KR101949330B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 어레이 테스트 장치를 구성하는 구성부품들의 정보를 사용자 인터페이스 화면으로 구현함으로써, 사용자가 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 각 구성부품에 대한 최적설계를 용이하게 수행할 수 있다.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}

본 발명은 글라스패널을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.

이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제1기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 제1기판과 대응되는 제2기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 적어도 어느 하나의 기판상에 액정을 적하하는 공정이 진행된다.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 제2기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.

글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해서는, 예를 들면, 글라스패널의 정보, 전극패드의 정보, 모듈레이터의 정보, 테스트모듈의 정보 및 프로브모듈의 정보와 같은 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보에 따라 어레이 테스트 장치의 운용과정에서의 각 구성부품의 위치 및 동작순서 등을 설정해야 하는 과정이 선행되어야 한다.

그러나, 종래의 경우에는, 어레이 테스트 장치에 글라스패널을 반입한 후 각 구성부품을 실제로 동작시키고, 동작 중에 발생되는 오류를 수정하는 반복적인 과정을 통하여 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 위치 및 동작순서 등을 설정하였다. 그런데, 위와 같은 반복적인 테스트를 수행하는 과정 중에 오류가 발생한 경우, 오류의 원인을 즉각적으로 판단하기가 어렵고, 오류에 대한 수정작업이 복잡하다는 문제가 있다. 또한, 실제의 어레이 테스트 장치를 이용한 테스트 과정에서 각 구성부품의 위치에 관한 오류로 인하여 각 구성부품이 충돌하여 파손되는 문제가 있다. 또한, 구성부품의 위치 및 동작순서 등을 설정하기 위하여 반복적인 테스트를 수행하여야 했기 때문에 각 구성부품에 관한 설정을 위하여 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 구현하고, 사용자가 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 구성부품의 위치나 동작순서를 설정하거나 실제의 동작과정에서 발생할 수 있는 오류를 미리 확인할 수 있도록 함으로써, 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품에 관한 설정을 용이하게 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서, 상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛과, 상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고, 상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하도록 구성될 수 있다.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보를 근거로 하여 사용자 인터페이스 화면을 구현하고, 사용자가 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 각 구성부품에 관한 설정을 수행하도록 할 수 있으므로, 구성부품에 관한 설정을 용이하게 수행할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 어레이 테스트 장치를 실제로 동작시켰을 경우에 발생할 수 있는 오류를 사용자 인터페이스 화면을 통하여 확인할 수 있으므로, 사용자가 사용자 인터페이스 화면을 통하여 오류의 원인을 즉각적이면서 용이하게 판단할 수 있고, 오류에 대한 수정작업을 용이하게 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치에서 검사가 수행되는 글라스패널이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 2의 글라스패널이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 4는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 제어블럭도이다.
도 5는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 정보가 입력되는 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 6은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 7은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 8은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 9는 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 제어블럭도이다.
도 10은 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 11은 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 12 내지 도 14는 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 15는 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 정보가 입력되는 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 16은 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 17은 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 18 및 도 19는 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 20은 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 21은 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 정보가 입력되는 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 22는 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 24 내지 도 26은 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 입력된 정보를 근거로 하여 생성된 이미지가 표시된 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.
도 27은 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 제어블럭도이다.
도 28은 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 사용자에 의하여 정보가 입력되는 사용자 인터페이스 화면을 나타내는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임(10)과, 글라스패널을 로딩하는 로딩유닛(30)과, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.

테스트유닛(20)은, 글라스패널의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 전극패드로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(80)(도 4 참조)을 포함하여 구성될 수 있다.

테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임(223)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 테스트모듈(22)은 테스트모듈지지프레임(223)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다. 테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 상측에 배치되어 기판(S)의 결함여부를 검출한다. 테스트모듈(22)은, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널에 인접되게 배치되는 모듈레이터(221)와, 모듈레이터(221)를 촬상하는 촬상장치(222)를 포함하여 구성될 수 있다.

이러한 테스트유닛(20)은 반사방식 및 투과방식으로 두 가지의 형태로 나눌 수 있다. 반사방식의 경우에는, 광원이 테스트모듈(22)과 함께 배치되고, 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에 반사층이 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광된 광이 모듈레이터(221)로 입사된 후 모듈레이터(221)의 반사층으로부터 반사될 때, 반사되는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 투과방식의 경우에는, 광원이 투광지지플레이트(21)의 하측에 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광되어 모듈레이터(221)를 투과하는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(20)으로는 이러한 반사방식 및 투과방식이 모두 적용될 수 있다.

테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에는, 글라스패널과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 반사되는 광의 광량(반사방식의 경우) 또는 투과되는 광의 광량(투과방식의 경우)을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)이 구비된다. 전광물질층은, 글라스패널과 모듈레이터(221)에 전기가 인가될 때 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어져 전광물질층으로 입사되는 광의 광량을 변경한다. 이러한 전광물질층은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 액정(LC, liquid crystal) 또는 고분자 분산형 액정(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)으로 이루어질 수 있다.

프로브모듈(23)은, X축방향으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(231)과, 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)을 따라 미리 설정된 간격으로 배치되며 복수의 프로브핀(미도시)이 구비되는 프로브헤드(233)를 포함하여 구성될 수 있다.

프로브모듈지지프레임(231)은 Y축구동유닛(235)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(231)과 프로브헤드(233) 사이에는 프로브헤드(233)를 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(236)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(235) 및/또는 X축구동유닛(236)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.

로딩유닛(30)은 검사의 대상이 되는 글라스패널을 지지함과 아울러 글라스패널을 투광지지플레이트(21)상으로 이송시키는 역할을 수행하며, 언로딩유닛(40)은 검사가 완료된 글라스패널을 지지함과 아울러 글라스패널을 투광지지플레이트(21)로부터 이송시키는 역할을 수행한다. 로딩유닛(30) 및 언로딩유닛(40)에는 미리 설정된 간격으로 이격되게 배치되어 글라스패널이 탑재되는 복수의 지지플레이트(50)와, 글라스패널을 이송하기 위한 글라스패널 이송장치(60)가 구비될 수 있다.

지지플레이트(50)에는 글라스패널을 부양시키기 위한 공기가 분사되는 공기분사홀(51)이 형성될 수 있으며, 공기구멍(51)은 공기를 공급하는 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 의하여 검사가 수행되는 글라스패널(P)은, 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성되어 실제의 제품에 적용되는 유효영역(PA)과, 글라스패널(P)의 외곽 및 유효영역(PA)의 사이에 배치되며 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성되지 않는 비유효영역(PB)으로 구분될 수 있다. 유효영역(PA)은 글라스패널(P)에 대한 검사과정에서의 실질적인 피검사영역이다. 비유효영역(PB)에는 글라스패널(P)의 절단의 기준이 되는 가상의 절단예정라인(CL)이 통과할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 하나의 글라스패널(P)에는 복수의 유효영역(PA)이 형성될 수 있다. 유효영역(PA)은 X축방향으로의 폭(WEX) 및 Y축방향으로의 폭(WEY)을 가진다. 복수의 유효영역(PA)은 서로 X축방향으로의 간격(GEX) 및 Y축방향으로의 간격(GEY)으로 이격되게 배열될 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 9를 참조하여, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 사용자에 의하여 정보가 입력되는 입력유닛(70)과, 입력유닛(70)을 통하여 입력된 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛(80)과, 제어유닛(80)에서 생성된 이미지정보에 따른 이미지를 사용자 인터페이스 화면으로 출력하는 디스플레이유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다.

입력유닛(70)으로는 키보드, 마우스, 터치스크린 등 다양한 입력장치가 이용될 수 있다.

제어유닛(80)은, 입력유닛(70)을 통하여 입력된 정보를 수신하는 정보수신부(81)와, 정보수신부(81)에서 수신된 정보를 변환하는 데이터변환부(82)와, 데이터변환부(82)에서 변환된 데이터를 이용하여 이미지정보를 생성하는 이미지정보생성부(83)를 포함하여 구성될 수 있다.

데이터변환부(82)는 사용자에 의하여 입력된 정보를 좌표데이터, 크기(면적)데이터 또는 위치데이터로 변환한다.

이미지정보생성부(83)는 사용자가 정보를 입력할 수 있는 사용자 인터페이스 화면을 제공하는 활성창과, 사용자가 입력한 정보에 따른 결과데이터를 이미지로 표시하기 위한 사용자 인터페이스 화면을 제공하는 활성창을 생성한다.

디스플레이유닛(90)은, 제어유닛(80)의 이미지정보생성부(83)에서 생성된 이미지정보에 따른 이미지를 사용자 인터페이스 화면으로 출력한다. 디스플레이유닛(90)으로는 모니터가 이용될 수 있다.

이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 제어유닛(80)의 동작 및 제어유닛(80)의 동작에 따라 디스플레이유닛(90)에 표시되는 사용자 인터페이스 화면에 대하여 설명한다.

먼저, 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 입력유닛(70)을 통한 사용자의 초기명령에 의하여 이미지정보생성부(83)는 사용자로부터 정보가 입력되는 제1활성창(W1)과 관련한 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 제1활성창(W1)이 표시된다(S101).

제1활성창(W1)에 표시되는 항목으로는, 글라스패널(P)의 정보를 입력할 수 있는 복수의 입력필드와, 모듈레이터(221)의 정보를 입력할 수 있는 복수의 입력필드와, 초기화버튼(RESET)과, 입력확인버튼(APPLY)이 될 수 있다.

여기에서, 글라스패널(P)의 정보는, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 폭(WPX)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 폭(WPY)과, 글라스패널(P)상의 X축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEX)와, 글라스패널(P)상의 Y축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEY)와, 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX)과, 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭(WEY)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX1)(즉, 글라스패널(P)의 좌측에서 유효영역(PA)이 차지하지 않는 X축방향으로의 폭)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX2)(즉, 글라스패널(P)의 우측에서 유효영역(PA)이 차지하지 않는 X축방향으로의 폭)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY1)(즉, 글라스패널(P)의 상측에서 유효영역(PA)이 차지하지 않는 Y축방향으로의 폭)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY2)(즉, 글라스패널(P)의 하측에서 유효영역(PA)이 차지하지 않는 Y축방향으로의 폭)과, X축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GEX)과, Y축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GEY)이 될 수 있다.

그리고, 모듈레이터(221)의 정보는, 모듈레이터(221)의 X축방향으로의 폭(WMX)과, 모듈레이터(221)의 Y축방향으로의 폭(WMY)과, 글라스패널(P)에 대한 모듈레이터(221)의 높이(HMP)가 될 수 있다.

사용자는 디스플레이유닛(90)에 제1활성창(W1)으로 표시되는 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 입력유닛(70)을 통하여 제1활성창(W1)에 표시된 각 항목에 글라스패널(P)의 정보 및 모듈레이터(221)의 정보를 입력할 수 있다(S102). 이때, 사용자는 제1활성창(W1)내의 각 항목에 입력된 정보를 모두 삭제하고자 하는 경우 초기화버튼(RESET)을 조작할 수 있으며, 제1활성창(W1)내의 각 항목에 입력된 정보를 제어유닛(80)의 정보수신부(81)로 송신하기 위하여 입력확인버튼(APPLY)을 조작할 수 있다.

그리고, 사용자가 입력확인버튼(APPLY)을 조작하는 것을 통하여 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 정보가 정보수신부(81)로 송신되면, 데이터변환부(82)는 글라스패널(P)의 정보 및 모듈레이터(221)의 정보를 변환한다(S103).

데이터변환부(82)는, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 폭(WPX) 및 Y축방향으로의 폭(WPY)을 글라스패널(P)의 좌표데이터로 변환한다. 좌표데이터는 글라스패널(P)상에 미리 설정된 기준점을 원점으로 하는 X-Y좌표데이터가 될 수 있다. 여기에서, 글라스패널(P)상의 기준점은 글라스패널(P)의 중심점이 될 수 있고, 글라스패널(P)의 4개의 꼭지점이 될 수 있으며, 이외에도 글라스패널(P)의 임의의 한 점이 될 수 있다.

또한, 데이터변환부(82)는, 글라스패널(P)상의 X축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEX) 및 Y축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEY)와, 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX) 및 Y축방향으로의 폭(WEY)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX1)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX2)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY1)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY2)과, X축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GEX)과, Y축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GEY)을 유효영역(PA)의 좌표데이터로 변환한다. 유효영역(PA)의 좌표데이터는 글라스패널(P)상의 기준점을 원점으로 하는 X-Y좌표데이터가 될 수 있다.

또한, 데이터변환부(82)는, 모듈레이터(221)의 X축방향으로의 폭(WMX) 및 Y축방향으로의 폭(WMY)과, 글라스패널(P)에 대한 모듈레이터(221)의 높이(HMP)로부터 모듈레이터(221)가 1회 검사할 수 있는 검사영역(PT)(도 6 참조)의 크기(검사영역(PT)의 X축방향으로의 폭 및 Y축방향으로의 폭)를 산출하고, 이를 이용하여 모듈레이터(221)의 정보를 유효영역(PA)을 복수의 검사영역(PT)으로 분할할 때의 각 검사영역(PT)의 좌표데이터로 변환한다. 검사영역(PT)의 좌표데이터는 글라스패널(P)상의 기준점을 원점으로 하는 X-Y좌표데이터가 될 수 있다.

이미지정보생성부(83)는, 데이터변환부(82)에서 변환된 글라스패널(P)의 좌표데이터와, 유효영역(PA)의 좌표데이터와, 검사영역(PT)의 좌표데이터를 이용하여 글라스패널(P)의 형상과, 유효영역(PA)의 형상 및 위치와, 검사영역(PT)의 형상 및 위치와 관련된 이미지정보를 생성하며, 이러한 이미지정보에 따른 이미지가 표시될 수 있는 제2활성창(W2)과 관련한 이미지정보를 생성한다(S104). 그리고, 이미지정보생성부(83)에 의하여 생성된 이미지정보는 디스플레이유닛(90)으로 출력되며, 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 사용자 인터페이스 화면인 제2활성창(W2)이 표시된다(S105).

도 6에 도시된 바와 같이, 제2활성창(W2)에 표시되는 항목으로는, 글라스패널(P)의 형상과, 글라스패널(P) 내에 형성되는 유효영역(PA)의 형상과, 유효영역(PA)을 검사영역(PT) 단위로 분할한 형상과, 초기화버튼(RESET)과, 입력확인버튼(APPLY)이다.

먼저, 제2활성창(W2)에 표시되는 글라스패널(P)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 글라스패널(P)의 X축방향으로의 폭(WPX) 및 Y축방향으로의 폭(WPY)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로 실제의 글라스패널(P)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

그리고, 제2활성창(W2)에 표시되는 글라스패널(P)내의 유효영역(PA)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX) 및 Y축방향으로의 폭(WEY)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX1)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX2)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY1)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY2)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로 실제의 글라스패널(P) 내에 형성되는 유효영역(PA)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

한편, 하나의 글라스패널(P) 내에 복수의 유효영역(PA)이 형성된 경우에, 제2활성창(W2)에 표시되는 복수의 유효영역(PA)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 글라스패널(P)상의 X축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEX)와, 글라스패널(P)상의 Y축방향으로의 유효영역(PA)의 개수(NEY)와, X축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GEX) 및 Y축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GEY)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 글라스패널(P) 내에서의 복수의 유효영역(PA)의 위치와 비례하는 위치에 위치되며, 제2활성창(W2)에 표시된 복수의 유효영역(PA) 사이의 간격은 실제의 복수의 유효영역(PA) 사이의 간격에 비례한다.

또한, 제2활성창(W2)에 표시되는 검사영역(PT)의 형상은, 모듈레이터(221)의 X축방향으로의 폭(WMX) 및 Y축방향으로의 폭(WMY)과, 글라스패널(P)에 대한 모듈레이터(221)의 높이(HMP)를 근거로 모듈레이터(221)가 1회에 검사할 수 있는 검사영역(PT)의 크기가 설정된 후, 설정된 검사영역(PT)의 크기를 근거로 하여 이미지로 표시된 것으로, 모듈레이터(221)의 실제의 검사영역(PT)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

여기에서, 유효영역(PA)의 크기가 검사영역(PT)의 크기에 비하여 큰 경우에는, 유효영역(PA)의 면적에 대응되도록 복수의 검사영역(PT)의 형상이 표시될 수 있다. 이때, 유효영역(PA)의 일측(예를 들면, 도 6에서의 각 유효영역의 좌측상단)을 기준으로 하여 각각의 검사영역(PT)이 서로 접하도록 표시될 수 있으며, 이에 따라, 유효영역(PA)은 복수의 검사영역(PT)으로 분할될 수 있다.

여기에서, 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX)을 검사영역(PT)의 X축방향으로의 폭(WMX)을 나눈 값이 정수가 되는 경우에는, 복수의 검사영역(PT)의 X축방향으로의 폭(WMX)을 합한 값과 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX)는 서로 일치한다. 그러나, 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX)을 검사영역(PT)의 X축방향으로의 폭(WMX)을 나눈 값이 정수가 되지 않는 경우에는, 복수의 검사영역(PT)의 X축방향으로의 폭(WMX)을 합한 값과 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX)은 서로 일치하지 않게 되는데, 이와 같은 경우에는, 유효영역(PA)의 내부에 검사영역(PT)이 표시될 수 있도록 적어도 두 개의 검사영역(PT)이 X축방향으로 서로 중첩되도록 표시될 수 있다. 이에 따라, 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭에 해당하는 영역이 복수의 검사영역(PT)으로 채워질 수 있다.

마찬가지로, 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭(WEY)을 모듈레이터(221)의 검사영역(PT)의 Y축방향으로의 폭(WMY)을 나눈 값이 정수가 되는 경우에는, 복수의 검사영역(PT)의 Y축방향으로의 폭(WMY)을 합한 값과 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭(WEY)는 서로 일치한다. 그러나, 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭(WEY)을 모듈레이터(221)의 검사영역(PT)의 Y축방향으로의 폭(WMY)을 나눈 값이 정수가 되지 않는 경우에는, 복수의 검사영역(PT)의 Y축방향으로의 폭(WMY)을 합한 값과 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭(WEY)은 서로 일치하지 않게 되는데, 이와 같은 경우에는, 유효영역(PA)의 내부에 검사영역(PT)이 표시될 수 있도록 적어도 두 개의 검사영역(PT)이 Y축방향으로 서로 중첩되도록 표시될 수 있다. 이에 따라, 유효영역(PA)의 Y축방향으로의 폭에 해당하는 영역이 복수의 검사영역(PT)으로 채워질 수 있다.

또한, 유효영역(PA)을 분할한 복수의 검사영역(PT)에는 순차적으로 일련번호가 표시되며, 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 과정에서 모듈레이터(221)는 이러한 일련번호를 따라 각각의 검사영역(PT)에 위치될 수 있다. 여기에서, 모듈레이터(221)가 최소한의 거리를 가지는 경로로 이동하면서 복수의 검사영역(PT)에 대한 검사가 수행될 수 있도록, 일련번호는 서로 인접되는 검사영역(PT)을 따라 순차적으로 표시되는 것이 바람직하다.

한편, 위와 같이 검사영역(PT)을 설정하는 동작이 완료되고, 사용자가 입력확인버튼(APPLY)을 조작하면, 이미지정보생성부(83)는 검사영역(PT)을 설정하는 단계를 완료하는 완료메시지창과 관련되는 이미지정보를 생성한다(S106). 이에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 완료메시지창이 표시된다. 이때, 사용자는 완료메시지창을 확인한 후 검사영역(PT)을 설정하는 동작을 완료할 수 있으며, 후속하는 다음 단계가 존재하는 경우에는 다음 단계를 진행할 수 있다.

이와 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 입력유닛(70)을 통하여 입력된 글라스패널(P)의 정보 및 모듈레이터(221)의 정보를 변환하고, 변환된 데이터를 이용하여 글라스패널(P), 유효영역(PA) 및 검사영역(PT)에 관한 이미지정보를 생성하고, 이를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 구성할 수 있다. 따라서, 사용자는 디스플레이유닛(90)으로 출력되는 사용자 인터페이스 화면(제2활성창(W2))으로부터 검사영역(PT)의 개수를 확인할 수 있으며, 사용자 인터페이스 화면(제2활성창(W2))에 표시되는 복수의 검사영역(PT)의 일련번호로부터 글라스패널(P)에 대한 검사를 완료할 때까지의 모듈레이터(221)가 순차적으로 위치되는 위치 및 모듈레이터(221)가 순차적으로 이동되는 방향을 확인할 수 있다. 이와 같이, 사용자는 글라스패널(P)의 유효영역(PA)에 대한 검사영역(PT)을 설정하는 과정을 용이하게 수행할 수 있다.

이하, 도 9 내지 도 14를 참조하여 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명을 생략한다.

도 9에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 제어유닛(80)은, 입력유닛(70)을 통하여 입력된 정보를 수신하는 정보수신부(81)와, 정보수신부(81)에서 수신된 정보를 변환하는 데이터변환부(82)와, 데이터변환부(82)에서 변환된 데이터를 이용하여 이미지정보를 생성하는 이미지정보생성부(83)와, 데이터변환부(82)에서 변환된 데이터를 검사하는 데이터검사부(84)를 포함하여 구성될 수 있다.

데이터검사부(84)는, 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 어레이 테스트 장치를 실제로 동작시키는 경우, 오류가 발생하는지 여부를 미리 검사하는 역할을 수행한다.

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 복수의 모듈레이터(221)가 각각 수반되는 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 운용할 수 있도록, 이미지정보생성부(83)에서 생성되는 제2활성창(W2)에 표시되는 항목에, 복수의 테스트모듈(22) 중 실제로 사용될 테스트모듈(22)의 선택과, 각 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭과, 각 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)가 담당하게 될 글라스패널(P)의 X축방향으로의 검사영역(PT)의 개수를 입력할 수 있는 복수의 입력필드가 더 추가될 수 있다.

각 테스트모듈(22)의 사용여부를 입력할 수 있는 입력필드는 체크상자로 표시될 수 있으며, 사용자가 체크상자를 선택하거나 선택을 해제하는 것을 통하여 각 테스트모듈(22)이 사용상태로 선택되거나 선택이 해제될 수 있다.

각 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭을 입력할 수 있는 입력필드는 테스트모듈(22)이 사용상태로 선택된 경우에 한하여 활성화될 수 있다.

또한, 각 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)가 담당하게 될 글라스패널(P)의 X축방향으로의 검사영역(PT)의 개수를 입력할 수 있는 입력필드는 테스트모듈(22)이 사용상태로 선택된 경우에 활성화될 수 있다. 검사영역(PT)의 개수를 입력할 수 있는 입력필드는 드롭다운메뉴의 형식으로 표시될 수 있다.

한편, 어레이 테스트 장치에 구비되는 테스트모듈(22)의 개수는, 예를 들면, 사용자가 제1활성창(W1)을 통하여 입력하도록 할 수 있으며, 사용자의 별도의 입력이 없이 자동적으로 설정될 수 있다.

이하, 도 10 내지 도 14를 참조하여, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 제어유닛(80)의 동작 및 제어유닛(80)의 동작에 따라 디스플레이유닛(90)에 표시되는 사용자 인터페이스 화면에 대하여 설명한다.

먼저, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 전술한 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 정보에 따라 제2활성창(W2)이 생성되어 디스플레이유닛(90)에 표시된다(S201). 이때, 사용자는 제2활성창(W2)에 표시된 테스트모듈(22)의 선택과 관련한 입력필드를 이용하여 각 테스트모듈(22)의 사용여부를 선택할 수 있다(S202). 예를 들어, 도 10에서는 어레이 테스트 장치에 4개의 테스트모듈(22)이 구비된 경우에 있어서, 좌측으로부터 3개의 테스트모듈(22)은 사용상태로 체크되고 좌측으로부터 4번째의 테스트모듈(22)은 사용상태가 해제된 상태를 도시하고 있다.

그리고, 사용자는 사용상태로 선택된 각 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭 및 각 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에 할당되는 검사영역(PT)의 X축방향으로의 개수를 입력할 수 있다(S203).

여기에서, 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭은, 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 동작시켰을 때 복수의 테스트모듈(22) 사이에 간섭이 발생하는지 여부를 판단하는 데에 이용될 수 있다.

