JP2018161697A - ブレードケース - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレードを回転軸に装着する際に切刃が破損する可能性を低く抑えられるブレードケースを提供する。【解決手段】収容部と、切削ブレードの被把持部に係合する第１係合爪を有する第１蓋部と、切削ブレードの被把持部に係合する第２係合爪を有する第２蓋部と、を備え、第１蓋部と第２蓋部とは、第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが接触及び分離できる態様で互いに連結され、第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが接触した状態では、第１係合爪と第２係合爪とによって切削ブレードを把持でき、第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが分離されると、切削ブレードの把持が解除されるように構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、板状の被加工物を切削加工する際に用いられる切削ブレードを収容するためのブレードケースに関する。

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸（スピンドル）に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。高速に回転させた切削ブレードを被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。

切削ブレードの一態様として、アルミニウム等でなる環状の基台の外周部に、砥粒を含む切刃が固定されたハブタイプが知られている。このハブタイプの切削ブレードの切刃はめっき等の方法で薄く形成されることが多い。そこで、搬送等の際には、切削ブレードをブレードケースに収容して切刃の破損を防いでいる（例えば、特許文献１参照）。

特開平８−３２３５４５号公報

上述した切削ブレードは、通常、オペレータ等によってブレードケースから取り出された後に切削装置の回転軸へと装着される。ところが、この装着の際に、誤って切削ブレードを切削装置等に衝突させて、切刃が破損してしまうことがある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードを回転軸に装着する際に切刃が破損する可能性を低く抑えられるブレードケースを提供することである。

本発明の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、底板、及び該底板の一方の面の外周部に一端が接続された収容部側壁を有し、該収容部側壁の内側に該切削ブレードを該裏面側から収容するための収容領域が形成された収容部と、該底板の一部に対応する第１天板、該収容部側壁の一部に対応し該第１天板の一方の面の外周部に一端が接続された第１蓋部側壁、及び該第１天板の該一方の面に設けられ該被把持部に係合する第１係合爪を有する第１蓋部と、該底板の他の一部に対応する第２天板、該収容部側壁の他の一部に対応し該第２天板の一方の面の外周部に一端が接続された第２蓋部側壁、及び該第２天板の該一方の面に設けられ該被把持部に係合する第２係合爪を有する第２蓋部と、を備え、該第１蓋部と該第２蓋部とは、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触及び分離できる態様で互いに連結され、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態では、第１係合爪と第２係合爪とによって該切削ブレードを把持でき、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが分離されると、該切削ブレードの把持が解除されるブレードケースが提供される。

上述した本発明の一態様において、該第１蓋部側壁と該第２蓋部側壁とを連結するヒンジ部と、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態を保つロック部と、を更に備えても良い。

また、上述した本発明の一態様において、該収容部側壁の他端側に形成された雌ネジと、該第１蓋部側壁の他端側に形成された第１雄ネジと、該第２蓋部側壁の他端側に形成された第２雄ネジと、を更に備え、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態で、該第１雄ネジ及び該第２雄ネジを該雌ネジにねじ込むことによって、該第１蓋部及び該第２蓋部が該収容部に取り付けられるようにしても良い。

本発明の一態様に係るブレードケースは、切削ブレードの被把持部に係合する第１係合爪を有する第１蓋部と、被把持部に係合する第２係合爪を有する第２蓋部と、を備え、この第１蓋部と第２蓋部とは、第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが接触及び分離できる態様で互いに連結される。

第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが接触した状態では、第１係合爪と第２係合爪とによって切削ブレードを把持し、第１蓋部と第２蓋部とで切削ブレードを保護できる。第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とが分離されると、第１係合爪と第２係合爪とによる切削ブレードの把持は解除される。

そのため、第１係合爪と第２係合爪とによって切削ブレードを把持することで、第１蓋部と第２蓋部とで切削ブレードを保護しながら、この切削ブレードを回転軸に装着できる。例えば、切削ブレードを回転軸に装着した後には、第１蓋部の一部と第２蓋部の一部とを分離させて、第１係合爪と第２係合爪とによる切削ブレードの把持を解除すれば良い。

このように、本発明の一態様に係るブレードケースによれば、第１蓋部と第２蓋部とで切削ブレードを保護しながら、切削ブレードを回転軸に装着できるので、切削ブレードを回転軸に装着する際に切刃が破損する可能性を低く抑えられる。

