CN110216584B

CN110216584B - 凸缘机构

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Publication number: CN110216584B
Application number: CN201910146377.0A
Authority: CN
Inventors: 八木原惇; 田中徹
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-03-01
Filing date: 2019-02-27
Publication date: 2023-02-21
Anticipated expiration: 2039-02-27
Also published as: TWI789496B; TW201936316A; CN110216584A; JP2019150906A; JP7138452B2; KR102560286B1; KR20190104894A

Abstract

提供凸缘机构，尽量避免更换垫圈刀具和轮毂刀具时的凸缘机构的装卸。凸缘机构(1)将轮毂刀具固定于切削装置的主轴。凸缘机构(1)具有：支承凸缘(2)，其具有凸部(22)和凸缘部(23)，该凸部(22)具有外螺纹(21)，该凸缘部(23)从凸部(22)向半径方向外侧突出；以及螺母(3)，其与凸部(22)的外螺纹(21)螺合，与凸缘部(23)一起对轮毂刀具进行夹持而固定。凸缘机构(1)具有垫圈刀具夹持单元(6)，该垫圈刀具夹持单元(6)具有第1环状部件(7)和第2环状部件(8)，该第1环状部件(7)和第2环状部件(8)分别具有供凸部(22)贯穿插入的开口(73、83)，在利用第1环状部件(7)和第2环状部件(8)从两个面(128‑2、128‑3)夹持着垫圈刀具(128)的状态下使凸部(22)贯穿插入，并利用螺母(3)固定于支承凸缘(2)。

Description

凸缘机构

技术领域

本发明涉及将切削刀具安装于切削装置的主轴的凸缘机构。

背景技术

利用切削刀具对半导体晶片、树脂封装基板、陶瓷基板、玻璃基板等板状的被加工物进行切削的切削装置和切削加工正在被广泛地使用(例如，参照专利文献1)。切削刀具具有垫圈刀具和轮毂刀具这两种，可根据用途来选择性地使用，其中，该垫圈刀具形成为环状，将粘合剂固定于磨粒而得的切削磨具较薄，该轮毂刀具为了使操作性良好而将垫圈刀具固定于作为把持部的圆形基台。

例如，在使用极薄刃的半导体晶片的切削等中使用轮毂刀具，切削磨具较厚的垫圈刀具用于树脂封装基板等的切削。在制造各种器件芯片的工厂中，有时在一个切削装置中使用两种刀具，在该情况下，分别使用垫圈刀具、轮毂刀具专用的凸缘机构。

因此，也考虑了在将垫圈刀具安装于圆形基台之后安装于轮毂刀具用的凸缘机构的方案(例如，参照专利文献2)。另外，还提出了如下的凸缘机构：该凸缘机构形成为凸部的直径在轴向上发生变化的形状，从而防止所安装的轮毂刀具产生卡阻(例如，参照专利文献3)。

专利文献1：日本特开2012-135833号公报

专利文献2：日本特开平8-339977号公报

专利文献3：日本特许第4913346号公报

专利文献1所示的切削装置存在如下的要求：希望一次使用两种刀具而尽可能不对安装于主轴的凸缘机构进行装卸。另外，专利文献2所示的发明存在如下的课题：额外需要安装于圆形基台的工序。

另外，在专利文献3所示的发明中，为了防止所安装的轮毂刀具产生卡阻而使凸缘机构的凸部为直径在轴向上发生变化的形状，因此难以稳定地安装两种刀具。

发明内容

本发明是鉴于这样的点而完成的，其目的在于提供凸缘机构，能够尽量避免更换垫圈刀具和轮毂刀具时的凸缘机构的装卸。

为了解决上述课题实现目的，本发明的凸缘机构能够将轮毂刀具固定于切削装置的主轴，也能够将中央具有开口的环状的垫圈刀具固定于切削装置的主轴，该轮毂刀具具有：圆形基台，其形成为环状，具有插入孔；以及环状的切刃，其从该圆形基台的外周突出，该凸缘机构的特征在于，具有：支承凸缘，其具有凸缘部和圆柱状的凸部，该凸部在前端部的外周具有外螺纹，该凸缘部从该凸部的轴向后端向半径方向外侧突出，对该圆形基台的侧面进行支承；螺母，其与该凸部的该外螺纹螺合，与该凸缘部一起夹持而将该轮毂刀具的该圆形基台固定于该支承凸缘；以及垫圈刀具夹持单元，其具有直径比该垫圈刀具的直径小且比该凸缘部的直径大的第1环状部件和第2环状部件，并且该第1环状部件和第2环状部件分别具有供该凸部贯穿插入的开口，在利用该第1环状部件和该第2环状部件从两个面夹持着该垫圈刀具的状态下使该凸部贯穿插入于该开口，并利用该螺母固定于该支承凸缘。

