】バックライトユニット３６は、チャックト
ップ３４に受けられた表示用パネル１２をその背後から
照明する機能を有しており、したがって箱状のケース内
に白色ランプのような１以上の光源を収容している。

【００５７】図６及び図７に示すように、チャックトッ
プ３４とバックライトユニット３６とは、複数の支柱９
８によりＺ方向に隔てられて、両者の間に空間１００を
形成している。遮光板２８は、組み付け具１０２（図７
参照）により本体１４の内側に片持ち梁状に組み付けら
れており、またＺ方向における空間１００の位置にあっ
て表示用パネル１２と平行に維持されている。

【００５８】遮光板２８は、検査ステージ３０がローダ
部２２に移動されるときローダ部２２近傍において空間
１００に受け入れられ始め、検査ステージ３０がローダ
部２２に完全に位置されたとき図６から図８に示すよう
に空間１００に完全に受け入れられる。

【００５９】また、遮光板２８は、検査ステージ３０が
ローダ部２２から離され始めるとき空間１００から離さ
れ始め、検査ステージ３０がローダ部２２から完全に離
されることにより空間１００から完全に離される。

【００６０】これにより、検査ステージ３０がローダ部
２２に移動されていると、バックライトユニット３６か
らチャックトップ３４に向かう光は遮光板２８により遮
断される。これに対し、検査ステージ３０がローダ部２
２から完全に離されると、バックライトユニット３６か
らの光は遮光板２８により遮断されることなく、チャッ
クトップ３４に向かう。このため、チャックトップ３４
に対する表示用パネル１２の着脱時に、バックライトユ
ニット３６を消灯させなくても、バックライトユニット
３６からの光は本体１４の外に指向されることを防止さ
れて、作業者はバックライトユニット３６からの強い光
にさらされることを防止される。

【００６１】アライメントステージ３８は、Ｘ，Ｙ，Ｚ
の３つの軸線のうち、２つの軸線（Ｘ，Ｙ軸線）の方向
への平行移動と、残りの１つの軸線（Ｚ軸線）の周りの
角度的回転を回転移動テーブルに与える２軸平行・１軸
旋回テーブル装置である。そのような装置は、例えば、
特開平１１−２４５１２８号公報に記載されている。

【００６２】２軸平行・１軸旋回テーブル装置をアライ
メントテーブル３８として検査ステージ３０に用いる
と、回転移動テーブルをＺ軸線の周りに角度的に回転さ
せるθステージと、回転移動テーブルをＹ軸線の方向へ
移動させるＹステージと、回転移動テーブルをＸ軸線の
方向へ移動させるＸステージとをアライメントステージ
として用いた検査ステージに比べ、Ｚ軸線方向における
検査ステージの高さ寸法が著しく小さくなる。

【００６３】搬送ステージ３２は、本体１４内に斜め上
向きに配置された支持板１０４に配置されており、また
アライメントステージ３８を支持している。

【００６４】図５，図８及び図９に示すように、検査ス
テージ３０は、また、表示用パネル１２をチャックトッ
プ３４に対して位置決める２組のストッパ１０６と、表
示用パネル１２をストッパ１０６に押圧する複数の第１
のプッシャー機構１０８と、表示用パネル１２の縁部を
パネル受け面９６に解除可能に押圧する複数の第２のプ
ッシャー機構１１０とを有する。ストッパ１０６並びに
第１及び第２のプッシャー機構１０８及び１１０は、い
ずれも、チャックトップ３４に配置されている。

【００６５】一方の組のストッパ１０６は、表示用パネ
ル１２の下端面を受けるようにＹ方向に間隔をおいて、
パネル受け面９６にねじ部材により取り付けられてい
る。このため、チャックトップ３４に載置された表示用
パネル１２は、パネル受け面９６が傾斜していても、下
端面が一方のストッパ１０６に当接し、それによりチャ
ックトップ３４から落下することを防止される。

【００６６】これに対し、他方の組のストッパ１０６
は、表示用パネル１２の左右方向における一方の端面を
受けるようにＸ方向に間隔をおいて、パネル受け面９６
にねじ部材により取り付けられている。

【００６７】図示の例では、Ｘ辺及びＹ辺のそれぞれに
１つの第１のプッシャー機構１０８が設けられている。
Ｘ辺の第１のプッシャー機構１０８は、Ｘ方向におい
て、一方の組のストッパ１０６と反対側（上方側）に配
置されている。Ｙ辺の第１のプッシャー機構１０８は、
Ｘ方向において、他方の組のストッパ１０６と反対側に
配置されている。

【００６８】図５及び図１０に示すように、各第１のプ
ッシャー機構１０８は、チャックトップ３４に支持され
た逆転可能の回転機構１１２と、回転機構１１２により
表示用パネル１２に垂直の方向（Ｚ方向）へ伸びる軸線
の周りに角度的に回転されて表示用パネル１２を押す揺
動体１１４とを備える。

【００６９】各回転機構１１２は、その出力回転軸がＺ
方向へ伸びるように、チャックトップ３４に支持されて
いる。各回転機構１１２として、回転式のシリンダ機
構、回転式のソレノイド機構、電動機等を用いることが
できる。

【００７０】各揺動体１１４は、一端部において回転機
構１１２の出力回転軸に取り付けられたアーム１１６
と、アーム１１６の他端部にチャックトップ３４のパネ
ル受け面からＺ方向へわずかに突出する状態に取り付け
られたピン１１８とで構成することができる。

【００７１】各第１のプッシャー機構１０８は、回転機
構１１２が一方向へ所定の角度回転することにより、揺
動体１１４が一方向に所定角度回転されて、表示用パネ
ル１２を対応するストッパ１０６に押す。これにより、
表示用パネル１２は、検査ステージ３０に対して位置決
められて、その状態に維持される。

【００７２】回転機構１１２が所定の角度逆転される
と、各第１のプッシャー機構１０８は、揺動体１１４が
所定角度逆回転されて、対応するストッパ１０６への表
示用パネル１２の押圧を解除する。

【００７３】図５及び図９に示すように、各第２のプッ
シャー機構１１０は、パネル受け面９６と交差する方向
へ伸びる軸線（Ｚ軸線）を有するシリンダ１２６及びこ
れに受け入れられたピストン１２８を有するシリンダ機
構１２０と、シリンダ機構１２０のピストン１２８に先
端部に組み付けられた板状アーム１２２と、板状アーム
１２２の先端部に配置されたゴム板１２４とを備える。

【００７４】シリンダ機構１２０は、そのピストン１２
８が流体によりシリンダ１２６に対し軸線の周りに角度
的に回転しつつその軸線の方向へ移動するスイングシリ
ンダ機構である。図示の例では、Ｘ方向における両端部
のそれぞれに２つのシリンダ機構１２０がＹ方向に間隔
をおいて配置されている。

【００７５】板状アーム１２２は、弾性変形可能の板バ
ネから製作されており、また一端においてピストン１２
８の上端部に装着されている。ゴム板１２４は、シリコ
ーンゴムのように弾性変形可能の材料から製作されてお
り、また表示パネル１２の縁部に当接可能に板状アーム
１２２の他端部下面に装着されている。

【００７６】図９（Ａ）に示すように、ピストン１２８
がシリンダ１２６から突出していると、板状アーム１２
２が表示用パネル１２からＸ方向及びＺ方向に離されて
いる。

【００７７】図９（Ａ）に示す状態において、ピストン
１２８がシリンダ１２６内に後退されると、ピストン１
２８が下降されつつその軸線の周りに角度的に回転され
るから、板状アーム１２２が図９（Ｂ）に示すように回
転されつつ下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル１
２の縁部の上方に移動される。

【００７８】ピストン１２８がシリンダ１２６内にさら
に後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｃ）に示す
ようにさらに下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル
１２の縁部に当接する。

【００７９】ピストン１２８がシリンダ１２６内にさら
に後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｄ）に示す
ようにさらに下降されるから、ゴム板１２４が表示用パ
ネル１２の縁部をパネル受け面９６に押圧する。この状
態において、板状アーム１２２は弾性変形によりわずか
に撓み、ゴム板１２４は弾性変形する。

【００８０】上記の結果、表示用パネル１２の縁部がＸ
方向一端部に位置する吸着溝９２の開放部に押圧されて
密着するから、その吸着溝９２又は全ての吸着溝９２が
吸引源に接続されることにより、表示用パネル１２の縁
部はその吸着溝９２又は全ての吸着溝９２に吸着され、
その状態に安定に維持される。

【００８１】表示用パネル１２の縁部の押圧を解除する
とき、各第２のプッシャー機構１１０は、ピストン１２
８がシリンダ１２６から突出されることにより、上記と
逆に作動される。

【００８２】吸着溝９２は、検査ステージ３０が表示用
パネルを受けたときから、検査が終了して、検査ステー
ジ３０がローダ部２２に達するまでの間は、吸引源に接
続される。しかし、検査ステージ３０に対する表示用パ
ネルの着脱時には、吸着溝９２は、吸引源から切り離さ
れる。

【００８３】第１のプッシャー機構１０８は、表示用パ
ネル１２と検査ステージの相対的な位置決めを行うとき
だけ、表示用パネル１２をストッパ１０６に押する。ま
た、第２のプッシャー機構１１０は、表示用パネル１２
を吸着溝９２に吸着させるときだけ、表示用パネル１２
の縁部をパネル受け面９６に押圧する。しかし、第１及
び第２のプッシャー機構１０８及び１１０のいずれも、
それ以外のときにも表示用パネルを押圧するようにして
もよい。

【００８４】しかし、検査ステージ３０に対する表示用
パネルの着脱時には、全ての吸着溝９２は吸引源から切
り離され、全ての第１のプッシャー機構１０８はストッ
パ１０６への表示用パネル１２の押圧を解除し、全ての
各第２のプッシャー機構１１０はパネル受け面９６への
表示用パネル１２の押圧を解除する。

【００８５】検査装置１０において、検査ステージ３０
がローダ部２２に位置するとき、検査済みの表示用パネ
ル１２が検査ステージ３０から除去され、未検査の表示
用パネル１２が検査ステージ３０に配置される。この受
け渡し作業は、人手により行われる。

【００８６】表示用パネル１２の受け渡し作業が終了す
ると、検査装置１０は、本体１２の検査部２０に備えら
れた開始スイッチ（図示せず）が操作されることによ
り、以下の動作を開始する。

【００８７】先ず、表示用パネル１２が第１のプッシャ
ー機構１０８によりストッパ９６に押圧されて、検査ス
テージ３０に対する表示用パネルの位置決めが行われ
る。

【００８８】次いで、表示用パネル１２の縁部が第２の
プッシャー機構１１０によりパネル受け面９６に押圧さ
れると共に、全ての吸着溝９２が吸引源に接続される。
これにより、表示用パネル１２は検査ステージ３０に保
持される。

【００８９】次いで、検査ステージ３０が検査部２０に
移動され、検査部２０においてプローブユニット４０に
対して位置決められる。このアライメントのとき、表示
用パネル１２は、チャックトップ３４及びバックライト
ユニット３６がアライメントステージ３８により移動さ
れることにより、プローブユニット４０に対して移動さ
れる。また、各プローブユニット４０がＺ移動装置４２
により検査ステージ３０に対し１回以上移動される。

【００９０】次いで、各プローブユニット４０がＺ移動
装置４２により検査ステージ３０に向けて移動されて、
プローブの接触子が表示用パネル１２の電極に押圧され
る。この状態で、表示用パネルに通電されて、作業者に
よる目視点灯検査が行われる。

【００９１】検査の結果、不良であると、いずれかの再
接触指令スイッチが圧下されることにより、少なくとも
アライメントが再度行われた後、接触子と電極とが再接
触されて再検査が行われる。

【００９２】検査が終了すると、各プローブユニット４
０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離され
た後、検査ステージ３０がローダ部２２に向けて移動さ
れる。

【００９３】上記工程は、表示用パネル１２毎に繰り返
される。

【００９４】検査装置１０は、プローブユニット４０を
表示用パネル１２に対しＺ方向に個々に移動させるか
ら、表示用パネル１２とプローブユニット４０とをＺ方
向へ相対的に移動させる移動機構を検査ステージ３０に
設ける必要がなく、したがってＺ方向における検査ステ
ージ３０の高さ寸法が小さくなり、プローブユニット３
０に対する表示用パネル１２の位置が安定する。

【００９５】また、各プローブユニット４０が対応する
移動装置４２により表示用パネル１２に対しＺ方向に移
動されるから、移動装置４２によるＺ方向へのプローブ
ユニット４０の移動量をプローブユニット４０毎に設定
することができ、したがって、全てのプローブを共通の
プローブベース４６に配置した場合に比べ、プローブ相
互間のオーバードライブ量及び針圧の差を小さくするこ
とができる。

【００９６】さらに、各プローブユニット４０が複数の
プローブブロック４０をプローブベース４６に配置し
て、オーバードライブ及び針圧をプローブプローブベー
ス４６毎に設定すると、オーバードライブ及び針圧をプ
ローブブロック４４毎に設定する場合に比べ、オーバー
ドライブ及び針圧の設定作業が容易になる。

【００９７】これに対し、表示用パネルの電極を検査ス
テージによりプローブの接触子に押圧する従来の検査装
置では、プローブの接触子の高さ位置が正確に一致して
いないと、オーバードライブが不足するプローブが存在
することになる。その結果、そのプローブの接触子と表
示用パネルの電極との接触圧（針圧）が不足し、正確な
試験結果を得ることができない。

【００９８】これを防止すべく全てのプローブが所定の
値以上のオーバードライブを受けるようにすると、大き
な押圧力が必要になるし、オーバードライブが過剰にな
るプローブが存在することになる。その結果、プローブ
が短命になるし、表示用パネルの電極を損傷するおそれ
がある。

【００９９】検査装置１０によれば、Ｚ移動装置４２を
プローブユニット４０側に配置しているのみならず、プ
ローブユニット４０毎に配置しているから、従来の検査
装置による上記の問題が解決される。

