JP7350429B2 - 砥石部保護部材及びホイールケース - Google Patents

Description

本発明は、研削ホイールの砥石部を保護する砥石部保護部材、及び、研削ホイールを収容可能なホイールケースに関する。

半導体ウェーハ等の被加工物を研削するためには、例えば、研削装置が用いられる。研削装置は、通常、被加工物を吸引して保持するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に配置される研削ユニットとを備える。

研削ユニットは、円筒状のスピンドルハウジングに回転可能に収容されている円柱状のスピンドルを有する。スピンドルの上端にはスピンドルを回転させる回転駆動源が連結されている。また、スピンドルの下端側にはホイールマウントの上面側が連結されている。

ホイールマウントの下面側には研削ホイールが連結される。研削ホイールは、例えば、アルミニウム等の金属で形成された円環状のホイール基台と、ホイールマウントと反対側に位置する一面側に環状に配置された複数の研削砥石とを有する。

ところで、研削ホイールをホイールマウントに装着するときには、一般的に、作業者が手作業で装着作業を行う。それゆえ、作業者が研削装置の一部に研削砥石を誤って衝突させて研削砥石を傷める恐れや、装着作業に使用する工具を研削砥石に誤って衝突させて研削砥石を傷める恐れがある。

そこで、研削ホイールをホイールマウントに装着するときに研削砥石の損傷を防ぐために、研削ホイールの下部を保護する保護部材を利用しつつ、研削ホイールの他面側をホイールマウントの下面側に固定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

保護部材には、研削ホイールと対面する面とは反対側の表面に略円柱状の把手が設けられている。また、ホイールマウントの下面側には係合突起が設けられており、研削ホイールの他面側には係合突起と係合する長穴が設けられている。

作業者は、保護部材の把手を把持して、保護部材で研削ホイールの一面側を支持した状態で、保護部材と共に研削ホイールを回転させる。これにより、ホイールマウントの係合突起と研削ホイールの長穴とが係合して、研削ホイールがホイールマウントに一時的に固定される。一時的な固定の後、研削ホイール及びホイールマウントをボルト等の固定部材で確実に固定する。固定作業終了後、研削ホイールから保護部材を取り外して、装着作業を終了する。

被加工物を研削するときには、チャックテーブルの保持面で被加工物の表面側を保持した状態でチャックテーブルを所定の方向に回転させる。更に、スピンドルを回転軸として研削ホイールを所定の方向に回転させた状態で、スピンドルと共に研削ホイールを下方へ下降させる。そして、研削砥石をウェーハの裏面に押し当てることで、ウェーハの裏面が研削される。

ところで、研削ユニットの下方には、保持テーブルに加えて、厚さ測定器、研削水供給ノズル等の構成要素が設けられている。研削装置における研削精度低下や研削不具合を回避するためには、各構成要素の修理、点検、清掃等の作業が必要である。

特開２００８－２０７２７７号公報

研削ホイールがホイールマウントを介してスピンドルに装着された状態で、各構成要素の修理、点検、清掃等を行う場合、作業に用いる工具等で作業者が誤って研削砥石を損傷させるリスクがある。研削砥石が損傷すると、新たな研削ホイールの再装着を行う必要があるので作業時間が増える。また、新たな研削ホイールの分だけコストが増加する。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、研削ユニットがホイールマウントを介してスピンドルに装着された状態で研削装置の構成要素の修理等を行うとき、研削砥石が損傷するリスクを低減することを目的とする。

本発明の一態様によれば、円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に設けられた砥石部と、を有する研削ホイールが装着されるスピンドルを備える研削装置の該砥石部を保護するために、該研削装置の修理、点検又は清掃を含む作業を作業者が該研削装置に対して行う際に使用される砥石部保護部材であって、該砥石部を覆う状態で該ホイール基台の該一面側を収容可能なカバー部材と、該ホイール基台に対して該カバー部材の位置を固定するための固定具と、を備える砥石部保護部材が提供される。

好ましくは、該固定具は、該スピンドルの下端側に設けられたネジ穴と、上面側が該スピンドルの該下端側に連結され下面側が該ホイール基台に連結されホイールマウントのネジ穴との少なくともいずれかに締結可能なボルト、又は、該ホイールマウントに対して該カバー部材を固定可能なクランプである。

