JP2021013966A - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021013966A JP2021013966A JP2019128685A JP2019128685A JP2021013966A JP 2021013966 A JP2021013966 A JP 2021013966A JP 2019128685 A JP2019128685 A JP 2019128685A JP 2019128685 A JP2019128685 A JP 2019128685A JP 2021013966 A JP2021013966 A JP 2021013966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting blade
- spindle
- mount
- holding
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 92
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る加工装置100を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る加工装置100の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る加工装置100における切削ユニット20の一部の構成例を示す分解斜視図である。図3は、実施形態1に係る加工装置100の要部を示す断面図である。なお、図1、図2及び図3では、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸によるXYZ直交座標を設定している。このXYZ直交座標において、X軸は、図2及び図3に示す重力方向gである鉛直方向に直交する平面である水平面に含まれる方向に設定されており、Y軸は、+Y方向側が水平面に対して所定の角度θ分だけ鉛直方向下側に向けて傾斜して設定されており、これに伴い、Z軸は、鉛直方向に対して所定の角度θ分だけ傾斜して設定されている。また、図3は、被加工物200に貼着された粘着テープ210及び装着された環状フレーム211を省略している。
本発明の実施形態2に係る加工装置100−2を図面に基づいて説明する。図4は、実施形態2に係る加工装置100−2の要部を示す断面図である。図4は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。図4は、図3と同様に、被加工物200に貼着された粘着テープ210及び装着された環状フレーム211を省略している。
本発明の実施形態1及び実施形態2の変形例に係る加工装置100,100−2を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態1及び実施形態2の変形例に係る加工装置100,100−2における切削ユニット40の一部の構成例を示す分解斜視図である。図5は、実施形態1及び実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
11 保持面
12,12−2 吸着部
13 枠体
20,40 切削ユニット
21 スピンドルハウジング
22 スピンドル
23,43 マウント
23−1,43−1 ボス部
23−2,43−2 フランジ部
23−3,43−3 円筒部
23−4,43−4 装着穴
24,44 切削ブレード
24−1 基台
24−2 切り刃
24−3,44−3 挿入穴
33−1,53 支持面
33−2 環状凹部
34,54 裏面
100,100−2 加工装置
Claims (1)
- 加工装置であって、
被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、
スピンドルの先端に固定され切削ブレードを保持するマウントと、を備え、
該マウントは、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、切削ブレードを支持する支持面と、を含み、
該切削ブレードは、該ボス部に挿入される挿入穴を中央に有し、
該スピンドルの回転軸と該保持テーブルの該保持面は同じ方向に同じ角度分傾斜しており、傾斜は該スピンドルの先端が後方より高くなる仰角に形成され、該切削ブレードが自重により該マウントに保持されることを特徴とする、加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128685A JP7300912B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019128685A JP7300912B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021013966A true JP2021013966A (ja) | 2021-02-12 |
JP7300912B2 JP7300912B2 (ja) | 2023-06-30 |
Family
ID=74532034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019128685A Active JP7300912B2 (ja) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7300912B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013233613A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Disco Corp | 環状ブレードの装着方法 |
JP2017192998A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社ディスコ | フランジ機構 |
-
2019
- 2019-07-10 JP JP2019128685A patent/JP7300912B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013233613A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Disco Corp | 環状ブレードの装着方法 |
JP2017192998A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社ディスコ | フランジ機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7300912B2 (ja) | 2023-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20160088805A (ko) | 마운트 플랜지 | |
JP7019241B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
JP5717571B2 (ja) | 切削装置 | |
JP7045841B2 (ja) | 切削装置 | |
US10569442B2 (en) | Cutting blade mounting mechanism | |
KR20170008672A (ko) | 드레서 툴 및 이 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법 | |
JP6678468B2 (ja) | ノズル調整治具 | |
JP2021013966A (ja) | 加工装置 | |
KR102560286B1 (ko) | 플랜지 기구 | |
JP5081600B2 (ja) | 修正器具 | |
KR20210126496A (ko) | SiC 기판의 절삭 방법 | |
JP2022077171A (ja) | 加工装置 | |
JP2012187693A (ja) | ドレス材及びドレッシング方法 | |
JP7018724B2 (ja) | 切削ブレード及び切削ブレードの装着機構 | |
JP2021013967A (ja) | 切削ブレードの固定方法、マウント及び切削ブレード | |
JP2022041697A (ja) | 切削装置及び被加工物の切削方法 | |
JP7454920B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5448613B2 (ja) | 切削ブレードのドレッシング方法 | |
JP2022178898A (ja) | 切削装置及び治具 | |
JP7383333B2 (ja) | 基台付きブレード | |
JP6877821B2 (ja) | 切削装置及びエアー遮断部材 | |
JP2024000869A (ja) | 加工装置 | |
JP2020199593A (ja) | フランジ機構 | |
JP2020199592A (ja) | フランジ機構 | |
JP2023031680A (ja) | 切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230620 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7300912 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |