JP2005274487A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 プローブ組立体の位置調整を容易にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置は、開口を形成するフレームと、開口と平行の面内を伸びる第１の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、第１の方向における複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具とを含む。位置決め具は、第１の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を第１の方向と交差する第２の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく第２の方向に開放すると共に前記面と交差する第３の方向に開放する複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、位置決め部材及び凹所の他方を含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いられるプローブ装置に関する。

薄膜トランジスタアレイを一方の面に形成したガラス基板、液晶を封入した液晶表示パネル等の表示用基板は、仕様書通りの性能を有するか否かの試験（検査）をされる。この検査は、一般に、複数のプローブ（接触子）を備えたプローブユニットのようなプローブ装置を用い、各接触子を表示用基板の電極に押圧した状態で、所定の電極に所定の電気信号を供給することにより行われる。

この種のプローブ装置の１つとして、種類の異なる表示用基板の通電試験に共通に用いることができるようにしたものがある（特許文献１）。

特開平９−２２２９９６５号公報

この従来のプローブ装置は、互いに直交するＸ辺及びＹ辺を有する枠状のプローブベースと、Ｙ方向における位置を調節可能にプローブベースのＸ辺に配置された第１の可動ベースと、Ｘ方向における位置を調節可能にプローブベースのＹ辺に配置された第２の可動ベースと、Ｘ方向における位置を調節可能に第１の可動ベースに配置された複数のプローブ組立体（プローブブロック）と、Ｙ方向における位置を調節可能に第２の可動ベースに配置された複数のプローブ組立体（プローブブロック）とを備える。

各プローブ組立体は、電気絶縁性のブロックに複数のプローブを一方向に間隔をおいて並列的に配置している。検査すべき表示用パネルは検査装置のチャックトップに配置され、プローブ装置はチャックトップの上方に配置される。

上記従来のプローブ装置は、Ｙ及びＸ方向における第１及び第２の可動ベースの位置を調整し、Ｘ及びＹ方向における各プローブ組立体の位置を調整することにより、大きさ、電極の位置等が異なる異種の表示用パネルの通電試験に共通に利用される。

しかし、上記従来のプローブ装置では、プローブベースに対する各可動ベースの位置調整と、可動ベースに対する各プローブ組立体の位置調整とを人手により行わなければならない。このため、それらの位置調整作業が複雑かつ面倒であり、その結果プローブの先端（針先）が表示用パネルの電極の位置に一致しない場合がる。

本発明の目的は、プローブ組立体の位置調整を容易にすることにある。

本発明に係るプローブ装置は、開口を形成するフレームと、前記開口と平行の面内を伸びる第１の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、前記第１の方向における前記複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具とを含む。

前記位置決め具は、前記第１の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を前記第１の方向と交差する第２の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、前記複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第２の方向に開放すると共に前記面と交差する第３の方向に開放する複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、前記位置決め部材及び前記凹所の他方を含む。

本発明に係るプローブ装置においては、第１の方向における位置決め部材又は凹所の間隔が異なる複数の位置決め具が予め用意される。

検査すべき表示用パネルの種類を変更するときに、新たな表示用パネルに応じた位置決め具が選択され、それの各位置決め部材が凹所に受け入れられるように、プローブ組立体が移動されると共に、その位置決め具がフレームに位置される。これにより、プローブ組立体が新たな種類の表示用パネルに応じた位置に位置される。

位置決め部材が凹所に受け入れられると、プローブ組立体は位置決め具により定まる位置に自然に維持される。このため、プローブ組立体の位置調整が容易になり、その結果プローブの針先を表示用パネルの電極の位置に正確にかつ容易に一致させることができる。

前記位置決め具は、前記第１の方向へ伸びる状態に前記フレームに取り外し可能に取り付けられた長尺部材と、それぞれが前記位置決め部材として作用する複数のローラであって前記長尺部材に前記第１の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた、前記第２の方向へ伸びる回転軸線を有するローラとを含み、各プローブ組立体は、前記凹所を有するガイドブロックを含むことができる。そのようにすれば、ローラが凹所に受け入れられやすいから、第１の方向におけるローラと凹所との相対的位置が多少ずれていても、ローラが凹所に受け入れられることにより、プローブ組立体が第１の方向に移動されて、表示用パネルの電極に対する凹所ひいてはプローブ組立体の位置が調整される。

前記ローラは、前記回転軸線の周りの位置を変更可能に前記長尺部材に取り付けられた円形の偏心カムと、該偏心カムにこれの周りに変位可能に配置された円形のカムフォロワとを備えることができる。そのようにすれば、回転軸線の周りにおける偏心カムの偏心方向を調整し、偏心カムをその位置に解除可能に固定することにより、プローブの先端を表示用パネルの電極に正確に位置させることができる。

前記ガイドブロックは、一端部にＬ状の切り欠き部を有する第１の部材と、前記切り欠き部を前記凹所として作用させるべく前記第１の方向における前記第１の部材の箇所に配置された第２の部材と、該第２の部材を前記第１の部材に前記第２の方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる結合ピンと、前記第２の部材が前記第１の部材に接近する方向へ前記結合ピンを付勢する弾性体とを備えることができる。そのようにすれば、第１の方向における凹所の位置が位置決め部材に対し多少ずれていても、位置決め部材が凹所に完全に受け入れられることにより、プローブ組立体が位置決め部材に対し正確に位置決められる。