本発明の他の態様によれば、円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に設けられた砥石部とを有し、研削装置のスピンドルから取り外された研削ホイールを収容可能なホイールケースであって、該ホイールケースは、該砥石部を覆う状態で該ホイール基台の該一面側を収容可能なカバー部材と、該ホイール基台の該一面とは反対側に位置する該ホイール基台の他面側を覆う蓋部材と、該カバー部材と該蓋部材とを固定するための固定具と、を備え、該カバー部材と該蓋部材とを該固定具で固定することにより、該ホイール基台が該カバー部材と該蓋部材との間に挟まれて、該カバー部材及び該蓋部材に対する該ホイール基台の位置が固定されるホイールケースが提供される。

本発明の一態様に係る砥石部保護部材は、砥石部を覆う状態でホイール基台の一面側を収容可能なカバー部材と、ホイール基台に対してカバー部材の位置を固定するための固定具とを備える。研削ホイールがホイール基台に固定された状態で研削装置の構成要素の修理等を行うとき、砥石部をカバー部材で保護した状態でホイール基台に対してカバー部材の位置を固定できる。それゆえ、砥石部が損傷するリスクを低減しつつ、作業者は両手で修理等の作業を行うことができる。

研削装置の一部断面側面図である。 チャックテーブル等の上面図である。 図３（Ａ）は保護部材の斜視図であり、図３（Ｂ）は保護部材の一部断面側面図である。 図４（Ａ）は保護部材をスピンドルに固定するときの保護部材等の一部断面側面図であり、図４（Ｂ）は保護部材をスピンドルに固定した後の保護部材等の一部断面側面図である。 変形例に係る保護部材等の一部断面側面図である。 図６（Ａ）は蓋部材の斜視図であり、図６（Ｂ）はカバー部材及び蓋部材等の断面図であり、図６（Ｃ）はホイールケースに研削ホイールを収容した状態のカバー部材及び蓋部材等の断面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、図１及び図２を用いて、研削装置２を説明する。図１は、研削装置２の一部断面側面図である。研削装置２は、複数の構成要素を支持する略直方体状の基台４を有する。

基台４上には、略円盤状のチャックテーブル１０が設けられている。チャックテーブル１０は、セラミックス製の枠体１０ａを有する。枠体１０ａ内には流路が設けられており、この流路の一端はエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続している。

枠体１０ａは、円盤状の空間から成る凹部を上面側に有する。この凹部には略円盤状の多孔質プレート１０ｂが固定されている。多孔質プレート１０ｂは、平坦な円形の下面と、略円錐状の上面とを有する。

多孔質プレート１０ｂには、枠体１０ａの流路の他端が接続している。吸引源を動作させると、多孔質プレート１０ｂの上面には負圧が生じて、被加工物等はこの上面で吸引されて保持される。それゆえ、チャックテーブル１０の上面は、保持面１０ｃとして機能する。

チャックテーブル１０の下面側には、円盤状のテーブル基台１２が連結されている。このテーブル基台１２の下面側には、モータ等の駆動機構（不図示）を有するθテーブル１４が連結されている。この駆動機構を動作させることにより、チャックテーブル１０は所定の回転軸１０ｄの周りで回転する。

テーブル基台１２の下面側には、１つの固定支持部材１６ａと、２つの可動支持部材１６ｂとが設けられている。１つの固定支持部材１６ａ及び２つの可動支持部材１６ｂは、テーブル基台１２の円周方向に１２０度離れた状態で、テーブル基台１２に連結されている。

固定支持部材１６ａの上端の高さは固定されているが、可動支持部材１６ｂの上端の高さは上下方向に移動可能である。２つの可動支持部材１６ｂの上端の高さを調整することにより、チャックテーブル１０の回転軸１０ｄを鉛直方向に対して所定角度傾けることができる。

チャックテーブル１０の側部には、厚さ測定ユニット１８が設けられている。厚さ測定ユニット１８は、枠体１０ａの上方に設けられる第１の高さ測定器１８ａと、多孔質プレート１０ｂの上方に設けられる第２の高さ測定器１８ｂとを有する。