ブレードケースの構成例を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、別の方向から見た第１蓋部及び第２蓋部を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、ロック部を拡大した断面図である。 図３（Ａ）は、ブレードケースに切削ブレードが収容された状態を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、収容部から第１蓋部及び第２蓋部が取り外された状態を模式的に示す断面図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）、及び図４（Ｃ）は、切削ブレードを回転軸に装着するための手順を模式的に示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、ブレードケース２の構成例を模式的に示す斜視図であり、図２（Ａ）は、図１とは別の方向から見たブレードケース２の一部を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、ブレードケース２の一部を拡大した断面図であり、図３（Ａ）は、ブレードケース２に切削ブレード（ハブブレード）１１が収容された状態を模式的に示す断面図である。

ブレードケース２は、いわゆるハブタイプの切削ブレード１１を収容できるように構成されており、収容部４、第１蓋部６、及び第２蓋部８を含む。図３（Ａ）に示すように、このブレードケース２に収容される切削ブレード１１は、例えば、環状の基台１３と、基台１３の外周部に固定された環状の切刃１５とで構成されている。

基台１３は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて形成され、その中央には、基台１３を表面（図３（Ａ）の上側の面）側から裏面側に貫通する孔（挿入孔）１３ａが設けられている。孔１３ａには、切削ブレード１１を回転させるための回転軸（スピンドル）が挿入される。

また、基台１３の表面側には、回転軸に対して切削ブレード１１を取り付ける際や、回転軸から切削ブレード１１を取り外す際に把持される被把持部１３ｂが設けられている。被把持部１３ｂは、挿入孔１３ａを囲む環状に形成され、基台１３の表面側に突出している。また、被把持部１３ｂの径は、基端側に比べて先端側で僅かに大きくなっている。

切刃１５は、ダイヤモンド等の砥粒を金属（代表的には、ニッケル）等の結合材で固めて形成され、基台１３の外周部から径方向外側に突出している。この切刃１５は、例えば、めっき等の方法で１０μｍ〜３０μｍ程度の厚みに形成される。ただし、基台１３や切刃１５の材質、大きさ（厚さ）、製法等に特段の制限はない。

収容部４、第１蓋部６、及び第２蓋部８は、例えば、ポリプロピレン等の合成樹脂で形成される。収容部４は、平面視で円形の底板１０と、底板１０の第１面（一方の面）１０ａ側の外周部に設けられた側壁（収容部側壁）１２とを有している。側壁１２の基端（一端）が底板１０の外周部に接続されている。側壁１２より内側が、切削ブレード１１を収容する第１収容領域となる。

底板１０の中央には、第１面１０ａから突出する円筒状の第１凸部１４が設けられている。第１凸部１４の外周の径は、切削ブレード１１の基台１３に設けられた孔１３ａの径と概ね等しくなっている。また、底板１０の第１凸部１４を囲む位置には、第１面１０ａから突出する円環状の第２凸部１６が設けられている。第２凸部１６の外周の径は、切刃１５の内周の径よりも小さくなっている。側壁１２の先端（他端）側の内周面には、ネジ溝（雌ネジ）１８が形成されている。

収容部４の第１凸部１４を基台１３の孔１３ａに挿入するとともに、第２凸部１６に基台１３の裏面側を接触させることで、切削ブレード１１を収容部４の第１収容領域に収容し、且つ、切削ブレード１１の径方向への移動を規制できる。このように、第１収容領域には、切削ブレード１１が基台１３の裏面側から収容されることになる。

第１蓋部６は、平面視で半円形の天板（第１天板）２０と、天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側の外周部に設けられた側壁（第１蓋部側壁）２２とを有している。側壁２２の基端（一端）が天板２０の外周部に接続されている。天板２０の形状は、例えば、収容部４の底板１０を２つに分割して得られる一方側の形状に対応している。

また、側壁２２は、天板２０の円周に相当する部分にのみ設けられている。つまり、側壁２２は、収容部４の側壁１２を２つに分割して得られる一方側に対応する位置にのみ配置される。また、天板２０には、第１面２０ａから突出する係合爪（第１係合爪）２４が設けられている。

係合爪２４は、収容される切削ブレード１１の被把持部１３ｂの位置に合わせて配置され、被把持部１３ｂと係合する。係合爪２４の先端側は、被把持部１３ｂの先端側より径の小さい被把持部１３ｂの基端側と適切に係合できるように、側壁２２の反対側に向かって僅かに傾斜している。

