JP2002148280A - 検査用プローブブロックの並列搭載ユニット - Google Patents

検査用プローブブロックの並列搭載ユニット

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JP2002148280A
JP2002148280A JP2000340128A JP2000340128A JP2002148280A JP 2002148280 A JP2002148280 A JP 2002148280A JP 2000340128 A JP2000340128 A JP 2000340128A JP 2000340128 A JP2000340128 A JP 2000340128A JP 2002148280 A JP2002148280 A JP 2002148280A
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Toshio Okuno
敏雄 奥野
Masatomo Nagashima
正智 長島
Junji Oguma
淳司 小熊
Tadashi Furumi
忠 古見
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Adtec Engineering Co Ltd
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SOUSHIYOU TEC KK
Adtec Engineering Co Ltd
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    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
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    • G—PHYSICS
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
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    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
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    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch

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Abstract

(57)【要約】 【課題】複数の検査用プローブブロックをスライダーを
介してガイドレールに挿抜して搭載乃至交換を行い、ガ
イドレールの延在長において各プローブブロックを移動
（スライド）して位置の調整を行い、一種類の支持ベー
スに異なるプローブブロックを挿抜して支持ベースを共
用し、同調整が行える検査用プローブブロックの並列搭
載ユニットを提供する。 【解決手段】支持ベース１に多数のプローブ２を有する
複数の検査用プローブブロック３を並列搭載し、各プロ
ーブブロック３のプローブ２をディスプレイパネル又は
配線回路基板４の電極５に接触させて検査を行うように
したプローブブロック３の並列搭載ユニットにおいて、
上記支持ベース１にガイドレール７を設け、該ガイドレ
ール７に上記各プローブブロック３をスライダー８を介
してスライド可に滑合すると共に、所定のスライド位置
において各検査用プローブブロック３を支持ベース１に
固定する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液晶ディスプレイ
パネルやプラズマディスプレイパネル、又はＩＣを搭載
した配線回路基板を検査するための検査用プローブブロ
ックの並列搭載ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より支持ベースに多数のプローブを
有する複数の検査用プローブブロックを並列搭載し、各
検査用プローブブロックのプローブを上記ディスプレイ
パネル又は配線回路基板の電極に接触させて検査を行っ
ており、検査対象であるディスプレイパネル又は配線回