例えば、枠体１０ａの上面の高さを第１の高さ測定器１８ａで測定し、保持面１０ｃで保持された被加工物の上面の高さを第２の高さ測定器１８ｂで測定する。そして、被加工物の上面の高さと枠体１０ａの上面の高さとの差を算出することで、被加工物の厚さが算出される。

チャックテーブル１０の側部のうち、厚さ測定ユニット１８とは異なる位置には、研削水供給ユニット１９が設けられている。研削水供給ユニット１９は、純水等の研削水を貯留している研削水供給源（不図示）に接続している。

研削水供給ユニット１９は、鉛直方向に沿って設けられた第１のパイプ部と、第１のパイプ部の上端から略９０度折れ曲がりチャックテーブル１０の回転軸１０ｄに向かう様に設けられた第２のパイプ部とを含む。第２のパイプ部の先端には、ノズル１９ａが設けられている。

基台４の後方（Ｘ軸方向の一方）側には、直方体状のコラム６が設けられている。コラム６の前方（Ｘ軸方向の他方）側には、研削送りユニット２０が設けられている。研削送りユニット２０は、コラム６の高さ方向に平行な一対のガイドレール２０ａを有する。

各ガイドレール２０ａは、コラム６の前方側の表面に固定されている。各ガイドレール２０ａには、移動プレート２０ｂがスライド可能に取り付けられている。移動プレート２０ｂの後方側には、ナット部２０ｃが設けられている。

ナット部２０ｃには、コラム６の高さ方向（Ｚ軸方向）と平行に設けられたボールネジ２０ｄが回転可能な態様で連結されている。ボールネジ２０ｄの高さ方向の一端には、パルスモータ２０ｅが連結されている。パルスモータ２０ｅでボールネジ２０ｄを回転させれば、移動プレート２０ｂは、ガイドレール２０ａに沿って移動する。

移動プレート２０ｂの前方側には、研削ユニット２２が設けられている。研削ユニット２２は、円筒状の保持部材２２ａを有する。保持部材２２ａは移動プレート２０ｂの前方側の表面に固定されている。

保持部材２２ａの内側には、スピンドルハウジング２２ｂが設けられている。スピンドルハウジング２２ｂの下部には、ゴム等で形成された円環状の緩衝部材２２ｃが設けられている。スピンドルハウジング２２ｂは、緩衝部材２２ｃを介して保持部材２２ａの底面上に支持されている。

スピンドルハウジング２２ｂには、スピンドル２２ｄの一部が回転可能な態様で収容されている。スピンドル２２ｄの上端には、モータ等の回転駆動機構（不図示）が連結されている。

スピンドル２２ｄの内部には、円筒状の開口２２ｆ（図４（Ａ）参照）が形成されている。開口２２ｆの下端側の側面２２ｈには、雌ネジが形成されている。この開口２２ｆは、後述するボルト４０ａを締結可能なネジ穴として機能する。

スピンドル２２ｄの下端は、保持部材２２ａの底部よりも下方に位置している。スピンドル２２ｄの下端側には、円盤状のホイールマウント２２ｅの上面側が連結されている。ホイールマウント２２ｅを上面視した場合のホイールマウント２２ｅの中心には、ホイールマウント２２ｅの上面から下面まで貫通する円筒状の開口２２ｇ（図４（Ａ）参照）が形成されている。なお、開口２２ｇの円の中心は、開口２２ｆの円の中心と略一致している。

本実施形態における開口２２ｇの側面２２ｉには、雌ネジが形成されていない。本実施形態の開口２２ｇは、ボルト４０ａの軸部の径よりも大きい穴（所謂、クリアランスホール）である。しかし、側面２２ｉにも、開口２２ｇと同様に、雌ネジが形成されてもよい。

開口２２ｆの側面２２ｈ及び開口２２ｇの側面２２ｉのうち、少なくともいずれかに雌ネジが形成されてよい。開口２２ｆ及び開口２２ｇのうち雌ネジが形成されている少なくともいずれかの開口は、後述するボルト４０ａを締結可能なネジ穴として機能する。

ホイールマウント２２ｅの内部には、開口２２ｇから放射状に複数の第１流路（不図示）が形成されている。ホイールマウント２２ｅの下面側には、円環状の研削ホイール２４の上面側が装着される。