前記位置決め具は、さらに、前記長尺部材を前記第３の方向に貫通して前記フレームに向けて伸びるセッティングピンと、前記セッティングピンに係止可能に前記長尺部材に配置されたプランジャーと、前記長尺部材を貫通して前記フレームに螺合された取り付けねじとを含むことができる。

前記位置決め具は、さらに、前記第１の方向に間隔をおいた前記フレームの２カ所から前記第３の方向へ伸びて前記長尺部材を貫通する一対の位置決めピンと、前記長尺部材に配置された一対のブロックであって前記位置決めピンの前記第１の方向における中央側の箇所及び端部側の箇所のいずれか一方に当接可能の一対のブロックと、前記ブロックを前記長尺部材に取り付ける結合ねじと、前記第１の方向に伸びて一方の前記ブロックの前記位置決めピンと反対側の箇所に当接可能に前記長尺部材に螺合された一対の調整ねじと、前記一方のブロックと前記調整ねじとを接触させるべく他方の前記ブロックを付勢するばねとを含むことができる。

前記フレームは、前記開口を有するフレーム本体と、前記第２の方向へ移動可能に前記フレーム本体に支持された可動フレームとを含み、前記プローブ組立体と前記位置決め具とは、前記可動フレームに配置されていてもよい。

複数の前記可動フレームが前記第２の方向に間隔をおいて前記フレーム本体に支持されており、それぞれが前記複数のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記可動フレームに個々に支持されており、複数の前記位置決め具が前記可動フレームに個々に備えられていてもよい。そのようにすれば、第２の方向に複数個取りの表示用パネルの検査に用いることができる。

プローブ装置は、さらに、前記第１の方向における前記開口の一端部側にあって、前記第２の方向に間隔をおいて及び前記第２の方向に移動可能に前記フレームに配置された複数の第２のプローブ組立体と、前記第２の方向における前記第２のプローブ組立体の位置を解除可能に決める複数の第２の位置決め具とを含み、前記第２の位置決め具は、前記第２の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた複数の第２の位置決め部材であってそれぞれが前記第１の方向へ伸びる軸線を有する複数の第２の位置決め部材と、前記複数の第２の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第１の方向と前記第３の方向とに開放する複数の第２の凹所とのいずれか一方を含み、各第２のプローブ組立体は、前記第２の位置決め部材及び前記第２の凹所の他方を含むことができる。そのようにすれば、第１及び第２の方向のそれぞれに複数の電極を配置した表示用パネルの検査に用いることができる。

それぞれが前記複数の第２のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記第２の方向に間隔をおいて及び前記第２の方向に移動可能に前記フレームに配置されており、前記第２の位置決め具が前記プローブグループ毎に備えられていてもよい。そのようにすれば、第１及び第２の方向のそれぞれに複数個取りの表示用パネルの検査に用いることができる。

前記第２の位置決め具は、前記第２の方向へ伸びる状態に前記可動フレームに取り外し可能に取り付けられた第２の長尺部材と、該第２の長尺部材に取り付けられたブラケットと、前記可動フレーム及び前記ブラケットのいずれか一方に前記第２の方向に伸びる状態に支持されて前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に向けて伸びる位置決めピンと、該位置決めピンを前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に当接させた状態に前記可動フレームを前記フレームに解除可能に維持するクランプとを含むことができる。

前記ブラケットは、これを前記第２の方向に貫通するねじ穴と、該ねじ穴に螺合されて前記位置決めピンに当接する調整ねじとを有することができる。

図１〜図４を参照するに、プローブ装置１０は、液晶表示パネル用の薄膜トランジスタアレイが形成されたガラス基板を表示用基板１２とする検査装置に用いられる。ガラス基板は、複数個取りの大きなガラス基板であり、また長方形の形状を有している。

以下の説明では、表示用基板１２の、短辺の方向をＸ方向といい、長辺の方向をＹ方向といい、厚さ方向をＺ方向又は上下方向という。

図１に示すガラス基板は、１つの基板から最終的に３×６個の基板を得る１８個取りの基板である。図２に示すガラス基板は、２×３個取りの基板である。しかし、ガラス基板の種類が異なっても、同じ符号を用いて説明する。

以下、説明を簡略化する上で、図１に示すガラス基板の各被検査領域１４ａと図２に示すガラス基板の各被検査領域１４ｂとは、図１５に示すように、サイズが異なっても、電極群１６ａ及び１６ｂの配置ピッチは異なるが、電極群１６ａ，１６ｂ内における電極の配置ピッチ（配列ピッチ）は同じであるものとする。

上記のような表示用パネル１２において同じ画面を表示する場合、解像度に差が生じるものの、同じ電極群１６ａ及び１６ｂ内における同じ配置位置の電極に通電される。表示用パネル１２は、検査装置の検査ステージに搭載されたチャックトップ１８（図３参照）に配置される。

図１から図４を参照するに、プローブ装置１０は、フレーム２０を含む。フレーム２０は、矩形の開口２２を有するフレーム本体２４の上にＸ方向へ伸びる複数の可動フレーム２６をＹ方向に間隔をおいて配置している。Ｘ方向における各可動フレーム２６の中間領域２６ａは、開口２２に達する逆Ｌ字状の断面形状とされている。

