JP2022178898A

JP2022178898A - 切削装置及び治具

Info

Publication number: JP2022178898A
Application number: JP2021086010A
Authority: JP
Inventors: 晋作高田; Shinsaku Takada
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-05-21
Filing date: 2021-05-21
Publication date: 2022-12-02

Abstract

【課題】アンバランス検出器の回転角度センサーを簡単に検出位置に配置できる切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物の切削加工に用いられる切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、環状の切削ブレードを固定できるマウントが先端部に取り付けられたスピンドルと、マウントに固定された状態の切削ブレードの一部を覆うブレードカバーと、スピンドルの回転軸と、切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器と、を備え、アンバランス検出器は、スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出する回転角度センサーを含み、回転角度センサーは、ブレードカバーに取り付けられることでスピンドルの回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に配置される。
【選択図】図８

Description

本発明は、被加工物の切削加工に用いられる切削装置及びこの切削装置で使用される治具に関する。

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面側を分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

ウェーハに代表される板状の被加工物をデバイスチップ等の小片へと分割する際には、例えば、切削ブレードと呼ばれる環状の砥石（加工用の工具）をスピンドルに装着した切削装置が使用される。切削ブレードを高速に回転させて、純水等の液体を供給しながら分割予定ラインに沿って被加工物に切削ブレードを切り込ませることで、この被加工物を切削加工して複数の小片へと分割できる（例えば、特許文献１参照）。

ところで、板状の被加工物を切削加工する際に用いられる上述の切削装置では、一般的に、スピンドルに固定されたブレードマウントが備える円柱状のボス部を切削ブレードの中央の穴に挿入することで、スピンドルに切削ブレードが装着される。そのため、切削ブレードの穴に対してボス部を挿入できるように、切削ブレードの穴の直径は、ボス部の直径よりも僅かに大きくなっている。

一方で、このような切削ブレードの穴にブレードマウントのボス部が挿入されると、切削ブレードとボス部との間に僅かな隙間ができる。これにより、切削ブレードの重心がスピンドルの回転軸（軸心）から僅かにずれて、スピンドルを高速に回転させる際に切削ブレードに振動が生じてしまうことがある。切削ブレードが振動すると、例えば、被加工物のチッピング等の不良も発生し易くなる。

この問題を解消するために、例えば、スピンドルの回転軸と、切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出できるアンバランス検出器を備えた切削装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。アンバランス検出器の検出結果に基づき各部の重量のバランスを調整することで、切削ブレードの振動を低減し、切削加工にかかる不良の発生を抑制できる。

特開平３－１９８３６３号公報特開２００１－１２９７４３号公報

上述のアンバランス検出器は、代表的には、スピンドルや切削ブレードの振動を検出する振動センサーと、スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出する回転角度センサーと、を含む。振動センサーは、例えば、スピンドルを収容するハウジング（スピンドルハウジング）の下部に取り付けられる。

一方で、回転角度センサーは、例えば、被加工物を保持するチャックテーブルの上面に対して任意の治具で取り付けられ、スピンドルの角度の変化を検出できる検出位置（代表的には、切削ブレードの正面側の位置）に回転角度センサーが配置されるように、オペレーターがチャックテーブルの位置を調整する。しかしながら、このような作業は煩雑であり、回転角度センサーをより簡単に検出位置に配置したいという要望があった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、アンバランス検出器の回転角度センサーを簡単に検出位置に配置できる切削装置、及び、アンバランス検出器の回転角度センサーを簡単に検出位置に配置できる治具を提供することである。

本発明の一側面によれば、被加工物の切削加工に用いられる切削装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、環状の切削ブレードを固定できるマウントが先端部に取り付けられたスピンドルと、該マウントに固定された状態の該切削ブレードの一部を覆うブレードカバーと、該スピンドルの回転軸と、該切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器と、を備え、該アンバランス検出器は、該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出する回転角度センサーを含み、該回転角度センサーは、該ブレードカバーに取り付けられることで該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に配置される切削装置が提供される。

本発明の別の一側面によれば、切削装置が備えるスピンドルの回転軸と、該スピンドルの先端部に取り付けられたマウントに固定される環状の切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器の回転角度センサーを所定の位置に配置する際に用いられる治具であって、該マウントに固定された状態の該切削ブレードの一部を覆うブレードカバーに取り付けられる基部と、該回転角度センサーを保持する保持部と、該基部が該ブレードカバーに取り付けられた状態で、該保持部が該切削ブレードの径方向において該切削ブレードよりも外側に配置されるように該基部と該保持部とを接続する接続部と、を備え、該ブレードカバーに該基部が取り付けられることで、該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に該回転角度センサーが配置される治具が提供される。