研削ホイール２４は、アルミニウム等の金属で形成された円環状のホイール基台２４ａを有する。このホイール基台２４ａがホイールマウント２２ｅの下面側に連結される。つまり、研削ホイール２４は、ホイールマウント２２ｅを介してスピンドル２２ｄに装着される。

ホイール基台２４ａは、内周側面の周方向に離散的に設けられた複数の開口（不図示）を有する。各開口は、ホイール基台２４ａの上面から下面まで貫通しており、ホイールマウント２２ｅの第１流路に各々接続可能である。

研削ホイール２４で被加工物を研削するときには、ホイール基台２４ａ及び研削水供給ユニット１９のいずれか一方又は両方から研削水が供給される。いずれか一方から研削水を供給するか又は両方から研削水を供給するかは、研削条件等に応じて決定される。ホイール基台２４ａから研削水が供給される場合、開口２２ｆ、第１流路、ホイール基台２４ａの開口等で構成される研削水供給路を通り、ホイール基台２４ａの各開口から被加工物へ研削水が供給される。

ホイール基台２４ａの下面（一面）２４ｂには、複数の研削砥石２４ｃ（砥石部）が環状に配置されている（所謂、セグメント配列）。なお、複数の研削砥石２４ｃに代えて、円環状の研削砥石が設けられてもよい（所謂、コンティニュアス配列）。

研削ホイール２４は、円環状の下面２４ｂの一部がチャックテーブル１０の回転中心（保持面１０ｃと回転軸１０ｄとの交点）上に位置する態様で、研削水供給ユニット１９の上方に配置されている。図２は、チャックテーブル１０等の上面図である。なお、図２では、研削ホイール２４を簡略化しており、複数の研削砥石２４ｃのみを示している。

スピンドル２２ｄに連結された回転駆動機構を駆動させると、研削ホイール２４は、スピンドル２２ｄの軸心の周りで回転する。チャックテーブル１０で被加工物を保持した状態で、研削送りユニット２０を用いて研削ユニット２２を下降させて、研削砥石２４ｃを被加工物に押し当てれば、被加工物は研削される。

次に、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）を参照して、研削砥石２４ｃを保護するための保護部材（砥石部保護部材）２６について説明する。図３（Ａ）は、保護部材２６の斜視図である。また、図３（Ｂ）は、保護部材２６の一部断面側面図である。

保護部材２６は、研削ホイール２４の下方を覆うことが可能なカバー部材２８を有する。カバー部材２８は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）等の可視光に対して透明な樹脂材料で形成されている。

カバー部材２８は、円盤部３０を有する。円盤部３０の外周部には、円筒状の第１円筒部３２の内周側面が接続している。第１円筒部３２の高さ方向の一端は、第１円筒部３２の高さ方向の一方側において円盤部３０の一面３０ａよりも突出している。第１円筒部３２の高さ方向の一端側には、環状の凸部３２ａが形成されている。

凸部３２ａの頂部よりも内側及び外側にはそれぞれ円環状の斜面が形成されている。頂部よりも外側に位置する円環状の斜面には、複数の緩衝パッド３２ｂが円環の周方向に離散的に設けられている。

緩衝パッド３２ｂは、例えば、ポリウレタン等の合成樹脂の発泡体で形成されている。緩衝パッド３２ｂは、例えば、樹脂製のスポンジである。緩衝パッド３２ｂは、円盤部３０を上面視したとき、例えば、円盤部３０の０時、３時、６時及び９時の位置の各々に設けられる。

第１円筒部３２の他端は、第１円筒部３２の高さ方向の他方側において円盤部３０の他面３０ｂ（一面３０ａとは反対側に位置する面）よりも突出している。第１円筒部３２の他端側の外周側面には、円環状の環状部３４の内周側面が接続している。

この環状部３４の外周側面には、第１円筒部３２の外径よりも大きな内径を有する第２円筒部３６の内周側面の他端側が接続している。第２円筒部３６は、第１円筒部３２と略同じ高さを有し、第２円筒部３６の一端は、第１円筒部３２の凸部３２ａの頂部と略同じ高さ位置にある。

第１円筒部３２の外周側面、第２円筒部３６の内周側面、及び、第１円筒部３２の外周側面と第２円筒部３６の内周側面とに接続する環状部３４の一面３４ａは、環状の凹部３８を構成する。