在所述凸缘结构中，也可以是，一个该环状部件具有对该垫圈刀具的内周进行支承的阶梯部，另一个该环状部件具有供该阶梯部嵌合的凹部。

在所述凸缘机构中，也可以是，一个该环状部件具有供该凸部贯穿插入的筒状部和从该筒状部的后端向半径方向外侧突出的后凸缘部，另一个该环状部件在中央的开口处与该筒状部嵌合，该垫圈刀具夹持单元在该筒状部的内周被该凸部支承。

在所述凸缘机构中，也可以是，在一个该环状部件的该支承凸缘侧的面上具有收纳该支承凸缘的该凸缘部的圆形凹部，将所固定的该垫圈刀具在轴向上的位置设定为固定着该轮毂刀具时的该切刃的位置。

本申请发明的凸缘机构起到如下的效果：能够尽量避免更换垫圈刀具和轮毂刀具时的凸缘机构的装卸。

附图说明

图1是示出具有实施方式1的凸缘机构的切削装置的结构例的立体图。

图2是图1所示的切削装置的切削单元的主要部分的立体图。

图3是将图2所示的切削单元的凸缘机构分解而示出的立体图。

图4是图2所示的切削单元的凸缘机构的剖视图。

图5是实施方式1的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。

图6是将图5所示的凸缘机构分解而示出的剖视图。

图7是实施方式1的变形例的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。

图8是实施方式2的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。

图9是实施方式2的凸缘机构将其他垫圈刀具固定后的状态的剖视图。

图10是实施方式2的变形例的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。

标号说明

1、1-1、1-2、1-3：凸缘机构；2：支承凸缘；3：螺母；6、6-2：垫圈刀具夹持单元；7：第1环状部件(一个环状部件)；7-1：外径(直径)；8：第2环状部件(另一个环状部件)；8-1：外径(直径)；21：外螺纹；22：凸部；23：凸缘部；23-1：外径(直径)；71：一个侧面(支承凸缘侧的面)；73、83：开口；74：阶梯部；75：圆形凹部；76：筒状部；77：后凸缘部；84：凹部；100：切削装置；122：主轴；124：轮毂刀具；124-1：切刃；126：插入孔；127：圆形基台；127-1：一个侧面(侧面)；128：垫圈刀具；128-2、128-3：两个面；128-5：外径(直径)；129：开口。

具体实施方式

参照附图，对用于实施本发明的方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的结构要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。

[实施方式1]

根据附图对实施方式1的凸缘机构进行说明。图1是示出具有实施方式1的凸缘机构的切削装置的结构例的立体图。图2是图1所示的切削装置的切削单元的主要部分的立体图。图3是将图2所示的切削单元的凸缘机构分解而示出的立体图。图4是图2所示的切削单元的凸缘机构的剖视图。

实施方式1的凸缘机构1构成图1所示的切削装置100。切削装置100是对被加工物200进行切削的装置。在实施方式1中，切削装置100所切削的被加工物200例如是以硅、蓝宝石、镓等作为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等晶片。被加工物200在平坦的正面201的由呈格子状形成的多条分割预定线202划分的区域形成有器件203。被加工物200在正面201的背面侧的背面204粘贴有粘接带210，在粘接带210的外缘部安装有环状框架211。另外，在本发明中，被加工物200可以是具有多个被树脂密封的器件的矩形状的封装基板、陶瓷板或玻璃板等。