한편, 각 테스트모듈(22)에 할당된 검사영역(PT)의 개수의 합은 글라스패널(P)의 X축방향으로의 검사영역(PT)의 개수와 일치한다. 예를 들어, 도 10에서는 글라스패널(P)의 X축방향으로의 3개의 유효영역(PA)이 있고, 각 유효영역(PA)에는 X축방향으로 6개의 검사영역(PT)이 있으며, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 검사영역(PT)의 개수가 18개인 상태를 도시하고 있다. 또한, 예를 들어, 도 10에서는 사용상태로 선택된 3개의 테스트모듈(22)에 할당된 검사영역(PT)의 개수는 각각 6개로 입력되어 있는 상태를 도시하고 있다.

사용상태로 선택된 테스트모듈(22)에 검사영역(PT)의 개수를 할당하여 입력하는 동작이 완료되면, 데이터변환부(82)는, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭과 사용상태로 선택된 각 테스트모듈(22)에 할당된 검사영역(PT)의 개수에 관한 정보를 검사영역(PT)의 좌표데이터 및 위치데이터와, 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 이동범위와 관련된 좌표데이터로 변환한다(S204).

한편, 사용자가 복수의 테스트모듈(22)의 사용여부의 선택과, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 폭의 입력과, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)에 대한 검사영역(PT)의 할당개수의 입력을 완료하고, 입력확인버튼(APPLY)을 조작하면, 데이터검사부(84)는 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 동작시킬 경우, 복수의 테스트모듈(22)이 동작하면서 검사영역(PT)에 대한 검사를 수행할 수 있는지 여부를 검사한다. 예를 들어, 데이터검사부(84)는, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)만으로 검사영역(PT)에 대한 검사를 수행할 수 있는지 여부를 검사한다. 또한, 예를 들어, 데이터검사부(84)는, 각 테스트모듈(22)의 X축방향으로의 이동범위가 중첩되는지 여부를 검사하는 것을 통하여, 사용상태로 선택된 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 동작시킬 때 복수의 테스트모듈(22)의 상호간에 간섭이 발생하는지 여부를 검사한다(S205).

여기에서, 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 복수의 테스트모듈(22)가 동시에 동작될 때 오류가 발생할 우려가 없는 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 데이터변환부(82)에서 변환된 데이터를 이용하여 복수의 검사영역(PT)이 각 테스트모듈(22)에 할당되는 정보에 따라 제2활성창(W2)에 표시된 복수의 검사영역(PT)을 서로 다르게 구분하는 이미지정보를 생성할 수 있다(S206). 그리고, 이미지정보생성부(83)에 의하여 생성된 이미지정보는 디스플레이유닛(90)으로 출력되며, 예를 들면, 디스플레이유닛(90)에는 복수의 검사영역(PT)이 각 테스트모듈(22)에 할당되는 정보에 따라 검사영역(PT)을 표시하는 선의 굵기나 색깔이 다르게 표시될 수 있고, 검사영역(PT)의 음영의 색깔이 다르게 표시될 수 있으며, 도 10에 도시된 바와 같이, 각 영역에 A1, A2, A3, B1, B2, B3와 같은 문자가 표시될 수 있으며, 각 유효영역(PA)의 하단에 테스트모듈(22)의 일련번호가 기재될 수 있다.

또한, 이미지정보생성부(83)는 검사영역(PT)을 설정하는 단계를 완료하는 완료메시지창과 관련된 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 도 12에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 완료메시지창이 표시된다(S207). 이때, 사용자는 완료메시지창을 확인한 후 검사영역(PT)을 설정하는 동작을 완료할 수 있으며, 후속하는 다음 단계가 존재하는 경우에는 다음 단계를 진행할 수 있다.

다만, 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 복수의 테스트모듈(22)가 동시에 동작될 때 오류가 발생할 우려가 있는 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 간섭발생우려를 경고하는 오류메시지창과 관련된 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 오류메시지창이 표시된다(S208). 예를 들면, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)만으로 검사영역(PT)에 대한 검사를 수행할 수 없는 경우에는, 도 13에 도시된 바와 같은 오류메시지창이 표시되며, 사용상태로 선택된 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 동작시킬 때 간섭이 발생하는 경우에는, 도 14에 도시된 바와 같은 오류메시지창이 표시된다. 디스플레이유닛(90)에 오류메시지창이 표시된 경우, 사용자는 오류메시지창을 해제한 후, 기존에 입력한 정보를 수정하는 작업을 수행할 수 있다.

이와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 사용자 인터페이스 화면(제2활성창(W2))을 확인하면서, 복수의 테스트모듈(22)의 사용여부를 선택할 수 있고, 복수의 검사영역(PT)을 각 테스트모듈(22)에 할당할 수 있다. 또한, 사용상태로 선택된 테스트모듈(22)로 검사를 수행할 수 있는지 여부와 사용상태로 선택된 복수의 테스트모듈(22)을 동시에 동작시킬 경우에 간섭이 발생되는지 여부를 사용자 인터페이스 화면(제2활성창(W2))을 통하여 미리 확인할 수 있다.

이하, 도 15 내지 도 19를 참조하여, 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

제3실시예에서는 하나의 글라스패널(P)에 하나의 유효영역(PA)이 형성되는 경우를 예를 들어 설명한다. 다만, 제3실시예에서 설명하는 구성은 하나의 글라스패널(P)에 복수의 유효영역(PA)이 형성되는 경우에도 동일하게 적용될 수 있다.

도 15에 도시된 바와 같이, 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 이미지정보생성부(83)에서 생성되는 제1활성창(W1)에 표시되는 항목에, 글라스패널(P)상에 형성되는 전극패드(PE)(도 16 참조)의 정보 및 프로브모듈(23)의 정보를 입력할 수 있는 입력필드가 더 추가될 수 있다.

여기에서, 전극패드(PE)의 정보는 글라스패널(P)상의 미리 설정된 기준점을 원점으로 하는 전극패드(PE)의 X좌표(PEX) 및 Y좌표(PEY)가 될 수 있다. 글라스패널(P)의 기준점은 글라스패널(P)의 중심점이 될 수 있고, 글라스패널(P)의 4개의 꼭지점이 될 수 있으며, 이외에도 글라스패널(P)상의 임의의 한 점이 될 수 있다.

프로브모듈(23)의 정보는 해당 전극패드(PE)에 접촉되어 전원을 인가할 수 있는 프로브헤드(233)의 종류(PHT) 및 프로브헤드(233)에 구비되는 프로브바(234)(도 16 참조)가 연장되는 방향(PPE)이 될 수 있다. 프로브헤드(233)의 종류에 따라 프로브헤드(233)의 X축방향으로의 폭 및 Y축방향으로의 폭이 결정된다. 그리고, 프로브바(234)가 연장되는 방향(PPE)에 따라 프로브바(234)에 구비되는 복수의 프로브핀이 X축방향으로 연장되는지 또는 Y축방향으로 연장되는지가 결정될 수 있다.

이하, 도 15 내지 도 19를 참조하여, 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 제어유닛(80)의 동작 및 제어유닛(80)의 동작에 따라 디스플레이유닛(90)에 표시되는 사용자 인터페이스 화면에 대하여 설명한다.

먼저, 도 15 및 도 17에 도시된 바와 같이, 입력유닛(70)을 통한 사용자의 초기명령에 의하여 이미지정보생성부(83)는 사용자로부터 정보가 입력되는 제1활성창(W1)과 관련한 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 제1활성창(W1)이 표시된다(S301).

이때, 사용자는 디스플레이유닛(90)을 통하여 제1활성창(W1)으로 표시되는 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서, 제1실시예에서 설명한 글라스패널(P)의 정보 및 모듈레이터(221)의 정보와 함께, 전극패드(PE)의 정보 및 프로브모듈(23)의 정보를 입력할 수 있다(S302).

그리고, 사용자가 입력확인버튼(APPLY)을 조작하는 것을 통하여 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 정보가 정보수신부(81)로 송신되면, 데이터변환부(82)는 전극패드(PE)의 정보 및 프로브모듈(23)의 정보를 변환한다(S303).