なお、本実施形態では、被把持部１３ｂの約半分の領域を把持できる半円（半円環）状の係合爪２４を設けているが、係合爪２４の大きさ、形状、数量、配置等に特段の制限はない。側壁２２の先端（他端）側の外周面には、収容部４のネジ溝１８に対応するネジ山（第１雄ネジ）２６が形成されている。

第２蓋部８は、平面視で半円形の天板（第２天板）２８と、天板２８の第１面（一方の面）２８ａ側の外周部に設けられた側壁（第２蓋部側壁）３０とを有している。側壁３０の基端（一端）が天板２８の外周部に接続されている。天板２８の形状は、例えば、収容部４の底板１０を２つに分割して得られる他方側の形状に対応している。

また、側壁３０は、天板２８の円周に相当する部分にのみ設けられている。つまり、側壁３０は、収容部４の側壁１２を２つに分割して得られる他方側に対応する位置にのみ配置される。また、天板２８には、第１面２８ａから突出する係合爪（第２係合爪）３２が設けられている。

係合爪３２は、収容される切削ブレード１１の被把持部１３ｂの位置に合わせて配置され、被把持部１３ｂと係合する。係合爪３２の先端側は、被把持部１３ｂの先端側より径の小さい被把持部１３ｂの基端側と適切に係合できるように、側壁３０の反対側に向かって僅かに傾斜している。

なお、本実施形態では、被把持部１３ｂの約半分の領域を把持できる半円（半円環）状の係合爪３２を設けているが、係合爪３２の大きさ、形状、数量、配置等に特段の制限はない。側壁３０の先端（他端）側の外周面には、収容部４のネジ溝１８に対応するネジ山（第２雄ネジ）３４が形成されている。

図１に示すように、第１蓋部６（側壁２２）と第２蓋部８（側壁３０）とは、第１蓋部６及び第２蓋部８と一体に形成されたヒンジ部３６を介して互いに連結されており、ヒンジ部３６を支点に開閉される。なお、第１蓋部６、第２蓋部８、及びヒンジ部３６は、必ずしも一体に形成されなくて良い。

このヒンジ部３６を支点に第１蓋部６と第２蓋部８とを閉じると、例えば、ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部と側壁３０の一部とが互いに接触する。一方で、ヒンジ部３６を支点に第１蓋部６と第２蓋部８とを開くと、ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部と側壁３０の一部とは分離される。

図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２及び側壁３０の外周面には、第１蓋部６と第２蓋部８とを閉じた状態に保つためのロック部３８が設けられている。ロック部３８は、例えば、側壁２２側のかぎ爪部４０と側壁３０側の突起部４２とで構成されている。突起部４２にかぎ爪部４０を係合（ロック）させることで、第１蓋部６と第２蓋部８とは閉じた状態に保たれる。

切削ブレード１１をブレードケース２に収容する際には、図３（Ａ）に示すように、まず、収容部４の第１凸部１４を基台１３の孔１３ａに挿入し、第２凸部１６に基台１３の裏面側を接触させる。これにより、切削ブレード１１が、収容部４の第１収容領域に収容される。

次に、第１蓋部６と第２蓋部８とを閉じ、そのネジ山２６、３４を収容部４のネジ溝１８に接触させる。この状態で、例えば、第１蓋部６及び第２蓋部８を収容部４に対して第１方向に回転させ、ネジ溝１８にネジ山２６、３４をねじ込むことで、第１蓋部６及び第２蓋部８を収容部４に取り付けることができる。

上述のように、第１蓋部６には、切削ブレード１１の被把持部１３ｂと係合する係合爪２４が設けられており、第２蓋部８には、被把持部１３ｂと係合する係合爪３２が設けられている。そのため、第１収容領域に切削ブレード１１を収容した状態で、第１蓋部６及び第２蓋部８を収容部４に取り付けると、係合爪２４、３２は、被把持部１３ｂと係合する。

図３（Ｂ）は、収容部４から第１蓋部６及び第２蓋部８が取り外された状態を模式的に示す断面図である。収容部４から第１蓋部６及び第２蓋部８を取り外すには、例えば、収容部４に対して第１蓋部６及び第２蓋部８を第１方向と反対の第２方向に回転させる。これにより、ネジ山２６、３４をネジ溝１８から緩めて、第１蓋部６及び第２蓋部８を収容部４から取り外すことができる。