カバー部材２８をホイール基台２４ａに接近させ、緩衝パッド３２ｂがホイール基台２４ａの内周側面に接触した状態で、凹部３８は、一面３４ａに研削砥石２４ｃが接触しない程度に十分な深さを有する。凹部３８の深さ（第１円筒部３２の凸部３２ａの頂部から、環状部３４の一面３４ａまでの深さ）は、例えば、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下である。

また、凹部３８は、研削砥石２４ｃの幅よりも大きな幅を有する。凹部３８の内径（即ち、第１円筒部３２の外径）は、例えば、１８０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であり、凹部３８の外径（即ち、第２円筒部３６の内径）は、凹部３８の内径よりも１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下大きい。

円盤部３０の一面３０ａの中心には、一面３０ａから他面３０ｂまで貫通する円筒状の開口３０ｃが設けられている。この開口３０ｃには、ボルト（固定具）４０ａの軸部が挿入される。但し、本実施形態の開口３０ｃの側面には雌ネジは形成されていない。開口３０ｃは、ボルト４０ａの軸部の径よりも大きく且つ頭部の径よりも小さい径を有する穴（所謂、クリアランスホール）である。

ボルト４０ａは、頭部の首下（即ち、座面）が円盤部３０の他面３０ｂに接する態様で、開口３０ｃに挿入される。本実施形態では、ボルト４０ａの落下を防ぐために、円盤部３０の一面３０ａから突出するボルト４０ａの軸部に対してナット４０ｂを装着する。但し、保護部材２６において、ナット４０ｂは必須ではなく省略してもよい。

保護部材２６を、研削ホイール２４の下方から研削ホイール２４に装着することにより、研削砥石２４ｃは保護される。図４（Ａ）は、保護部材２６をスピンドル２２ｄに固定するときの保護部材２６等の一部断面側面図である。

保護部材２６を研削ユニット２２に装着するときには、カバー部材２８の凹部３８で研削砥石２４ｃを下方から覆った状態で、ボルト４０ａの軸部を、開口２２ｆの側面２２ｈの雌ネジに締結する。

なお、開口２２ｆの側面２２ｈの雌ネジに加えて、開口２２ｇの側面２２ｉにも雌ネジが形成されている場合には、開口２２ｆ及び開口２２ｇにボルト４０ａを締結する。また、開口２２ｆの側面２２ｈに雌ネジが形成されず、開口２２ｇの側面２２ｉのみに雌ネジが形成されている場合には、開口２２ｇのみにボルト４０ａを締結する。この様に、開口２２ｆ及び開口２２ｇのうち雌ネジが形成されている少なくともいずれかの開口（即ち、ネジ穴）に、ボルト４０ａを締結する。

これにより、カバー部材２８は、ホイール基台２４ａに対して固定される。本実施形態では、カバー部材２８が透明であるので、カバー部材２８が透明ではない場合に比べて、ボルト４０ａの締結が容易になる。

なお、ホイール基台２４ａの下面２４ｂ側がカバー部材２８で収容されるとき、緩衝パッド３２ｂがホイール基台２４ａの内周側面に接触する。但し、カバー部材２８の円盤部３０、第１円筒部３２、環状部３４及び第２円筒部３６は、研削砥石２４ｃに接触しない。

図４（Ｂ）は、保護部材２６をスピンドル２２ｄに固定した後の保護部材２６等の一部断面側面図である。保護部材２６は、研削ホイール２４がホイール基台２４ａに固定された状態で、研削ユニット２２直下の比較的狭い空間で作業者が手作業で修理等を行うときに、複数の研削砥石２４ｃを保護するために使用される。

一例において、研削水供給ユニット１９のノズル１９ａの修理、点検、清掃、角度調節等を行うときに保護部材２６が使用される。複数の研削砥石２４ｃをカバー部材２８で保護した状態でホイール基台２４ａに対してカバー部材２８の位置を固定することにより、研削装置２の構成要素の修理等の作業中に複数の研削砥石２４ｃが損傷するリスクを低減できる。更に、作業者は、片手で保護部材２６を支持する必要が無いので、修理等の作業を両手で行うことができる。

ところで、カバー部材２８をホイール基台２４ａに対して固定する固定具は、ボルト４０ａに限定されない。ボルト４０ａに代えて、第２円筒部３６の外周側面にクランプ（固定具）４２を設けてもよい。図５は、変形例に係る保護部材２６等の一部断面側面図である。