好ましくは、該検出位置は、該切削ブレードを該マウントに固定する固定ナットの外周面に対峙する位置、該マウントとの間に該切削ブレードを挟み込む固定フランジの外周面に対峙する位置、又は該切削ブレードの外周面に対峙する位置である。

また、好ましくは、該接続部は、該保持部に保持された該回転角度センサーの位置を、該スピンドルの回転軸に平行な方向において調整できるように、該基部に対して該保持部を回転できる状態で接続する。

本発明の一側面にかかる切削装置及び別の一側面にかかる治具によれば、スピンドルや切削ブレードとの位置の関係が殆ど変化しないブレードカバーにアンバランス検出器の回転角度センサーが取り付けられる。そのため、スピンドルや切削ブレードとの位置の関係が変化するチャックテーブルやその他の構造物に対して回転角度センサーを取り付ける場合のような煩雑な調整の作業が不要になる。よって、アンバランス検出器の回転角度センサーを簡単に検出位置に配置できる。

図１は、切削装置の構造を模式的に示す斜視図である。図２は、切削ユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。図３は、ブレードカバーの構造を模式的に示す側面図である。図４は、ブレードカバーの構造を模式的に示す斜視図である。図５は、治具の構造を模式的に示す斜視図である。図６は、ブレードカバーの一部の部品が取り外される様子を模式的に示す斜視図である。図７は、ブレードカバーに治具が取り付けられる様子を模式的に示す斜視図である。図８は、回転角度センサーが検出位置に配置された状態を示す側面図である。図９は、回転角度センサーが検出位置に配置された状態を示す背面図である。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかる切削装置２の構造を模式的に示す斜視図である。なお、以下の説明で用いられるＸ軸方向（加工送り方向、前後方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）、及びＺ軸方向（切込み送り方向、上下方向）は、互いに垂直であり、ｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向は、互いに垂直である。

図１に示すように、切削装置２は、種々の構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の上面の角部には、開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセットテーブル６が配置されている。カセットテーブル６の上面には、板状の被加工物１１を収容できるカセット８が載せられる。図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみが示されている。

被加工物１１は、代表的には、シリコン（Ｓｉ）等の半導体でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面（図１では、上面）側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）で複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面（図１では下面）側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。また、テープ１３の外周部分には、環状のフレーム１５が被加工物１１を囲むように固定されている。このように、被加工物１１は、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態でカセット８に収容される。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。

カセットテーブル６の側方には、Ｘ軸方向に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）１０が配置されている。このＸ軸移動機構１０は、ボールねじに連結されるモーター等の回転駆動源（不図示）と、Ｘ軸移動テーブル（不図示）と、を含んでおり、このＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に沿って移動させる。

Ｘ軸移動テーブルの上方は、テーブルカバー１０ａによって覆われている。また、テーブルカバー１０ａの前後には、Ｘ軸移動テーブル（テーブルカバー１０ａ）の移動に応じて伸縮できる蛇腹状の防塵防滴カバー１０ｂが取り付けられている。このＸ軸移動テーブルの上部には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１２が、テーブルカバー１０ａから露出する態様で配置されている。

チャックテーブル１２は、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向に対して概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１２は、上述したＸ軸移動機構１０によって、Ｘ軸移動テーブルとともにＸ軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル１２は、例えば、ステンレス鋼に代表される金属で形成された円盤状の枠体を含む。枠体の上面側には、平面視で円形状の凹部が形成されている。この凹部には、凹部の形状に対応した円盤状の保持板が嵌め込まれている。また、枠体の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１５を固定するための４個のクランプ１４が配置されている。

保持板は、例えば、セラミックス等の材料を用いて多孔質状に形成され、その上面が、被加工物１１を保持する保持面１２ａとして機能する。なお、保持面１２ａは、保持板が凹部に嵌め込まれた状態で、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行になるように形成されている。

凹部の底には、流路（不図示）やバルブ（不図示）等を介して吸引源（不図示）が接続されている。そのため、バルブを開けば、流路等を通じて吸引源の負圧が保持面１２ａに作用する。吸引源としては、例えば、エアーの供給源とエジェクタとを組み合わせた真空ポンプ等を用いることができる。ただし、ロータリーポンプ等を吸引源としても良い。