路基板の大きさや電極数や電極ピッチ等に応じて上記検
査用プローブブロックをこれに適合するものに交換して
いる。
【０００３】而して従来は支持ベースに各検査用プロー
ブブロックをボルト止めして並列搭載ユニットを形成し
ており、ボルトが挿通される検査用プローブブロックの
ボルト止め孔に若干の遊びを設け、この遊びの範囲で各
検査用プローブブロックの位置の微調整（電極に対する
プローブの位置の微調整）を行っており、又上記ディス
プレイパネル又は配線回路基板の大きさが異なる場合に
は、これに適合した検査用プローブブロックを、これに
適合したボルト止め孔を有する支持ベースに並列搭載し
て並列搭載ユニットを形成し、ユニットごと交換する方
法を採っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然るに上記従来例にお
いては、特定の支持ベース上に搭載された各プローブブ
ロックを、ボルト止め孔の微少な遊びの範囲内で調整で
きるだけで、調整寸法によっては調整不能なる問題を有
している。
【０００５】又支持ベースに複数の検査用プローブブロ
ックを並列搭載する作業と交換作業に煩雑な手間を要
し、又専用の支持ベース上に検査用プローブブロックを
並列搭載したユニットを準備せねばならず、支持ベース
を検査装置内に組み込んでおいて検査用プローブブロッ
クのみを交換することができない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記支持ベース
にガイドレールを設け、該ガイドレールに上記各検査用
プローブブロックをスライダーを介してスライド可に滑
合すると共に、所定のスライド位置において各検査用プ
ローブブロックを支持ベースに固定する構成とした。
【０００７】各検査用プローブブロックはスライダーを
介してガイドレールに挿抜して搭載乃至交換が行え、ガ
イドレールの延在長において各検査用プローブブロック
を移動（スライド）して位置の調整が行え、一種類の支
持ベースに異なる検査用プローブブロックを挿抜して支
持ベースを共用し、同調整が行える。
【０００８】例えば、上記スライダーはボルトによりガ
イドレールに対し締結して上記検査用プローブブロック
を支持ベースに対し固定し、任意の移動位置においてボ
ルト締めして検査対象の交換に対応する。
【０００９】又適例として上記ガイドレールをガイド溝
にて形成し、上記スライダーを該ガイド溝内に滑合する
と共に、上記検査用プローブブロックを該ガイド溝が開
口する支持ベース表面に重ね、上記締結ボルトは上記ガ
イド溝の開口を通し上記検査用プローブブロックと上記
スライダー間を締結して上記スライダーと上記検査用プ
ローブブロック間で上記ガイド溝の開口制限壁を挟持し
上記固定を図る。これによって締結ボルトを締結するの
みで任意の固定位置が設定でき、且つ締結ボルトを緩め
るのみで各検査用プローブブロックをガイドレールから
挿抜可能である。
【００１０】上記検査用プローブブロックは支持ベース
に直接的に重ねるか、座板を介して上記ガイド溝が開口
する支持ベース表面に重ね、上記検査用プローブブロッ
クを該座板に取り付けボルトにより一体に取り付けると
共に、上記締結ボルトは該座板と上記スライダー間を締
結して上記検査用プローブブロックとスライダー間の締
結を図り上記挟持状態を形成する。
【００１１】適例として球面を有するスライダーを用
い、上記締結ボルトを該球面の頂部に螺合し、上記締結
ボルトの締結により該球面が上記締結ボルトのボルト軸
を中心にした対称位置において上記開口制限壁に当接し
上記挟持状態を形成する。
【００１２】上記球面は上記ボルト締めにより上記対称
位置を形成するように滑り動してプローブの先端端子部
を同一線上に揃え、加えて水平面上における回動を適切
に防止する。よって電極との対応を確実にする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図１乃
至図６に基づき説明する。
【００１４】図１に示すように、支持ベース１に多数の
プローブ２を有する複数の検査用プローブブロック３を
並列搭載して、各検査用プローブブロック３のプローブ
２を液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイ等
のディスプレイパネル又はＩＣを搭載した配線回路基板
４の電極５に接触させて検査を行うようにした検査用プ
ローブブロックの並列搭載ユニット６を形成する。
【００１５】上記検査用プローブブロック３は既知のも
のであり、例えば図５に示すように絶縁フィルム１６の
表面に上記プローブ２を並列して延在し、該絶縁フィル
ム１６のプローブ２とは反対側の表面をバックアップ材
１７に貼り合わせ、該バックアップ材１７を検査用プロ
ーブブロック３の前端に一体に組み付け、プローブ２の
一端を該バックアップ材１７の前端縁から張り出して接
触端子２ａを形成し、同他端にＩＣを介して、又は介せ
ずしてフラット配線ケーブル１８に接続し、該フラット
配線ケーブル１８を支持ベース１の下部表面に沿い延ば
しつつ、支持ベース１の後端縁に沿って貫設したケーブ
ルガイド溝１９内に引き通し、検査装置に接続してい
る。
【００１６】上記接触端子２ａは支持ベース１の前端縁
に沿い、即ち該前端縁から突出せる検査用プローブブロ
ック３の前端縁に沿い並列配置されて上記ディスプレイ
パネル又は配線回路基板４の電極５に接触される。
【００１７】図１，図２，図４に示すように上記支持ベ
ース１にガイドレール７を設け、該ガイドレール７に上
記各検査用プローブブロック３をスライダー８を介して
スライド可に滑合すると共に、所定のスライド位置にお
いて各検査用プローブブロック３を支持ベース１に固定
する。
【００１８】各検査用プローブブロック３はスライダー
８を介してガイドレール７に挿抜して搭載乃至交換を行
い、ガイドレール７の延在長において各検査用プローブ
ブロック３を移動（スライド）して位置の調整を行う。
【００１９】よって一種類の支持ベース１に異なる検査
用プローブブロック３を挿抜して支持ベース１を共用
し、同調整を行うようにする。
【００２０】例えば、上記スライダー８はボルト９によ
りガイドレール７に対し締結して上記検査用プローブブ
ロック３を支持ベース１に対し固定し、任意の移動位置
においてボルト締めして検査対象の交換に対応する。
【００２１】適例として上記ガイドレール７をガイド溝
７′にて形成する。該ガイド溝７′は支持ベース１の一
端から他端に亘って延在し、その全長において支持ベー
ス１の表面で開口７ａし、且つ両端が開放している。該
ガイド溝７′は広幅溝であり、その開口７ａは狭幅溝で
ある。
【００２２】而して上記スライダー８を開放端７ｂから
上記ガイド溝７′内に滑合すると共に、上記検査用プロ
ーブブロック３を該ガイド溝７′が開口する支持ベース
１表面に重ね、上記締結ボルト９は上記ガイド溝７′の
開口７ａを通し上記検査用プローブブロック３と上記ス
ライダー８間を締結して上記スライダー８と上記検査用
プローブブロック３間で上記ガイド溝７′の開口制限壁
７ｃを挟持し上記固定を図る。
【００２３】これによって上記締結ボルト９による上記
スライダー８の上記ガイドレール７に対する締結状態を
形成して、固定位置を任意に設定し、且つ締結ボルト９
を緩めてガイドレール７に対するスライダー８の締結解
除状態を形成して、各検査用プローブブロック３をガイ
ドレール７、図示の例においてはガイド溝７′から挿抜
する。
【００２４】上記検査用プローブブロック３は支持ベー
ス１に直接的に重ねるか、図１，図２，図４に示すよう
に、座板１０を介して上記ガイド溝７′が開口する支持
ベース１表面に重ね、上記検査用プローブブロック３を
該座板１０に取り付けボルト１１により一体に取り付け
ると共に、上記締結ボルト９は該座板１０と上記スライ
ダー８間を締結して上記検査用プローブブロック３とス
ライダー８間の締結を図り上記挟持状態を形成する。
【００２５】適例として図２，図３に示す球面１２を有
する蒲鉾形のスライダー８を用い、該球面１２を開口７
ａと対向して配置し、上記締結ボルト９を開口７ａを通
して該球面１２の頂部に螺合し、上記締結ボルト９の締
結により該球面１２が上記締結ボルト９のボルト軸を中
心にした対称位置の母線上において上記開口制限壁７ｃ
の内部角縁１３に当接し上記挟持状態を形成する。
【００２６】上記締結ボルト９を一方向に回動すると、
これに螺合する上記スライダー８が微少量上昇し、該ボ
ルト締めによって上記球面１２が上記内部角縁１３に当
接して上記対称位置を形成するように滑り動し、プロー
ブ２の先端接触端子２ａを同一線上に揃え、加えて水平
面上における回動を適切に防止する。よって電極５との
対応を確実にする。
【００２７】逆に上記締結ボルト９を他方向に回動する