可動フレーム２６は、フレーム本体２４の上にＸ方向に間隔をおいてＹ方向へ伸びる状態に取り付けられた一対のガイドレール２８と、各可動フレーム２６の両端部に取り付けられてガイドレール２８に上側から嵌合されたガイド部材３０とにより、フレーム本体２４にＹ方向へ移動可能に組み合わされている。

フレーム２０は、また、Ｙ方向へ伸びる一対のプローブ取付板３２をフレーム本体２４にＸ方向に対向させて取り付けており、Ｘ方向に伸びるプローブ取付板３４を各可動フレーム２６に取り付けている。

それぞれが複数のプローブ組立体３６を含む複数のプローブグループは、Ｙ方向における一方のプローブ取付板３２にＹ方向に間隔をおいて配置されている。各プローブグループの複数のプローブ組立体３６は、１つの被検査領域１４ａ又は１４ｂの検査に同時に用いられ、またＹ方向に間隔をおいている。

Ｘ方向用の複数のプローブ組立体３８は、各プローブ取付板３４にＸ方向に間隔をおいて取り付けられている。各プローブ取付板３４の複数のプローブ組立体３８は、１つの被検査領域１４ａ又は１４ｂの検査に同時に用いられるＸ方向用のプローブグループを形成している。

プローブ組立体３６は、プローブ取付板３２にＹ方向へ伸びる状態に取り付けられたガイドレール４０（図１１参照）と、このガイドレールに嵌合されて各プローブ組立体３６に取り付けられたガイド部材４２（図１１参照）とにより、Ｙ方向へ移動可能にプローブ取付板３２に組み合わされて支持されている。

各プローブグループのプローブ組立体３８は、対応するプローブ取付板３４にＸ方向へ伸びる状態に取り付けられたガイドレール４４（図１１参照）と、このガイドレール４４に嵌合されて各プローブ組立体３８に取り付けられたガイド部材４６（図１１参照）とにより、Ｘ方向へ移動可能にプローブ取付板３４に組み合わされて支持されている。

ガイドレール２８，４０，４４及びガイド部材３０，４２，４６は、それぞれ、リニアガイドのリニアガイドレール及びリニアガイド部材とすることができる。ガイド部材３０，４２，４６は、いずれも、手動で移動させることができる。

プローブ組立体３６及び３８の各々は、その１つを図９から図１３に示すように、プローブブロック５０と、フラットケーブル５２と、フラットケーブル５２をプローブブロック５０に接続する接続ブロック５４と、プローブブロック５０を支持する支持ブロック５６と、支持ブロック５６をプローブ取付板３２（又は、３４）に取り付ける取付ブロック５８と、取付ブロック５８を後に説明する位置決め具６２に関係付けるガイドブロック６４とを含む。

各プローブブロック５０は、それぞれが先鋭な先端針先及び後端針先を有する複数のプローブ６６を、これらがＹ（又は、Ｘ）方向に間隔をおいてＸ（又は、Ｙ）方向へ伸びる状態に、電気絶縁性ブロック６８に並列的に配置している。

各プローブ６６は、その中央領域が帯状をしたブレードタイプの接触子である。各プローブ６６の先端部及び後端部は、前記中央領域より小さい幅寸法を有しており、またそれぞれ、中央領域の先端下部及び後端上部から先方及び後方に突出している。各プローブ６６の先端針先及び後端針先は、それぞれ、先端部及び後端部から下方及び上方に突出している。

各電気絶縁性ブロック６８は、下方側に開放する凹所を有しており、またプローブ６６を、それらの中央部が前記凹所内に位置するように、一対の側板７０、電気絶縁性の一対の取付バー７２、ねじ部材（図示せず）等の適宜な組み付け手段により、移動不能に組み付けて支持している。隣り合うプローブ６６の中央領域は対向されている。

各プローブ組立体３６（又は、３８）は、また、電気絶縁性のスリットバー７４を前記絶縁性ブロックの下面先端部と下面後端部とに配置している。各スリットバー７４は、Ｙ（又は、Ｘ）方向に間隔をおいてＸ（又は、Ｙ）方向へ伸びて下方に開放する複数のスリットを有する。

各スリットには、プローブ６６の先端部又は後端部が受け入れられている。これにより、隣り合うプローブ６６の接触が防止されていると共に、隣り合うプローブ６６の配置ピッチが表示用パネル１２の電極の配置ピッチに維持される。

各フラットケーブル５２は、幅方向（Ｘ又はＹ方向）に間隔をおいて長手方向（Ｙ又はＸ方向）へ伸びる複数の配線を電気絶縁性フィルムの一方の面に形成した既知のものであり、長手方向の一端部において配線が下方側となる状態に接続ブロック５４の下面に取り付けられている。

フラットケーブル５２の一端部下面には、電気絶縁性のガイドフィルム７６が接着されている。ガイドフィルム７６は、プローブ６６の後端針先を受け入れるフラットケーブル５２に幅方向に間隔をおいた複数のガイド穴を有する。