開口４ｂの上方には、上述した被加工物１１（フレーム１５）をチャックテーブル１２等へと搬送するための搬送ユニット（不図示）が配置されている。搬送ユニットで搬送された被加工物１１は、例えば、表面側が上方に露出するようにチャックテーブル１２の保持面１２ａに載せられる。

開口４ｂに隣接する位置には、片持ち梁状の支持構造１６が配置されている。支持構造１６の上部には、Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）１８が設けられている。Ｙ軸Ｚ軸移動機構１８は、支持構造１６の正面（表面）に配置されＹ軸方向に対して概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール２０を備えている。

Ｙ軸ガイドレール２０には、Ｙ軸Ｚ軸移動機構１８を構成するＹ軸移動プレート２２がスライドできる態様で取り付けられている。Ｙ軸移動プレート２２の背面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２０に対して概ね平行なねじ軸２４が、回転できる態様で連結されている。

ねじ軸２４の一端部には、モーター等の回転駆動源（不図示）が接続されている。回転駆動源によってねじ軸２４を回転させることで、Ｙ軸移動プレート２２はＹ軸ガイドレール２０に沿って移動する。Ｙ軸移動プレート２２の正面（表面）には、Ｚ軸方向に対して概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール２６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２６には、Ｚ軸移動プレート２８がスライドできる態様で取り付けられている。

Ｚ軸移動プレート２８の背面側（裏面側）には、ボールねじを構成するナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２６に対して概ね平行なねじ軸３０が、回転できる態様で連結されている。ねじ軸３０の一端部には、モーター等の回転駆動源３２が接続されている。回転駆動源３２によってねじ軸３０を回転させることで、Ｚ軸移動プレート２８はＺ軸ガイドレール２６に沿って移動する。

Ｚ軸移動プレート２８の下部には、切削ユニット３４と撮像ユニット（カメラ）３６とが固定されている。よって、Ｙ軸移動プレート２２をＹ軸ガイドレール２０に沿って移動させれば、切削ユニット３４及び撮像ユニット３６は、Ｙ軸方向に沿って移動し（割り出し送り）、Ｚ軸移動プレート２８をＺ軸ガイドレール２６に沿って移動させれば、切削ユニット３４及び撮像ユニット３６は、Ｚ軸方向に沿って移動する（切り込み送り）。

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削加工後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット３８が配置されている。Ｘ軸移動機構１０、搬送ユニット、Ｙ軸Ｚ軸移動機構１８、切削ユニット３４、撮像ユニット３６、洗浄ユニット３８等の構成要素には、制御ユニット（不図示）が接続されており、各構成要素の動作は、この制御ユニットによって制御される。

制御ユニットは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成される。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニットの機能が実現される。ただし、制御ユニットは、ハードウェアのみによって実現されても良い。

図２は、切削ユニット３４の構造を模式的に示す分解斜視図である。切削ユニット３４は、筒状のハウジング（スピンドルハウジング）４０を備えている。ハウジング４０には、回転軸（軸心）がＹ軸方向に対して概ね平行になるようにスピンドル４２が収容されている。スピンドル４２の先端部（一端側）は、ハウジング４０の外部に露出している。スピンドル４２の先端部の先端面には、ねじ穴４２ａが設けられている。また、スピンドル４２の基端部（他端側）には、モーター等の回転駆動源（不図示）が接続されている。

このスピンドル４２の先端部には、マウント（ブレードマウント）４４を介して環状の切削ブレード４６が固定される。マウント４４は、切削ブレード４６を支持する円盤状のフランジ部４８と、フランジ部４８の円形の表面（一方の面）４８ａの中央部から突出する円柱状のボス部５０と、を含む。

このマウント４４には、フランジ部４８の中央部を表面４８ａ側から裏面（他方の面）４８ｂ側に貫通するとともに、ボス部５０の中央部を先端５０ａ側から基端側（フランジ部４８側）に貫通する穴４４ａが形成されている。フランジ部４８の裏面４８ｂ側からスピンドル４２の先端部が穴４４ａに挿入されることで、マウント４４は、フランジ部４８の裏面４８ｂ側からスピンドル４２に取り付けられる。

