JP2015021919A - ステージ装置および調整ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な構成で、容易な操作によって高精度にステージの位置を調整することができるステージ装置および調整ユニットを提供する。
【解決手段】ステージ装置100は、固定ステージ3上に移動可能に配置された移動ステージ2、移動ステージ2上に配置された調整ステージ1、および調整ユニット10を有する。調整ユニット10は、固定ボルト30、スペーサ32および操作部材40を備える。調整ステージ1は、上面11から下面12にかけて貫通したネジ穴13を有し、固定ボルト30は、ネジ穴13に挿通され、調整ステージ1を移動ステージ2に固定する。スペーサ32は、ネジ穴13に螺合し、移動ステージ2の支持面21に当接した状態でねじ込まれることで支持面21と調整ステージ1の下面12との間の距離を変更可能である。上面11上の操作部材40は、係合ピン33を介してスペーサ32に係合した状態で回転することによってスペーサ32をねじ込むことが可能である。
【選択図】図4
【解決手段】ステージ装置100は、固定ステージ3上に移動可能に配置された移動ステージ2、移動ステージ2上に配置された調整ステージ1、および調整ユニット10を有する。調整ユニット10は、固定ボルト30、スペーサ32および操作部材40を備える。調整ステージ1は、上面11から下面12にかけて貫通したネジ穴13を有し、固定ボルト30は、ネジ穴13に挿通され、調整ステージ1を移動ステージ2に固定する。スペーサ32は、ネジ穴13に螺合し、移動ステージ2の支持面21に当接した状態でねじ込まれることで支持面21と調整ステージ1の下面12との間の距離を変更可能である。上面11上の操作部材40は、係合ピン33を介してスペーサ32に係合した状態で回転することによってスペーサ32をねじ込むことが可能である。
【選択図】図4
Description
本発明は、測定器などに使用されるステージ装置、およびステージの位置を調整する調整ユニットに関する。
従来から、例えば、一軸ステージまたはXYステージのような、対象物を支持する可動台を水平方向に移動させる機構を有するステージ装置が、各種測定器などに用いられている。このようなステージ装置には、対象物が置かれる面の傾きを高精度に調整するための調整機構が備えられている。例えば、特許文献1には、3箇所の固定用のネジ穴を有する下部のベースに、各固定用のネジ穴と対応した調整用のネジ穴を有する被調整部ベースの傾斜位置決め手法が開示されている。下部のベースに3点接触する3本の調整ネジのねじ込み量を変えることによって被調整部ベースの傾きが調整される(段落[0004]、図2)。
このような位置調整のためのステージ装置の機構は、高精度な調整を可能としつつ、簡易な構成であることが求められる。また、その調整作業が容易であることが求められる。例えば、上記特許文献1では、ベースおよび被調整部ベース間の高さ方向の位置を調整し、ネジ締めなどによってこれらの部材の位置を固定するという作業が行われる。このような調整および固定の操作において、ネジ締め等の外力によって部材に変形や撓みが生じてしまうと、高精度に位置調整を行うことが難しくなる。
本発明の目的は、簡易な構成で、容易な操作によって高精度にステージの位置を調整することができるステージ装置および調整ユニットを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るステージ装置は、第1のステージと、第2のステージと、固定ボルトと、スペーサと、操作部材とを具備する。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記固定ボルトは、前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能である。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能である。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記固定ボルトは、前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能である。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能である。
ネジ穴内のスペーサは、第1の面上の操作部材と一体的に回転することによってねじ込まれ、ねじ込み深さ方向で、操作部材の位置に関わらず第1のステージと相対的に移動する。スペーサが操作部材の回転量および回転方向に応じた深さの分だけ第2のステージへ押し出された状態となり、ステージ間の距離を高精度に調整することができる。また、第1のステージと第2のステージとの固定に用いられる固定ボルトを利用して、調整後の操作部材を固定することができ、これにより、操作部材と一体となるスペーサの位置も固定されるので、調整後の位置固定が容易であり、そのための構成も簡易である。したがって、簡易な構成および容易な操作によって、高精度にステージの位置を調整することができる。