と、これに螺合する上記スライダー８が微少量下降して
上記球面１２が上記内部角縁１３から離間し、即ち締結
を解除して検査用プローブブロック３をスライダー８と
共にガイドレール７に沿い自由に移動し、抜去乃至位置
の調整を行うことが可能である。
【００２８】上記締結ボルト９は座板１０に設けた取り
付け孔１５に緩挿するか、又は図１，図２，図４中破線
で示すように検査用プローブブロック３に設けた取り付
け孔１５に緩挿し、その軸端を開口７ａを通し上記球面
１２の頂部に設けた雌ねじ孔１４に螺合し、ボルトヘッ
ド９ａを座板１０に座着するか、又は図１，図２，図４
中破線で示すように検査用プローブブロック３の表面に
座着して両者３，８間を締結し、両者３，８に開口制限
壁７ｃを挟持して検査用プローブブロック３を支持ベー
ス１に固定する。
【００２９】上記雌ねじ孔１４は球面１２の頂部母線上
に複数並設して複数の締結ボルト９で上記締結を図る場
合を含む。又各雌ねじ孔１４はスライダー８の頂部から
底面へ向け貫設する。
【００３０】次に図４は上記スライダー８についての他
例を示す。このスライダー８は方形ブロックで形成し、
該方形ブロックの対向する一対の側面をガイド溝７′の
対向する一対の内側面に当接又は近接状態にして回転を
規制し、ガイド溝７′に沿う直線移動を保証すると共に
回動を防止し、他方前記と同様、締結ボルト９は座板１
０に設けた取り付け孔１５に緩挿するか、又は図４中破
線で示すように検査用プローブブロック３に設けた取り
付け孔１５に緩挿し、その軸端を開口７ａを通し、ブロ
ック上面の中心線上に設けた雌ねじ孔１４に螺合し、ボ
ルトヘッド９ａを座板１０に座着するか、又は図４中破
線で示すように検査用プローブブロック３の表面に座着
して両者３，８間を締結し、両者３，８に開口制限壁７
ｃを挟持して検査用プローブブロック３を支持ベース１
に固定する。
【００３１】上記図２，図４の何れの例においても、上
記支持ベース１にガイドレール７を設け、該ガイドレー
ル７に上記各検査用プローブブロック３をスライダー８
を介してスライド可に滑合すると共に、所定のスライド
位置において各検査用プローブブロック３を支持ベース
１に固定する構成とした検査用プローブブロックの並列
搭載ユニットを開示している。
【００３２】上記ガイドレール７は図２，図４に示すガ
イド溝７′に代え、支持ベース１の表面に沿って一端か
ら他端に亘って延在する突条、例えば蟻形の突条にて形
成し、この突条にスライダーを滑合して締結ボルト９に
より締結する構成を採り得る。
【００３３】図６に示すように、上記検査用プローブブ
ロック３の並列搭載ユニット６は枠形のメインベースプ
レート２０の一辺乃至四辺に螺子等により取り付け、即
ちユニット６の支持ベース１をサブプレートとしてメイ
ンベースプレート２０の一辺乃至四辺に着脱可に取り付
け、各ユニット６における接触端子２ａを枠辺の内側に
沿って平行に配置し、該接触端子２ａを窓の内側に配し
たディスプレイパネル又は配線回路基盤４の電極５に加
圧接触せしめる。
【００３４】各検査用プローブブロック３の並列搭載ユ
ニット６を搭載したメインベースプレート２０は上記デ
ィスプレイパネル等に接近離間する方向へ移動可能に支
持され、接近によって上記加圧接触を得る。
【００３５】
【発明の効果】各検査用プローブブロックはスライダー
を介してガイドレールに挿抜して搭載乃至交換が行え、
ガイドレールの延在長において各検査用プローブブロッ
クを移動（スライド）して位置の調整が行え、一種類の
支持ベースに異なる検査用プローブブロックを挿抜して
支持ベースを共用し、同調整が行える。
【００３６】又検査用プローブブロックをガイドレール
上を移動し、ボルトにより締結するのみで固定位置を設
定しつつ取り付けが容易に行え、且つ締結ボルトを緩め
るのみで各検査用プローブブロックをガイドレールから
挿抜可能である。
【００３７】又スライダーの球面は上記ボルト締めによ
って上記対称位置を形成するように滑り動し、プローブ
の先端接触端子を同一線上に揃え、加えて水平面上にお
ける回動を適切に防止する。よって電極との対応を確実
にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】検査用プローブブロックの並列搭載ユニットの
平面図。
【図２】上記ユニットにおけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】スライダーの斜視図。
