KR20110045431A - 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는 어레이기판의 복수의 전극에 복수의 프로브핀이 대응되도록 프로브핀이 구비된 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 구비함으로써, 복수의 전극의 위치 및 배열방향이 다른 여러 종류의 어레이기판에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 효과가 있다.
Figure P1020090102012
어레이기판, 검사, 장치

Description

어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법 {APPARATUS AND METHOD FOR TESTING ARRAY SUBSTRATE}
본 발명은 어레이기판을 검사하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display: FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "어레이기판"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
어레이기판을 검사하기 위하여, 복수의 프로브핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 검사장치가 이용되는데, 이러한 검사장치는 복수의 프로브핀을 검사대상 어레이기판에 배열된 복수의 전극에 대응되도록 위치시키고, 프로브핀을 전극에 가압한 후, 전극에 소정의 전기신호를 인가하는 과정을 통하여 진행된다.
한편, 어레이기판의 전극의 위치 및 배열방향은 어레이기판의 종류에 따라 다른데, 하나의 검사장치를 이용하여 여러 종류의 어레이기판을 검사하기 위해서는 전극의 위치 및 배열방향에 일치하도록 프로브핀을 교정하는 작업을 수행하여야 한다. 그러나, 종래의 검사장치의 경우에는, 전극의 위치 및 배열방향에 따라 프로브모듈을 교체하는 작업을 수행하였으므로, 공정의 효율성이 저하되는 문제점이 있 다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 어레이기판의 복수의 전극에 복수의 프로브핀이 대응되도록 프로브핀이 구비된 프로브바를 회전시킬 수 있도록 함으로써, 복수의 전극의 위치 및 배열방향이 다른 여러 종류의 어레이기판에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법을 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는, 프로브헤드지지대에 상기 프로브헤드지지대의 길이방향으로 이동이 가능하게 배치되는 프로브헤드와, 상기 프로브헤드에 구비되며 복수의 프로브핀이 배치되는 프로브바와, 상기 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 어레이기판 검사장치에는 상기 프로브헤드에 인접되게 설치되어 상기 프로브핀과 어레이기판의 전극을 촬상하는 촬상유닛을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이기판 검사방법은, 프로브헤드와, 상기 프로브헤드에 구비되며 복수의 프로브핀이 배치되는 프로브바와, 상기 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 포함하는 어레이기판 검사장치를 이용한 어레이기판 검사방법에 있어서, (a) 상기 복수의 프로브핀이 어레이기판의 전극에 인접하도록 상기 프로브헤드를 이동시키는 단계와, (b) 상기 프로브헤드의 프로 브바를 회전시켜 상기 어레이기판의 전극과 프로브핀을 정렬하는 단계와, (c) 상기 프로브바를 상기 어레이기판의 전극에 가압하고 상기 프로브핀을 통하여 상기 어레이기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 상기 (b) 단계는, 상기 프로브핀을 상기 전극에 가압하여 통전되는 상기 전극의 개수를 측정하는 제1단계와, 상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 전극의 전체의 개수 보다 적은 경우 상기 프로브바를 상기 제1방향 또는 상기 제1방향의 반대방향인 제2방향으로 회전시킨 후 상기 프로브핀을 상기 전극에 가압하여 통전되는 상기 전극의 개수를 측정하는 제2단계를 포함하고, 상기 제2단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수에 비하여 적은 경우에는 상기 제2단계에서의 상기 프로브바의 회전방향과 반대방향으로 상기 프로브바를 회전시켜 상기 제2단계를 다시 수행하고, 상기 제2단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수에 비하여 많은 경우에는 상기 제2단계에서의 상기 프로브바의 회전방향과 동일한 방향으로 상기 프로브바를 회전시켜 상기 제2단계를 다시 수행하면서 상기 복수의 전극과 상기 복수의 프로브핀을 정렬시키는 과정으로 진행될 수 있다.
한편, 상기 (b) 단계는, 상기 프로브핀과 상기 전극을 촬상하고, 촬상된 이미지를 통하여 상기 복수의 전극과 상기 복수의 프로브핀을 정렬시키는 과정으로 진행될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는 전극의 배치위치가 다른 다양한 종류의 어레이기판의 전극에 전기신호를 인가하기 위하여, 종래와 같이 어레이기판의 종류에 따라 프로브모듈을 교체하지 않고, 프로브바를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 어레이기판의 복수의 전극과 복수의 프로브핀을 서로 일치시킬 수 있으므로, 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는, 어레이기판(S)을 로딩하는 로딩부(10)와, 로딩부(10)에 의하여 로딩된 어레이기판(S)을 검사하는 검사부(20)와, 검사가 완료된 어레이기판(S)을 언로딩하는 언로딩부(30)를 포함하여 구성될 수 있다.