穴４４ａの内側には、ねじ５２の頭を受ける環状の受け部が設けられている。よって、ボス部５０の先端５０ａ側から穴４４ａにねじ５２を挿入し、この穴４４ａを介してスピンドル４２のねじ穴４２ａにねじ５２を締め込めば、マウント４４は、スピンドル４２の先端部に固定される。

フランジ部４８の表面４８ａ側の外周部には、表面４８ａに対して垂直な方向に僅かに突出する環状の凸部４８ｃが設けられている。凸部４８ｃの先端面４８ｄは、概ね平坦に形成されている。ボス部５０の外周面５０ｂの先端５０ａ側の領域には、ねじ山が設けられている。

切削ブレード４６は、例えば、アルミニウムに代表される金属等でなる円錐台状の基台５４と、基台５４の外周縁に沿って設けられた環状の切刃５６と、を一体に備えた、いわゆるハブタイプの切削ブレードである。切削ブレード４６の中央部（基台５４の中央部）には、切削ブレード４６（基台５４）を厚さの方向に貫通する穴４６ａが設けられている。マウント４４に対して切削ブレード４６を装着する際には、この穴４６ａにボス部５０が挿入される。穴４６ａの直径は、ボス部５０の直径よりも僅かに大きくなっている。

基台５４は、円錐台の側面に相当する湾曲面（第１面）５４ａと、円錐台の底面に相当し、湾曲面５４ａの概ね反対側に位置する平坦面（第２面）（不図示）と、を有する。マウント４４に対して切削ブレード４６を取り付ける際には、基台５４の平坦面がフランジ部４８の先端面４８ｄに接触するように、穴４６ａにボス部５０を挿入させる。切刃５６は、例えば、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケル等の金属を含む結合剤によって固定された構造を有している。

マウント４４に対して切削ブレード４６を固定する際には、切削ブレード４６の穴４６ａにボス部５０が挿入された状態で、固定ナット５８に設けられている円形の穴５８ａにボス部５０を挿入させる。なお、穴５８ａの内周面には、ボス部５０のねじ山に対応するねじ山が設けられている。

そして、ボス部５０と固定ナット５８とを相対的に回転させて、固定ナット５８をボス部５０に締め込む。これにより、固定ナット５８が切削ブレード４６の基台５４の湾曲面５４ａ側に接触し、切削ブレード４６は、マウント４４と固定ナット５８とにより挟持される。つまり、切削ブレード４６がマウント４４に固定される。

図１に示すように、マウント４４に固定された状態の切削ブレード４６の周囲には、切削ブレード４６の下端部を除く外周部（つまり、切削ブレード４６の一部）を覆うブレードカバー６０が配置されている。図３は、ブレードカバー６０の構造を模式的に示す側面図であり、図４は、ブレードカバー６０の構造を模式的に示す斜視図である。

ブレードカバー６０は、ハウジング４０に固定された固定部６２と、固定部６２に対して移動可能な可動部６４と、を含む。図４に示すように、固定部６２の切削ブレード４６に対面する内壁面６２ａの下端部には、純水等の液体（切削液）を供給できる供給口６２ｂが設けられている。この供給口６２ｂには、配管（不図示）等を介して液体の供給源が接続され、供給口６２ｂを通じて切削ブレード４６に液体が供給される。

可動部６４は、例えば、エアシリンダ等の移動機構（不図示）を介して固定部６２に連結されており、この移動機構の動力によりＸ軸方向に沿ってスライドする。可動部６４を固定部６２に近付けた状態では、切削ブレード４６の下端部を除く外周部がブレードカバー６０に覆われる。一方で、可動部６４を固定部６２から遠ざけると、切削ブレード４６の交換等の作業が容易になる。

可動部６４は、ハウジング４０側の第１部品６６と、ハウジング４０とは反対側の第２部品６８と、を含む。第１部品６６の下端部には、第１シャワーノズル７０が設けられており、第２部品６８の下端部には、第２シャワーノズル７２が設けられている。切削ブレード４６（切刃５６）の下部は、第１シャワーノズル７０と第２シャワーノズル７２とによって挟まれる。

第１シャワーノズル７０及び第２シャワーノズル７２の基端側には、上述した液体の供給源が配管（不図示）等を介して接続される。第１シャワーノズル７０及び第２シャワーノズル７２の切削ブレード４６と対面する位置には、複数のスリット（不図示）が形成されており、これら複数のスリットを通じて切削ブレード４６及び被加工物１１に液体が供給される。