配線の配列ピッチ及びガイド穴の配列ピッチは、対応するプローブ組立体３６（又は、３８）のプローブ６６の配置ピッチと同じである。ガイドフィルム７６は、フラットケーブル５２の配線がガイドフィルム７６のガイド穴から露出する状態に、フラットケーブル５２に取り付けられている。

各電気絶縁性ブロック６８は上方及び後方に向くＬ字状の段部を後端部に備えており、各接続ブロック５４は下方及び前方に向く逆Ｌ字状の段部を前端部に備えている。電気絶縁性ブロック６８と接続ブロック５４とは、両段部を対向させている。各フラットケーブル５２は、これの他端部に設けられたコネクタ７８により、検査装置の電気回路に接続される。

電気絶縁性ブロック６８と接続ブロック５４とは、接続ブロック５４から下方へ伸びて電気絶縁性ブロック６８の位置決め穴７９に挿入された複数の位置決めピン８０と、接続ブロック５４を貫通して電気絶縁性ブロック６８のねじ穴８１に螺合された複数のねじ部材８２とにより、プローブ６６の後端針先がガイドフィルム７６のガイド穴に受け入れられてフラットケーブル５２の配線に押圧された状態に、結合されている。

各プローブブロック５０は、プローブ６６の長手方向へ伸びる突出部８４を電気絶縁性ブロック６８の上部に備えている。突出部８４は、支持ブロック５６の下部に設けられたガイド部８６のガイド溝にプローブ６６の長手方向へ移動可能に嵌合されている。

各プローブブロック５０は、これの前側上部から上方に突出されたストッパピン８８がガイド部８６の先端面に当接した状態に、ねじ部材９０により支持ブロック５６に取り外し可能に取り付けられている。ねじ部材９０は、支持ブロック５６を上下方向に貫通して、プローブブロック５０に螺合されている。

プローブ６６の配列方向における支持ブロック５６に対するプローブブロック５０の位置は、ガイド部８６の一方の箇所にプローブ６６の長手方向に間隔をおいて配置された一対のプッシャー９２によりプローブブロック５０がガイド部８６の対向する箇所に押圧されることにより、維持される。

各支持ブロック５６は、取付ブロック５８を上下方向に貫通して支持ブロック５６に螺合された調整ねじ９４により、取付ブロック５８に吊り下げられており、また支持ブロック５６と取付ブロック５８との間に配置された複数の弾性体９６により下方に付勢されている。

取付ブロック５８に対する支持ブロック５６の高さ位置は、支持ブロック５６への調整ねじ９４のねじ込み量を調整することにより、調整することができる。支持ブロック５６は、リニアガイド部材とリニアガイドレールとを用いたにリニアガイド９８により、取付ブロック５８に上下方向へ移動可能に結合されている。

各取付ブロック５８は、支持ブロック５６が取り付けられたＬ型部材１００と、ガイドレール４０又は４４及びガイド部材４２又は４６によりプローブ取付板３２又は３４に組み付けられた板状ベース１０２とを備える。Ｌ型部材１００及び板状ベース１０２は、プローブ６６の配列方向へ伸びており、また一対のねじ部材１０４により互いに分離可能に結合されている。

各支持ブロック５６は、リニアガイドレール９８により板状ベース１０２に上下方向へ移動可能に結合されている。各ガイドブロック６４は、一対のねじ部材１０６により板状ベース１０２に取り付けられている。

図９から図１１に示すように、各ガイドブロック６４は、第１及び第２の部材１１０及び１１２により、プローブ６６の長手方向の両方及び上方に開放するＵ字状の凹所１１４を形成している。

第１の部材１１０は、一端部にＬ状の切り欠き部（段部）を有する板状部材であり、ねじ部材１０６により板状ベース１０２に取り付けられている。

これに対し、第２の部材１１２は、第１の部材１１０と共同して前記切り欠き部をＵ字状の凹所１１４として作用させるように、第１の部材１１０の側部に配置された板状部材である。

第２の部材１１２は、上下方向に間隔をおいた一対の結合ピン１１６により第１の部材１１０に対しプローブ６６の長手方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に結合されている。

各結合ピン１１６は、これが第１の部材１１０をプローブ６６の配列方向に貫通するように、第２の部材１１２からこれと反対の側に伸びており、また一端部において第２の部材１１２に螺合されて支持されている。

第２の部材１１２は、また、結合ピン１１６に配置された弾性体１１８により第１の部材１１０に接近する方向へ付勢されているが、結合ピン１１６が螺合している位置の上下両側の箇所が第１の部材１１０に当接することにより、それ以上の角度的回転を阻止されている。

凹所１１４の上部は、幅寸法が下方ほど小さくなる傾斜案内面とされている。

上記のようなプローブ組立体３６及び３８においては、フラットケーブル５２及び接続ブロック５４を組み付ける第１の組立作業と、プローブブロック５０、支持ブロック５６、取付ブロック５８を組み付ける第２の組立作業とを別々に行い、その後接続ブロック５４をプローブブロック５０に結合させることにより、組み立てることができる。

組み立てられたプローブ組立体３６及び３８は、それぞれ、最終的に取付ブロック５８において、プローブ取付板３２及び３４に取り付けられる。このため、プローブ組立体３６及び３８の組立作業、並びに、プローブ取付板３２及び３４へのプローブ組立体３６及び３８の取付作業が容易になる。

複数のプローブ６６を電気絶縁性ブロック６８に装着したプローブブロック５０は、先ず図１３（Ａ）に示すようにその突出部８４が支持ブロック５６のガイド部８６のガイド溝に嵌合され、次いで図１３（Ｂ）に示すようにストッパピン８８がガイド部８６の先端面に当接され、次いで図１３（Ｂ）に示すようにねじ部材９０が電気絶縁性ブロック６８に螺合されることにより、支持ブロック５６に結合される。

上記の取付作業の際、フラットケーブル５２がプローブブロック５０に取り付けられていないから、支持ブロック５６へのプローブブロック５０の取付作業が容易になる。

フラットケーブル５２を装着した接続ブロック５４は、図１３（Ｂ）に示すように、先ず接続ブロック５４に設けられている位置決めピン８０が電気絶縁性ブロック６８に備えられた位置決め穴７９に差し込まれ、次いでねじ部材８２が電気絶縁性ブロック６８に備えられたねじ穴８１に螺合されることにより、プローブブロック５０に組み付けられる。

したがって、接続ブロック５４を電気絶縁性ブロック６８に組み付けるだけで、プローブ６６とフラットケーブル５２の配線とが電気的に正しく接続されるから、電気絶縁性ブロック６８への接続ブロック５４の組付作業も容易になる。

各位置決め具６２は、プローブグループ毎に備えられており、またプローブ取付板３２又は３４の上側に取り外し可能に取り付けられている。各位置決め具６２は、対応するグループの複数のプローブ組立体３６又は３８をプローブ取付板３２又は３４に、検査すべき表示用パネル１２の種類に応じた位置関係に位置決めして維持するように、取り付けることに用いられる。

図４から図１１に示すように、各位置決め具６２は、Ｙ（又はＸ）方向へ伸びる状態にプローブ取付板３２（又は３４）に取り外し可能に取り付けられた各柱状の長尺部材１２０と、Ｙ（又はＸ）方向に間隔をおいた状態に長尺部材１２０に配置された複数の位置決め部材１２２と、プローブ取付板３２（又は３４）のＹ（又はＸ）方向に間隔をおいた２カ所から上方へ伸びる一対の位置決めピン１２４と、長尺部材１２０の位置決めピン１２４より外側の２カ所を貫通して上下方向へ伸びる一対のセッティングピン１２６とを含む。

長尺部材１２０は、位置決めピン１２４が貫通する一対の貫通穴１２８と、セッティングピン１２６が貫通する一対のセッティング穴１３０とを備えており、またセッティングピン１２６の上部に解除可能に係止するプランジャー１３２をセッティング穴１３０に関連した位置に備えている。

図１０及び図１１に示すように、各位置決め部材１２２は、Ｘ（又はＹ）方向へ伸びる回転軸線を有するローラを含む。各ローラは、円形の偏心カム１３４をその回転軸線の周りにおける位置を変更可能に長尺部材１２０に取り付け、円形のカムフォロワ１３６を偏心カム１３４にこれの周りに変位可能に配置し、締め付けナット１３８を偏心カム１３４に螺合させている。

回転軸線の周りにおける偏心カム１３４の偏心方向は、偏心カム１３４が締め付けナット１３８により長尺部材１２０に締め付け固定されていることにより、維持される。

偏心カム１３４の偏心方向の調整は、締め付けナット１３８による長尺部材１２０への偏心カム１３４に締め具合を緩め、その状態で偏心カム１３４を角度的に回転させることにより調整することができる。

調整後の偏心方向は、偏心カム１３４を締め付けナット１３８で長尺部材１２０に再度締め付けて固定することにより、維持される。

カムフォロア１３６は、これがプローブ組立体３６（又は３８）の凹所１１４に受け入れられるように、凹所１１４の幅寸法とほぼ同じ外径寸法を有する。

図４から図９に示すように、長尺部材１２０は、セッティングピン１２６をセッティング穴１３０に通し、プランジャー１３２をセッティングピン１２６の上端部に係止させ、位置決めピン１２４を貫通穴１２８に受け入れた状態に、プローブ支持板３２（又は３４）の上に配置される。

これにより、図５に示すように、長尺部材１２０及び位置決め部材１２２は、それぞれ、プローブ取付板３２又は３４及びプローブ組立体３６又は３８から上方に離間した位置に一時的に維持される。

上記状態において、位置決め具６２と被検査領域１４ａ（又は１４ｂ）との相対的位置関係が調整される。このため、各貫通穴１２８は長尺部材１２０の長手方向に長い長穴とされており、原点マークホルダ１４０が長尺部材１２０に取り付けられており、プローブ取付板３２（又は３４）に対するＹ（又はＸ）方向における長尺部材１２０の位置を調整する一対の位置調整機構１４２，１４４が長尺部材１２０に備えられている。

原点マークホルダ１４０は、長尺部材１２０から表示用パネル１２に向けて下方へ伸びる状態に、長尺部材１２０に取り付けられている。

図１４に示すように、原点マークホルダ１４０の下端部は、表示用パネル１２と平行に曲げられている。透明ガラス板１４６は原点マークホルダ１４０の下端部に取り付けられており、このガラス板１４６に原点マーク１４８が形成されている。

原点マーク１４８は、表示用パネル１２の被検査領域１４ａ（又は１４ｂ）に形成された原点マークと同じ形状、例えば十字状とすることができる。

一方の位置調整機構１４２は、位置決めピン１２４に当接可能のブロック１５０を結合ねじ１５２により長尺部材１２０にこれの長手方向における位置を調整可能に取り付け、長尺部材１２０の長手方向へ伸びるねじ穴を有する補助部材１５４を長尺部材１２０に移動不能に取り付け、調整ボルト１５６を補助部材１５４のねじ穴に螺合させている。

ブロック１５０は、長尺部材１２０の長手方向におけるブロック１５０の位置を予め調整されており、またその状態で結合ねじ１５２により長尺部材１２０に取り外し可能に固定されている。

調整ボルト１５６は、位置決め具６２がプローブ支持板３２（又は３４）に配置された状態において、ブロック１５０の先端が一方の位置決めピン１２４に当接する状態に、止めナット１５８により維持されている。

他方の位置調整機構１４４は、位置決めピン１２４に当接可能の他のブロック１６０を他の結合ねじ１６２により長尺部材１２０にこれの長手方向における位置を調整可能に取り付け、長尺部材１２０の長手方向へ伸びる貫通穴を有する他の補助部材１６４を長尺部材１２０に移動不能に取り付け、他の調整ボルト１６６を補助部材１６４に通している。

他方の調整ボルト１６６は、これの先端部において他方のブロック１６０に片持ち梁状に支持されており、また他端部側に他の止めナット１６８を螺合している。調整ボルト１６６は、圧縮コイルばね１７０により止めナット１６８が補助部材１６４に当接した状態に付勢されている。

ブロック１６０は、位置決め具６２がプローブ支持板３２（又は３４）に配置されるまでは、結合ねじ１６２が緩められていることにより、長尺部材１２０の長手方向へ自由に移動可能とされている。

しかし、位置決め具６２がプローブ支持板３２（又は３４）に配置されて、位置決め具６２の位置調整が行われると、ブロック１６０は位置決めピン１２４に押圧した状態に結合ねじ１６２により維持される。

位置決め具６２の位置調整は、プランジャー１３２とセッティングピン１２６との係止を解除させるように長尺部材１２０を押し下げて、両位置決めピン１２４を長尺部材１２０に貫通させることにより、行われる。

上記の位置調整は、たとえば、ブロック１５０及び１６０がそれぞれ位置決めピン１２４及び１２４に押圧するように、位置調整機構１４２及び１４４を位置決めることより、行うことができる。この位置調整の後、他方のブロック１６０は結合ねじ１６２により長尺部材に移動不能に取り付けられる。

上記の位置調整において、補助部材１５４のねじ穴への位置決めボルト１５６のねじ込み量を調整してもよい。

長尺部材１２０は、これが位置決められた状態で、一対の取付ねじ１７２を長尺部材１２０に通してプローブ取付板３２又は３４に螺合させることにより、プローブ取付板３２又は３４に取り外し可能に取り付けられる。

各プローブ組立体３６（又は３８）は、プランジャー１３２とセッティングピン１２６との係止が図５に示すように係止されている状態において、作業者により対応する位置決め部材１２２を凹所１１４に受け入れる位置に移動される。

各プローブ組立体３６（又は３８）が所定の位置に移動された後、長尺部材１２０は、プランジャー１３２とセッティングピン１２６との係止が解除されかつ両位置決めピン１２４が長尺部材１２０を貫通した状態に、押し下げられてプローブ支持板３２（又は３４）に載置される。

長尺部材１２０の長手方向における凹所１１４及び位置決め部材１２２の位置に多少のずれがあっても、この位置ずれは両位置決めピン１２４が貫通穴１２８を貫通するときに自然に修正される。

すなわち、位置決め部材１２２は、これの下降にともなって、先ず図９（Ａ）に示すように凹所１１４の上部の傾斜案内面に当接するから、図９（Ｂ）に示すように凹所１１４に完全に受け入れるまで、プローブ組立体３６（又は３８）を長尺部材１２０の長手方向へ移動させる。これにより、凹所１１４及び位置決め部材１２２の位置ずれが修正される。

上記位置ずれの修正の際、カムフォロワ１３６が凹所１１４を形成する内面を転がるから、位置決め部材１２２は、凹所１１４に確実に受け入れられて、プローブ組立体３６（又は３８）を確実に移動させる。

また、図９（Ａ）に示すように、位置決め部材１２２が最初に第１の部材１１２に当接する場合、位置決め部材１２２は、第２の部材１１２を第１の部材１１０に対し弾性体１１８の付勢力に抗して傾けつつ、凹所１１４の奥へ移動する。

しかし、位置決め部材１２２が凹所１１４の奥に達すると、第２の部材１１２が弾性体１１８により基の状態に戻されるから、凹所１１４及び位置決め部材１２２の位置ずれが正しく修正される。

凹所１１４及び位置決め部材１２２により得られる作用効果は、凹所１１４を位置決め具６２に形成し、位置決め部材１２２をプローブ組立体３６（３８）に備えても得ることができる。

図８及び図９に示すように、Ｙ方向用のプローブ取付板３２に取り付けられた各位置決め具６２は、Ｙ方向における可動フレーム２６に位置調整のために、さらに、長尺部材１２０に移動不能にねじ止めされたブラケット１８０と、Ｙ方向へ伸びる状態に可動フレーム２６に片持ち梁状に支持された位置決めピン１８２とを含む。

ブラケット１８０は、上端部をＹ方向に貫通するねじ穴を有しており、このねじ穴に調整ねじ１８４を螺合させている。調整ねじ１８４は、一対の止めナット１８６により移動を阻止されている。

位置決めピン１８２は、一端部において可動フレーム２６の螺合されて、調整ねじ１８４に向けて伸びて、調整ねじ１８４の端面に当接されている。

Ｙ方向における可動フレーム２６の位置は、調整ねじ１８４に対する止めナット１８６の螺合状態を緩め、ブラケット１８０のねじ穴への調整ねじ１８４のねじ込み量を調整することにより、調整することができる。調整後、調整ねじ１８４は止めナット１８６によりブラケット１８０に対し移動不能に維持される。

Ｙ方向における可動フレーム２６の位置が調整されると、可動フレーム２６はフレーム本体２４に対し、位置決めピン１８２が調整ねじ１８４に当接した状態に、可動フレーム２６の両端部に配置された一対のクランプ１８８により解除可能に維持される。

位置決めピン１８２及び調整ねじ１８４をそれぞれ可動フレーム２６及びブラケット１８０に配置する代わりに、位置決めピン１８２及び調整ねじ１８４をそれぞれブラケット１８０及び可動フレーム２６に配置してもよい。

プローブ装置１０においては、第１の方向における位置決め部材１２２の間隔又は第１の方向における凹所１１４の間隔が検査すべき表示用パネル１２の種類に応じて異なる複数の位置決め具６２が予め用意される。

検査すべき表示用パネル１２の種類を変更するときに、新たな表示用パネルの種類に応じた位置決め具６２が選択され、それの各位置決め部材１２２が凹所１１４に受け入れられるように、プローブ組立体３６又は３８が移動されると共に、その位置決め具６２がフレーム２０に位置される。これにより、プローブ組立体３６又は３８が新たな種類の表示用パネル１２に応じた位置に位置される。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す平面図である。 図１に示すプローブ装置を種類の異なる表示用パネルの検査に適用すべくプローブ組立体の配置位置を変更した状態の一例を示す平面図である。 図１における３−３線に沿って得た断面図である。 図３における一部を拡大して示す図である。 位置決め具とプローブ組立体の関係を示す図である。 位置決め具をプローブ支持板に配置した状態を示す図５と同様の図である。 Ｙ方向用位置決め具の他の部材を説明するための平面図である。 図７における８−８線に沿って得た断面図である。 位置決め部材と凹所との作用を説明するための図であって、（Ａ）配置決め部材が凹所の受け入れられ始めた状態を示し、（Ｂ）は位置決め部材が凹所に完全に受け入れられた状態を示す。 プローブ組立体の一実施例を示す図である。 図１０における１１−１１線に沿って得た断面図である。 プローブブロックとフラットケーブルの関係を示す断面図である。 プローブ組立体の組立手順を説明するための図である。 位置合わせマークを説明するための図であって、（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ原点マークホルダの下端部の平面図及び正面図である。 表示用パネルの被検査領域を説明するための図である。

符号の説明

１０ プローブ装置
１２ 表示用基板
１４ａ，１４ｂ 被検査領域
１６ａ，１６ｂ 電極群
２０ フレーム
２２ 開口
２４ フレーム本体
２６ 可動フレーム
２６ａ 可動フレームの中間領域
２８，４０，４４ ガイドレール
３０，４２，４６ ガイド部材
３２，３４ プローブ取付板
３６，３８ プローブ組立体
５０ プローブブロック
５２ フラットケーブル
５４ 接続ブロック
５６ 支持ブロック
５８ 取付ブロック
６２ 位置決め具
６４ ガイドブロック
６６ プローブ
６８ 電気絶縁性ブロック
７０ 側板
７２ 取付バー
７４ スリットバー
７６ ガイドフィルム
７８ コネクタ
７９ 位置決め穴
８０ 位置決めピン
８１ ねじ穴
８２，９０，１０４，１０６ ねじ部材
８４ 突出部
８６ ガイド部
８８ ストッパピン
９２ プッシャー
９４ 調整ねじ
９８ リニアガイド
１００ Ｌ型部材
１０２ 板状ベース
１１０，１１２ 第１及び第２の部材
１１６ 結合ピン
１１８ 弾性体
１２０ 長尺部材
１２２ 位置決め部材
１２４ 位置決めピン
１２６ セッティングピン
１２８ 貫通穴
１３０ セッティング穴
１３２ プランジャー
１３４ 偏心カム
１３６ カムフォロワ
１３８ 締め付けナット
１４０ 原点マークホルダ
１４２，１４４ 位置調整機構
１４６ 透明ガラス板
１４８ 原点マーク
１５０，１６０ ブロック
１５２，１６２ 結合ねじ
１５４，１６４ 補助部材
１５６，１６６ 調整ボルト
１５８，１６８ 止めナット
１７０ 圧縮コイルばね
１８０ ブラケット
１８２ 位置決めピン
１８４ 調整ねじ
１５８，１６８，１８６ 止めナット
１８８ クランプ