変形例に係る保護部材２６には、第２円筒部３６の外周側面の一端側に固定された１つのクランプ４２と、第２円筒部３６の一端側の外周の周方向に１８０度進んだ位置に固定されたもう１つのクランプ４２とを有する。但し、クランプ４２の数は、２つに限定されない。３つ以上のクランプ４２が、カバー部材２８に設けられてもよい。

クランプ４２は、一端側がカバー部材２８に固定された腕部４２ａを有する。腕部４２ａは、第２円筒部３６の径方向に沿って回転可能な様に、一端側に回動部を有する。この回動部には、捻じりバネ等の付勢部材が設けられる。

付勢部材は、例えば、腕部４２ａに外力が加えられていないとき、腕部４２ａが第２円筒部３６の内側に傾いた状態となる様に、腕部４２ａを付勢する。また、腕部４２ａの他端側には、腕部４２ａから円盤部３０側に屈曲する様に設けられた平板状の押さえ部４２ｂが接続されている。

変形例に係る保護部材２６を研削ユニット２２に装着するときには、緩衝パッド３２ｂがホイール基台２４ａの内周側面に接するまでカバー部材２８を上昇させる。このとき、一対の押さえ部４２ｂ間の距離がホイールマウント２２ｅの径より大きくなる様に、腕部４２ａに対して付勢力とは反対の向きの外力を加える。

緩衝パッド３２ｂがホイール基台２４ａの内周側面に接した後、腕部４２ａに加えていた外力をゼロにする。そうすると、付勢力により、腕部４２ａの押さえ部４２ｂは、ホイールマウント２２ｅの上面を部分的に覆う態様で、ホイールマウント２２ｅに固定される。この様にして、ホイールマウント２２ｅに対してカバー部材２８をクランプ４２で固定する。

保護部材２６は、研削ユニット２２に装着されるだけではなく、研削ユニット２２から取り外された研削ホイール２４を収容するホイールケース４４（図６（Ｃ）参照）の一部として利用されてもよい。

ホイールケース４４は、研削ホイール２４の下面２４ｂ側を収容する保護部材２６に加えて、研削ホイール２４の下面２４ｂとは反対側に位置する上面（他面）２４ｄ（図６（Ｂ）参照）側を覆う蓋部材４６を有する。図６（Ａ）は、蓋部材４６の斜視図である。

蓋部材４６は、各々円形の一面４８ａ及び他面４８ｂを有する円盤部４８を備える。円盤部４８の一面４８ａ及び他面４８ｂの中心には、円筒状の開口４８ｃが設けられている。開口４８ｃの側面４８ｄには、雌ネジが形成されている。つまり、開口４８ｃは、ネジ穴として機能する。また、円盤部４８の外周側面には、円筒部５０の内周側面が接続している。

ホイールケース４４に研削ホイール２４を収容するときには、まず、研削ユニット２２から取り外した研削ホイール２４の下面２４ｂ側を保護部材２６で覆う。そして、研削ホイール２４の上面２４ｄ側を蓋部材４６で覆い、ボルト４０ａを開口４８ｃに締結する。これにより、蓋部材４６は、ボルト４０ａでカバー部材２８に固定される。

図６（Ｂ）は、カバー部材２８及び蓋部材４６等の断面図であり、図６（Ｃ）は、ホイールケース４４に研削ホイール２４を収容した状態のカバー部材２８及び蓋部材４６等の断面図である。

ボルト４０ａでカバー部材２８と蓋部材４６とを固定することにより、研削ホイール２４は、研削ホイール２４の高さ方向で、カバー部材２８に設けられた緩衝パッド３２ｂと、蓋部材４６の一面４８ａとにより挟まれて、ホイールケース４４内に固定される。つまり、研削ホイール２４の位置は、カバー部材２８及び蓋部材４６に対して固定される。

