JP2011242260A - 配線検査治具 - Google Patents

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Takeo Negishi
丈夫 根岸
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Gardian Japan Co Ltd
ガーディアンジャパン株式会社
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Abstract

【課題】比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる配線検査治具を提供する。
【解決手段】第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721の中心位置が異なる複数種類の第1ガイド部71及び第2ガイド部72を用いることによって、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体15に対するプリント基板200の位置を細かく調整することができる。特に、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板200のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、基板に形成された配線の検査に用いられる配線検査治具に係り、特に、基板の電極にプローブピンを接触させて配線の導通や短絡、絶縁等の電気的検査を行うために用いられる配線検査治具に関するものである。
一般に、電子部品を実装する前のプリント基板(ベアボード)を基板検査システムに接続して導通、短絡、絶縁等の電気的検査を行う場合、プリント基板の配線パターンに合わせて作成された専用の治具が用いられる。この治具は、プリント基板上の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブピンを保持したものであり、各プローブピンはケーブル線や中間基板などを介して基板検査システムのスキャナ(入力切替器)と電気的に接続される。治具の各プローブをプリント基板の配線に接触させることで、プリント基板の配線が基板検査システムに接続される。
上述した治具を用いて検査を行う方法では、プリント基板の配線に対して治具のプローブピンを正確に接触させる必要がある。通常、治具に対するプリント基板の位置合わせは、治具に立てられたガイドピンをプリント基板のガイド孔に挿入することによって行われている。更に微小な位置合わせが必要な場合は、プリント基板に予め付けられた複数の位置決めマークをカメラによって撮像し、その撮像画像に基づいてプリント基板の位置をアクチュエータにより微調整する方法などが用いられる(下記特許文献を参照)。
特開平1−184473
しかしながら、上述のようにカメラを使ってアクチュエータにより微調整する方法は、構成が複雑になるためコスト高いという問題がある。また、プリント基板の製造上のばらつきによって比較的大きなズレを生じると、上述のような微調整では対応できない場合がある。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる配線検査治具を提供することにある。
本発明の第1の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第1ガイドピン及び第2ガイドピンと、前記第1ガイドピンと嵌合する第1ガイド孔を備えた第1ガイド部と、前記第2ガイドピンと嵌合する第2ガイド孔を備えた第2ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第3ガイド孔及び第4ガイド孔と嵌合する第3ガイドピン及び第4ガイドピンと、前記第1ガイドピン、前記第2ガイドピン、前記第3ガイドピン及び前記第4ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、前記治具本体に対する前記第1ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第1ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第1固定部と、前記治具本体に対する前記第2ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第2ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第2固定部とを有する。
上記第1の観点に係る配線検査治具では、好適に、前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、前記第1ガイド孔及び前記第2ガイド孔の中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、前記第1固定部は、前記第1ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、前記第2固定部は、前記第2ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える。
本発明の第2の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第1ガイドピンが形成された第1ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第2ガイドピンが形成された第2ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第3ガイド孔及び第4ガイド孔と嵌合する第3ガイドピン及び第4ガイドピンと、前記第1ガイドピン、前記第2ガイドピン、前記第3ガイドピン及び前記第4ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、前記治具本体に対する前記第1ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第1ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第1固定部と、前記治具本体に対する前記第2ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第2ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第2固定部とを有する。