【図４】上記スライダーの他例を示す検査用プローブブ
ロックの並列搭載ユニットの断面図。
【図５】プローブ並列絶縁フィルムとフラット配線ケー
ブルの接続状態を示す底面図。
【図６】検査用プローブブロックの並列搭載ユニットを
枠形のメインベースプレートに搭載した例を示す平面
図。
【符号の説明】
１ 支持ベース ２ プローブ ２ａ 接触端子 ３ 検査用プローブブロック ４ ディスプレイパネル又は配線回路基板 ５ 電極 ６ 検査用プローブブロックの並列搭載ユニット ７ ガイドレール ７′ ガイド溝 ７ａ 開口 ７ｂ 開放端 ７ｃ 開口制限壁 ８ スライダー ９ 締結ボルト ９ａ ボルトヘッド １０ 座板 １１ 取り付けボルト １２ 球面 １３ 開口部制限壁の内部角縁 １４ 雌ねじ孔 １５ 取り付け孔 １６ 絶縁フィルム １７ バックアップ材 １８ フラット配線ケーブル １９ ケーブルガイド溝 ２０ 枠形のメインベースプレート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長島 正智 神奈川県川崎市高津区坂戸三丁目２番１号 株式会社双晶テック内 (72)発明者 小熊 淳司 東京都港区芝公園３丁目４番30号 株式会 社アドテックエンジニアリング内 (72)発明者 古見 忠 東京都港区芝公園３丁目４番30号 株式会 社アドテックエンジニアリング内 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AB04 AC05 AC06 AE01 AF06 2H088 FA11 HA06 MA20

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】支持ベースに多数のプローブを有する複数
    の検査用プローブブロックを並列搭載し、各検査用プロ
    ーブブロックのプローブをディスプレイパネル又は配線
    回路基板の電極に接触させて検査を行うようにした検査
    用プローブブロックの並列搭載ユニットにおいて、上記
    支持ベースにガイドレールを設け、該ガイドレールに上
    記各検査用プローブブロックをスライダーを介してスラ
    イド可に滑合すると共に、所定のスライド位置において
    各検査用プローブブロックを支持ベースに固定する構成
    としたことを特徴とする検査用プローブブロックの並列
    搭載ユニット。
  2. 【請求項２】上記スライダーをガイドレールに対し締結
    して上記検査用プローブブロックを支持ベースに対し固
    定する締結ボルトを備えることを特徴とする請求項１記
    載の検査用プローブブロックの並列搭載ユニット。
  3. 【請求項３】上記ガイドレールはガイド溝から成り、上
    記スライダーを該ガイド溝内に滑合すると共に、上記検
    査用プローブブロックを該ガイド溝が開口する支持ベー
    ス表面に重ね、上記ガイド溝の開口を通し上記検査用プ
    ローブブロックと上記スライダー間を締結ボルトにより
    締結して上記スライダーと上記検査用プローブブロック
    間で上記ガイド溝の開口制限壁を挟持し上記固定を図る
    構成としたことを特徴とする請求項１記載の検査用プロ
    ーブブロックの並列搭載ユニット。
  4. 【請求項４】上記検査用プローブブロックは座板を介し
    て上記ガイド溝が開口する支持ベース表面に重ね、上記
    検査用プローブブロックを該座板に取り付けボルトによ
    り一体に取り付けると共に、上記締結ボルトは該座板と
    上記スライダー間を締結して上記検査用プローブブロッ
    クとスライダー間の締結を図り上記挟持状態を形成する
    ことを特徴とする請求項３記載の検査用プローブブロッ
    クの並列搭載ユニット。
  5. 【請求項５】上記スライダーが球面を有し、上記締結ボ
    ルトを該球面の頂部に螺合し、上記締結ボルトの締結に
    より該球面が上記締結ボルトのボルト軸を中心にした対
    称位置において上記開口制限壁に当接し上記挟持状態を
    形成することを特徴とする請求項３又は４記載の検査用
    プローブブロックの並列搭載ユニット。
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