如图1所示，切削装置100具有：卡盘工作台110，其利用保持面111对被加工物200进行吸引保持，并且能够通过旋转驱动源绕轴心旋转；切削单元120，其对卡盘工作台110所保持的被加工物200进行切削加工；未图示的X轴移动单元，其使卡盘工作台110在X轴方向上移动；Y轴移动单元130，其使切削单元120在Y轴方向上移动；以及Z轴移动单元140，其使切削单元120在Z轴方向上移动。另外，切削装置100具有：清洗单元150，其对切削后的被加工物200进行清洗；盒160，其收纳切削前后的被加工物200；未图示的搬送单元，其在盒160、卡盘工作台110以及清洗单元150之间对被加工物进行搬送；以及控制单元170，其是对各结构要素进行控制的计算机。

切削装置100通过搬送单元从盒160内取出一张被加工物200并载置于卡盘工作台110的保持面111上。切削装置100在卡盘工作台110的保持面111上对被加工物200进行吸引保持，一边从切削单元120对被加工物200提供切削水，一边通过X轴移动单元、旋转驱动源、Y轴移动单元130以及Z轴移动单元140使卡盘工作台110和切削单元120沿着分割预定线202相对地移动，从而利用切削单元120对被加工物200的分割预定线202进行切削。当切削装置100对被加工物200的所有分割预定线202进行了切削时，在利用清洗单元150进行清洗之后将被加工物200收纳于盒160内。

如图2所示，切削装置100的切削单元120具有：主轴壳体121，其形成为筒状且设置成通过Y轴移动单元130和Z轴移动单元140在Y轴方向和Z轴方向上移动自如；以及主轴122，其在主轴壳体121内设置成绕与Y轴方向平行的轴心旋转自如。另外，如图3和图4所示，切削单元120具有：轮毂刀具124，其固定于主轴122的前端123；刀具罩125；以及凸缘机构1，其将轮毂刀具124固定于主轴122的前端123。

主轴122以能够旋转的方式支承于主轴壳体121。主轴122的前端123从主轴壳体121的一个端部向外部突出。在主轴122的基端部连结有用于使主轴122旋转的电动机(未图示)。主轴122的前端123按照外径随着朝向前端而慢慢缩小的方式形成为锥状。主轴122在使前端123露出的状态下绕轴心旋转自如地收纳于主轴壳体121内。

轮毂刀具124借助凸缘机构1而固定于主轴122的前端123，通过主轴122进行旋转，从而对被加工物200进行切削。轮毂刀具124具有：圆形基台127，其形成为环状，由铝合金等金属构成且具有插入孔126；以及环状的切刃124-1，其从圆形基台127的外周突出。

插入孔126是用于将轮毂刀具124固定于凸缘机构1的孔。切刃124-1由金刚石、CBN(Cubic Boron Nitride：立方氮化硼)等磨粒和金属、树脂等粘结材料(结合材料)构成，形成为规定的厚度。如图4所示，切刃124-1固定于圆形基台127的平坦的一个侧面127-1的外周缘，从圆形基台127的外缘向外周方向突出。

刀具罩125固定于主轴壳体121，覆盖轮毂刀具124的上方以及X轴方向的至少一侧，在切削加工中将作为加工液的切削水提供至轮毂刀具124和被加工物200。刀具罩125在下端安装有一对切削水喷嘴125-1。切削水喷嘴125-1沿着水平方向在X轴方向上呈直线状延伸，并且相互平行地配置。一对切削水喷嘴125-1将轮毂刀具124的下端部定位在彼此之间，并且在一对切削水喷嘴125-1上设置有多个切削水提供孔(未图示)，该多个切削水提供孔在切削加工中对轮毂刀具124和轮毂刀具124所切削的被加工物200的切削部位提供切削水。

凸缘机构1是将轮毂刀具124固定于主轴122的部件。如图3和图4所示，凸缘机构1具有支承凸缘2和螺母3。

支承凸缘2是金属制的，其固定于主轴122的前端123，并且对轮毂刀具124进行支承。支承凸缘2一体地具有：凸部22，其在作为前端部的一个端部的外周具有外螺纹21；凸缘部23，其从作为凸部22的轴向后端的另一端部向半径方向外侧突出，对圆形基台127的一个侧面127-1进行支承；以及圆筒部24，其形成于作为凸缘部23的后方的主轴壳体121侧。

另外，如图3所示，支承凸缘2在凸缘部23和圆筒部24设置有供主轴122的前端123插入至内侧的插入孔25。插入孔25的内径随着从圆筒部24朝向凸缘部23而慢慢缩小。插入孔25的内周面形成为与前端123的外周面相同的倾斜的锥状，以便在整个长度范围内与插入至插入孔25内的主轴122的前端123的外周面紧密重叠。

凸部22的外观形成为圆柱状且内侧形成为与插入孔25连通的圆筒状。凸部22在靠凸缘部23的另一端部形成有使内径阶段性缩小的阶梯面26。凸部22的外径在轴心方向的整个长度范围内形成为恒定，在远离凸缘部23侧的一个端部的外周面设置有外螺纹21。

凸缘部23形成为圆环状，其外径形成为随着靠近凸部22而慢慢变大。凸缘部23的大直径侧的外径23-1形成为比凸部22的外径大。圆筒部24的外径形成为比凸部22的外径大。凸缘部23在外缘部具有朝向凸部22凸出的凸缘支承部27。凸缘支承部27的端面27-1沿着与凸缘部23即主轴122的轴心垂直的方向平坦地形成。支承凸缘2的凸部22、凸缘部23以及圆筒部24配置成同轴。

通过将主轴122的前端123嵌入至插入孔25内，并将在与阶梯面26重叠的垫圈4内通过的螺栓5拧入至主轴122的前端123，从而将支承凸缘2固定于主轴122的前端123。固定于主轴122的前端123的支承凸缘2通过使凸部22在轮毂刀具124的插入孔126内穿过而在外周面上对轮毂刀具124进行支承。

螺母3是金属制的，形成为圆环状，并且在内周面上形成有内螺纹31，该内螺纹31与设置于支承凸缘2的凸部22的一个端部的外周面的外螺纹21螺合。螺母3的外径大于轮毂刀具124的圆形基台127的内径。使内螺纹31与外螺纹21螺合而使螺母3与支承凸缘2的凸缘部23一起对轮毂刀具124的圆形基台127进行夹持，从而将轮毂刀具124固定于支承凸缘2。

另外，如图5和图6所示，实施方式1的凸缘机构1也能够将垫圈刀具128固定于主轴122的前端123。图5是实施方式1的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。图6是将图5所示的凸缘机构分解而示出的剖视图。

垫圈刀具128在中央具有开口129而具有形成为圆环状的切刃128-1，并且不具有相当于轮毂刀具124的圆形基台127的部件。垫圈刀具128的切刃128-1与轮毂刀具124的切刃124-1同样地由磨粒和粘结材料构成，形成为规定的厚度。

如图5和图6所示，凸缘机构1具有垫圈刀具夹持单元6。垫圈刀具夹持单元6是在使用支承凸缘2和螺母3的状态下用于将垫圈刀具128固定于主轴122的前端123的部件。垫圈刀具夹持单元6具有第1环状部件7和第2环状部件8。

第1环状部件7和第2环状部件8分别形成为圆环状，其外径形成为随着从一个侧面71、81朝向另一侧面72、82而慢慢变大。第1环状部件7和第2环状部件8形成为作为直径的大直径侧的外径7-1、8-1小于作为垫圈刀具128的直径的外径128-5且大于作为凸缘部23的直径的大直径侧的外径23-1。第1环状部件7的外径7-1和第2环状部件8的外径8-1相同。第1环状部件7和第2环状部件8分别具有供凸部22贯穿插入的开口73、83。第1环状部件7和第2环状部件8的中央的开口73、83的内径7-2、8-2形成为与凸部22的外径相等。

垫圈刀具夹持单元6将第1环状部件7和第2环状部件8配置在另一侧面72、82彼此对置的位置，在利用第1环状部件7和第2环状部件8对垫圈刀具128的两个面128-2、128-3进行夹持的状态下，将固定于主轴122的前端123的支承凸缘2的凸部22贯穿插入至第1环状部件7和第2环状部件8这二者的开口73、83内。然后，垫圈刀具夹持单元6利用内螺纹31与形成于凸部22的外周面的外螺纹21螺合的螺母3将第1环状部件7、第2环状部件8以及垫圈刀具128固定于支承凸缘2。

另外，在实施方式1中，第1环状部件7配置在比第2环状部件8靠支承凸缘2的位置，相当于本发明的一个环状部件。另外，第2环状部件8相当于另一个环状部件。

第1环状部件7具有从另一侧面72朝向第2环状部件8凸出的阶梯部74。阶梯部74形成为圆环状，与第1环状部件7的另一侧面72配置成同轴且外周面与主轴122的轴心平行，并且端面74-1与主轴122的轴心垂直。阶梯部74的外径与垫圈刀具128的内径相等。阶梯部74在垫圈刀具128的内侧通过而在外周面上对垫圈刀具128的内周进行支承。

另外，第1环状部件7在作为支承凸缘2侧的面的一个侧面71具有圆形凹部75，该圆形凹部75从一个侧面71呈凹状形成，对支承凸缘2的凸缘部23的凸缘支承部27进行收纳。圆形凹部75的平面形状形成为圆形，与第1环状部件7的一个侧面71配置成同轴。圆形凹部75的内径形成为与凸缘部23的大直径侧的外径23-1相等，在轴心方向上形成为恒定。另外，圆形凹部75的底面75-1在与主轴122的轴心垂直的方向上平坦地形成。

第2环状部件8具有凹部84，该凹部84从另一侧面82呈凹状形成，供阶梯部74嵌合。凹部84的平面形状形成为圆形，与第2环状部件8的另一侧面82配置成同轴。凹部84的内径形成为与阶梯部74的外周面的外径相等，在轴心方向上形成为恒定。另外，凹部84的底面84-1在与主轴122的轴心垂直的方向上平坦地形成。

当利用内螺纹31与形成于凸部22的外周面的外螺纹21螺合的螺母3将第1环状部件7、第2环状部件8以及垫圈刀具128固定于支承凸缘2时，垫圈刀具夹持单元6在阶梯部74的外周面上对垫圈刀具128的开口129的内周进行支承，阶梯部74与凹部84嵌合，并且将凸缘部23的凸缘支承部27收纳在圆形凹部75内。在图6所示的情况下，垫圈刀具夹持单元6使阶梯部74的端面74-1与凹部84的底面84-1紧密重叠，使凸缘支承部27的端面27-1与圆形凹部75的底面75-1紧密重叠。

上述实施方式1的凸缘机构1具有垫圈刀具夹持单元6，该垫圈刀具夹持单元6具有第1环状部件7和第2环状部件8，该第1环状部件7和第2环状部件8在对垫圈刀具128的两个面128-2、128-3进行夹持的状态下将凸部22贯穿插入在开口73、83内。因此，即使凸缘机构1是安装轮毂刀具124的凸缘机构，也能够通过将垫圈刀具夹持单元6夹持在支承凸缘2与螺母3之间而进行安装，由此，除了轮毂刀具124以外，还能够安装垫圈刀具128。

另外，由于实施方式1的凸缘机构1利用支承凸缘2和螺母3将垫圈刀具夹持单元6夹持固定，因此通过在将支承凸缘2固定于主轴122的前端123的状态下进行螺母3的装卸以及轮毂刀具124和夹持着垫圈刀具128的垫圈刀具夹持单元6的更换，能够对垫圈刀具128和轮毂刀具124进行更换。其结果是，实施方式1的凸缘机构1能够尽量避免更换垫圈刀具128和轮毂刀具124时的凸缘机构1的装卸。

另外，在实施方式1的凸缘机构1中，由于第1环状部件7具有对垫圈刀具128的开口129的内周进行支承的阶梯部74，第2环状部件8具有供阶梯部74嵌合的凹部84，因此垫圈刀具夹持单元6能够对垫圈刀具128的开口129的内周进行固定，并且能够将垫圈刀具128夹持在环状部件7、8之间。

另外，由于实施方式1的凸缘机构1在第1环状部件7的一个侧面71具有对支承凸缘2的凸缘部23的凸缘支承部27进行收纳的圆形凹部75，因此能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4(图5所示)接近安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2(图4所示)。其结果是，凸缘机构1能够使用垫圈刀具128按照与使用轮毂刀具124的切削动作同样的动作使切削装置100进行切削。

另外，实施方式1的凸缘机构1在第1环状部件7的一个侧面71具有对支承凸缘2的凸缘部23的凸缘支承部27进行收纳的圆形凹部75，从而能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4接近安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2，因此不用大幅地变更切削水喷嘴125-1的位置便能够对被加工物200实施切削加工。

[变形例]

根据附图，对实施方式1的变形例的凸缘机构进行说明。图7是实施方式1的变形例的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。另外，在图7中，对变形例的与实施方式1相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。

在实施方式1的变形例的凸缘机构1-1中，如图7所示，圆形凹部75的深度等形成为：支承凸缘2的凸缘部23的凸缘支承部27的端面27-1与垫圈刀具128的靠螺母3的面128-3位于同一平面上。因此，实施方式1的变形例的凸缘机构1-1能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4与安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2相等。实施方式1的变形例的凸缘机构1-1将所固定的垫圈刀具128在主轴122的轴向上的位置设定为固定着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1的位置。

实施方式1的变形例的凸缘机构1-1与实施方式1同样地具有垫圈刀具夹持单元6，因此除了轮毂刀具124以外，还能够安装垫圈刀具128，并且能够尽量避免更换垫圈刀具128和轮毂刀具124时的凸缘机构1-1的装卸。

另外，实施方式1的变形例的凸缘机构1-1能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4与安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2相等，因此能够使用垫圈刀具128按照与使用轮毂刀具124的切削动作相同的动作使切削装置100进行切削。

另外，实施方式1的变形例的凸缘机构1能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4与安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2相等，因此不用变更切削水喷嘴125-1的位置便能够进行切削加工。

[实施方式2]

根据附图，对实施方式2的凸缘机构进行说明。图8是实施方式2的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。图9是实施方式2的凸缘机构将其他垫圈刀具固定后的状态的剖视图。另外，在图8和图9中，对实施方式2的与实施方式1相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。另外，图9示出了垫圈刀具夹持单元6对比图8厚的垫圈刀具128进行夹持的状态。

如图8和图9所示，在实施方式2的凸缘机构1-2中，第1环状部件7具有：圆筒状的筒状部76，其供凸部22贯穿插入；以及圆环状的后凸缘部77，其从筒状部76的靠支承凸缘2的后端向半径方向的外侧突出。筒状部76和后凸缘部77彼此配置在同轴上。

另外，在实施方式2中，如图8和图9所示，第2环状部件8使筒状部76在中央的开口83内通过。在实施方式2中，使筒状部76与开口83嵌合，并且使凸部22在筒状部76内通过，从而使垫圈刀具夹持单元6-2在筒状部76的内周被凸部22支承。

另外，如图8和图9所示，实施方式2的凸缘机构1-2在凸部22的靠凸缘部23的端部具有从外周面向外周方向凸出的卡阻防止突起28。卡阻防止突起28在轴心方向的剖面中形成为圆弧状。由于卡阻防止突起28在轴心方向的剖面中形成为圆弧状，所以变成凸部22的直径在轴向上发生变化的形状。卡阻防止突起28抑制与轮毂刀具124的圆形基台127和第1环状部件7的筒状部76接触的接触面积，即使在轴心倾斜的状态下也不与凸部22产生卡阻，能够安装轮毂刀具124和第1环状部件7。

关于实施方式2的凸缘机构1-2，垫圈刀具夹持单元6-2在筒状部76的内周被凸部22支承，筒状部76与第2环状部件8的开口83嵌合，从而将垫圈刀具128夹持在第1环状部件7与第2环状部件8之间而固定。

实施方式2的凸缘机构1-2与实施方式1同样地具有垫圈刀具夹持单元6-2，因此除了轮毂刀具124以外，还能够安装垫圈刀具128，并且能够尽量避免更换垫圈刀具128和轮毂刀具124时的凸缘机构1-2的装卸。

关于实施方式2的凸缘机构1-2，即使凸缘机构1的支承凸缘2的凸部22具有用于防止所安装的轮毂刀具124产生卡阻的形状为直径在轴向上发生变化的卡阻防止突起28，但由于第1环状部件7具有供凸部22通过的筒状部76，并且筒状部76与第2环状部件8的开口83嵌合，所以能够使垫圈刀具夹持单元6-2稳定地固定于凸部22。其结果是，实施方式2的凸缘机构1能够稳定地固定垫圈刀具128。