데이터변환부(82)는, 전극패드(PE)의 정보를 글라스패널(P)상에 미리 설정된 기준점을 원점으로 하는 X-Y좌표로 변환할 수 있다.

또한, 데이터변환부(82)는, 프로브헤드(23)의 종류(PHT) 및 프로브바(234)가 연장되는 방향(PPE)을 프로브헤드(23)의 좌표데이터로 변환한다. 프로브헤드(23)의 좌표데이터는 글라스패널(P)상의 기준점을 원점으로 하는 X-Y좌표데이터가 될 수 있다.

이미지정보생성부(83)는, 데이터변환부(82)에서 변환된 전극패드(PE)의 좌표데이터와, 프로브헤드(23)의 좌표데이터를 이용하여 전극패드(PE) 및 프로브모듈(23)의 형상과 관련한 이미지정보를 생성한다(S304). 또한, 이미지정보생성부(83)는 전극패드(PE) 및 프로브모듈(23)의 형상과 관련한 이미지를 표시할 수 있는 제2활성창(W2)과 관련한 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 도 16에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 제2활성창(W2)이 표시된다(S305).

여기에서, 제2활성창(W2)에 표시되는 항목으로는, 전극패드(PE)의 형상과, 프로브헤드(233)의 형상과, 유효영역(PA) 내에 표시된 복수의 검사영역(PT)의 전체의 폭(즉, 복수의 검사영역(PT)의 전체의 형상의 4개의 변의 위치(OFFSET))를 설정할 수 있는 입력필드와, 복수의 검사영역(PT)이 각각 X축방향 또는 Y축방향으로 소정의 폭으로 겹치도록 할 수 있는 오버랩간격(OVERLAP)을 설정할 수 있는 입력필드를 포함할 수 있다.

먼저, 제2활성창(W2)에 표시되는 전극패드(PE)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 전극패드(PE)의 X좌표(PEX) 및 Y좌표(PEY)를 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 전극패드(PE)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

그리고, 제2활성창(W2)에 표시되는 프로브헤드(233)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 프로브헤드(233)의 종류(PHT)(즉, 프로브헤드(233)의 X축방향으로의 폭 및 Y축방향으로의 폭)와 프로브바(234)가 연장되는 방향(PPE)과 관련된 정보를 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 프로브헤드(233)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

그리고, 복수의 검사영역(PT) 전체의 형상의 4개의 변의 위치(OFFSET)를 설정할 수 있는 입력필드는, 사용자 인터페이스 화면상에 표시되는 복수의 검사영역(PT) 전체의 형상에서의 상변(TOP), 하변(BOTTOM), 좌변(LEFT) 및 우변(RIGHT)이 유효영역(PA)의 4개의 변으로부터 외측으로 어느 정도 벗어나게 할 수 있는 값이 입력될 수 있다. 예를 들어, 상변(TOP)의 입력필드에 소정의 수치가 입력되면, 상변(TOP)이 유효영역(PA)의 상측으로부터 입력된 수치만큼 외측으로 벗어나게 표시될 수 있다. 검사영역(PT)상에는 모듈레이터(221)가 위치되는데, 모듈레이터(221)가 검사영역(PT)상에 위치되도록 모듈레이터(221)를 수반하는 테스트모듈(22)이 이동될 때, 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭되는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 이러한 간섭문제를 미연에 방지하기 위해 복수의 검사영역(PT)의 전체의 형상에서의 상변(TOP), 하변(BOTTOM), 좌변(LEFT) 및 우변(RIGHT) 중 프로브헤드(233)와 인접되는 변의 위치(OFFSET)를 조절함으로써, 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 사용자는 사용자 인터페이스 화면으로 표시되는 복수의 검사영역(PT)과 프로브헤드의 형상 사이의 간격으로부터 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭될 우려가 있는지를 확인할 수 있으며, 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 복수의 검사영역(PT) 전체의 형상의 4개의 변의 위치(OFFSET)를 변경하는 것을 통하여 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭되는 문제를 미연에 해결할 수 있다.

그리고, 오버랩간격(OVERLAP) 입력필드는 복수의 검사영역(PT)의 각각이 X축방향 또는 Y축방향으로 겹치도록 할 수 있는 값이 입력될 수 있다. 예를 들어, X축방향 오버랩 입력필드에 소정의 수치가 입력되면 각 검사영역(PT)이 입력된 수치만큼 X축방향으로 겹쳐져 표시될 수 있고, Y축방향 오버랩 입력필드에 소정의 수치가 입력되면 각 검사영역(PT)이 입력된 수치만큼 X축방향으로 겹쳐져 표시될 수 있다.

유효영역(PA)을 복수의 검사영역(PT)으로 분할하는 데에 있어서, 검사영역(PT)의 개수를 최소화하는 것이, 모듈레이터(221)를 이용한 검사의 횟수를 줄이고, 테스트모듈(22)의 이동거리를 줄여, 글라스패널(P)에 대한 전체적인 검사시간을 줄이는데 있어 바람직하다. 따라서, 사용자는 사용자 인터페이스 화면으로 표시되는 복수의 검사영역(PT)이 서로 X축방향 또는 Y축방향으로 겹치는 정도를 변경하면서, 유효영역(PA)을 최소의 개수의 검사영역(PT)으로 분할할 수 있다.

또한, 전술한 바와 같이 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭될 우려가 사용자 인터페이스 화면으로 확인되는 경우에는, 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 복수의 검사영역(PT)이 서로 X축방향 또는 Y축방향으로 겹치는 정도를 변경하면서, 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭되는 문제를 미연에 해결할 수 있다.

이와 같은 구성에 따라, 사용자는 전체의 검사영역(PT)의 4개의 변의 위치(OFFSET)을 설정할 수 있으며, 복수의 검사영역(PT)의 오버랩간격(OVERLAP)을 설정할 수 있다(S306).

한편, 사용자가 제2활성창(W2)을 통하여 전체의 검사영역(PT)의 4개의 변의 위치(OFFSET) 및 복수의 검사영역(PT)의 오버랩간격(OVERLAP)을 설정하는 동작을 완료하고, 입력확인버튼(APPLY)를 조작하면, 데이터검사부(84)는, 사용자에 의하여 입력된 정보에 의하여 설정된 검사영역(PT)의 개수가 설정되기 이전단계의 검사영역(PT)의 개수에 비하여 증가하는지 여부를 검사한다(S307).

여기에서, 사용자에 의하여 설정된 검사영역(PT)의 개수가 설정되기 이전단계의 검사영역의 개수에 비하여 증가되지 않는 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 검사영역(PT)을 설정하는 단계를 완료하는 메시지창을 생성하며, 이에 따라, 도 18에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 완료메시지창이 표시된다(S308). 이때, 사용자는 완료메시지창을 확인한 후 검사영역(PT)을 설정하는 동작을 완료할 수 있으며, 후속하는 다음 단계가 존재하는 경우에는 다음 단계를 진행할 수 있다.

다만, 사용자에 의하여 설정된 검사영역(PT)의 개수가 설정되기 이전단계의 검사영역의 개수에 비하여 증가된 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 간섭발생우려를 경고하는 오류메시지창을 생성하며, 이에 따라, 도 19에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 오류메시지창이 표시된다. 디스플레이유닛(90)에 오류메시지창이 표시된 경우, 사용자는 오류메시지창을 해제한 후, 기존에 입력한 정보를 수정하는 작업을 할 수 있다.

이와 같이, 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 생성된 사용자 인터페이스 화면(제2활성창(W2))을 실시간으로 확인하면서 전체의 검사영역(PT)의 4개의 변의 위치(OFFSET) 및 복수의 검사영역(PT)의 오버랩간격(OVERLAP)을 조절할 수 있으므로, 어레이 테스트 장치가 실제로 동작되는 과정에서, 테스트모듈(22)과 프로브헤드(233)가 서로 간섭되는 문제를 미리 확인할 수 있다. 또한, 사용자에 의하여 설정된 검사영역(PT)의 개수가 불필요하게 증가되었는지 여부를 확인하여 이를 해결할 수 있으므로, 어레이 테스트 장치가 실제로 동작하는 과정에서, 검사시간이 불필요하게 증가하는 문제를 방지할 수 있다.

