JP2011175298A - 液晶パネル点灯検査装置 - Google Patents
液晶パネル点灯検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011175298A JP2011175298A JP2011123861A JP2011123861A JP2011175298A JP 2011175298 A JP2011175298 A JP 2011175298A JP 2011123861 A JP2011123861 A JP 2011123861A JP 2011123861 A JP2011123861 A JP 2011123861A JP 2011175298 A JP2011175298 A JP 2011175298A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal panel
- alignment mark
- probe
- coordinates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】 1枚目の液晶パネルは,パネル上の三つのアライメントマークとプローブステージ上の三つのカメラを用いてアライメントし,かつ,顕微鏡を用いてプローブとパネルの電極との位置合わせ状態を確認する。同一仕様の2枚目以降の液晶パネルについては,二つのアライメントマーク56,58に基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから,第3アライメントマーク62に関して所定の偏差Δxを求めて,その半分だけ液晶パネルをX方向にシフトする。これにより,データ側プローブ26とデータ電極60との位置合わせが正確になり,大型の液晶パネルを高輝度バックライトで照明した場合でもアライメント不良を回避できる。
【選択図】図6
Description
12 第1のプローブベース(ゲート側プローブベース)
14 第2のプローブベース(データ側プローブベース)
16 ゲート側プローブユニット
18 ゲート側プローブブロック
20 ゲート側プローブ(第1のプローブ群)
22 データ側プローブユニット
24 データ側プローブブロック
26 データ側プローブ(第2のプローブ群)
28 第1の辺
30 第2の辺
32 第1カメラ
34 第2カメラ
36 第3カメラ
38 プローブステージ
40 検査ステージ
42 X駆動台
44 Y駆動台
46 Z駆動台
48 θ回転台
50 第1原点マーク
52 第2原点マーク
54 ゲート電極(第1の電極群)
56 第1アライメントマーク
58 第2アライメントマーク
60 データ電極(第2の電極群)
62 第3アライメントマーク
64 第3原点マーク
Claims (1)
- 次の(ア)に示す液晶パネルを点灯検査する液晶パネル点灯検査装置であって,次の(イ)乃至(ク)を備える液晶パネル点灯検査装置。
(ア)矩形の液晶パネルであって,前記矩形の第1の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークと,前記第1の辺に垂直な第2の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された前記第1アライメントマーク及び第3アライメントマークと,前記第1の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第1の電極群と,前記第2の辺に沿って並べて配置された複数の電極からなる第2の電極群とを備えた液晶パネル。
(イ)前記液晶パネルを保持することができて前記液晶パネルの背面に光を当てることができる検査ステージ。
(ウ)前記第1の電極群に接触可能な第1のプローブ群,前記第2の電極群に接触可能な第2のプローブ群,並びに,前記第1アライメントマーク,前記第2アライメントマーク及び前記第3アライメントマークをそれぞれ観察可能な第1カメラ,第2カメラ及び第3カメラを備えるプローブステージ。
(エ)前記検査ステージを前記プローブステージに対してX方向及びこれに垂直なY方向に移動させることができてかつXY平面に垂直なZ軸の周りに回転させることができる駆動機構。
(オ)1枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1の電極群及び前記第2の電極群に対して前記第1のプローブ群及び前記第2のプローブ群が正しく位置決めされた状態において,前記第1カメラの基準点に対する前記第1アライメントマークのXY座標を第1の標準座標(x1a,y1a)として記憶し,前記第2カメラの基準点に対する前記第2アライメントマークのXY座標を第2の標準座標(x2a,y2a)として記憶し,前記第3カメラの基準点に対する前記第3アライメントマークのXY座標を第3の標準座標(x3a,y3a)としてその少なくともX座標(x3a)を記憶する標準座標記憶手段。
(カ)前記1枚目の液晶パネルと同一仕様の2枚目の前記液晶パネルについて,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットされた状態であって,かつ,前記第1アライメントマークのXY座標及び前記第2アライメントマークのXY座標が,それぞれ,前記第1の標準座標(x1a,y1a)及び前記第2の標準座標(x2a,y2a)に最も近づくように前記2枚目の液晶パネルが位置決めされた状態において,前記第3カメラの前記基準点に対する前記第3アライメントマークのX座標を仮座標(x3b)として記憶する仮座標記憶手段。
(キ)前記第3の標準座標のX座標(x3a)に対する前記仮座標(x3b)の偏差(Δx)を算出する偏差算出手段。
(ク)前記検査ステージを,前記X方向において前記偏差(Δx)とは逆方向に前記偏差(Δx)の2分の1だけシフトして,前記2枚目の液晶パネルを位置決めする最終の位置決め手段。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011123861A JP5015339B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 液晶パネル点灯検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011123861A JP5015339B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 液晶パネル点灯検査装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004179410A Division JP4786884B2 (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 液晶パネル点灯検査装置のアライメント方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011175298A true JP2011175298A (ja) | 2011-09-08 |
JP5015339B2 JP5015339B2 (ja) | 2012-08-29 |
Family