검사부(20)는, 어레이기판(S)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩부(10)에 의하여 로딩된 어레이기판(S)이 배치되는 검사플레이트(21)와, 검사플레이트(21)상에 배치된 어레이기판(S)의 전기적 결함여부를 검사하는 검사모듈(22)과, 검사플레이트(21)상에 배치된 어레이기판(S)의 전극(S1)으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 검사모듈(22) 및 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(24)을 포함하여 구성될 수 있다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은, 검사플레이트(21)의 상측에서 길이방향(X축방향)으로 연장되는 프로브헤드지지대(50)와, 프로브헤드지 지대(50)에 프로브헤드지지대(50)의 길이방향으로 이동이 가능하게 설치되는 프로브헤드(60)와, 프로브헤드(60)에 구비되며 복수의 프로브핀(71)이 배치되는 프로브바(70)와, 프로브바(70)를 승강시키는 승강유닛(80)과, 프로브바(70)를 회전시키는 회전유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다.
프로브헤드지지대(50)는 지지대이동장치(51)와 연결되어 Y축방향으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브헤드지지대(50)와 프로브헤드(60) 사이에는 프로브헤드(60)를 프로브헤드지지대(50)의 길이방향으로 이동시키는 헤드이동장치(61)가 구비될 수 있다. 헤드이동장치(61)는 리니어모터 또는 볼스크류구조와 같은 직선이동기구로 구성될 수 있다.
프로브바(70)는 프로브헤드(60)로부터 수평방향으로 연장되는 형태로 구성되며, 프로브바(70)의 하측에는 복수의 프로브핀(71)이 프로브바(70)가 연장되는 방향으로 배열된다.
승강유닛(80)은 프로브헤드(60)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브바(70)를 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(80)은, 어레이기판(S)이 검사플레이트(21)상에 배치된 상태에서, 프로브핀(71)이 어레이기판(S)의 전극(S1)을 가압할 수 있도록 프로브바(70)를 하강시키는 역할을 수행한다.
회전유닛(90)은 프로브헤드(60)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되어 프로브바(70)를 수평방향으로 회전시키는 회전모터로 구성될 수 있으며, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 이러한 회전유닛(90)은 프로브바(70)에 배치된 복수의 프로브핀(71)과 어레이기판(S)의 복수의 전극(S1)이 서로 일치하도록 프로브바(70)를 회전시키는 역할을 수행한다.
이와 같이 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 어레이기판(S)의 복수의 전극(S1)과 복수의 프로브핀(71)을 서로 정렬시킬 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 어레이기판(S)상에 복수의 전극(S1)이 X축방향으로 배열된 경우에, 프로브핀(71)이 어레이기판(S)상의 전극(S1)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 회전유닛(90)의 동작에 의하여 회전될 수 있고, 도 5에 도시된 바와 같이, 어레이기판(S)상에 복수의 전극(S1)이 Y축방향으로 배열된 경우에도, 프로브핀(71)이 어레이기판(S)상의 전극(S1)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 회전유닛(90)의 동작에 의하여 회전될 수 있다. 이와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는, 어레이기판(S)의 복수의 전극(S1)의 위치 및 배열방향이 달라지는 경우에도, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 어레이기판(S)의 복수의 전극(S1)과 복수의 프로브핀(71)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 로딩부(10)의 동작에 의하여 어레이기판(S)이 검사플레이트(21)상에 배치되면, 검사부(20)에 의하여 어레이기판(S)에 대한 전기적 결함여부를 검사하기 전에, 프로브모듈(23)이 어레이기판(S)의 전극(S1)에 전기신호를 인가하는 과정이 진행된다.
프로브모듈(23)이 어레이기판(S)의 전극(S1)에 전기신호를 인가하기 위하여, 먼저, 프로브헤드(50)는 프로브헤드지지대(50)가 지지대이동장치(51)에 의하여 Y축방향으로 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있으며, 헤드이동장치(61)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있다. 프로브헤드(50)의 X축방향 및/또는 Y축방향으로의 이동에 의하여 프로브헤드(50)가 어레이기판(S)의 전극(S1)이 형성된 위치로 이동하며, 이에 따라, 프로브바(70)에 설치된 복수의 프로브핀(71)이 어레이기판(S)의 전극(S1)에 인접되는 위치로 이동한다.
그리고, 복수의 프로브핀(71)이 복수의 전극(S1)과 정렬되도록 프로브바(70)가 회전유닛(90)의 동작에 의하여 회전된다.
그리고, 복수의 프로브핀(71)이 복수의 전극(S1)을 가압하도록 승강유닛(80)을 동작시켜 프로브바(70)를 하강시키고, 복수의 프로브핀(71)을 통하여 복수의 전극(S1)에 전기신호를 인가한다.