上記第2の観点に係る配線検査治具では、好適に、前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、前記第1ガイドピン及び前記第2ガイドピンの中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、前記第1固定部は、前記第1ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、前記第2固定部は、前記第2ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える。
好適に、前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部の前記柱体は、放射状に複数の凸部が配された星形の断面を持つ。
好適に、前記治具本体は、前記基板と対面して配置され、前記プローブピンの先端部分を案内する貫通孔を備えた上部プレートと、前記プローブの中間部分を案内する貫通孔を備えた中間プレートとを有し、前記ガイドピン固定フレームは、前記上部プレートと前記中間プレートとの間に配置される。
好適に、前記上部プレートは、前記第1ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第1ガイド部用貫通孔と、前記第2ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第2ガイド部用貫通孔とを備える。
本発明によれば、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる。
本発明の実施形態に係る配線検査治具の一例を示す図である。 配線検査治具の上部プレートを外した状態を示す図である。 配線検査治具の上部プレートとガイドピン固定フレームを外した状態を示す図である。 固定部からガイド部を外した状態を示す図である。 ガイド部を上方向から見た図である。 図1に示す配線検査治具により基板の位置を微調節する例を説明するための図である。
図1は、本発明の実施形態に係る配線検査治具100の一例を示す図である。
配線検査治具100は、基板配線の電気的検査(導通検査、短絡検査、絶縁検査等)を行う不図示の基板検査システムと検査対象物のプリント基板200との間に介在する治具であり、プリント基板200の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブピン31を保持する。各プローブピン31は、一方の端部がケーブル線や中間基板等を介して基板検査システムのスキャナ(入力切替器)に接続されており、他方の端部がプリント基板200の配線に接触する。配線検査治具100に立てられたガイドピン23,24をプリント基板200のガイド孔に通すことで、配線検査治具100に対するプリント基板200の位置決めが行われる。
配線検査治具100は、検査対象のプリント基板200に対面する上部プレート11と、この上部プレート11の下側に重ねられた中間プレート12−1〜12−5及び下部プレート13を有する。
上部プレート11は、プリント基板200の配線の真下へ各プローブピン31の上側の先端部分を案内する貫通孔を備える。この貫通孔から突出したプローブピン31の尖端が、プリント基板200の配線と接触する。
下部プレート13は、各プローブピン31の下側の尖端部分にそれぞれ接触する下部電極を備える。この下部電極は、基板検査システムのスキャナと電気的に接続される。例えば、下部電極はそれぞれケーブル線に接続されており、このケーブル線を介して基板検査システムのスキャナに接続される。或いは、下部電極は、下部プレート13の下面から突出した中間ピンを形成しており、この中間ピンの尖端が汎用の中継基板の電極パッドと接触することにより、中継基板を介して基板検査システムのスキャナに接続されるようにしてもよい。
中間プレート12−1〜12−5は、上部プレート11と下部プレート13の間に空隙を設けて積み重ねられており、下部プレート13から上部プレート11へ立てたプローブピン31の中間部分を案内するための貫通孔を備える。図1の例において、中間プレート12−1〜12−5の四隅にはそれぞれ支柱42が設けられており、支柱42を介して上下のプレートと連結される。また、中間プレート12−1〜12−5の4つの辺には、プレートのたわみを抑制するためのスペーサ41が挿入される。スペーサ41は、図の水平方向に切れ込み(溝)を有しており、この切れ込みに中間プレート12−1〜12−5の縁が差し込まれている。
図2は、配線検査治具100の上部プレート11を外した状態を示す図である。
図3は、図2の状態から更にガイドピン固定フレーム51を外した状態を示す。
図4は、図3の状態から更に固定部61とガイド部71を分離した状態を示す。
図5は、ガイド部71,72を上方向から見た図である。
本実施形態に係る配線検査治具100は、例えば図2〜図4に示すように、第1ガイドピン21と、第2ガイドピン22と、第3ガイドピン23と、第4ガイドピン24と、ガイドピン固定フレーム51と、第1ガイド部71と、第2ガイド部72と、第1固定部61と、第2固定部62とを有する。
ガイドピン固定フレーム51は、第1ガイドピン21,第2ガイドピン22,第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24を共通に固定する板状の部材であり、これらのガイドピンがプリント基板200の配線形成面に対して垂直方向に延びて立っている。
ガイドピン固定フレーム51は、上部プレート11と中間プレート12−1の間に配置される。ガイドピン固定フレーム51は、中間プレート12−1から上部プレート11へ渡るプローブピン31を避けるための切り欠き511を有するとともに、中間プレート12−1と上部プレート11との間に挿入されている複数の支柱42を避けるための複数の切り欠き512を有する。
ガイドピン固定フレーム51に固定された第3ガイドピン23,第4ガイドピン24は、上部プレート11に形成された孔113,114を貫通して上面に突き出ている。上部プレート11の上面に突き出た第3ガイドピン23,第4ガイドピン24が、プリント基板200のガイド孔と嵌合することにより、プリント基板200の位置が合わせられる。