なお、ホイールケース４４は、ボルト４０ａに代えてクランプ４２を有する保護部材２６と、蓋部材４６とで構成されてもよい。この場合、押さえ部４２ｂが他面４８ｂを抑えることにより、カバー部材２８が蓋部材４６に固定されると、研削ホイール２４は、緩衝パッド３２ｂと蓋部材４６の一面４８ａとにより挟まれてホイールケース４４内に固定される。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、保護部材２６には、緩衝パッド３２ｂが設けられなくてもよい。この場合、ホイール基台２４ａの下面２４ｂ側をカバー部材２８で収容すると、第１円筒部３２の凸部３２ａがホイール基台２４ａの内周側面に接触する。なお、この場合も、カバー部材２８は研削砥石２４ｃに接触しない。

また、例えば、クランプ４２は、ホイールマウント２２ｅや蓋部材４６に対してカバー部材２８を固定できればよいので、押さえ部４２ｂの形状は平板状に限定されない。例えば、押さえ部４２ｂは、先端部に爪部を有してもよい。この場合、ホイールマウント２２ｅや蓋部材４６の上面側には、爪部に係合可能な凹部が設けられる。

２ 研削装置
４ 基台
６ コラム
１０ チャックテーブル
１０ａ 枠体
１０ｂ 多孔質プレート
１０ｃ 保持面
１０ｄ 回転軸
１２ テーブル基台
１４ θテーブル
１６ａ 固定支持部材
１６ｂ 可動支持部材
１８ 厚さ測定ユニット
１８ａ 第１の高さ測定器
１８ｂ 第２の高さ測定器
１９ 研削水供給ユニット
１９ａ ノズル
２０ 研削送りユニット
２０ａ ガイドレール
２０ｂ 移動プレート
２０ｃ ナット部
２０ｄ ボールネジ
２０ｅ パルスモータ
２２ 研削ユニット
２２ａ 保持部材
２２ｂ スピンドルハウジング
２２ｃ 緩衝部材
２２ｄ スピンドル
２２ｅ ホイールマウント
２２ｆ 開口
２２ｇ 開口
２２ｈ 側面
２２ｉ 側面
２４ 研削ホイール
２４ａ ホイール基台
２４ｂ 下面
２４ｃ 研削砥石
２４ｄ 上面
２６ 保護部材
２８ カバー部材
３０ 円盤部
３０ａ 一面
３０ｂ 他面
３０ｃ 開口
３２ 第１円筒部
３２ａ 凸部
３２ｂ 緩衝パッド
３４ 環状部
３４ａ 一面
３６ 第２円筒部
３８ 凹部
４０ａ ボルト（固定部材）
４０ｂ ナット
４２ クランプ（固定部材）
４２ａ 腕部
４２ｂ 押さえ部
４４ ホイールケース
４６ 蓋部材
４８ 円盤部
４８ａ 一面
４８ｂ 他面
４８ｃ 開口
４８ｄ 側面
５０ 円筒部

Claims (3)

1. 円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に設けられた砥石部と、を有する研削ホイールが装着されるスピンドルを備える研削装置の該砥石部を保護するために、該研削装置の修理、点検又は清掃を含む作業を作業者が該研削装置に対して行う際に使用される砥石部保護部材であって、
   該砥石部を覆う状態で該ホイール基台の該一面側を収容可能なカバー部材と、
   該ホイール基台に対して該カバー部材の位置を固定するための固定具と、
   を備えることを特徴とする砥石部保護部材。
2. 該固定具は、該スピンドルの下端側に設けられたネジ穴と、上面側が該スピンドルの該下端側に連結され下面側が該ホイール基台に連結されホイールマウントのネジ穴との少なくともいずれかに締結可能なボルト、又は、該ホイールマウントに対して該カバー部材を固定可能なクランプであることを特徴とする請求項１に記載の砥石部保護部材。
3. 円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に環状に設けられた砥石部とを有し、研削装置のスピンドルから取り外された研削ホイールを収容可能なホイールケースであって、
   該ホイールケースは、
   該砥石部を覆う状態で該ホイール基台の該一面側を収容可能なカバー部材と、
   該ホイール基台の該一面とは反対側に位置する該ホイール基台の他面側を覆う蓋部材と、
   該カバー部材と該蓋部材とを固定するための固定具と、
   を備え、
   該カバー部材と該蓋部材とを該固定具で固定することにより、該ホイール基台が該カバー部材と該蓋部材との間に挟まれて、該カバー部材及び該蓋部材に対する該ホイール基台の位置が固定されることを特徴とするホイールケース。