그리고, 복수의 프로브핀(71)을 통하여 어레이기판(S)의 전극(S1)에 전기신호를 인가하는 과정이 완료되면, 검사부(20)의 검사모듈(22)이 동작하면서 어레이기판(S)에 대한 전기적 결함여부를 검사한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는, 전극(S1)의 배치위치가 다른 여러 종류의 어레이기판(S)이 어레이기판 검사장치로 로딩되는 경우에도, 종래와 같이 프로브모듈(23)을 교체할 필요 없이, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 어레이기판(S)의 복수의 전극(S1)과 복수의 프로브핀(71)을 서로 정렬시킬 수 있으므로, 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
한편, 프로브바(70)가 회전되는 것에 의하여 복수의 프로브핀(71)과 복수의 전극(S1)이 정렬되는 과정에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 프로브바(70)를 회전시켜 복수의 프로브핀(71)과 복수의 전극(S1)을 정렬시키고, 프로브바(70)를 하강시켜 복수의 프로브핀(71)을 복수의 전극(S1)에 가압하고, 복수의 전극(S1)으로 전기신호를 인가했을 때, 제어유닛(24)은 복수의 전극(S1) 중 통전되는 전극(S1)의 개수(n)를 측정한다(S10).
그리고, 복수의 전극(S1) 중 통전되는 전극(S1)의 개수(n)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는지 여부를 판단한다(S20).
여기에서, 복수의 전극(S1) 중 통전되는 전극(S1)의 개수(n)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는 경우에는 복수의 프로브핀(71)과 복수의 전극(S1)이 모두 정렬된 경우이므로, 프로브핀(71)과 전극(S1)을 정렬하는 동작을 종료하고, 어레이기판의 검사를 위한 다음의 동작을 진행한다.
다만, 복수의 전극(S1) 중 통전되는 전극(S1)의 개수(n)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하지 않는 경우에는, 프로브바(70)를 제1방향(A)으로 소정의 각도로 회전시킨 후 프로브바(70)를 하강시켜 프로브핀(71)을 전극(S1)에 가압한 후 전기신호를 인가하여 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)를 측정한다(S30).
그리고, 프로브바(70)를 제1방향(A)으로 회전시킨 후에 측정한 통전되는 전 극(S1)의 개수(n1)가 최초에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n)에 비하여 증가하는지 여부를 판단한다(S40).
이때, 프로브바(70)를 제1방향(A)으로 회전시킨 후에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)가 최초에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n)에 비하여 증가한 경우(n1 > n)에는, 프로브바(70)가 회전된 제1방향(A)이 프로브핀(71)과 전극(S1)이 정렬되는 방향이 되므로, 프로브바(70)를 제1방향(A)으로 회전시키면서 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)를 측정한다. 이와 같은 도중에, 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는 지를 판단하고(S50), 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는 경우에는, 프로브핀(71)과 전극(S1)을 정렬하는 동작을 종료하고, 어레이기판의 검사를 위한 다음의 동작을 진행한다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브바(70)를 제1방향(A)으로 회전시킨 후에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)가 최초에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n)에 비하여 증가하지 않은 경우에는, 프로브바(70)가 회전된 제1방향(A)이 프로브핀(71)과 전극(S1)이 정렬되는 방향이 아니므로, 프로브바(70)를 제1방향(A)과 반대되는 제2방향(B)으로 회전시킨다. 그리고, 프로브바(70)를 하강시켜 프로브핀(71)을 전극(S1)에 가압한 후 전기신호를 인가하여 통전되는 전극(S1)의 개수(n2)를 측정한다(S60).
그리고, 프로브바(70)를 제2방향(B)으로 회전시킨 후에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n1)가 최초에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n)에 비하여 증가하는지 여부를 판단한다(S70). 이때, 프로브바(70)를 제2방향(B)으로 회전시킨 후에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n2)가 최초에 측정한 통전되는 전극(S1)의 개수(n)에 비하여 증가한 경우(n2 > n)에는, 프로브바(70)가 회전된 제2방향(B)이 프로브핀(71)과 전극(S1)이 정렬되는 방향이 되므로, 프로브바(70)를 제2방향(B)으로 회전시키면서 통전되는 전극(S1)의 개수(n2)를 측정한다. 이와 같은 도중에, 통전되는 전극(S1)의 개수(n2)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는 지를 판단하고(S80), 통전되는 전극(S1)의 개수(n2)가 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수(nt)와 일치하는 경우에는, 프로브핀(71)과 전극(S1)을 정렬하는 동작을 종료하고, 어레이기판의 검사를 위한 다음의 동작을 진행한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는 프로브바(70)의 회전방향 및 회전각도에 따라 통전되는 전극(S1)의 개수를 통전되어야 할 전극(S1)의 전체의 개수와 일치시키는 과정을 통하여 프로브핀(71)과 전극(S1)을 정확하게 정렬시킬 수 있다.
이하, 도 9를 참조하여 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 전술한 실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치에는, 프로브헤드(60)에 인접되게 설치되어 프로브핀(71)과 어레이기판(S)의 전극(S1)을 촬상할 수 있도록 카메라(101)를 구비하는 촬상유닛(100)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 구성에 의하여 프로브핀(71)과 전극(S1)을 정렬하는 경우, 촬상유닛을 이용하여 프로브핀(71)과 전극(S1)을 촬상하고, 촬상된 이미지로부터 프로브핀(71)과 전극(S1)이 일치되는 방향으로 프로브바(70)를 회전시킴으로써, 프로브핀(71)과 전극(S1)을 일치시킬 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치는 전극의 배치위치가 다른 다양한 종류의 어레이기판의 전극에 전기신호를 인가하기 위하여, 종래와 같이 어레이기판의 종류에 따라 프로브모듈을 교체하지 않고, 프로브바를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 어레이기판의 복수의 전극과 복수의 프로브핀을 서로 일치시킬 수 있으므로, 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브모듈은 TFT기판뿐만 아니라 전극이 형성되는 다양한 형태의 기판의 검사를 위하여 기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 장치에 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이기판 검사장치의 프로브모듈의 사시도이다.
도 3은 도 1의 어레이기판 검사장치의 프로브모듈의 정면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 어레이기판 검사장치의 프로브헤드가 도시된 사시도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치에서 복수의 프로브핀을 어레이기판의 복수의 전극에 정렬시키는 과정이 도시된 상태도이다.
도 8은 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치에서 복수의 프로브핀을 어레이기판의 복수의 전극에 정렬시키는 과정이 도시된 순서도이다.
도 9는 본 발명에 따른 어레이기판 검사장치의 다른 실시예가 도시된 개략도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
23: 프로브모듈 50: 프로브헤드지지대
60: 프로브헤드 70: 프로브바
71: 프로브핀 80: 승강유닛
90: 회전유닛 100: 촬상유닛
S: 어레이기판 S1: 전극

Claims (5)

  1. 프로브헤드지지대에 상기 프로브헤드지지대의 길이방향으로 이동이 가능하게 배치되는 프로브헤드;
    상기 프로브헤드에 구비되며 복수의 프로브핀이 배치되는 프로브바; 및
    상기 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 포함하는 어레이기판 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로브헤드에 인접되게 설치되어 상기 프로브핀과 어레이기판의 전극을 촬상하는 촬상유닛을 더 포함하는 어레이기판 검사장치.
  3. 프로브헤드와, 상기 프로브헤드에 구비되며 복수의 프로브핀이 배치되는 프로브바와, 상기 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 포함하는 어레이기판 검사장치를 이용한 어레이기판 검사방법에 있어서,
    (a) 상기 복수의 프로브핀이 어레이기판의 전극에 인접하도록 상기 프로브헤드를 이동시키는 단계;
    (b) 상기 프로브헤드의 프로브바를 회전시켜 상기 어레이기판의 전극과 프로브핀을 정렬하는 단계; 및
    (c) 상기 프로브바를 상기 어레이기판의 전극에 가압하고 상기 프로브핀을 통하여 상기 어레이기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 단계를 포함하는 어레이 기판의 검사방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 프로브핀을 상기 전극에 가압하여 통전되는 상기 전극의 개수를 측정하는 제1단계; 및
    상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 전극의 전체의 개수 보다 적은 경우 상기 프로브바를 상기 제1방향 또는 상기 제1방향의 반대방향인 제2방향으로 회전시킨 후 상기 프로브핀을 상기 전극에 가압하여 통전되는 상기 전극의 개수를 측정하는 제2단계를 포함하고,
    상기 제2단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수에 비하여 적은 경우에는 상기 제2단계에서의 상기 프로브바의 회전방향과 반대방향으로 상기 프로브바를 회전시켜 상기 제2단계를 다시 수행하고, 상기 제2단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수가 상기 제1단계에서 측정된 통전되는 상기 전극의 개수에 비하여 많은 경우에는 상기 제2단계에서의 상기 프로브바의 회전방향과 동일한 방향으로 상기 프로브바를 회전시켜 상기 제2단계를 다시 수행하면서 상기 복수의 전극과 상기 복수의 프로브핀을 정렬시키는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 프로브핀과 상기 전극을 촬상하고, 촬상된 이미지를 통하여 상기 복수의 전극과 상기 복수의 프로브핀을 정렬시키는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
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