なお、上部プレート11の孔113,114の径は第3ガイドピン23,第4ガイドピン24の径に比べ大きく形成されているため、ガイドピン固定フレーム51の位置が変化するとこれに応じて第3ガイドピン23,第4ガイドピン24の位置も変化する。従って、後述するようにガイド部71,72の嵌め合わせを変更してガイドピン固定フレーム51の位置を変化させることにより、第3ガイドピン23,第4ガイドピン24の位置を変化させることが可能となる。
ガイドピン固定フレーム51は、中央に比較的大きな矩形の板部を有しており、その左右の辺の中ほどに比較的小さな矩形の板部が突き出している。第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22は、この比較的小さな矩形の板部に形成された孔に嵌合されている。第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22は、矩形の板部の孔に嵌合された状態で、図の水平方向(プリント基板200の配線形成面に対して平行な方向)における第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24との相対的な位置関係が正確に固定(位置決め)されている。
第1ガイド部71,第2ガイド部72は、放射状に8つの凸部が配された星形の断面をもつ柱体である(図5)。この柱体は、プリント基板200の配線形成面に対して垂直方向に延びた中心軸について8回対称の回転対称性を持っている。
また図5に示すように、第1ガイド部71は第1ガイドピン21と嵌合する第1ガイド孔711を有し、第2ガイド部72は第2ガイドピン22と嵌合する第2ガイド孔721を有する。第1ガイド孔711の中心は第1ガイド部71の中心軸からずれており、第2ガイド孔721の中心は第2ガイド部72の中心軸からずれている。
なお、第1ガイド孔711に嵌合された状態の第1ガイドピン21は、図示しない係止具によって第1ガイド部71と固定されているため、第1ガイドピン21を手で摘まんで上方に引き上げることにより、第1ガイドピン21とともに第1ガイド部71が後述の第1固定部61から取り外すことができる。同様に、第2ガイド孔721に嵌合された状態の第2ガイドピン22は、図示しない係止具によって第2ガイド部72と固定されているため、第2ガイドピン22を手で摘まんで上方に引き上げることにより、第2ガイドピン22とともに第2ガイド部72が後述の第2固定部62から取り外すことができる。
第1固定部61は、第1ガイド部71を治具本体15(上部フレーム11,中間フレーム12−1〜12−5及び下部フレーム13を組み合わせた全体のフレーム)に固定する器具であり、第1ガイド部71と嵌合する星形の孔611を有する。また、第2固定部62は、第2ガイド部72を治具本体15に固定する器具であり、第1ガイド部72と嵌合する星形の孔621と嵌合する。
図4の例に示すように、上部フレーム11に設けられた2つの貫通孔113から挿入された2本のボルト613が、第1固定部61に設けられた2つの貫通孔612と、ガイドピン固定フレーム51に設けられた2つの貫通孔52と、中間プレート12−1の2つの貫通孔121とを貫いて、中間プレート12−1の下面に配置される不図示のスペーサに締結されている。このボルト613によって、第1固定部61は治具本体15の所定の位置に固定される。ただし、ガイドピン固定フレーム51に設けられた貫通孔52の径はボルト613の径に比べて十分に大きいため、ガイドピン固定フレーム51と治具本体15の位置はボルト613によって固定されない。
第2固定部62ついても第1固定部61と同様である。すなわち、第2固定部62は、上部フレーム11から中間プレート12−1へ貫通する2本のボルトによって治具本体15の所定の位置に固定されるが、このボルトによってガイドピン固定フレーム51と治具本体15の位置は固定されない。
上述のように、第1ガイド部71及び第2ガイド部72は8回対称の柱体であるため、孔611及び孔621との嵌め合わせの態様には8通りのバリエーションが存在する。一方、第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721の中心が星形の柱体の中心軸からずれているため、上記のように嵌め合わせを変更した場合、これに応じて第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721の中心位置が変化する。
第1ガイド部71の第1ガイド孔711と第2ガイド部72の第2ガイド孔721が図5(A)に示すように両方ともy方向へずれている場合、これらに嵌合する第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22も全体としてy方向へずれるため、ガイドピン固定フレーム51の位置が全体としてy方向へずれる。他方、第1ガイド部71の第1ガイド孔711と第2ガイド部72の第2ガイド孔721が図5(B)に示すように両方ともx方向へずれている場合、これらに嵌合する第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22も全体としてx方向へずれるため、ガイドピン固定フレーム51の位置が全体としてx方向へずれる。
ここで、上述した構成を有する配線検査治具100によってプリント基板200の位置を微調節する方法について、図6を参照して説明する。図6は、ガイドピン固定フレーム51に固定された第2ガイドピン22及び第4ガイドピン24と上部フレーム11との位置関係の変化を横方向から見た場合の概略図である。
図6(A)の状態において、第2ガイド部72における第2ガイド孔721の中心は柱体の中心軸とほぼ重なっている。この状態で、プリント基板200の配線パターンに対するプローブピン31の位置が図の左方向へ標準より偏っているため、プリント基板200の位置を全体的に右側へ所定長さだけ移動させるものとする。
この場合、まず、現在取り付けられている第1ガイド部71を第1固定部61の孔611から外し、上部フレーム11の貫通孔111から取り出す。同様に、第2ガイド部72を第2固定部62から外し、上部フレーム11の貫通孔112から取り出す。