이하, 도 20 내지 도 26을 참조하여, 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서는 제1활성창(W1)을 통하여 글라스패널(P)의 정보, 모듈레이터(221)의 정보, 프로브모듈(23)의 정보를 입력하고, 입력된 정보를 근거로 표시되는 제2활성창(W2)을 통하여 검사영역(PT)을 설정하는 구성에 대하여 설명하였다. 제4실시예에서는 제2활성창(W2)을 통하여 검사영역(PT)을 설정하는 단계를 완료한 후, 프로브헤드(233)의 정보를 입력하면서 프로브헤드(233)의 사용여부, 프로브헤드(233)의 위치 및 프로브헤드(233)에 구비되는 복수의 프로브핀의 배열방향을 설정하는 단계에 대하여 설명한다.

전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서와 같이, 사용자가 제2활성창(W2)을 통하여 검사영역(PT)을 설정하고 입력확인버튼(APPLY)를 조작하면, 디스플레이유닛(90)에는 검사영역(PT)을 설정하는 단계를 완료하는 완료메시지창이 표시되는데, 이때, 사용자가 완료메시지창을 확인한 후 검사영역(PT)을 설정하는 동작을 완료하면, 도 20에 도시된 바와 같이, 이미지정보생성부(83)는 제3활성창(W3)을 활성화하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 제3활성창(W3)이 표시된다.

제3활성창(W3)에 표시되는 항목으로는, 글라스패널(P)의 형상과, 글라스패널(P) 내에 형성되는 유효영역(PA)의 형상과, 전극패드(PE)의 형상과, 프로브헤드(233)의 형상과, 프로브헤드(233)의 사용여부를 설정할 수 있는 프로브헤드설정버튼과, 입력확인버튼(APPLY)이다.

제3활성창(W3)에 표시되는 글라스패널(P)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 글라스패널(P)의 X축방향으로의 폭(WPX) 및 Y축방향으로의 폭(WPY)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로 실제의 글라스패널(P)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

제3활성창(W3)에 표시되는 유효영역(PA)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 유효영역(PA)의 X축방향으로의 폭(WEX) 및 Y축방향으로의 폭(WEY)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX1)과, 글라스패널(P)의 X축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GPX2)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 일단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY1)과, 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 타단과 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GPY2)과, 글라스패널(P)상의 X축방향으로의 유효영역(PA)의 개수와, 글라스패널(P)상의 Y축방향으로의 유효영역(PA)의 개수와, X축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 X축방향으로의 간격(GEX) 및 Y축방향으로 배열된 두 개의 유효영역(PA) 사이의 Y축방향으로의 간격(GEY)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 글라스패널(P) 내에서의 유효영역(PA)의 위치와 비례하는 위치에 위치되며, 제3활성창(W3)에 표시된 복수의 유효영역(PA) 사이의 간격은 실제의 복수의 유효영역(PA) 사이의 간격에 비례한다.

제3활성창(W3)에 표시되는 전극패드(PE)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 전극패드(PE)의 X좌표(PEX) 및 Y좌표(PEY)를 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 전극패드(PE)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

그리고, 제3활성창(W3)에 표시되는 프로브헤드(233)의 형상은, 제1활성창(W1)을 통하여 입력된 프로브헤드(233)의 종류(PHT)(즉, 프로브헤드(233)의 X축방향으로의 폭 및 Y축방향으로의 폭)와 프로브바(234)가 연장되는 방향(PPE)을 근거로 하여 이미지로 생성된 것으로, 실제의 프로브헤드(233)의 크기와 비례하는 크기를 가진다.

프로브헤드설정버튼은 프로브헤드(233)의 사용여부를 선택하기 위한 것으로, 사용자가 프로브헤드설정버튼을 조작하면 이미지정보생성부(83)는 프로브헤드설정창을 활성화하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 프로브헤드설정창이 표시된다. 프로브헤드설정창은 드롭다운메뉴의 형식으로 표시될 수 있다. 글라스패널(P) 내에 복수의 유효영역(PA) 및 복수의 유효영역(PA)에 대응되는 복수의 전극패드(PE)가 형성된 경우, 사용자는 프로브헤드설정창을 통하여 복수의 프로브헤드(233) 중 각 전극패드(PE)에 전원을 인가할 프로브헤드(233)를 선택할 수 있다.

이하, 도 20 내지 도 26을 참조하여, 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 제어유닛(80)의 동작 및 제어유닛(80)의 동작에 따라 디스플레이유닛(90)에 표시되는 사용자 인터페이스 화면에 대하여 설명한다.

먼저, 도 20 및 도 22에 도시된 바와 같이, 사용자가 완료메시지창을 확인한 후 검사영역(PT)을 설정하는 동작을 완료하면, 이미지정보생성부(83)는 제3활성창(W3)을 활성화하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 제3활성창(W3)이 표시된다(S401).

그리고, 사용자가 제3활성창(W3)내에 표시된 프로브헤드설정버튼을 조작하여 프로브헤드설정창이 활성화되면, 사용자는 프로브헤드설정창을 통하여 복수의 프로브헤드(233) 중 각 전극패드(PE)에 전원을 인가할 프로브헤드(233)를 선택할 수 있다(S402). 예를 들면, 도 21에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)의 내부에 3개의 유효영역(PA)이 형성되고, 3개의 유효영역(PA)에 각각 대응되는 3개의 전극패드(PE)가 글라스패널(P)상에 형성되며, 어레이 테스트 장치에 X축방향으로 8개의 프로브헤드(233)가 마련된 경우에, 사용자가 프로브헤드설정창을 확인하면서 8개의 프로브헤드(233) 중 3개의 전극패드(PE)에 각각 대응되는 3개의 프로브헤드(233)를 선택할 수 있다.

이와 같이, 프로브헤드(233)의 사용상태가 선택된 후, 사용자는 제3활성창(W3)에 표시된 프로브헤드(233)의 형상 및 전극패드(PE)의 형상을 확인하면서 사용상태로 선택된 프로브헤드(233)의 프로브바(234)와 전극패드(PE)를 정렬시키는 동작과, 하나의 프로브헤드(233)를 인접하는 다른 프로브헤드(233)와 간섭되지 않도록 이동시키는 동작을 수행할 수 있다(S403). 프로브헤드(233)와 전극패드(PE)를 정렬하는 동작은, 프로브바(234)의 연장방향을 전극패드(PE)의 연장방향과 일치시키는 동작과 프로브바(234)의 위치와 전극패드(PE)의 위치가 일치하도록 프로브헤드(233)를 전극패드(PE) 쪽으로 이동시키는 동작을 통하여 진행될 수 있다.

글라스패널(P)의 종류에 따라 전극패드(PE)가 X축방향으로 연장되는 형태로 글라스패널(P)상에 형성될 수 있고, 전극패드(PE)가 Y축방향으로 연장되는 형태로 글라스패널(P)상에 형성될 수 있다. 또한, 프로브바(234)는 프로브헤드(233)에 회전이 가능하게 설치되며, 이에 따라, 복수의 프로브핀의 배열방향은 X축방향 또는 Y축방향으로 조절될 수 있다.

먼저, 프로브바(234)의 연장방향을 전극패드(PE)의 연장방향과 일치시키기 위하여, 사용자는 제3활성창(W3)에 표시된 전극패드(PE)의 형상(전극패드(PE)의 연장방향)을 확인하면서 프로브바(234)의 연장방향을 조절할 수 있다. 프로브바(234)의 연장방향의 조절은, 예를 들면, 사용자가 마우스 포인터를 프로브헤드(233)의 형상에 위치시킨 후, 마우스 버튼을 더블 클릭하는 것을 통하여 프로브바(234)의 연장방향을 X축방향 또는 Y축방향으로 변경하도록 할 수 있다. 또한, 프로브바(234)의 연장방향의 조절을 위하여 제3활성창(W3)에 프로브바(234)의 연장방향과 관련한 입력필드가 추가될 수 있다.