Claims (12)

1. 開口を形成するフレームと、前記開口と平行の面内を伸びる第１の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、前記第１の方向における前記複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具とを含み、
   前記位置決め具は、前記第１の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を前記第１の方向と交差する第２の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、前記複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第２の方向に開放すると共に前記面と交差する第３の方向に開放する複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、前記位置決め部材及び前記凹所の他方を含む、プローブ装置。
2. 前記位置決め具は、前記第１の方向へ伸びる状態に前記フレームに取り外し可能に取り付けられた長尺部材と、それぞれが前記位置決め部材として作用する複数のローラであって前記長尺部材に前記第１の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた、前記第２の方向へ伸びる回転軸線を有するローラとを含み、
   各プローブ組立体は、前記凹所を有するガイドブロックを含む、請求項１に記載のプローブ装置。
3. 前記ローラは、前記回転軸線の周りの位置を変更可能に前記長尺部材に取り付けられた円形の偏心カムと、該偏心カムにこれの周りに変位可能に配置された円形のカムフォロワとを備える、請求項２に記載のプローブ装置。
4. 前記ガイドブロックは、一端部にＬ状の切り欠き部を有する第１の部材と、前記切り欠き部を前記凹所として作用させるべく前記第１の方向における前記第１の部材の箇所に配置された第２の部材と、該第２の部材を前記第１の部材に前記第２の方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる結合ピンと、前記第２の部材が前記第１の部材に接近する方向へ前記結合ピンを付勢する弾性体とを備える、請求項２及び３のいずれか１項に記載のプローブ装置。
5. 前記位置決め具は、さらに、前記長尺部材を前記第３の方向に貫通して前記フレームに向けて伸びるセッティングピンと、前記セッティングピンに係止可能に前記長尺部材に配置されたプランジャーと、前記長尺部材を貫通して前記フレームに螺合された取り付けねじとを含む、請求項２から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
6. 前記位置決め具は、さらに、前記第１の方向に間隔をおいた前記フレームの２カ所から前記第３の方向へ伸びて前記長尺部材を貫通する一対の位置決めピンと、
   前記長尺部材に配置された一対のブロックであって前記位置決めピンの前記第１の方向における中央側の箇所及び端部側の箇所のいずれか一方に当接可能の一対のブロックと、
   前記ブロックを前記長尺部材に取り付ける結合ねじと、
   前記第１の方向に伸びて一方の前記ブロックの前記位置決めピンと反対側の箇所に当接可能に前記長尺部材に螺合された一対の調整ねじと、
   前記一方のブロックと前記調整ねじとを接触させるべく他方の前記ブロックを付勢するばねとを含む、請求項２から５のいずれか１項に記載のプローブ装置。
7. 前記フレームは、前記開口を有するフレーム本体と、前記第２の方向へ移動可能に前記フレーム本体に支持された可動フレームとを含み、
   前記プローブ組立体と前記位置決め具とは、前記可動フレームに配置されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ装置。
8. 複数の前記可動フレームが前記第２の方向に間隔をおいて前記フレーム本体に支持されており、それぞれが前記複数のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記可動フレームに個々に支持されており、複数の前記位置決め具が前記可動フレームに個々に備えられている、請求項７に記載のプローブ装置。
9. さらに、前記第１の方向における前記開口の一端部側にあって、前記第２の方向に間隔をおいて及び前記第２の方向に移動可能に前記フレームに配置された複数の第２のプローブ組立体と、前記第２の方向における前記第２のプローブ組立体の位置を解除可能に決める複数の第２の位置決め具とを含み、
   前記第２の位置決め具は、前記第２の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた複数の第２の位置決め部材であってそれぞれが前記第１の方向へ伸びる軸線を有する複数の第２の位置決め部材と、前記複数の第２の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第１の方向と前記第３の方向とに開放する複数の第２の凹所とのいずれか一方を含み、
   各第２のプローブ組立体は、前記第２の位置決め部材及び前記第２の凹所の他方を含む、請求項７に記載のプローブ装置。
10. それぞれが前記複数の第２のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記第２の方向に間隔をおいて及び前記第２の方向に移動可能に前記フレームに配置されており、前記第２の位置決め具が前記プローブグループ毎に備えられている、請求項９に記載のプローブ装置。
11. 前記第２の位置決め具は、前記第２の方向へ伸びる状態に前記可動フレームに取り外し可能に取り付けられた第２の長尺部材と、
    該第２の長尺部材に取り付けられたブラケットと、
    前記可動フレーム及び前記ブラケットのいずれか一方に前記第２の方向に伸びる状態に支持されて前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に向けて伸びる位置決めピンと、
    該位置決めピンを前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に当接させた状態に前記可動フレームを前記フレームに解除可能に維持するクランプとを含む、請求項９及び１０のいずれか１項に記載のプローブ装置。
12. 前記ブラケットは、これを前記第２の方向に貫通するねじ穴と、該ねじ穴に螺合されて前記位置決めピンに当接する調整ねじとを有する、請求項１１に記載のプローブ装置。

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