前記ステージ装置は、前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する係合部材をさらに具備していてもよい。
このような係合部材を用いることにより、操作部材が係合部材を介してスペーサに係合することができる。操作部材をその場で回転させることによってスペーサをねじ込み深さ方向に高精度で移動させることが可能な状態を、簡易な構成で実現することができる。
前記係合部材は複数の係合ピンを含むものであってもよい。
その場合、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方は、前記複数の係合ピンを移動自在に係合させることが可能な複数の係合穴を有してもよい。
その場合、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方は、前記複数の係合ピンを移動自在に係合させることが可能な複数の係合穴を有してもよい。
このように、操作部材が複数の係合ピンを介してスペーサに係合するような構成とすることができる。この複数の係合ピンは、スペーサまたは操作部材、またはその両方に設けられた係合穴に移動自在に係合するので、スペーサと操作部材とを、複数位置での係合により安定してねじ込み深さ方向に相対移動させることができる。
前記スペーサは、前記ネジ穴の中心軸に沿って貫通した穴を有し、前記操作部材は、底部と、前記底部を貫通した穴とを有する筒状を有してもよい。そして、前記固定ボルトは、ヘッド部と軸部とを有し、前記軸部が前記操作部材の前記底部の穴および前記スペーサの穴に挿通され、前記ヘッド部が前記底部を前記第1の面に押し付けた状態で、前記第2のステージに締結されてもよい。
固定ボルトを、第1のステージ上に設けられた操作部材を介して第2のステージに締結することにより、固定ボルトによる締結力が第1のステージおよびスペーサなどの部材に直接的に変形や位置変動を生じさせることを防ぐことができる。これにより、位置調整の精度の低下を抑えることができる。
前記ステージ装置は、前記固定ボルトと前記底部との間に設けられるばね座金をさらに具備していてもよい。
この構成により、固定ボルトの締め付けを緩くしたときに、固定ボルトがばね座金を介して操作部材の底部を第1のステージに押しつけている状態で、操作部材を操作することができるので、調整作業中の操作部材の位置を安定させて、容易かつ高精度に調整を行うことができる。
本発明の他の形態に係るステージ装置は、第1のステージと、第2のステージと、スペーサと、操作部材と、係合部材とを具備する。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記スペーサを操作する。
前記係合部材は、前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記スペーサを操作する。
前記係合部材は、前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する。
操作部材によって、スペーサと操作部材とを接続する係合部材を介して、ネジ穴内のスペーサをねじ込むことが可能であり、ねじ込み深さ方向では、操作部材の位置に関わらず、スペーサを第1のステージと相対的に移動させることができる。スペーサが操作部材の回転量および回転方向に応じた深さの分だけ第2のステージへ押し出された状態となり、ステージ間の距離を高精度に調整することができる。このように、スペーサおよび操作部材のうち少なくとも一方を係合部材に係合させた簡易な構成によって、容易かつ高精度にステージの位置を調整することができる。
あるいは、前記係合部材は前記操作部材に設けられた係合突起であってもよい。
その場合、前記スペーサは、前記係合突起に係合可能な係合穴を有してもよい。
その場合、前記スペーサは、前記係合突起に係合可能な係合穴を有してもよい。
あるいはまた、前記係合部材は前記スペーサに設けられた係合突起であってもよい。
その場合、前記操作部材は、前記係合突起に係合可能な係合穴を有してもよい。
その場合、前記操作部材は、前記係合突起に係合可能な係合穴を有してもよい。
本発明の一形態に係る調整ユニットは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージとを備えるステージ装置の調整ユニットであって、固定ボルトと、スペーサと、操作部材とを具備する。
前記固定ボルトは、前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能である。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能である。
前記固定ボルトは、前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能である。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能である。
本発明の他の形態に係る調整ユニットは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージとを備えるステージ装置の調整ユニットであって、スペーサと、操作部材と、係合部材とを具備する。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記スペーサを操作する。
前記係合部材は、前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する。
前記第1のステージは、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する。
前記第2のステージは、前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する。
前記スペーサは、前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能である。
前記操作部材は、前記スペーサを操作する。
前記係合部材は、前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する。
これらの調整ユニットは、上記各ステージ装置と同様に、簡易な構成で、容易な操作によって高精度にステージの位置を調整することができる。
以上、本発明によれば、簡易な構成で、容易な操作によって高精度にステージの位置を調整することができるステージ装置および調整ユニットを提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
[調整ステージの構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る調整ユニットを備えたステージ装置を示す斜視図である。図2は、図1に示したステージ装置の平面図である。図3は、図2におけるA−A線に沿ったステージ装置の調整ユニットの構成を示す断面図である。ステージ装置100は、各種測定器および工作機械などに用いられ、例えば測定顕微鏡などの光学機器に用いられる一軸ステージである。
図1は、本発明の一実施形態に係る調整ユニットを備えたステージ装置を示す斜視図である。図2は、図1に示したステージ装置の平面図である。図3は、図2におけるA−A線に沿ったステージ装置の調整ユニットの構成を示す断面図である。ステージ装置100は、各種測定器および工作機械などに用いられ、例えば測定顕微鏡などの光学機器に用いられる一軸ステージである。
図1〜3に示すように、ステージ装置100は、調整ステージ1(第1のステージ)、移動ステージ2(第2のステージ)、固定ステージ3、および調整ユニット10を有している。移動ステージ2は、固定台として機能する固定ステージ3上にZ軸に沿って移動可能に配置されている。固定ステージ3上には、図示しないガイドレールが設けられ、移動ステージ2は、そのガイドレールに沿って、ボールねじなどの公知の駆動機構によって水平方向に移動可能となっている。
図3に示すように、移動ステージ2のZ方向の一端において、X方向両端部の2箇所に、ボルト穴22aが形成されている。移動ステージ2のZ方向の他端部には、ボルト穴2aが形成されている。
調整ステージ1は、移動ステージ2上に配置されている。調整ステージ1は、上面11(第1の面)および下面12(第2の面)を有する。上面11には、例えば参照ブロックRが、図示しないワークが配置される位置に固定される。移動ステージ2は、調整ステージ1の下面12に対向する支持面21を有している。
調整ステージ1のZ方向の一端部には、移動ステージ2の2つのボルト穴22aとそれぞれ同軸で、2つの貫通穴14aが設けられている。調整ステージ1のZ方向の他端部には、ボルト穴2aと同軸で、上面11から下面12にかけて貫通したネジ穴13(図4参照)が設けられている。
固定ボルト4aおよび4bは、それぞれ調整ステージ1の貫通穴14aを介して、移動ステージ2のボルト穴22aに螺着されている。後述するように、調整ユニット10の固定ボルト30は、調整ステージ1のネジ穴13を介して、移動ステージ2のボルト穴2aに螺着されている。このように、3本の固定ボルト4a、4bおよび30によって、調整ステージ1は、移動ステージ2に固定され、移動ステージ2と一体で移動可能となっている。
ステージ装置100のZ方向の、固定ボルト4aおよび4bが配置された端部とは反対側の端部付近において、移動ステージ2のX方向の両端部には、マイクロメータヘッド5aおよび5bが設けられている。図2に示すように、マイクロメータヘッド5aの先端51aが、調整ステージ1のX方向に向けられた一側面に当接可能であり、マイクロメータヘッド5bの先端51bが、調整ステージ1のX方向における反対側の側面に当接可能となっている。例えば、マイクロメータヘッド5aおよび5bは、先端51aおよび51bで調整ステージ1の側面をX方向に移動させ、X方向の位置を測定することによって、Y方向に沿う軸を回転軸とした調整ステージ1のX−Z平面内での回転角度位置が微調整される。
図4は、図3における調整ユニット10を拡大して示す断面図である。調整ユニット10は、移動ステージ2と固定ステージ3との相対移動方向(Z方向)に直交するX方向に沿う軸を回転軸とした、水平面からの調整ステージ1の傾き(Y−Z平面内での回転角度位置)の調整に用いられる。
調整ユニット10は、ステージ装置100のX−Z平面内におけるZ方向では、移動ステージ2の、固定ボルト4aおよび4bが設けられた端部とは反対側の端部付近に設けられている。調整ユニット10は、X方向では、調整ステージ1の実質的に中央に位置している。
調整ユニット10は、上述した固定ボルト30、スペーサ32および操作部材40を備える。
図5は、スペーサ32を示す平面図である。スペーサ32は円筒状に設けられ、その外周面にはネジ溝32aが形成されている。スペーサ32は、このネジ溝32aによって調整ステージ1のネジ穴13内に螺合可能となっている。例えば、スペーサ32は、その上面が調整ステージ1の上面11より低い位置となるように、ネジ穴13内に配置されている。
なお、図3および4では、スペーサ32の下面は、移動ステージ2の支持面21に当接しているが、これは必ずしも当接していなくてもよい。後述するように、少なくとも、調整ユニット10による調整ステージ1の傾き調整時に、スペーサ32の下面が支持面21に当接すればよい。
なお、図3および4では、スペーサ32の下面は、移動ステージ2の支持面21に当接しているが、これは必ずしも当接していなくてもよい。後述するように、少なくとも、調整ユニット10による調整ステージ1の傾き調整時に、スペーサ32の下面が支持面21に当接すればよい。
スペーサ32は、そのネジ穴13内におけるねじ込みの深さ方向であるY方向で、このスペーサ32の本体を貫通する貫通穴32bを有する。スペーサ32の上面において、貫通穴32bの周囲には、複数の係合穴32cが設けられており、これらの係合穴32cには後述する係合ピン(係合部材)33がそれぞれ係合して固定されている。係合穴32cは、その深さ方向が実質的にY方向に沿うように形成されている。
係合穴32cは、例えば2本設けられている。これらの係合穴32cは、貫通穴32bを中心として、180度の回転角度分離れた位置に配置されている。
図6は、操作部材40を示す平面図である。操作部材40は、底部42を有する円筒状に設けられている。底部42には貫通穴42aが形成され、また、貫通穴42aの周囲には、上記スペーサ32の係合穴32cに対応するような配置およびスケールで、2つの係合穴42bが設けられている。これらの係合穴42bは、その深さ方向が実質的にY方向に沿うように形成されている。
なお、係合穴42bは底部42を貫通しているが、貫通していなくてもよい。つまりそれらの係合穴は、底部42の下面、具体的には図4において、スペーサ32の上面と対面する面に、係合ピン33が係合可能な程度の深さに形成された凹状の穴であってもよい。
図4に示すように、操作部材40は、その貫通穴42aと、スペーサ32の貫通穴32bとが同軸で配置されるように、調整ステージ1の上面11上に配置されている。操作部材40とスペーサ32との間には、これら操作部材40とスペーサ32とを接続する係合ピン33が設けられる。係合ピン33の下部側は、上記したようにスペーサ32の係合穴32cに係合して固定される一方、係合ピン33の上部側は、操作部材40の係合穴42bにY方向に移動自在に挿通されている。
このような構成により、固定ボルト30が、緩められた状態、または、この調整ユニット10から外された状態において、操作部材40とスペーサ32とは、回転方向では一体的に動き、ねじ込みの深さ方向(Y方向)では相対的に移動可能となる。すなわち、操作部材40が回転することによって、その回転の動力を、係合ピン33を介してスペーサ32に伝え、スペーサ32をY方向で移動させることが可能となる。
図4に示すように、固定ボルト30は、ヘッド部30aと、軸部30bとを有する。軸部30bは、先端側に設けられたネジ部30cと、ヘッド部30a側に設けられた非ネジ部30dとを有する。固定ボルト30は、操作部材40およびスペーサ32の貫通穴42aおよび32bに挿通された状態、かつ、ヘッド部30aが操作部材40の底部42に例えばばね座金31を介して当接した状態で、ネジ部30cが移動ステージ2のボルト穴2aに螺着され得る。
[調整ユニットによる傾き調整]
以上のように構成された調整ユニット10による、調整ステージ1の傾きの調整動作について説明する。
以上のように構成された調整ユニット10による、調整ステージ1の傾きの調整動作について説明する。
図3に示すように、固定ボルト4aおよび4bによって移動ステージ2に固定された、調整ステージ1のZ方向の一端部(図3右側の端部)付近では、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さが実質的に一定である。したがって、調整ステージ1のZ方向の他端部(図3左側の端部)の、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さhによって、水平面からの調整ステージ1の傾きが相対的に決まる。
この調整ユニット10による調整前、スペーサ32は、その下面が調整ステージ1の下面12よりY方向に突出し、移動ステージ2の支持面21に当接した状態で設けられているとする。また、固定ボルト30が、操作部材40およびスペーサ32を介して調整ステージ1のネジ穴13内に挿通され、かつ、ばね座金31が操作部材40の底部42にある程度の押圧力を与えることができる程度に緩められた状態にある。
この状態で、操作者が操作部材40を回転させると、係合ピン33を介して操作部材40に接続されたスペーサ32が、操作部材40と一体的に回転する。これにより、スペーサ32がねじ込まれ、Y方向で、調整ステージ1と相対的に移動する。
スペーサ32は、移動ステージ2の支持面21に当接した状態で調整ステージ1と相対的に移動し、調整ステージ1の下面12よりY方向に繰り出され、または繰り込みされることによって、支持面21と下面12との間の距離(高さ)hを変化させる。
スペーサ32と操作部材40とが、係合ピン33を介してY方向に相対移動可能であるため、スペーサ32は、操作部材40のY方向の位置に関わらず、例えば操作者が操作部材40を回転させた回転量および回転方向に応じた深さでY方向に移動する。これにより、操作部材40の操作を介して、高精度にスペーサ32のY方向の位置を調整し、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さhを調整することができる。
なお、調整ステージ1の傾きは、例えば、XおよびY方向に向けてそれぞれ配置される参照面RxおよびRyを有する参照ブロックRを、調整ステージ1の上面11に固定した状態で、移動ステージ2をZ方向に移動させながら、参照面RxおよびRyの変位を公知のセンサで測定することによって確認される。操作者は、調整ユニット10によって調整された傾きを、参照面Ryの測定で得られる平行度などによって確認しながら、調整作業を行うことができる。
操作者は、傾きの調整の完了を確認した後、固定ボルト4a、4bおよび30を締め付け、調整ステージ1を移動ステージ2に固定すればよい。固定ボルト30は、ばね座金31を介して、ヘッド部30aで底部42を押さえるようにして操作部材40の回転位置を固定し、これと一体的に、スペーサ32の回転位置も固定することができる。これにより、調整ステージ1と移動ステージ2との間の高さhが固定され、調整後の傾きが維持される。
上述したように、ネジ穴13内のスペーサ32は、上面11上の操作部材40と一体的に回転することによってねじ込まれ、ねじ込み深さ方向で、操作部材40のY方向の位置に関わらず調整ステージ1と相対的に移動する。スペーサ32が操作部材40の回転量および回転方向に応じた深さの分だけ移動ステージ2へ押し出された状態となり、ステージ間の距離を高精度に調整することができる。
また、調整ステージ1と移動ステージと2の固定に用いられる固定ボルト30を利用して、調整後の操作部材40を固定することができ、それと同時にスペーサ32の位置も固定することができるので、調整後の位置固定が容易であり、そのための構成も簡易である。
係合ピン33を用いることにより、操作部材40が係合ピン33を介してスペーサ32に係合することができる。操作部材40をその場で回転させることによってスペーサ32をねじ込み深さ方向に高精度で移動させることが可能な状態を、簡易な構成で実現することができる。複数の係合ピン33が、操作部材40に設けられた係合穴42bに移動自在に係合するので、スペーサ32と操作部材40とを、複数位置での係合により安定してねじ込み深さ方向に相対移動させることができる。
固定ボルト30の締め付けを緩くしたときに、固定ボルト30がばね座金31を介して操作部材40の底部42を調整ステージ1に押しつけている状態で、操作部材40を操作することができる。調整作業中の操作部材40の位置を安定させて、容易かつ高精度に調整を行うことができる。
また、固定ボルト30を、調整ステージ1上に設けられた操作部材40を介して移動ステージ2に締結することにより、固定ボルト30による締結力が調整ステージ1およびスペーサ32などの部材に直接的に変形や位置変動を生じさせることを防ぐことができる。具体的には、固定ボルト30による締結力を、ヘッド部30aの下部にばね座金31を介して当接している操作部材40の底部42で受けることができるので、調整ステージ1およびスペーサ32などに無理な力がかかることを回避できる。このように、部材の変形や位置変動に起因する精度の低下を抑えることができる。
図7は、本実施形態に係る調整ユニットとの比較のために示したステージ傾き調整機構の参考例である。この参考例では、調整ステージ7を移動ステージ8に固定することが可能な固定ボルト30の近傍の両側に、調整ステージ7を貫通した2本のネジ穴、およびそのネジ穴にそれぞれ螺合する押しネジ9aおよび9bが設けられている。押しネジ9aおよび9bを移動ステージ8に当接させてねじ込むことによって、調整ステージ7の高さを調整する方法がとられる。このような方法では、2本の押しネジ9aおよび9bを均等にねじ込む必要があり、調整作業が煩雑である。このねじ込みが不均等であると、例えば、調整ステージ7の移動ステージ8からの高さh1およびh2の差によって、固定ボルト30の周辺に傾きが生じてしまう。また、固定ボルト30を強く締めると、締結力が調整ステージ7に直接かかり、調整ステージ7を変形させてしまうおそれがある。
一方、本実施形態による調整ユニット10では、移動ステージ2に当接したスペーサ32をねじ込むことによって、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さhを、固定ボルト30の周囲では実質的に均等に保った状態で調整できる。したがって、高精度の位置調整を、効率よく行うことができる。
[他の実施形態]
図8は、本発明の他の実施形態に係る調整ユニットの構成を示す。これ以降の説明では、図1〜4に示した実施形態に係るステージ装置100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
図8は、本発明の他の実施形態に係る調整ユニットの構成を示す。これ以降の説明では、図1〜4に示した実施形態に係るステージ装置100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
本実施形態に係る調整ユニット110のスペーサ32の係合穴32cは、治具T(操作部材)の複数の係合突起Pと係合可能に設けられている。係合穴32cは、その深さ方向が実質的にY方向に沿うように形成され、治具Tの係合突起Pに対応するような形状および配置で設けられている。
調整ユニット110には、座金41が設けられている。座金41は、貫通穴41aを有するリング状の部材である。座金41の外周の直径は、ネジ穴13の直径より大きく、貫通穴41aの径が固定ボルト30の軸部30bを挿通可能な大きさである。また、座金41は、軸方向にヘッド部30aを支持可能とするように、ある程度の厚みで設けられている。座金41は、その上面を、固定ボルト30のヘッド部30aにばね座金31を介して当接させ、その下面を調整ステージ1の上面11に当接させた状態で、貫通穴41aに挿通される固定ボルト30によって調整ステージ1に固定され得る。
この調整ユニット110により、調整ステージ1の傾きを調整する動作を説明する。調整ユニット110による調整前には、固定ボルト30と座金41とが調整ユニット110から取り外された状態にある。ここで、操作者は、治具Tによって、係合突起Pをスペーサ32の係合穴32cに係合させた状態でスペーサ32をねじ込む操作を行えばよい。
この操作により、スペーサ32が操作部材40の回転量および回転方向に応じた深さの分だけ移動ステージ2へ押し出された状態となり、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さhを、固定ボルト30の周囲では実質的に均等に保った状態で調整できる。したがって、容易な操作で高精度の調整を実現することができる。
操作者は、調整後、スペーサ32から治具Tを外し、固定ボルト30を座金41およびばね座金を介して固定すればよい。すなわち、固定ボルト30を、座金41およびスペーサ32の貫通穴41aおよび32bに挿通させて移動ステージ2に固定すればよい。座金41を設けることで、固定ボルト30による締結力が調整ステージ1に直接かかることを防ぎ、ステージ1の変形を防ぐことができる。
このように、本発明の実施形態では、操作部材40に代えて、スペーサ32とねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合するものであれば、治具Tのような他の部材を用いてスペーサ32を操作するものとしてもよい。すなわち、調整ユニットの操作部材は、ステージ装置に部品として組み付けられるものに限られず、スペーサに上記のように係合可能であれば、治具または外部の装置が有する構成であってもよい。
図9は、本発明のさらに別の実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。
本実施形態のステージ装置200は、2個の調整ユニット10を備えている。移動ステージ2のZ方向の一端において、X方向では調整ステージ1の実質的に中央に、1個の固定ボルト4aが設けられ、この固定ボルト4aによって調整ステージ1が移動ステージ2に固定されている。2個の調整ユニット10は、Z方向では、移動ステージ2の、固定ボルト4aが設けられた端部の反対側の端部付近に設けられている。これらの調整ユニット10は、Z方向では互いに実質的に同一の位置で、調整ステージ1のX方向の両端部に1個ずつ配置されている。
このようにX方向の両端に2個の調整ユニット10を備えたステージ装置200では、調整ステージ1の移動ステージ2からの高さ方向(Y方向)の位置調整を、X方向の2箇所でそれぞれ行うことができる。すなわち、これらの調整ユニット10を用いて、X軸上に並ぶ2点のY方向の位置を調整することにより、Z軸を回転軸とした、水平面からの調整ステージ1の傾き(X−Y平面内での調整ステージ1の回転角度位置)を調整することが可能である。
上記図1〜4に示した実施形態では、係合部材として係合ピン33がスペーサ32に固定されて設けられ、操作部材40の係合穴42bに、これらの係合ピン42bがY方向に移動自在に係合可能であった。しかし、係合ピンがスペーサに固定されず、スペーサおよび操作部材の両方に、Y方向に相対移動可能に係合してもよい。または、係合ピンが操作部材の係合穴に固定されて設けられ、スペーサの係合穴に、これらの係合ピンがY方向に移動自在に係合してもよい。
上記実施形態では、係合部材として2本の係合ピンが設けられ、これに係合可能な2つの係合穴が設けられていたが、例えば、係合ピンの本数は、2本に限られず、3本以上であってもよい。
実質的に、スペーサと操作部材とを接続可能であり、これらのうち少なくとも一方に係合した状態で回転することによって、スペーサを回転可能に配置されていれば、係合部材は、ピン状でなくともよい。この場合、係合部材の数は、単数でも複数でもよい。
スペーサと操作部材とを係合させるための構成は、係合部材によるものでなくともよい。例えば、操作部材とスペーサとが、互いに係合可能な凹凸形状を有しており、その凹凸によって係合する構成としてもよい。
1…調整ステージ(第1のステージ)、
2…移動ステージ(第2のステージ)、
10、100…調整ユニット、
11…上面(第1の面)、
12…下面(第2の面)、
13…ネジ穴、
21…支持面、
30…固定ボルト、
31…ばね座金、
32…スペーサ、
32b、42a…貫通穴、
32c、42b…係合穴、
33…係合ピン(係合部材)、
40…操作部材、
42…底部、
100、200……ステージ装置、
T…治具(操作部材)
P…係合突起
2…移動ステージ(第2のステージ)、
10、100…調整ユニット、
11…上面(第1の面)、
12…下面(第2の面)、
13…ネジ穴、
21…支持面、
30…固定ボルト、
31…ばね座金、
32…スペーサ、
32b、42a…貫通穴、
32c、42b…係合穴、
33…係合ピン(係合部材)、
40…操作部材、
42…底部、
100、200……ステージ装置、
T…治具(操作部材)
P…係合突起
Claims (11)
- 第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、
前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージと、
前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能な固定ボルトと、
前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能なスペーサと、
前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能な操作部材と
を具備するステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置であって、
前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する係合部材をさらに具備する
ステージ装置。 - 請求項2に記載のステージ装置であって、
前記係合部材は複数の係合ピンを含み、
前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方は、前記複数の係合ピンを移動自在に係合させることが可能な複数の係合穴を有する
ステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置であって、
前記スペーサは、前記ネジ穴の中心軸に沿って貫通した穴を有し、
前記操作部材は、底部と、前記底部を貫通した穴とを有する筒状を有し、
前記固定ボルトは、ヘッド部と軸部とを有し、前記軸部が前記操作部材の前記底部の穴および前記スペーサの穴に挿通され、前記ヘッド部が前記底部を前記第1の面に押し付けた状態で、前記第2のステージに締結される
ステージ装置。 - 請求項2に記載のステージ装置であって、
前記固定ボルトと前記底部との間に設けられるばね座金をさらに具備する
ステージ装置。 - 第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、
前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージと、
前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能なスペーサと、
前記スペーサを操作する操作部材と、
前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する係合部材と
を具備するステージ装置。 - 請求項6に記載のステージ装置であって、
前記係合部材は複数の係合ピンを含み、
前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方は、前記複数の係合ピンを移動自在に係合させることが可能な複数の係合穴を有する
ステージ装置。 - 請求項6に記載のステージ装置であって、
前記係合部材は前記操作部材に設けられた係合突起であり、
前記スペーサは、前記係合突起に係合可能な係合穴を有する
ステージ装置。 - 請求項6に記載のステージ装置であって、
前記係合部材は前記スペーサに設けられた係合突起であり、
前記操作部材は、前記係合突起に係合可能な係合穴を有する
ステージ装置。 - 第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、
前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージと
を備えるステージ装置の調整ユニットであって、
前記ネジ穴に挿通され、前記第1のステージを前記第2のステージに固定することが可能な固定ボルトと、
前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能なスペーサと、
前記第1の面上に設けられ、前記スペーサを回転操作することによって前記スペーサをねじ込むことが可能であり、前記固定ボルトによって前記第1のステージに固定されることが可能な操作部材と
を具備する調整ユニット。 - 第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面から前記第2の面にかけて貫通したネジ穴とを有する第1のステージと、
前記第1のステージの前記第2の面に対向した支持面を有する第2のステージと
を備えるステージ装置の調整ユニットであって、
前記ネジ穴に螺合し、前記第2のステージの前記支持面に当接した状態でねじ込まれることで前記支持面と前記第2の面との間の距離を変更可能なスペーサと、
前記スペーサを操作する操作部材と、
前記スペーサと前記操作部材とを接続可能であり、前記スペーサおよび前記操作部材のうち少なくとも一方に、ねじ込み深さ方向に相対移動可能に係合する係合部材と
を具備する調整ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013152305A JP2015021919A (ja) | 2013-07-23 | 2013-07-23 | ステージ装置および調整ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013152305A JP2015021919A (ja) | 2013-07-23 | 2013-07-23 | ステージ装置および調整ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015021919A true JP2015021919A (ja) | 2015-02-02 |
Family
ID=52486477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013152305A Pending JP2015021919A (ja) | 2013-07-23 | 2013-07-23 | ステージ装置および調整ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015021919A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027019A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
-
2013
- 2013-07-23 JP JP2013152305A patent/JP2015021919A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020027019A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
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