第２部品６８は、固定用のねじ７４によって第１部品６６に固定されている。よって、ねじ７４を緩めて第１部品６６に対する第２部品６８の固定を解除することで、第１部品６６から第２部品６８を取り外すことができるようになる。本実施形態の切削装置２では、このように構成されるブレードカバー６０に対して、スピンドル４２の回転軸と、切削ブレード４６の重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器７６（図８参照）の回転角度センサー７８（図８参照）が取り付けられる。

アンバランス検出器７６は、回転角度センサー７８に加えて、スピンドル４２や切削ブレード４６の振動を検出するための振動センサー（不図示）を備えており、上述した制御ユニットに接続されている。回転角度センサー７８は、代表的には、ハイスピードカメラ等であり、スピンドル４２の回転に伴い繰り返し変化する視野の状態から、スピンドル４２の回転の周期や回転の角度等を検出する。

振動センサーは、例えば、圧電素子等で構成され、ハウジング４０に取り付けられる。このように構成されるアンバランス検出器７６は、回転角度センサー７８で検出されるスピンドル４２の回転の周期や回転の角度等と、振動センサーで検出されるスピンドル４２や切削ブレード４６の振動と、の相関関係から、スピンドル４２の回転軸と、切削ブレード４６の重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出する。

図５は、ブレードカバー６０への回転角度センサー７８の取り付けに使用される治具（取り付け治具）８０の構造を模式的に示す斜視図である。この治具８０は、ブレードカバー６０の可動部６４を構成する第１部品６６から第２部品６８を取り外した状態で、第１部品６６に取り付けて使用される。

図５に示すように、治具８０は、角柱状に形成された基部８２を備えている。基部８２の第１側面には、この基部８２を第１側面から反対側の第２側面に向かう方向（ｙ軸方向）に貫通する長穴８２ａが設けられている。なお、長穴８２ａの基部８２の下面から上面へと向かう方向（ｚ軸方向）に沿った長さは、長穴８２ａの基部８２の背面から正面に向かう方向（ｘ軸方向）に沿った長さよりも長い。

長穴８２ａには、ねじ８４が挿入され、このねじ８４によって、基部８２は、ブレードカバー６０の第１部品６６に取り付けられる。長穴８２ａ中のねじ８４の位置（ｚ軸方向の位置）を変更することで、ブレードカバー６０（第１部品６６）に対する基部８２の位置（Ｚ軸方向の位置）等を調整できる。

基部８２の下面には、接続部８６が設けられている。接続部８６は、基部８２に対して固定された板状の固定部８６ａと、固定部８６ａから背面側に突出する円柱状の軸部８６ｂと、を含む。軸部８６ｂの軸心は、ｘ軸方向に対して概ね平行である。この軸部８６ｂには、回転角度センサー７８を保持できる保持部８８が接続されている。

保持部８８は、板状の軸受部と、軸受部の端に接続された角柱状の把持部と、を持つ第１部材９０を含む。第１部材９０の軸受部には、軸部８６ｂを挿入できる穴９０ａが設けられており、第１部材９０は、軸受部の穴９０ａに軸部８６ｂを挿入されることで、接続部８６に接続される。また、第１部材９０は、軸受部の穴９０ａに軸部８６ｂを挿入された状態で、軸部８６ｂの軸心の周りに回転できる。

第１部材９０の把持部には、この把持部と同様の角柱状に形成された第２部材９２が固定されている。具体的には、第２部材９２には、ねじ９４を挿入できる穴９２ａが設けられており、第２部材９２は、このねじ９４によって第１部材９０に固定される。第１部材９０の把持部の第２部材９２に対面する側面には、回転角度センサー７８の形状に合う溝部９０ｂが形成されている。

また、第２部材９２の第１部材９０の把持部に対面する側面には、回転角度センサー７８の形状に合う溝部９２ｂが形成されている。第１部材９０の溝部９０ｂと第２部材９２の溝部９２ｂとは、互いに向き合うように配置されており、回転角度センサー７８は、溝部９０ｂと溝部９２ｂとによって規定される筒状の空間（隙間）に挿入されることで、保持部８８に保持される。

図６は、ブレードカバー６０に治具８０を取り付けるために、ブレードカバー６０の第２部品６８が取り外される様子を模式的に示す斜視図であり、図７は、ブレードカバー６０に治具８０が取り付けられる様子を模式的に示す斜視図である。上述のように、固定用のねじ７４を緩めて第１部品６６に対する第２部品６８の固定を解除することで、第１部品６６から第２部品６８を取り外すことができる。