[变形例]

根据附图，对实施方式2的变形例的凸缘机构进行说明。图10是实施方式2的变形例的凸缘机构将垫圈刀具固定后的状态的剖视图。另外，在图10中，对变形例的与实施方式2相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。

在实施方式2的变形例的凸缘机构1-3中，如图10所示，圆形凹部75的深度等形成为：支承凸缘2的凸缘部23的凸缘支承部27的端面27-1和垫圈刀具128的靠螺母3的面128-3位于同一平面上。因此，实施方式2的变形例的凸缘机构1-3能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4与安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2相等。实施方式2的变形例的凸缘机构1-3将所固定的垫圈刀具128在主轴122的轴向上的位置设定为固定着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1的位置。

实施方式2的变形例的凸缘机构1-3与实施方式1同样地具有垫圈刀具夹持单元6-2，因此除了轮毂刀具124以外，还能够安装垫圈刀具128，并且能够尽量避免更换垫圈刀具128和轮毂刀具124时的凸缘机构1-3的装卸。

另外，实施方式2的变形例的凸缘机构1-3与实施方式1的变形例同样地能够使安装着垫圈刀具128时的切刃128-1距离凸部22的前端的距离128-4与安装着轮毂刀具124时的轮毂刀具124的切刃124-1距离凸部22的前端的距离124-2相等。其结果是，实施方式2的变形例的凸缘机构1-3与实施方式1的变形例同样地能够使用垫圈刀具128按照与使用轮毂刀具124的切削动作相同的动作使切削装置100进行切削，并且不用变更切削水喷嘴125-1的位置便能够进行切削加工。

另外，本发明并不限于上述实施方式和变形例。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。

Claims

1.一种凸缘机构，其能够将轮毂刀具固定于切削装置的主轴，也能够将中央具有开口的环状的垫圈刀具固定于切削装置的主轴，该轮毂刀具具有：圆形基台，其形成为环状，具有插入孔；以及环状的切刃，其从该圆形基台的外周突出，其中，

该凸缘机构具有：

支承凸缘，其具有凸缘部和圆柱状的凸部，该凸部在前端部的外周具有外螺纹，该凸缘部从该凸部的轴向后端向半径方向外侧突出，对该圆形基台的侧面进行支承；

螺母，其与该凸部的该外螺纹螺合，与该凸缘部一起夹持而将该轮毂刀具的该圆形基台固定于该支承凸缘；以及

垫圈刀具夹持单元，其具有直径比该垫圈刀具的直径小且比该凸缘部的直径大的第1环状部件和第2环状部件，并且该第1环状部件和第2环状部件分别具有供该凸部贯穿插入的开口，在利用该第1环状部件和该第2环状部件从两个面夹持着该垫圈刀具的状态下使该凸部贯穿插入于该开口，并利用该螺母固定于该支承凸缘，

在一个该环状部件的该支承凸缘侧的面上具有收纳该支承凸缘的该凸缘部的圆形凹部，从而使固定着该垫圈刀具时的该垫圈刀具的切刃距离该凸部的前端的距离与固定着该轮毂刀具时的该轮毂刀具的环状的切刃距离该凸部的前端的距离相等，将所固定的该垫圈刀具的切刃在轴向上的位置设定为固定着该轮毂刀具时的该轮毂刀具的环状的切刃的位置；或者使固定着该垫圈刀具时的该垫圈刀具的切刃距离该凸部的前端的距离接近固定着该轮毂刀具时的该轮毂刀具的环状的切刃距离该凸部的前端的距离，将所固定的该垫圈刀具的切刃在轴向上的位置设定为接近固定着该轮毂刀具时的该轮毂刀具的环状的切刃的位置。

2.根据权利要求1所述的凸缘机构，其中，

一个该环状部件具有对该垫圈刀具的内周进行支承的阶梯部，另一个该环状部件具有供该阶梯部嵌合的凹部。

3.根据权利要求1或2所述的凸缘机构，其中，

一个该环状部件具有供该凸部贯穿插入的筒状部和从该筒状部的后端向半径方向外侧突出的后凸缘部，另一个该环状部件在中央的开口处与该筒状部嵌合，该垫圈刀具夹持单元在该筒状部的内周被该凸部支承。