【０１００】本発明は、表示用パネルの受け渡しを人手
により行う装置のみならず、搬送ロボットのような自動
化装置を用いて行う装置にも適用することができる。ま
た、本発明は、目視検査を人の肉眼により行う目視点灯
装置のみならず、撮像装置、画像処理装置等を用いて自
動的に行う自動点灯検査装置にも適用することができる
し、自動検査及び目視検査の両者を選択的に行うことが
できる装置にも適用することができる。さらに、本発明
は、表示用パネルを斜めにした状態で検査する装置のみ
ならず、表示用パネルをほぼ水平にした状態で検査する
装置のような他の形式の装置にも適用することができ
る。

【０１０１】本発明は、液晶を封入した液晶表示パネル
のみならず、薄膜トランジスタを形成したガラス基板、
プラスマ表示パネルのように、液晶表示パネル以外の表
示パネル等、他の表示用パネルの検査装置にも適用する
ことができる。

【０１０２】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図

【図２】図１に示す検査装置の検査部の詳細を示す図

【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図

【図４】図２における４−４線に沿って得た断面図

【図５】図１に示す検査装置の検査ステージの詳細を示
す図

【図６】検査ステージの配置状態を示す概略的な断面図

【図７】図６における７−７線に沿って得た断面図

【図８】図７に示す状態における検査ステージの図

【図９】第２のプッシャー機構の動作を説明するための
図

【図１０】第１のプッシャー機構の一実施例を示す図

【図１１】再接触指令スイッチを示す図

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 表示用パネル １４ 本体 １６ 傾斜面部 ２０ 検査部 ２２ ローダ部 ２４，２６ 本体の開口 ３０ 検査ステージ ３２ 搬送ステージ ３４ チャックトップ ３６ バックライトユニット ３８ アライメントステージ ４０ プローブユニット ４２ Ｚ移動装置 ４４ プローブブロック ４６ プローブベース ４８ 可動テーブル ６２ リニアガイド ６４ Ｚ移動機構 ７０ 中空モータ ７２ リードスクリュー

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年６月２９日（２０００．６．２
９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 慎治 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 植木 勲 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G014 AA14 AB21 AC06 2G051 AA90 AB02 CA11 DA01 DA07 2H088 FA13 FA30 MA20 5G435 AA17 BB12 KK05 KK10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体と、仮想的な四角形の少なくとも２
   つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユ
   ニットであって対応する辺に沿って伸びる板状のプロー
   ブベース及び該プローブベースに配置された複数のプロ
   ーブブロックをそれぞれ備えるプローブユニットと、該
   プローブユニットに個々に対応され、対応するプローブ
   ユニットを検査すべき表示用パネルと交差する第１の方
   向へ移動させる少なくとも２つの移動装置とを含む、表
   示用パネルの検査装置。
2. 【請求項２】 各移動装置は、対応するプローブユニッ
   トを受ける可動テーブルであって前記対応する辺の方向
   に伸びる可動テーブルと、該可動テーブルを前記本体に
   装着している１以上のリニアガイドと、前記可動テーブ
   ルを前記第１の方向へ移動させる移動機構とを備える、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記リニアガイドは、前記第１の方向へ
   伸びるガイドレールであって前記本体及び前記可動テー
   ブルのいずれか一方に組み付けられたガイドレールと、
   該ガイドレールに前記第１の方向へ移動可能に嵌合され
   たガイドであって前記本体及び前記可動テーブルの他方
   に組み付けられたガイドとを含む、請求項３に記載の検
   査装置。
4. 【請求項４】 さらに、前記表示用パネルを受ける検査
   ステージを含み、該検査ステージは、前記表示用パネル
   を受けるチャックトップと、該チャックトップが組み付
   けられたバックライトユニットと、前記チャックトップ
   及び前記バックライトユニットを前記パネルと平行の面
   内で二次元的に移動させると共に前記第１の方向へ伸び
   る軸線の周りに角度的に回転させるアライメントステー
   ジとを備える、請求項１，２又は３に記載の検査装置。
5. 【請求項５】 前記本体は、前記表示用パネルの検査を
   する検査部と、前記検査ステージに対する前記表示用パ
   ネルの受け渡しをするローダ部とを備え、前記検査ステ
   ージは前記検査部と前記ローダ部とに移動可能であり、
   前記プローブユニットは前記検査部に配置されている、
   請求項３又は４に記載の検査装置。
6. 【請求項６】 少なくとも一方のプローブユニットは、
   さらに、そのプローブベースを前記本体に対し前記プロ
   ーブベースをこれの長手方向へ移動させる第２の移動機
   構を備える、請求項１から５のいずれか１項に記載の検
   査装置。