JP2011242260A - 配線検査治具 - Google Patents

Abstract

【課題】比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる配線検査治具を提供する。
【解決手段】第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心位置が異なる複数種類の第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２を用いることによって、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体１５に対するプリント基板２００の位置を細かく調整することができる。特に、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板２００のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板に形成された配線の検査に用いられる配線検査治具に係り、特に、基板の電極にプローブピンを接触させて配線の導通や短絡、絶縁等の電気的検査を行うために用いられる配線検査治具に関するものである。

一般に、電子部品を実装する前のプリント基板（ベアボード）を基板検査システムに接続して導通、短絡、絶縁等の電気的検査を行う場合、プリント基板の配線パターンに合わせて作成された専用の治具が用いられる。この治具は、プリント基板上の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブピンを保持したものであり、各プローブピンはケーブル線や中間基板などを介して基板検査システムのスキャナ（入力切替器）と電気的に接続される。治具の各プローブをプリント基板の配線に接触させることで、プリント基板の配線が基板検査システムに接続される。

上述した治具を用いて検査を行う方法では、プリント基板の配線に対して治具のプローブピンを正確に接触させる必要がある。通常、治具に対するプリント基板の位置合わせは、治具に立てられたガイドピンをプリント基板のガイド孔に挿入することによって行われている。更に微小な位置合わせが必要な場合は、プリント基板に予め付けられた複数の位置決めマークをカメラによって撮像し、その撮像画像に基づいてプリント基板の位置をアクチュエータにより微調整する方法などが用いられる（下記特許文献を参照）。

特開平１−１８４４７３

しかしながら、上述のようにカメラを使ってアクチュエータにより微調整する方法は、構成が複雑になるためコスト高いという問題がある。また、プリント基板の製造上のばらつきによって比較的大きなズレを生じると、上述のような微調整では対応できない場合がある。

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる配線検査治具を提供することにある。

本発明の第１の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第１ガイドピン及び第２ガイドピンと、前記第１ガイドピンと嵌合する第１ガイド孔を備えた第１ガイド部と、前記第２ガイドピンと嵌合する第２ガイド孔を備えた第２ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第３ガイド孔及び第４ガイド孔と嵌合する第３ガイドピン及び第４ガイドピンと、前記第１ガイドピン、前記第２ガイドピン、前記第３ガイドピン及び前記第４ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、前記治具本体に対する前記第１ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第１ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第１固定部と、前記治具本体に対する前記第２ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第２ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第２固定部とを有する。
上記第１の観点に係る配線検査治具では、好適に、前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、前記第１ガイド孔及び前記第２ガイド孔の中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、前記第１固定部は、前記第１ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、前記第２固定部は、前記第２ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える。

本発明の第２の観点に係る配線検査治具は、検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第１ガイドピンが形成された第１ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第２ガイドピンが形成された第２ガイド部と、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第３ガイド孔及び第４ガイド孔と嵌合する第３ガイドピン及び第４ガイドピンと、前記第１ガイドピン、前記第２ガイドピン、前記第３ガイドピン及び前記第４ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、前記治具本体に対する前記第１ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第１ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第１固定部と、前記治具本体に対する前記第２ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第２ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第２固定部とを有する。
上記第２の観点に係る配線検査治具では、好適に、前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、前記第１ガイドピン及び前記第２ガイドピンの中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、前記第１固定部は、前記第１ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、前記第２固定部は、前記第２ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える。

好適に、前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部の前記柱体は、放射状に複数の凸部が配された星形の断面を持つ。

好適に、前記治具本体は、前記基板と対面して配置され、前記プローブピンの先端部分を案内する貫通孔を備えた上部プレートと、前記プローブの中間部分を案内する貫通孔を備えた中間プレートとを有し、前記ガイドピン固定フレームは、前記上部プレートと前記中間プレートとの間に配置される。

好適に、前記上部プレートは、前記第１ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第１ガイド部用貫通孔と、前記第２ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第２ガイド部用貫通孔とを備える。

