JP2008286757A - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブユニットは、フレームと、表示パネルが有する複数の電極の並び方向に沿って配列された複数のプローブブロックとを備えている。プローブブロックは、電極に接するプローブ針を有する。プローブブロックは、フレームにピボット軸を介して回動可能に支持されるとともに、個々に固定部材を介してフレームに固定される。フレームにプローブブロックの向きを調整する調整機構が設けられている。調整機構は、個々のプローブブロックに対応する一対の調整体を含む。調整体は、フレームに回動可能に支持されるとともに、プローブブロックを回動させるカム面を有する。カム面は、ピボット軸を挟んだ両側に振り分けられた位置でプローブブロックに接触する。
【選択図】図5
Description
外周部に互いに間隔を存して並べられた複数の電極を有する表示パネルに沿うように設けられたフレームと、
上記フレームにピボット軸を介して回動可能に支持され、上記表示パネルの電極の並び方向に沿って配列されるとともに、上記電極に接する複数のプローブ針を有する複数のプローブブロックと、
上記プローブブロックを上記フレームに個々に固定する固定部材と、
上記フレームに設けられ、上記フレームに対する上記プローブブロックの向きを個々に調整する調整機構と、を備えている。
上記調整機構は、上記プローブブロック毎に対応する一対の調整体を含み、これら調整体は、上記フレームに回動可能に支持されるとともに、上記プローブブロックを上記ピボット軸を中心に回動させるカム面を有し、上記調整体のカム面は、上記ピボット軸を挟んだ両側に振り分けられた位置で上記プローブブロックに接することを特徴としている。
Claims (6)
- 外周部に互いに間隔を存して並べられた複数の電極を有する表示パネルを検査するためのプローブユニットであって、
上記表示パネルの外周部に沿うように設けられたフレームと、
上記フレームにピボット軸を介して回動可能に支持され、上記表示パネルの電極の並び方向に沿って配列されるとともに、上記電極に接する複数のプローブ針を有する複数のプローブブロックと、
上記プローブブロックを上記フレームに個々に固定する固定部材と、
上記フレームに設けられ、上記フレームに対する上記プローブブロックの向きを個々に調整する調整機構と、を具備し、
上記調整機構は、上記プローブブロック毎に対応する一対の調整体を含み、これら調整体は、上記フレームに回動可能に支持されるとともに、上記プローブブロックを上記ピボット軸を中心に回動させるカム面を有し、上記調整体のカム面は、上記ピボット軸を挟んだ両側に振り分けられた位置で上記プローブブロックに接することを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1の記載において、上記調整体は、上記フレームに取り外し可能に支持された支持軸と、上記支持軸を同軸状に覆うように上記支持軸にねじ込まれた円筒状の外筒とを有し、この外筒の外周面上に上記カム面が形成されていることを特徴とするプローブユニット。
- 請求項2の記載において、上記カム面は、上記外筒の周方向に連続するとともに、上記外筒の軸方向に沿って径が変化するテーパ状をなしていることを特徴とするプローブユニット。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項の記載において、上記固定部材は、上記プローブブロックを貫通して上記フレームにねじ込まれる固定ねじであり、上記プローブブロップは、上記固定ねじが遊びを以て貫通する貫通孔を有することを特徴とするプローブユニット。
- 外周部に互いに間隔を存して並べられた複数の電極を有する表示パネルを検査するためのプローブユニットであって、
上記表示パネルの外周部に沿うように設けられたフレームと、
上記フレームにピボット軸を介して回動可能に支持され、上記表示パネルの電極の並び方向に沿って配列されるとともに、上記電極に接する複数のプローブ針を有する複数のプローブブロックと、
上記プローブブロックを上記フレームに個々に固定する固定部材と、
上記フレームに設けられ、上記フレームに対する上記プローブブロックの向きを個々に調整する調整機構と、を具備し、
上記調整機構は、
(1)上記フレームに回動可能に支持され、上記各プローブブロックに接することで上記各プローブブロックを上記ピボット軸を中心に回動させるカム面を有する調整体と、
(2)上記各プローブブロックを上記調整体のカム面に押し付ける弾性部材と、
を備えていること特徴とするプローブユニット。 - 請求項5の記載において、上記調整体と上記弾性部材とは、上記各プローブブロックに対し上記ピボット軸を挟んだ両側に振り分けて配置されていることを特徴とするプローブユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007134591A JP4625826B2 (ja) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007134591A JP4625826B2 (ja) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | プローブユニット |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286757A true JP2008286757A (ja) | 2008-11-27 |
JP4625826B2 JP4625826B2 (ja) | 2011-02-02 |
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ID=40146601
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007134591A Expired - Fee Related JP4625826B2 (ja) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | プローブユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4625826B2 (ja) |
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JP4625826B2 (ja) | 2011-02-02 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100726 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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