ID=44688115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011123861A Active JP5015339B2 (ja) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 液晶パネル点灯検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5015339B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130098561A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
WO2017166387A1 (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、点灯设备及点灯测试探针对位检测方法 |
CN108535900A (zh) * | 2018-06-13 | 2018-09-14 | 广东速美达自动化股份有限公司 | 一种检测夹治具 |
CN109917569A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 面板检测装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI317636B (en) | 2002-11-22 | 2009-12-01 | Meiji Dairies Corp | Nutritional compositions for liver disease patients or for patients underhigh levels of invasive stress |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002014047A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネルの検査装置 |
JP2002286754A (ja) * | 2002-01-31 | 2002-10-03 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット |
-
2011
- 2011-06-02 JP JP2011123861A patent/JP5015339B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002014047A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネルの検査装置 |
JP2002286754A (ja) * | 2002-01-31 | 2002-10-03 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130098561A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101949330B1 (ko) | 2012-02-28 | 2019-04-25 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
WO2017166387A1 (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板、点灯设备及点灯测试探针对位检测方法 |
US10670629B2 (en) | 2016-03-31 | 2020-06-02 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display substrate, light-on device and method for testing alignment of light-on testing pin |
CN108535900A (zh) * | 2018-06-13 | 2018-09-14 | 广东速美达自动化股份有限公司 | 一种检测夹治具 |
CN109917569A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 面板检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5015339B2 (ja) | 2012-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100958204B1 (ko) | 평판디스플레이 패널 검사 장비 및 방법 | |
JP5015339B2 (ja) | 液晶パネル点灯検査装置 | |
JP4997127B2 (ja) | 検査方法及びこの検査方法を記録したプログラム記録媒体 | |
US11346861B2 (en) | Contact accuracy assurance method, contact accuracy assurance mechanism, and inspection apparatus | |
US10310010B2 (en) | Probe apparatus and probe method | |
JP2008053624A (ja) | アライメント装置 | |
KR101368150B1 (ko) | 박막 표시 소자의 검사 수정 방법 및 검사 수정 장치 | |
KR100822223B1 (ko) | 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치 | |
JPH07147304A (ja) | オートセットアップ式プローブ検査方法 | |
JP4786884B2 (ja) | 液晶パネル点灯検査装置のアライメント方法 | |
JP2008068284A (ja) | 欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板の製造方法 | |
JP5119728B2 (ja) | レーザ加工装置の較正方法及びレーザ加工装置 | |
JP3545655B2 (ja) | 電気接続装置 | |
KR102059437B1 (ko) | Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬방법 | |
KR100820752B1 (ko) | 평판표시소자의 프로브 검사장치 및 이를 이용한 프로브검사방법 | |
JP2007212939A (ja) | 位置ずれ検査方法、プログラム及び位置ずれ検査装置 | |
JPH08115954A (ja) | 検査装置 | |
TWI772465B (zh) | 檢查裝置、檢查方法及記憶媒體 | |
JP5319063B2 (ja) | 線幅測定装置 | |
JP2004281983A (ja) | 位置決め装置および位置決め方法並びに塗布装置および塗布方法 | |
KR20190097768A (ko) | 평판디스플레이 패널 검사 방법 및 장비 | |
JP4748360B2 (ja) | プローバフレームおよび液晶基板検査装置 | |
JPH022947A (ja) | 検査・リペア装置 | |
TWI790144B (zh) | 針位校正片治具以及用於探針卡之探針校正裝置 | |
JPH023299A (ja) | レーザーリペア装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120606 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5015339 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |