JP5841846B2 - 研削装置 - Google Patents
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Images
Description
2:チャックテーブル 20:保持面 21:吸引路 22:吸引源 2a:回転軸
3:研削手段 30:スピンドル 30a:回転軸
31:ホイールマウント
310:ボルト孔(高さ測定器取付け部) 311:ボルト 312:支持面
32:研削ホイール 320:雌ねじ穴
312:下面(支持面)
33:モータ(回転駆動手段)
34:研削砥石 340:研削面
4:研削送り手段
40:ボールスクリュー 41:ガイドレール 42:モータ 43:昇降板
44:支持部
5:高さ測定部 50:測定子
Claims (2)
- 板状ワークを保持面において保持するチャックテーブルと、研削砥石が環状に配列されて接着された研削ホイールと、該研削ホイールを着脱可能に支持する支持面を有するホイールマウントと、該ホイールマウントに取り付けられた研削ホイールを回転させ該研削砥石を該チャックテーブルの保持面に保持される板状ワークの上面に接触させ板状ワークの厚みを減じさせる研削送り手段と、から少なくとも構成される研削装置において、
該ホイールマウントには、該研削ホイールを支持する支持面に対する該チャックテーブルの保持面の高さ位置を測定する高さ測定器を取り付ける高さ測定器取付け部を備え、
該高さ測定器取付け部に取り付けられる該高さ測定器は、該保持面上における該研削砥石の回転軌道上を走査させて該保持面の高さ位置の測定を可能とする研削装置。 - 前記高さ測定器は、前記研削砥石を前記チャックテーブルに保持された板状ワークの上面に接触させた時の前記支持面と前記保持面との間の高さに位置した状態で、該保持面の高さ位置の測定を可能とする請求項1に記載の研削装置。
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