図６に示すように、第１部品６６から第２部品６８を取り外すと、第１部品６６の第２部品６８側の側面６６ａに設けられているねじ穴６６ｂが露出する。図７に示すように、このねじ穴６６ｂにねじ８４を挿入して締め込むことで、治具８０の基部８２をブレードカバー６０に取り付けることができる。

治具８０は、例えば、図５のｘ軸方向、ｙ軸方向、及びｚ軸方向が、それぞれ、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向に一致する向きでブレードカバー６０に取り付けられる。これにより、治具８０の保持部８８は、切削ブレード４６の径方向において切削ブレード４６よりも外側に配置される。このように、接続部８６は、基部８２がブレードカバー６０に取り付けられた状態で、保持部８８が切削ブレード４６の径方向において切削ブレード４６よりも外側に配置されるように、基部８２と保持部８８とを接続している。

ブレードカバー６０に対して治具８０を取り付けた後には、この治具８０にアンバランス検出器７６の回転角度センサー７８を保持させることで、スピンドル４２の回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に回転角度センサー７８を配置する。図８は、回転角度センサー７８が検出位置に配置された状態を示す側面図であり、図９は、回転角度センサー７８が検出位置に配置された状態を示す背面図である。

具体的には、まず、保持部８８の溝部９０ｂと溝部９２ｂとにより規定される筒状の空間に回転角度センサー７８を挿入する。なお、溝部９０ｂと溝部９２ｂとによる空間に回転角度センサー７８を挿入した後には、ねじ９４を十分に締め込んで、第１部材９０と第２部材９２との距離を狭めると良い。これにより、第１部材９０と第２部材９２とで回転角度センサー７８を強く把持して確実に保持できる。

保持部８８によって回転角度センサー７８を保持した後には、例えば、保持部８８を接続部８６の軸部８６ｂの周りに回転させて、保持部８８に保持された回転角度センサー７８の位置を、スピンドル４２の回転軸に平行な方向において調整する。このように、接続部８６は、保持部８８に保持された回転角度センサー７８の位置を、スピンドル４２の回転軸に平行な方向において調整できるように、基部８２に対して保持部８８を回転できる状態で接続している。

このような手順により、回転角度センサー７８を簡単に検出位置に配置できる。なお、本実施形態では、図８及び図９に示すように、切削ブレード４６をマウント４４に固定する固定ナット５８の外周面に対峙する位置を、回転角度センサー７８が配置される検出位置としているが、検出位置は、スピンドル４２の回転に伴う角度の変化を適切に検出できる位置であれば良い。例えば、切削ブレード４６（基台５４又は切刃５６）の外周面に対峙する位置を、検出位置としても良い。

以上のように、本実施形態にかかる切削装置２及び治具８０によれば、スピンドル４２や切削ブレード４６との位置の関係が殆ど変化しないブレードカバー６０にアンバランス検出器７６の回転角度センサー７８が取り付けられる。そのため、スピンドル４２や切削ブレード４６との位置の関係が変化するチャックテーブル１２やその他の構造物に対して回転角度センサー７８を取り付ける場合のような煩雑な調整の作業が不要になる。よって、アンバランス検出器７６の回転角度センサー７８を簡単に検出位置に配置できる。

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、治具８０をブレードカバー６０に取り付けてから、保持部８８に回転角度センサー７８を保持させているが、保持部８８に回転角度センサー７８が保持された状態で、治具８０をブレードカバー６０に取り付けても良い。

また、上述した実施形態では、保持部８８を、第１部材９０と第１部材９０とで構成しているが、本発明の保持部は、少なくとも、回転角度センサー７８を保持できるように構成されていれば良い。例えば、保持部を１つの部材だけで構成することもできる。

また、上述した実施形態では、基台５４と、基台５４の外周縁に沿って設けられた環状の切刃５６と、を一体に備えた、いわゆるハブタイプの切削ブレード４６を使用する切削装置２について説明しているが、本発明は、環状の切刃のみで構成される、いわゆるワッシャータイプの切削ブレードを使用する切削装置に対しても同様に適用され得る。