그리고, 사용자는 프로브바(234)의 위치와 전극패드(PE)의 위치를 일치시키거나, 복수의 프로브헤드(233) 사이에 간섭이 발생되지 않도록, 프로브헤드(233)를 이동시키게 된다. 프로브헤드(233)의 이동은, 예를 들면, 사용자가 마우스 포인터를 이동의 대상이 되는 프로브헤드(233)의 형상에 위치시킨 후, 마우스 버튼을 누른 상태에서 마우스를 이동시켜 프로브헤드(233)가 전극패드(PE) 쪽으로 이동되도록 할 수 있다. 또한, 프로브헤드(233)의 위치조절을 위하여 제3활성창(W3)에 프로브헤드(233)의 위치(예를 들면, 좌표)를 입력할 수 있는 입력필드가 추가될 수 있다.

이와 같이, 사용자가 디스플레이유닛(90)에 표시된 제3활성창(W3)의 이미지를 확인하면서, 복수의 프로브핀과 전극패드(PE)를 정렬하고, 프로브헤드(233)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 과정에서, 데이터변환부(82)는 제3활성창(W3)을 통하여 설정되는 프로브헤드(233) 및 프로브바(234)의 위치정보를 좌표데이터를 변환한다(S404). 그리고, 이미지정보생성부(83)는 데이터변환부(82)에서 변환된 프로브바(234)의 좌표데이터를 이용하여 프로브헤드(233)와 프로브바(234)의 형상과 관련한 이미지정보를 생성하며, 이에 따라, 디스플레이유닛(90)에는 프로브헤드(233)와 프로브바(234)의 형상과 관련한 이미지가 실시간으로 변경되면서 표시될 수 있다(S405).

아울러, 사용자가 프로브헤드(233)의 사용여부를 선택하면, 사용자는 각 프로브헤드(233)가 사용상태로 선택되었는지 또는 사용상태가 해제되었는지를 제3활성창(W3)내에 표시되는 이미지로부터 실시간으로 확인할 수 있다. 예를 들면, 도 22에 도시된 바와 같이, 각 프로브헤드(233)의 형상의 아래에는 각 프로브헤드(233)가 사용상태로 선택되었는지(Use) 아니면 사용상태의 선택이 해제되었는지(Not Use)가 표시될 수 있다.

한편, 사용자가 복수의 프로브헤드(233)의 사용상태를 선택하여 각 전극패드(PE)에 할당하는 동작과, 프로브바(234)를 전극패드(PE)와 정렬하는 동작과, 프로브헤드(233)를 이동시키는 동작을 완료하고, 입력확인버튼(APPLY)을 조작하면, 데이터검사부(84)는, 사용자에 의하여 입력된 정보에 의하여 프로브바(234)와 전극패드(PE)가 서로 정렬되었는지 여부를 검사하며(S406), 이와 동시에 또는 순차적으로, 사용자에 의하여 선택된 복수의 프로브헤드(233)가 동시에 동작될 경우, 복수의 프로브헤드(233) 사이에 간섭이 발생하는지 여부를 검사한다(S407).

이때, 프로브바(234)가 전극패드(PE)와 정렬이 되고, 복수의 프로브헤드(233)가 동시에 동작될 경우 복수의 프로브헤드(233) 사이에 간섭이 발생할 우려가 없는 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 프로브헤드(233)의 사용여부를 선택하는 단계를 완료하는 메시지창을 생성하며, 이에 따라, 도 23에 도시된 바와 같이, 디스플레이유닛(90)에는 완료메시지창이 표시된다(S409). 이때, 사용자는 완료메시지창을 확인한 후 프로브헤드(233)의 사용여부를 선택하는 단계를 완료할 수 있으며, 후속하는 다음 단계가 존재하는 경우에는 다음 단계를 진행할 수 있다.

다만, 프로브바(234)가 전극패드(PE)와 정렬이 되지 않은 경우, 즉, 모든 전극패드(PE)에 대응되게 프로브바(234)가 위치되지 않은 경우 또는 전극패드(PE)에 대응되게 프로브헤드(233)가 위치되었으나 프로브바(234)의 방향이 다르게 설정된 경우에는, 프로브바(234)와 전극패드(PE)가 정렬이 되지 않았음을 경고하는 오류메시지창을 표시하는 이미지가 생성되며, 디스플레이유닛(90)에는 오류메시지창이 표시되면서 프로브바(234)와 정렬되지 않는 전극패드(PE)가 어떤 것인지를 표시한다(S408). 예를 들면, 도 24에 도시된 바와 같이, 복수의 전극패드(PE) 중 일부 전극패드(PE)에 대응되게 프로브바(234)가 위치되지 않은 경우, 해당 전극패드(PE)의 둘레에는 사각형상의 박스가 표시되면서, 일부 전극패드(PE)에 프로브바(234)가 정렬되지 않았음을 경고하는 오류메시지창이 표시된다. 또한, 도 25에 도시된 바와 같이, 프로브바(234)의 방향이 잘못 설정된 경우에는, 해당 프로브헤드(233)의 둘레에는 사각형상의 박스가 표시되면서, 프로브바(234)의 방향이 잘못 설정되었음을 경고하는 오류메시지창이 표시된다. 이와 같은 경우, 사용자는 오류메시지창을 해제한 후, 기존에 입력한 정보를 수정하는 작업을 할 수 있다.

또한, 사용자에 의하여 입력된 정보에 따라 복수의 프로브헤드(233)가 동시에 동작될 때 복수의 프로브헤드(233)가 서로 간섭될 우려가 있는 경우에는, 이미지정보생성부(83)는 간섭발생우려를 경고하는 오류메시지창 및 간섭되는 프로브헤드(233)가 어떤 것인지를 표시하는 이미지를 생성하며, 디스플레이유닛(90)에는 오류메시지창이 표시되면서 간섭되는 프로브헤드(233)가 어떤 것인지를 표시한다(S410). 간섭되는 프로브헤드(233)가 어떤 것인지를 표시하기 위하여, 예를 들면, 도 26에 도시된 바와 같이, 서로 간섭을 일으키는 복수의 프로브헤드(233)의 둘레에 사각형상의 박스가 표시될 수 있다. 이와 같은 경우, 사용자는 오류메시지창을 해제한 후, 기존에 입력한 정보를 수정하는 작업을 할 수 있다.

한편, 제4실시예에서는 오류가 발생된 프로브헤드(233), 전극패드(PE) 또는 복수의 프로브핀을 표시하기 위해 사각형의 박스가 표시되는 구성에 대하여 제시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 다른 예로서, 오류가 발생된 프로브헤드(233), 전극패드(PE) 또는 복수의 프로브핀을 표시하기 위하여, 프로브헤드(233) 또는 전극패드(PE)의 색깔이 변하거나, 프로브헤드(233) 또는 전극패드(PE)의 형상이 깜빡이도록 하는 이미지가 구현될 수 있다.

이와 같이, 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 복수의 프로브헤드(233)의 사용상태를 선택할 수 있으며, 복수의 프로브핀과 전극패드(PE)를 서로 정렬시킬 수 있고, 사용상태로 선택된 복수의 프로브헤드(233)가 실제로 작동하는 경우 서로 간섭을 일으킬 우려가 있는지 여부를 확인할 수 있다.

이하, 도 27 및 도 28을 참조하여, 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제4실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 27에 도시된 바와 같이, 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 있어서, 제어유닛(80)은 사용자가 입력유닛(70)을 통하여 입력한 입력데이터와, 사용자가 입력한 입력정보에 따른 결과데이터를 저장하는 저장유닛(95)을 더 포함하여 구성될 수 있다.

사용자가 입력유닛(70)을 통하여 입력한 입력데이터는, 사용자가 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 입력한 글라스패널(P)의 정보와, 모듈레이터(221)의 정보와, 테스트모듈(22)의 정보와, 전극패드(PE)의 정보와, 프로브모듈(23)의 정보(프로브헤드(233)의 정보) 등이 될 수 있다.

사용자가 입력한 입력정보에 따른 결과데이터는, 글라스패널(P)의 좌표정보와, 글라스패널(P) 내에 형성되는 유효영역(PA)의 좌표정보와, 유효영역(PA)을 분할한 복수의 검사영역(PT)의 좌표정보와, 간섭을 일으키지 않는 조건에서의 테스트모듈(22)의 사용여부에 관한 정보와, 간섭을 일으키지 않는 조건에서의 복수의 검사영역(PT)에 대한 테스트모듈(22)의 할당정보와, 간섭을 일으키지 않는 조건에서의 프로브헤드(233)의 사용여부에 관한 정보, 전극패드(PE)와 정렬된 조건에서의 프로브바(234)의 연장방향(복수의 프로브핀의 배열방향)에 관한 정보, 전극패드(PE)와 정렬되면서 간섭을 일으키지 않는 조건에서의 프로브헤드(233)의 위치정보 등이 될 수 있다.