次いで、第1ガイド孔711,第2ガイド孔721の中心が柱体の中心軸から所定長さだけずれた第1ガイド部71,第2ガイド部72をそれぞれ新たに用意する。そして、用意した第1ガイド部71を上部フレーム11の貫通孔111から第1固定部61の孔611に嵌め込むとともに、用意した第2ガイド部72を上部フレーム11の貫通孔112から第2固定部62の孔621に嵌め込む。このとき、第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721が両方とも右側へ所定長さだけずれるように嵌め込むため、第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721に嵌合する第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22も右側へずらす必要がある。第1ガイドピン21及び第2ガイドピン22が所定長さだけ右側へずれると、これに応じてガイドピン固定フレーム51が右側へずれるので、第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24も所定長さだけ右側へずれる。結果として、第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24により案内されるプリント基板200の位置が所定長さだけ右側へずれる。
以上説明したように、本実施形態に係る配線検査治具では、プリント基板200の配線に接触する複数のプローブピン31が治具本体15に固定されている一方で、プリント基板200の配線形成面に対して垂直方向に延びた第1ガイドピン21,第2ガイドピン22,第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24が共通のガイドピン固定フレーム51に固定されている。そして、第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24がプリント基板200のガイド孔にそれぞれ嵌合されるとともに、第1ガイドピン21が第1ガイド部71の第1ガイド孔711に嵌合され、第2ガイドピン22が第2ガイド部72の第2ガイド孔721に嵌合されている。
また、第1ガイド部71及び第2ガイド部72は、プリント基板200の配線形成面に対して垂直方向に延びた中心軸に対し回転対称性を持つ柱体であり、第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721の中心がこの柱体の中心軸からずれている。
そのため、治具本体15に固定された第1固定部61の孔611に第1ガイド部71を嵌め合わせる仕方が複数通り(実施形態の例では8通り)存在するとともに、治具本体15に固定された第2固定部62の孔621に第2ガイド部72を嵌め合わせる仕方が複数通り存在する。この複数通りの嵌め合わせ方に対応して、第1ガイド部71の第1ガイド孔711に嵌合される第1ガイドピン21の位置が複数通り存在し得るとともに、第2ガイド部72の第2ガイド孔721に嵌合される第2ガイドピン22の位置も複数通り存在し得る。
従って、第1固定部61の孔611に第1ガイド部71を嵌め合わせる仕方を種々に変更するとともに、第2固定部62の孔621に第2ガイド部72を嵌め合わせる仕方を種々に変更することによって、第1ガイドピン21,第2ガイドピン22,第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24が治具本体15に固定される位置を種々に変更することが可能であり、その結果、第3ガイドピン23及び第4ガイドピン24によってガイドされるプリント基板200の固定位置を種々に変更することが可能である。
このように、本実施形態によれば、第1ガイド孔711及び第2ガイド孔721の中心位置が異なる複数種類の第1ガイド部71及び第2ガイド部72を用いることによって、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体15に対するプリント基板200の位置を細かく調整することができる。特に、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板200のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。
また、本実施形態によれば、第1ガイド部71及び第2ガイド部72を出し入れするための貫通孔111,112が上部フレーム11に設けられているため、治具本体15を分解することなく簡単にプリント基板200の位置調節を行うことができる。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々のバリエーションを含んでいる。
上述した実施形態では、第1ガイドピン21が第1ガイド部71の第1ガイド孔711に嵌合され、第2ガイドピン22が第2ガイド部72の第2ガイド孔721に嵌合される例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、第1ガイドピンを第1ガイド部と一体的に形成してよいし、第2ガイドピンを第2ガイド部と一体的に形成してよい。この場合、第1ガイドピン,第2ガイドピンの中心が柱体の中心軸に対してずれるように第1ガイド部,第2ガイド部を形成することによって、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。
また、上述した実施形態では、第1ガイド部61及び第2ガイド部62の断面形状を星形にしている例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、柱体の断面形状を、例えば正多角形や楕円形などの回転対称性を有する種々の形状にしてよい。
また、上述した実施形態では、第1ガイド部71及び第2ガイド部72を第1固定部61及び第2固定部62の星形の孔に嵌め合わせることによって治具本体15に固定する例を挙げているが、第1固定部及び第2固定部による第1ガイド部及び第2ガイド部の固定方法はこれに限定されない。例えば、第1固定部61と上部フレーム11とのネジ止め位置や、第2固定部62と上部フレーム11とのネジ止め位置を第1ガイド部71及び第2ガイド部72の柱体の中心軸に対して回転する方向へ変更できるように、複数のネジ止め用の孔を上部フレーム11に設けてもよい。