本発明によれば、比較的簡易な構成でありながら、基板の配線に対してプローブピンを正確に接触させることができる。

本発明の実施形態に係る配線検査治具の一例を示す図である。 配線検査治具の上部プレートを外した状態を示す図である。 配線検査治具の上部プレートとガイドピン固定フレームを外した状態を示す図である。 固定部からガイド部を外した状態を示す図である。 ガイド部を上方向から見た図である。 図１に示す配線検査治具により基板の位置を微調節する例を説明するための図である。

図１は、本発明の実施形態に係る配線検査治具１００の一例を示す図である。
配線検査治具１００は、基板配線の電気的検査（導通検査、短絡検査、絶縁検査等）を行う不図示の基板検査システムと検査対象物のプリント基板２００との間に介在する治具であり、プリント基板２００の配線パターンに合わせて配列された複数のプローブピン３１を保持する。各プローブピン３１は、一方の端部がケーブル線や中間基板等を介して基板検査システムのスキャナ（入力切替器）に接続されており、他方の端部がプリント基板２００の配線に接触する。配線検査治具１００に立てられたガイドピン２３，２４をプリント基板２００のガイド孔に通すことで、配線検査治具１００に対するプリント基板２００の位置決めが行われる。

配線検査治具１００は、検査対象のプリント基板２００に対面する上部プレート１１と、この上部プレート１１の下側に重ねられた中間プレート１２−１〜１２−５及び下部プレート１３を有する。

上部プレート１１は、プリント基板２００の配線の真下へ各プローブピン３１の上側の先端部分を案内する貫通孔を備える。この貫通孔から突出したプローブピン３１の尖端が、プリント基板２００の配線と接触する。

下部プレート１３は、各プローブピン３１の下側の尖端部分にそれぞれ接触する下部電極を備える。この下部電極は、基板検査システムのスキャナと電気的に接続される。例えば、下部電極はそれぞれケーブル線に接続されており、このケーブル線を介して基板検査システムのスキャナに接続される。或いは、下部電極は、下部プレート１３の下面から突出した中間ピンを形成しており、この中間ピンの尖端が汎用の中継基板の電極パッドと接触することにより、中継基板を介して基板検査システムのスキャナに接続されるようにしてもよい。

中間プレート１２−１〜１２−５は、上部プレート１１と下部プレート１３の間に空隙を設けて積み重ねられており、下部プレート１３から上部プレート１１へ立てたプローブピン３１の中間部分を案内するための貫通孔を備える。図１の例において、中間プレート１２−１〜１２−５の四隅にはそれぞれ支柱４２が設けられており、支柱４２を介して上下のプレートと連結される。また、中間プレート１２−１〜１２−５の４つの辺には、プレートのたわみを抑制するためのスペーサ４１が挿入される。スペーサ４１は、図の水平方向に切れ込み（溝）を有しており、この切れ込みに中間プレート１２−１〜１２−５の縁が差し込まれている。

図２は、配線検査治具１００の上部プレート１１を外した状態を示す図である。
図３は、図２の状態から更にガイドピン固定フレーム５１を外した状態を示す。
図４は、図３の状態から更に固定部６１とガイド部７１を分離した状態を示す。
図５は、ガイド部７１，７２を上方向から見た図である。
本実施形態に係る配線検査治具１００は、例えば図２〜図４に示すように、第１ガイドピン２１と、第２ガイドピン２２と、第３ガイドピン２３と、第４ガイドピン２４と、ガイドピン固定フレーム５１と、第１ガイド部７１と、第２ガイド部７２と、第１固定部６１と、第２固定部６２とを有する。

ガイドピン固定フレーム５１は、第１ガイドピン２１，第２ガイドピン２２，第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４を共通に固定する板状の部材であり、これらのガイドピンがプリント基板２００の配線形成面に対して垂直方向に延びて立っている。

ガイドピン固定フレーム５１は、上部プレート１１と中間プレート１２−１の間に配置される。ガイドピン固定フレーム５１は、中間プレート１２−１から上部プレート１１へ渡るプローブピン３１を避けるための切り欠き５１１を有するとともに、中間プレート１２−１と上部プレート１１との間に挿入されている複数の支柱４２を避けるための複数の切り欠き５１２を有する。

ガイドピン固定フレーム５１に固定された第３ガイドピン２３，第４ガイドピン２４は、上部プレート１１に形成された孔１１３，１１４を貫通して上面に突き出ている。上部プレート１１の上面に突き出た第３ガイドピン２３，第４ガイドピン２４が、プリント基板２００のガイド孔と嵌合することにより、プリント基板２００の位置が合わせられる。
なお、上部プレート１１の孔１１３，１１４の径は第３ガイドピン２３，第４ガイドピン２４の径に比べ大きく形成されているため、ガイドピン固定フレーム５１の位置が変化するとこれに応じて第３ガイドピン２３，第４ガイドピン２４の位置も変化する。従って、後述するようにガイド部７１，７２の嵌め合わせを変更してガイドピン固定フレーム５１の位置を変化させることにより、第３ガイドピン２３，第４ガイドピン２４の位置を変化させることが可能となる。

ガイドピン固定フレーム５１は、中央に比較的大きな矩形の板部を有しており、その左右の辺の中ほどに比較的小さな矩形の板部が突き出している。第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２は、この比較的小さな矩形の板部に形成された孔に嵌合されている。第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２は、矩形の板部の孔に嵌合された状態で、図の水平方向（プリント基板２００の配線形成面に対して平行な方向）における第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４との相対的な位置関係が正確に固定（位置決め）されている。

第１ガイド部７１，第２ガイド部７２は、放射状に８つの凸部が配された星形の断面をもつ柱体である（図５）。この柱体は、プリント基板２００の配線形成面に対して垂直方向に延びた中心軸について８回対称の回転対称性を持っている。

また図５に示すように、第１ガイド部７１は第１ガイドピン２１と嵌合する第１ガイド孔７１１を有し、第２ガイド部７２は第２ガイドピン２２と嵌合する第２ガイド孔７２１を有する。第１ガイド孔７１１の中心は第１ガイド部７１の中心軸からずれており、第２ガイド孔７２１の中心は第２ガイド部７２の中心軸からずれている。
なお、第１ガイド孔７１１に嵌合された状態の第１ガイドピン２１は、図示しない係止具によって第１ガイド部７１と固定されているため、第１ガイドピン２１を手で摘まんで上方に引き上げることにより、第１ガイドピン２１とともに第１ガイド部７１が後述の第１固定部６１から取り外すことができる。同様に、第２ガイド孔７２１に嵌合された状態の第２ガイドピン２２は、図示しない係止具によって第２ガイド部７２と固定されているため、第２ガイドピン２２を手で摘まんで上方に引き上げることにより、第２ガイドピン２２とともに第２ガイド部７２が後述の第２固定部６２から取り外すことができる。

第１固定部６１は、第１ガイド部７１を治具本体１５（上部フレーム１１，中間フレーム１２−１〜１２−５及び下部フレーム１３を組み合わせた全体のフレーム）に固定する器具であり、第１ガイド部７１と嵌合する星形の孔６１１を有する。また、第２固定部６２は、第２ガイド部７２を治具本体１５に固定する器具であり、第１ガイド部７２と嵌合する星形の孔６２１と嵌合する。

図４の例に示すように、上部フレーム１１に設けられた２つの貫通孔１１３から挿入された２本のボルト６１３が、第１固定部６１に設けられた２つの貫通孔６１２と、ガイドピン固定フレーム５１に設けられた２つの貫通孔５２と、中間プレート１２−１の２つの貫通孔１２１とを貫いて、中間プレート１２−１の下面に配置される不図示のスペーサに締結されている。このボルト６１３によって、第１固定部６１は治具本体１５の所定の位置に固定される。ただし、ガイドピン固定フレーム５１に設けられた貫通孔５２の径はボルト６１３の径に比べて十分に大きいため、ガイドピン固定フレーム５１と治具本体１５の位置はボルト６１３によって固定されない。
第２固定部６２ついても第１固定部６１と同様である。すなわち、第２固定部６２は、上部フレーム１１から中間プレート１２−１へ貫通する２本のボルトによって治具本体１５の所定の位置に固定されるが、このボルトによってガイドピン固定フレーム５１と治具本体１５の位置は固定されない。

上述のように、第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２は８回対称の柱体であるため、孔６１１及び孔６２１との嵌め合わせの態様には８通りのバリエーションが存在する。一方、第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心が星形の柱体の中心軸からずれているため、上記のように嵌め合わせを変更した場合、これに応じて第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心位置が変化する。
第１ガイド部７１の第１ガイド孔７１１と第２ガイド部７２の第２ガイド孔７２１が図５（Ａ）に示すように両方ともｙ方向へずれている場合、これらに嵌合する第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２も全体としてｙ方向へずれるため、ガイドピン固定フレーム５１の位置が全体としてｙ方向へずれる。他方、第１ガイド部７１の第１ガイド孔７１１と第２ガイド部７２の第２ガイド孔７２１が図５（Ｂ）に示すように両方ともｘ方向へずれている場合、これらに嵌合する第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２も全体としてｘ方向へずれるため、ガイドピン固定フレーム５１の位置が全体としてｘ方向へずれる。

ここで、上述した構成を有する配線検査治具１００によってプリント基板２００の位置を微調節する方法について、図６を参照して説明する。図６は、ガイドピン固定フレーム５１に固定された第２ガイドピン２２及び第４ガイドピン２４と上部フレーム１１との位置関係の変化を横方向から見た場合の概略図である。

図６（Ａ）の状態において、第２ガイド部７２における第２ガイド孔７２１の中心は柱体の中心軸とほぼ重なっている。この状態で、プリント基板２００の配線パターンに対するプローブピン３１の位置が図の左方向へ標準より偏っているため、プリント基板２００の位置を全体的に右側へ所定長さだけ移動させるものとする。

この場合、まず、現在取り付けられている第１ガイド部７１を第１固定部６１の孔６１１から外し、上部フレーム１１の貫通孔１１１から取り出す。同様に、第２ガイド部７２を第２固定部６２から外し、上部フレーム１１の貫通孔１１２から取り出す。

次いで、第１ガイド孔７１１，第２ガイド孔７２１の中心が柱体の中心軸から所定長さだけずれた第１ガイド部７１，第２ガイド部７２をそれぞれ新たに用意する。そして、用意した第１ガイド部７１を上部フレーム１１の貫通孔１１１から第１固定部６１の孔６１１に嵌め込むとともに、用意した第２ガイド部７２を上部フレーム１１の貫通孔１１２から第２固定部６２の孔６２１に嵌め込む。このとき、第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１が両方とも右側へ所定長さだけずれるように嵌め込むため、第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１に嵌合する第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２も右側へずらす必要がある。第１ガイドピン２１及び第２ガイドピン２２が所定長さだけ右側へずれると、これに応じてガイドピン固定フレーム５１が右側へずれるので、第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４も所定長さだけ右側へずれる。結果として、第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４により案内されるプリント基板２００の位置が所定長さだけ右側へずれる。

以上説明したように、本実施形態に係る配線検査治具では、プリント基板２００の配線に接触する複数のプローブピン３１が治具本体１５に固定されている一方で、プリント基板２００の配線形成面に対して垂直方向に延びた第１ガイドピン２１，第２ガイドピン２２，第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４が共通のガイドピン固定フレーム５１に固定されている。そして、第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４がプリント基板２００のガイド孔にそれぞれ嵌合されるとともに、第１ガイドピン２１が第１ガイド部７１の第１ガイド孔７１１に嵌合され、第２ガイドピン２２が第２ガイド部７２の第２ガイド孔７２１に嵌合されている。
また、第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２は、プリント基板２００の配線形成面に対して垂直方向に延びた中心軸に対し回転対称性を持つ柱体であり、第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心がこの柱体の中心軸からずれている。
そのため、治具本体１５に固定された第１固定部６１の孔６１１に第１ガイド部７１を嵌め合わせる仕方が複数通り（実施形態の例では８通り）存在するとともに、治具本体１５に固定された第２固定部６２の孔６２１に第２ガイド部７２を嵌め合わせる仕方が複数通り存在する。この複数通りの嵌め合わせ方に対応して、第１ガイド部７１の第１ガイド孔７１１に嵌合される第１ガイドピン２１の位置が複数通り存在し得るとともに、第２ガイド部７２の第２ガイド孔７２１に嵌合される第２ガイドピン２２の位置も複数通り存在し得る。
従って、第１固定部６１の孔６１１に第１ガイド部７１を嵌め合わせる仕方を種々に変更するとともに、第２固定部６２の孔６２１に第２ガイド部７２を嵌め合わせる仕方を種々に変更することによって、第１ガイドピン２１，第２ガイドピン２２，第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４が治具本体１５に固定される位置を種々に変更することが可能であり、その結果、第３ガイドピン２３及び第４ガイドピン２４によってガイドされるプリント基板２００の固定位置を種々に変更することが可能である。

このように、本実施形態によれば、第１ガイド孔７１１及び第２ガイド孔７２１の中心位置が異なる複数種類の第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２を用いることによって、撮像カメラやアクチュエータ等を必要としない簡易な構成でありながら、治具本体１５に対するプリント基板２００の位置を細かく調整することができる。特に、縦や横への平行移動だけでなく、水平面内での回転も可能になるため、製造ばらつきに伴うプリント基板２００のあらゆる種類の位置ずれに対して幅広く対応することができる。

また、本実施形態によれば、第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２を出し入れするための貫通孔１１１，１１２が上部フレーム１１に設けられているため、治具本体１５を分解することなく簡単にプリント基板２００の位置調節を行うことができる。

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々のバリエーションを含んでいる。

上述した実施形態では、第１ガイドピン２１が第１ガイド部７１の第１ガイド孔７１１に嵌合され、第２ガイドピン２２が第２ガイド部７２の第２ガイド孔７２１に嵌合される例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、第１ガイドピンを第１ガイド部と一体的に形成してよいし、第２ガイドピンを第２ガイド部と一体的に形成してよい。この場合、第１ガイドピン，第２ガイドピンの中心が柱体の中心軸に対してずれるように第１ガイド部，第２ガイド部を形成することによって、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

また、上述した実施形態では、第１ガイド部６１及び第２ガイド部６２の断面形状を星形にしている例を挙げているが、本発明はこれに限定されない。本発明の他の実施形態では、柱体の断面形状を、例えば正多角形や楕円形などの回転対称性を有する種々の形状にしてよい。

また、上述した実施形態では、第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２を第１固定部６１及び第２固定部６２の星形の孔に嵌め合わせることによって治具本体１５に固定する例を挙げているが、第１固定部及び第２固定部による第１ガイド部及び第２ガイド部の固定方法はこれに限定されない。例えば、第１固定部６１と上部フレーム１１とのネジ止め位置や、第２固定部６２と上部フレーム１１とのネジ止め位置を第１ガイド部７１及び第２ガイド部７２の柱体の中心軸に対して回転する方向へ変更できるように、複数のネジ止め用の孔を上部フレーム１１に設けてもよい。

上述した実施形態では検査対象としてプリント基板を例に挙げているが、本発明はこれに限定されない。例えば、半導体パッケージ、ＩＣサブストレート、ＩＣプローブヘッド、液晶モジュール、プラズマディスプレイの電極板、ガラス基板、電子部品実装用のフィルムキャリアなど、配線が形成され得る種々の基板の配線検査用治具に本発明は適用可能である。

１１…上部フレーム、１２−１〜１２〜５…中間フレーム、１３…下部フレーム、２１…第１ガイドピン、２２…第２ガイドピン、２３…第３ガイドピン、２４…第４ガイドピン、３１…プローブピン、４１…スペーサ、４２…支柱、５１…ガイドピン固定フレーム、６１…第１固定部、６２…第２固定部、７１…第１ガイド部、７２…第２ガイド部、７１１…第１ガイド孔、７２１…第２ガイド孔、２００…プリント基板

Claims (7)

1. 検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、
   前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第１ガイドピン及び第２ガイドピンと、
   前記第１ガイドピンと嵌合する第１ガイド孔を備えた第１ガイド部と、
   前記第２ガイドピンと嵌合する第２ガイド孔を備えた第２ガイド部と、
   前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第３ガイド孔及び第４ガイド孔と嵌合する第３ガイドピン及び第４ガイドピンと、
   前記第１ガイドピン、前記第２ガイドピン、前記第３ガイドピン及び前記第４ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、
   前記治具本体に対する前記第１ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第１ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第１固定部と、
   前記治具本体に対する前記第２ガイド孔の位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第２ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第２固定部と
   を有する配線検査治具。
2. 前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、
   前記第１ガイド孔及び前記第２ガイド孔の中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、
   前記第１固定部は、前記第１ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、
   前記第２固定部は、前記第２ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える、
   請求項１に記載の配線検査治具。
3. 検査対象の基板の配線に接触するプローブピンが固定された治具本体と、
   前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第１ガイドピンが形成された第１ガイド部と、
   前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる第２ガイドピンが形成された第２ガイド部と、
   前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延び、前記基板に設けられた第３ガイド孔及び第４ガイド孔と嵌合する第３ガイドピン及び第４ガイドピンと、
   前記第１ガイドピン、前記第２ガイドピン、前記第３ガイドピン及び前記第４ガイドピンが共通に固定されたガイドピン固定フレームと、
   前記治具本体に対する前記第１ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第１ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第１固定部と、
   前記治具本体に対する前記第２ガイドピンの位置が異なる複数通りの固定態様の中から選択された固定態様を以って、前記第２ガイド部を前記治具本体に着脱自在に固定する第２固定部と
   を有する配線検査治具。
4. 前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部は、前記基板の配線形成面に対して垂直方向に延びる中心軸について回転対称性を持った柱体であり、
   前記第１ガイドピン及び前記第２ガイドピンの中心が、前記柱体の前記中心軸からずれており、
   前記第１固定部は、前記第１ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備え、
   前記第２固定部は、前記第２ガイド部の前記柱体と嵌合する孔を備える、
   請求項２に記載の配線検査治具。
5. 前記第１ガイド部及び前記第２ガイド部の前記柱体は、放射状に複数の凸部が配された星形の断面を持つ、
   請求項２又は４に記載の配線検査治具。
6. 前記治具本体は、
   前記基板と対面して配置され、前記プローブピンの先端部分を案内する貫通孔を備えた上部プレートと、
   前記プローブの中間部分を案内する貫通孔を備えた中間プレートと
   を有し、
   前記ガイドピン固定フレームは、前記上部プレートと前記中間プレートとの間に配置される、
   請求項２，４又は５の何れか一項に記載の配線検査治具。
7. 前記上部プレートは、
   前記第１ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第１ガイド部用貫通孔と、
   前記第２ガイド部の前記柱体の出し入れが可能な第２ガイド部用貫通孔と
   を備える、
   請求項６に記載の配線検査治具。