저장유닛(95)에 저장된 입력데이터는, 사용자가 어레이 테스트 장치의 동작을 설정하거나 변경하는 과정에서 사용될 수 있다. 예를 들면, 도 28에 도시된 바와 같이, 제1활성창(W1)에는 기존에 저장유닛(95)에 저장된 입력데이터를 로드할 수 있는 로드버튼이 구현될 수 있고, 사용자가 로드버튼을 조작하는 것을 조작하는 것을 통하여 기존에 저장유닛(95)에 저장된 입력데이터를 사용할 수 있으므로, 사용자가 제1활성창(W1)의 각 입력항목에 정보를 입력하는 불편함을 제거할 수 있다. 또한, 도 28에 도시된 바와 같이, 제1활성창(W1)에는 사용자가 입력한 정보를 저장할 수 있는 저장버튼이 구현될 수 있고, 사용자가 저장버튼을 조작하는 것을 통하여 제1활성창(W1)의 각 입력항목에 입력된 정보가 저장유닛(95)에 저장될 수 있다.

저장유닛(95)에 저장된 결과데이터는, 어레이 테스트 장치를 실제로 동작시켰을 때 오류가 발생되지 않는 데이터로서, 어레이 테스트 장치를 실제로 동작시키는 데에 이용될 수 있다.

이와 같이, 제5실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 사용자가 입력한 입력데이터 및 입력데이터에 따른 결과데이터를 저장하는 저장유닛(95)을 구비함으로써, 어레이 테스트 장치의 동작을 설정하거나 변경하는 과정에서 기존의 입력데이터를 활용할 수 있으며, 어레이 테스트 장치를 실제로 동작시키는 과정에서 결과데이터를 활용할 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보를 사용자 인터페이스 화면으로 구현하고, 사용자 인터페이스 화면을 확인하면서 실제의 동작과정에서 발생할 수 있는 오류를 확인하면서, 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품에 대한 최적설계를 용이하게 수행할 수 있다.

상기한 실시예들에서는 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보가 특정의 활성창에 나뉘어 입력되고, 입력된 정보에 따른 결과가 특정의 활성창에 나뉘어 표시되는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보가 상기한 실시예들에서 설명한 특정의 활성창이 아닌 다른 활성창에 입력될 수 있거나, 입력된 정보에 따른 결과가 상기한 실시예들에서 설명한 특정의 활성창이 아닌 다른 활성창에 표시될 수 있으며, 하나의 활성창에 어레이 테스트 장치를 구성하는 각 구성부품의 정보가 모두 입력되고 입력된 정보에 따른 결과가 모두 표시되는 구성이 이용될 수 있다.

70: 입력유닛 80: 제어유닛
90: 디스플레이유닛 95: 저장유닛
P: 글라스패널 PA: 유효영역
PE: 전극패드 PT: 검사영역

Claims (21)

1. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
   상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
   상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
   상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하며,
   상기 테스트모듈은 복수로 마련되고, 상기 제어유닛은, 사용자가 상기 복수의 테스트모듈 각각의 사용여부정보를 입력할 수 있는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어유닛은,
   상기 복수의 검사영역에 일련번호가 순차적으로 표시되는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 제어유닛은,
   사용자가 상기 복수의 검사영역을 각 테스트모듈에 할당하는 정보를 입력할 수 있는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
5. 제1항 또는 제4항에 있어서,
   상기 제어유닛은,
   사용상태로 선택된 적어도 하나의 테스트모듈로 상기 유효영역에 대한 검사가 수행될 수 있는지 여부를 검사하고,
   사용상태로 선택된 적어도 하나의 테스트모듈로 상기 유효영역에 대한 검사가 수행될 수 없는 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
6. 제1항 또는 제4항에 있어서,
   상기 제어유닛은,
   상기 복수의 테스트모듈 사이에서 간섭이 발생되는지 여부를 검사하고, 상기 복수의 테스트모듈 사이에서 간섭이 발생되는 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
7. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
   상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
   상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
   상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하고,
   상기 제어유닛은, 사용자가 복수의 검사영역의 전체의 폭의 설정정보를 입력할 수 있는 이미지정보를 생성하며,
   상기 제어유닛은, 복수의 검사영역의 전체의 폭의 설정에 의하여 복수의 검사영역의 개수가 증가하였는지 여부를 검사하고, 복수의 검사영역의 개수가 증가한 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
8. 삭제
9. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
   상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
   상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
   상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하며,
   상기 제어유닛은, 사용자가 복수의 검사영역이 서로 겹치는 오버랩간격의 설정정보를 입력할 수 있는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 오버랩간격의 설정에 의하여 상기 복수의 검사영역의 개수가 증가하였는지 여부를 검사하고,
    상기 복수의 검사영역의 개수가 증가한 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
11. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
    상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
    상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
    상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하고,
    상기 제어유닛은, 상기 프로브헤드의 정보 및 상기 전극패드의 정보를 이용하여 상기 프로브헤드의 형상과 상기 전극패드의 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하며,
    상기 프로브헤드는 복수로 마련되고, 상기 제어유닛은, 사용자가 상기 복수의 프로브헤드 각각의 사용여부를 선택할 수 있는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
12. 삭제
13. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
    상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
    상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
    상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하고,
    상기 제어유닛은, 상기 프로브헤드의 정보 및 상기 전극패드의 정보를 이용하여 상기 프로브헤드의 형상과 상기 전극패드의 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하며,
    상기 프로브헤드는 복수로 마련되고,
    상기 제어유닛은, 상기 복수의 프로브헤드 사이에서 간섭이 발생되는지 여부를 검사하고, 상기 복수의 테스트모듈 사이에서 간섭이 발생되는 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
14. 제13항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 복수의 프로브헤드 사이에 간섭이 발생되는 경우 간섭이 발생된 상기 복수의 프로브헤드를 표시하는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
15. 삭제
16. 삭제
17. 삭제
18. 모듈레이터가 구비되는 테스트모듈과, 글라스패널상에 형성된 전극패드에 접촉되는 프로브핀이 설치된 프로브헤드가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성되어, 상기 글라스패널의 유효영역상에 상기 모듈레이터를 위치시키고 상기 전극패드에 상기 프로브핀을 통하여 전원을 인가하여 상기 유효영역에 대한 검사를 수행하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
    상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브모듈의 정보 중 적어도 하나의 정보를 이용하여 이미지정보를 생성하는 제어유닛; 및
    상기 제어유닛에서 생성된 이미지정보를 이용하여 사용자 인터페이스 화면을 출력하는 디스플레이유닛을 포함하고,
    상기 제어유닛은, 상기 글라스패널의 형상과, 상기 글라스패널 내의 유효영역의 형상과, 상기 유효영역을 상기 모듈레이터가 1회 검사할 수 있는 검사영역단위로 분할한 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하고,
    상기 제어유닛은, 상기 프로브헤드의 정보 및 상기 전극패드의 정보를 이용하여 상기 프로브헤드의 형상과 상기 전극패드의 형상을 포함하는 이미지정보를 생성하며,
    상기 제어유닛은, 상기 프로브헤드에 구비되는 복수의 프로브핀의 배열방향정보를 입력할 수 있는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
19. 제18항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 복수의 프로브핀의 배열방향과 상기 전극패드의 연장방향이 서로 일치하는지 여부를 검사하고,
    상기 복수의 프로브핀의 배열방향과 상기 전극패드의 연장방향이 서로 일치하지 않은 경우 이를 사용자에게 경고하는 오류메시지창의 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
20. 제19항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 전극패드의 연장방향과 일치하지 않은 배열방향으로 배열된 상기 복수의 프로브핀이 구비된 상기 프로브헤드를 표시하는 이미지정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
21. 제1항에 있어서,
    상기 글라스패널의 정보, 상기 모듈레이터의 정보, 상기 테스트모듈의 정보 또는 상기 프로브헤드의 정보 중 적어도 하나의 정보가 저장되는 저장유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.

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