上述した実施形態では検査対象としてプリント基板を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。例えば、半導体パッケージ、ICサブストレート、ICプローブヘッド、液晶モジュール、プラズマディスプレイの電極板、ガラス基板、電子部品実装用のフィルムキャリアなど、配線が形成され得る種々の基板の配線検査用治具に本発明は適用可能である。
11…上部フレーム、12−1〜12〜5…中間フレーム、13…下部フレーム、21…第1ガイドピン、22…第2ガイドピン、23…第3ガイドピン、24…第4ガイドピン、31…プローブピン、41…スペーサ、42…支柱、51…ガイドピン固定フレーム、61…第1固定部、62…第2固定部、71…第1ガイド部、72…第2ガイド部、711…第1ガイド孔、721…第2ガイド孔、200…プリント基板

Claims (7)

  1. 検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、
    前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第1ガイドピン及び第2ガイドピンと、
    前記第1ガイドピンと嵌合する第1ガイド孔を備えた第1ガイド部と、
    前記第2ガイドピンと嵌合する第2ガイド孔を備えた第2ガイド部と、
    前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第3ガイド孔及び第4ガイド孔と嵌合する第3ガイドピン及び第4ガイドピンと、
    前記第1ガイドピン、前記第2ガイドピン、前記第3ガイドピン及び前記第4ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、
    前記治具本体に対する前記第1ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第1ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第1固定部と、
    前記治具本体に対する前記第2ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第2ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第2固定部と
    を有する配線検査治具。
  2. 前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、
    前記第1ガイド孔及び前記第2ガイド孔の中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、
    前記第1固定部は、前記第1ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、
    前記第2固定部は、前記第2ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える、
    請求項1に記載の配線検査治具。
  3. 検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、
    前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第1ガイドピンが形成された第1ガイド部と、
    前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第2ガイドピンが形成された第2ガイド部と、
    前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第3ガイド孔及び第4ガイド孔と嵌合する第3ガイドピン及び第4ガイドピンと、
    前記第1ガイドピン、前記第2ガイドピン、前記第3ガイドピン及び前記第4ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、
    前記治具本体に対する前記第1ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第1ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第1固定部と、
    前記治具本体に対する前記第2ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第2ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第2固定部と
    を有する配線検査治具。
  4. 前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、
    前記第1ガイドピン及び前記第2ガイドピンの中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、
    前記第1固定部は、前記第1ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、
    前記第2固定部は、前記第2ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える、
    請求項2に記載の配線検査治具。
  5. 前記第1ガイド部及び前記第2ガイド部の前記柱体は、放射状に複数の凸部が配された星形の断面を持つ、
    請求項2又は4に記載の配線検査治具。
  6. 前記治具本体は、
    前記基板と対面して配置され、前記プローブピンの先端部分を案内する貫通孔を備えた上部プレートと、
    前記プローブの中間部分を案内する貫通孔を備えた中間プレートと
    を有し、
    前記ガイドピン固定フレームは、前記上部プレートと前記中間プレートとの間に配置される、
    請求項2,4又は5の何れか一項に記載の配線検査治具。
  7. 前記上部プレートは、
    前記第1ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第1ガイド部用貫通孔と、
    前記第2ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第2ガイド部用貫通孔と
    を備える、
    請求項6に記載の配線検査治具。
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