上述のように、第１蓋部６の係合爪２４及び第２蓋部８の係合爪３２は、切削ブレード１１の被把持部１３ｂと係合している。そのため、第１蓋部６及び第２蓋部８を収容部４から取り外すと、図３（Ｂ）に示すように、切削ブレード１１は、第１蓋部６の係合爪２４及び第２蓋部８の係合爪３２によって把持されたまま収容部４から取り出される。

次に、この切削ブレード１１を回転軸に装着する手順の例を説明する。図４（Ａ）、図４（Ｂ）、及び図４（Ｃ）は、切削ブレードを回転軸に装着するための手順を模式的に示す斜視図である。まず、切削ブレード１１が装着される回転軸を含む切削ユニットの概略について説明する。

図４（Ａ）、図４（Ｂ）、及び図４（Ｃ）に示すように、切削ユニット５２は、切削装置の移動機構等に固定されるハウジング５４を備えている。ハウジング５４には、回転軸（スピンドル）５６が支持されている。回転軸５６の前端部５６ａは、ハウジング５４の外部に露出している。この前端部５６ａは、例えば、円筒状に形成されており、前端部５６ａの外周の径は、切削ブレード１１の孔１３ａの径と概ね同じである。

ハウジング５４の前方には、回転軸５６に装着される切削ブレード１１等を収容するためのブレードカバー５８が設けられている。ブレードカバー５８は、ハウジング５４の前部に固定される固定カバー６０と、固定カバー６０に対してスライドされるスライドカバー６２とを含んでいる。

スライドカバー６２は、エアシリンダ等でなるスライド機構６４を介して固定カバー６０に連結されており、エア供給路６８等を通じて供給されるエアによってスライドする。例えば、切削ブレード１１を回転軸５６に装着した後に、スライドカバー６２をスライドさせて閉じれば、切削ブレード１１をブレードカバー５８の内側に収容できる。

スライドカバー６２には、切削ブレード１１の下部を前後に挟む略Ｌ字状の一対のノズル７０が設けられている。ノズル７０には、切削水供給路７２等を通じて切削水が供給される。ノズル７０の先端側には、切削ブレード１１に対面する複数のスリット（不図示）が形成されている。複数のスリットを通じて噴射される切削水によって、切削ブレード１１や被加工物は、冷却、洗浄される。

一方で、固定カバー６０にも、切削ブレード１１に切削水を供給するためのノズル（不図示）が設けられている。切削水供給路７４等を通じてこのノズルから供給される切削水によって、切削ブレード１１や被加工物は、冷却、洗浄される。

切削ブレード１１を回転軸５６に装着する際には、図１に示すように、まず、スライドカバー６２をスライドさせて開き、回転軸５６の前端部５６ａに対して切削ブレード１１を装着し易くする。次に、第１蓋部６の係合爪２４及び第２蓋部８の係合爪３２によって把持された状態の切削ブレード１１の孔１３ａと、回転軸５６の前端部５６ａとの位置を合わせる。

そして、この孔１３ａに前端部５６ａを挿入するように、第１蓋部６及び第２蓋部８を前端部５６ａに向けて移動させる。図４（Ｂ）に示すように、孔１３ａに前端部５６ａが挿入された後には、ロック部３８を構成するかぎ爪部４０と突起部４２との係合（ロック）を解除して、図４（Ｃ）に示すように、第１蓋部６と第２蓋部８とを開く。その結果、係合爪２４、３２と被把持部１３ｂとの係合も解除されて、回転軸５６に装着された切削ブレード１１から第１蓋部６と第２蓋部８とを取り外すことができる。

以上のように、本実施形態に係るブレードケースは、切削ブレード１１の被把持部１３ｂに係合する係合爪（第１係合爪）２４を有する第１蓋部６と、被把持部１３ｂに係合する係合爪（第２係合爪）３２を有する第２蓋部８と、を備え、この第１蓋部６と第２蓋部８とは、ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部（第１蓋部６の一部）と側壁３０の一部（第２蓋部８の一部）とが接触及び分離できる態様で互いに連結される。

ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部と側壁３０の一部とが接触した状態では、係合爪２４、３２によって切削ブレード１１を把持し、第１蓋部６と第２蓋部８とで切削ブレード１１を保護できる。ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部と側壁３０の一部とが分離されると、係合爪２４、３２による切削ブレード１１の把持は解除される。

そのため、係合爪２４、３２によって切削ブレード１１を把持することで、第１蓋部６と第２蓋部８とで切削ブレード１１を保護しながら、この切削ブレード１１を回転軸５６に装着できる。例えば、切削ブレード１１を回転軸５６に装着した後には、ヒンジ部３６の反対側に位置する側壁２２の一部と側壁３０の一部とを分離させて、係合爪２４、３２による切削ブレード１１の把持を解除すれば良い。

このように、本実施形態に係るブレードケース２によれば、第１蓋部６と第２蓋部８とで切削ブレード１１を保護しながら、切削ブレード１１を回転軸５６に装着できるので、切削ブレード１１を回転軸５６に装着する際に切刃１５が破損する可能性を低く抑えられる。

本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、ヒンジ部３６を介して第１蓋部６と第２蓋部８とを連結しているが、第１蓋部６と第２蓋部８とは、必ずしも連結されていなくて良い。すなわち、第１蓋部６と第２蓋部８とは、分離されていても良い。この場合には、例えば、ロック部３８と同様のロック部をヒンジ部３６の代わりに設けて、第１蓋部６と第２蓋部８とを連結できるようにしておけば良い。

その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。

２ ブレードケース
４ 収容部
６ 第１蓋部
８ 第２蓋部
１０ 底板
１０ａ 第１面（一方の面）
１２ 側壁（収容部側壁）
１４ 第１凸部
１６ 第２凸部
１８ ネジ溝（雌ネジ）
２０ 天板（第１天板）
２０ａ 第１面（一方の面）
２２ 側壁（第１蓋部側壁）
２４ 係合爪（第１係合爪）
２６ ネジ山（第１雄ネジ）
２８ 天板（第２天板）
２８ａ 第１面（一方の面）
３０ 側壁（第２蓋部側壁）
３２ 係合爪（第２係合爪）
３４ ネジ山（第２雄ネジ）
３６ ヒンジ部
３８ ロック部
４０ かぎ爪部
４２ 突起部
５２ 切削ユニット
５４ ハウジング
５６ 回転軸（スピンドル）
５６ａ 前端部
５８ ブレードカバー
６０ 固定カバー
６２ スライドカバー
６４ スライド機構
６８ エア供給路
７０ ノズル
７２ 切削水供給路
７４ 切削水供給路
１１ 切削ブレード
１３ 基台
１３ａ 孔（挿入孔）
１３ｂ 被把持部
１５ 切刃

Claims (3)

1. 表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、
   底板、及び該底板の一方の面の外周部に一端が接続された収容部側壁を有し、該収容部側壁の内側に該切削ブレードを該裏面側から収容するための収容領域が形成された収容部と、
   該底板の一部に対応する第１天板、該収容部側壁の一部に対応し該第１天板の一方の面の外周部に一端が接続された第１蓋部側壁、及び該第１天板の該一方の面に設けられ該被把持部に係合する第１係合爪を有する第１蓋部と、
   該底板の他の一部に対応する第２天板、該収容部側壁の他の一部に対応し該第２天板の一方の面の外周部に一端が接続された第２蓋部側壁、及び該第２天板の該一方の面に設けられ該被把持部に係合する第２係合爪を有する第２蓋部と、を備え、
   該第１蓋部と該第２蓋部とは、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触及び分離できる態様で互いに連結され、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態では、第１係合爪と第２係合爪とによって該切削ブレードを把持でき、該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが分離されると、該切削ブレードの把持が解除されることを特徴とするブレードケース。
2. 該第１蓋部側壁と該第２蓋部側壁とを連結するヒンジ部と、
   該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態を保つロック部と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のブレードケース。
3. 該収容部側壁の他端側に形成された雌ネジと、
   該第１蓋部側壁の他端側に形成された第１雄ネジと、
   該第２蓋部側壁の他端側に形成された第２雄ネジと、を更に備え、
   該第１蓋部の一部と該第２蓋部の一部とが接触した状態で、該第１雄ネジ及び該第２雄ネジを該雌ネジにねじ込むことによって、該第１蓋部及び該第２蓋部が該収容部に取り付けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のブレードケース。