なお、このワッシャータイプの切削ブレードを使用する切削装置では、上述したマウント４４に類似するマウントと、中央部に円形の穴が設けられている円盤状の固定フランジと、で挟み込むように切削ブレードが固定される。この場合には、マウントとの間に切削ブレードを挟み込む固定フランジの外周面に対峙する位置を、回転角度センサー７８が配置される検出位置としても良い。

その他、上述した実施形態や変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２：切削装置
４：基台
４ａ：開口
４ｂ：開口
４ｃ：開口
６：カセットテーブル
８：カセット
１０：Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
１０ａ：テーブルカバー
１０ｂ：防塵防滴カバー
１２：チャックテーブル
１２ａ：保持面
１４：クランプ
１６：支持構造
１８：Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
２０：Ｙ軸ガイドレール
２２：Ｙ軸移動プレート
２４：ねじ軸
２６：Ｚ軸ガイドレール
２８：Ｚ軸移動プレート
３０：ねじ軸
３２：回転駆動源
３４：切削ユニット
３６：撮像ユニット（カメラ）
３８：洗浄ユニット
４０：ハウジング（スピンドルハウジング）
４２：スピンドル
４２ａ：ねじ穴
４４：マウント（ブレードマウント）
４４ａ：穴
４６：切削ブレード
４６ａ：穴
４８：フランジ部
４８ａ：表面（一方の面）
４８ｂ：裏面（他方の面）
４８ｃ：凸部
４８ｄ：先端面
５０：ボス部
５０ａ：先端
５０ｂ：外周面
５２：ねじ
５４：基台
５４ａ：湾曲面（第１面）
５６：切刃
５８：固定ナット
５８ａ：穴
６０：ブレードカバー
６２：固定部
６２ａ：内壁面
６２ｂ：供給口
６４：可動部
６６：第１部品
６６ａ：側面
６６ｂ：ねじ穴
６８：第２部品
７０：第１シャワーノズル
７２：第２シャワーノズル
７４：ねじ
７６：アンバランス検出器
７８：回転角度センサー
８０：治具（取り付け治具）
８２：基部
８２ａ：長穴
８４：ねじ
８６：接続部
８６ａ：固定部
８６ｂ：軸部
８８：保持部
９０：第１部材
９０ａ：穴
９０ｂ：溝部
９２：第２部材
９２ａ：穴
９２ｂ：溝部
９４：ねじ
１１：被加工物
１３：テープ（ダイシングテープ）
１５：フレーム

Claims

被加工物の切削加工に用いられる切削装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
環状の切削ブレードを固定できるマウントが先端部に取り付けられたスピンドルと、
該マウントに固定された状態の該切削ブレードの一部を覆うブレードカバーと、
該スピンドルの回転軸と、該切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器と、を備え、
該アンバランス検出器は、該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出する回転角度センサーを含み、
該回転角度センサーは、該ブレードカバーに取り付けられることで該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に配置される切削装置。
該検出位置は、該切削ブレードを該マウントに固定する固定ナットの外周面に対峙する位置、該マウントとの間に該切削ブレードを挟み込む固定フランジの外周面に対峙する位置、又は該切削ブレードの外周面に対峙する位置である請求項１に記載の切削装置。
切削装置が備えるスピンドルの回転軸と、該スピンドルの先端部に取り付けられたマウントに固定される環状の切削ブレードの重心と、のずれに起因する回転時のアンバランスを検出するアンバランス検出器の回転角度センサーを所定の位置に配置する際に用いられる治具であって、
該マウントに固定された状態の該切削ブレードの一部を覆うブレードカバーに取り付けられる基部と、
該回転角度センサーを保持する保持部と、
該基部が該ブレードカバーに取り付けられた状態で、該保持部が該切削ブレードの径方向において該切削ブレードよりも外側に配置されるように該基部と該保持部とを接続する接続部と、を備え、
該ブレードカバーに該基部が取り付けられることで、該スピンドルの回転に伴う角度の変化を検出できる検出位置に該回転角度センサーが配置される治具。
該検出位置は、該切削ブレードを該マウントに固定する固定ナットの外周面に対峙する位置、該マウントとの間に該切削ブレードを挟み込む固定フランジの外周面に対峙する位置、又は該切削ブレードの外周面に対峙する位置である請求項３に記載の治具。
該接続部は、該保持部に保持された該回転角度センサーの位置を、該スピンドルの回転軸に平行な方向において調整できるように、該基部に対して該保持部を回転できる状態で接続する請求項３又は請求項４に記載の治具。