JP2022190858A - 被加工物の研削方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チャックテーブルの複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行う際に、特定の被加工物が2回研削されることを防止する。【解決手段】平面視において互いに点対称な位置に配置されている第1保持面及び第2保持面を含むチャックテーブルの基準面の中心からみて研削ユニット側に第1保持面を位置付けた状態で第1保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行う。この時、第2保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行わない。そして、チャックテーブルを所定の角度回転させることによって、基準面の中心からみて研削ユニット側に第2保持面が位置付けられた後、第2保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行う。この時、第1保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行わない。【選択図】図3
Description
本発明は、クリープフィード研削によって被加工物を研削する被加工物の研削方法に関する。
IC(Integrated Circuit)及びLSI(Large Scale Integration)等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハを個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
さらに、このウェーハは、チップの小型化及び軽量化等を目的として、その分割前に薄化されることが多い。ウェーハを薄化する方法としては、研削装置による研削が挙げられる。この研削装置は、例えば、ウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に設けられ、かつ、複数の研削砥石が環状に離散して配置された研削ホイールを下端部に着脱可能なスピンドルを有する研削ユニットとを備える。
このような研削装置においては、クリープフィード研削とも呼ばれる研削方法によってウェーハを薄化することがある(例えば、特許文献1参照)。この研削方法においては、まず、チャックテーブルの保持面にウェーハの表面側を保持させる。次いで、チャックテーブルからみて研削ユニットを後方に位置付けた状態で、複数の研削砥石のそれぞれの下面をウェーハの裏面(上面)及び表面(下面)の間の高さに位置付ける。
そして、チャックテーブルと研削ユニットとを前後方向に沿って相対的に移動させながら、回転する研削ホイールの前側に位置する複数の研削砥石をチャックテーブルに保持されたウェーハの上面(裏面)側にその後側から接触させる。これにより、複数の研削砥石でウェーハの上面(裏面)側の後端から前端までが研削される。その結果、ウェーハが所定の仕上げ厚さになるように薄化される。
研削装置は、円盤状のウェーハの薄化のみならず、CSP(Chip Size Package)基板又はQFN(Quad Flat Non-leaded package)基板等の直方体状のパッケージ基板等の被加工物を薄化する際にも用いられる。このような被加工物の研削に用いられる研削装置は、一般的に、それぞれが同じ形状(例えば、矩形)を有し、かつ、互いに平行な複数の保持面が前後方向に並ぶように設けられたチャックテーブルを備える。
そして、この複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行うと、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物から順に研削が行われる。その結果、複数の被加工物のそれぞれが所定の仕上げ厚さになるように薄化される。
ただし、このように複数の被加工物を薄化する場合、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物のみが2回研削されることがある。具体的には、この被加工物は、まず、回転する研削ホイールの前側に位置する複数の研削砥石によって研削され、その後、回転する研削ホイールの後側に位置する複数の研削砥石によって再び研削されることがある。
この場合、研削後の複数の被加工物の厚さにばらつきが生じるおそれがある。また、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物の上面に意図しないソーマークが形成され、この被加工物にスクラッチ又はクラックが生じるおそれもある。
この点に鑑み、本発明の目的は、チャックテーブルの複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行う際に、特定の被加工物が2回研削されることを防止することである。
本発明によれば、基準面と、平面視において該基準面の中心を中心として互いに点対称な位置に配置されている第1保持面及び第2保持面と、を含み、該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれで被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が環状に配置された研削ホイールが先端部に装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに平行な第1方向に沿って相対的に移動させる第1移動機構と、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに垂直な第2方向に沿って相対的に移動させる第2移動機構と、該第2方向に沿い、かつ、該基準面の中心を通る直線を回転軸として該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を備える研削装置を用いて該被加工物を研削する被加工物の研削方法であって、該第1方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが離隔された状態で、該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに該被加工物を保持させる保持ステップと、該保持ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第1保持面を位置付けるとともに、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第2方向における位置を該第1保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第1位置付けステップと、該第1位置付けステップ後、該スピンドルを回転させた状態で、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させ、該第1保持面に保持された該被加工物の該第1方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第2保持面に保持された該被加工物を研削しない第1研削ステップと、該第1研削ステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第2方向に沿って相対的に移動させてから、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させることによって、該第2方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが重畳しなくなるまで該第1方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとを離隔させる離隔ステップと、該離隔ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第2保持面が位置付けられるように該チャックテーブルを所定の角度回転させる回転ステップと、該離隔ステップ後、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第2方向における位置を該第2保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第2位置付けステップと、該回転ステップ及び該第2位置付けステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させ、該第2保持面に保持された該被加工物の該第1方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第1保持面に保持された該被加工物を研削しない第2研削ステップと、を備える被加工物の研削方法が提供される。
本発明においては、まず、平面視において互いに点対称な位置に配置されている第1保持面及び第2保持面を含むチャックテーブルの基準面の中心からみて研削ユニット側に第1保持面を位置付けた状態で第1保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削が行われる。この時、第2保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削は行われない。
そして、チャックテーブルを所定の角度回転させることによって、基準面からみて研削ユニット側に第2保持面が位置付けられた後、第2保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削が行われる。この時、第1保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削は行われない。そのため、本発明においては、第1保持面及び第2保持面のそれぞれに保持された被加工物が2回研削されることを防止できる。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1(A)は、チャックテーブルの一例を模式的に示す上面図であり、図1(B)は、チャックテーブルの一例を模式的に示す側面図である。図1(A)及び図1(B)に示されるチャックテーブル2は、例えば、セラミックス等からなる円盤状の基台部4を有する。
この基台部4は、平坦な上面(基準面)4aを有する。そして、この基準面4aには、基準面4aに平行な第1方向(D1)に沿って並び、かつ、基準面4aに垂直な第2方向(D2)に沿って突出するように直方体状の複数(例えば、4つ)の保持部6,8,10,12が設けられている。
複数の保持部6,8,10,12のそれぞれは、セラミックス等からなる直方体状の枠体6a,8a,10a,12aを有し、各枠体6a,8a,10a,12aの上部には凹部が形成されている。この凹部には、セラミックス等からなる直方体状のポーラス板6b,8b,10b,12bが固定されている。
さらに、ポーラス板6b,8b,10b,12bは、基準面4aに平行な上面を有する。また、基台部4及び複数の保持部6,8,10,12のそれぞれの内部には、ポーラス板6b,8b,10b,12bの下面側をエジェクタ等の吸引源に連通させるための吸引路が設けられている。
そして、この吸引路が吸引源に連通した状態で吸引源が動作すると、ポーラス板6b,8b,10b,12bの上面近傍の空間に負圧が生じる。そのため、複数の保持部6,8,10,12のそれぞれにおいては、その上面6c,8c,10c,12cが被加工物を保持する保持面として機能する。
なお、基台部4の基準面4aは、平面視において保持部6,8,10,12の上面(保持面)6c,8c,10c,12cを囲むように設けられている。また、複数の保持面6c,8c,10c,12cのそれぞれは、基準面4aに平行である。また、複数の保持面6c,8c,10c,12cの基準面4aからの高さは、概ね等しい。
また、複数の保持面6c,8c,10c,12cは、同じ形状を有する。具体的には、複数の保持面6c,8c,10c,12cのそれぞれの形状は、第1方向に沿って延在する一対の短辺と、第1方向及び第2方向に垂直な第3方向(D3)に沿って延在する一対の長辺とを有する矩形状である。
さらに、保持面6c及び保持面12cは、平面視において基準面4aの中心Cを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Cを基準として保持面6c(保持面12c)を180°回転させれば保持面12c(保持面6c)に重なるように、保持面6c及び保持面12cが設けられている。
同様に、保持面8c及び保持面10cは、平面視において基準面4aの中心Cを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Cを基準として保持面8c(保持面10c)を180°回転させれば保持面10c(保持面8c)に重なるように、保持面8c及び保持面10cが設けられている。
図2は、チャックテーブル2を備える研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図1に示されるX軸方向(前後方向)及びY軸方向(左右方向)は、水平面上において互いに垂直な方向であり、また、Z軸方向(上下方向)は、X軸方向及びY軸方向に垂直な方向(鉛直方向)である。
図2に示される研削装置14は、各構成要素を支持又は収容する基台16を備える。基台16の上面側には、直方体状の開口16aが設けられている。そして、開口16aの内側にはX軸移動機構(第1移動機構)18が設けられている。このX軸移動機構18は、後述するようにチャックテーブル2に連結されており、チャックテーブル2をX軸方向に沿って移動させる。
X軸移動機構18は、開口16aの底面に固定され、かつ、X軸方向に沿って延在する一対のガイドレール20を有する。一対のガイドレール20の上面側には、一対のガイドレール20に沿ってスライド可能な態様で移動プレート22が連結されている。
一対のガイドレール20の間には、X軸方向に沿って延在するねじ軸24が配置されている。ねじ軸24の一端(後端)部には、ねじ軸24を回転させるためのモータ26が連結されている。また、ねじ軸24の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸24の表面を転がるボールを収容するナット部28が設けられ、ボールねじが構成されている。
すなわち、ねじ軸24が回転すると、ボールがナット部28内を循環して、ナット部28がX軸方向に沿って移動する。また、ナット部28は、移動プレート22の下面側に固定されている。そのため、モータ26でねじ軸24を回転させれば、ナット部28とともに移動プレート22がX軸方向に沿って移動する。
移動プレート22の上面側には、チャックテーブル2が回転可能な態様でチャックテーブル2を支持する円柱状の支持部材30が設けられている。なお、図2においては、チャックテーブル2の第1方向(D1)、第2方向(D2)及び第3方向(D3)がX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ平行になるように支持部材30に装着されている。
この支持部材30は、Z軸方向に沿って延在する円柱状のスピンドル(不図示)と、このスピンドルを回転させるモータ等の回転駆動源(不図示)とを含む回転機構を有する。このスピンドルの上端部は、チャックテーブル2の下部が取り外し可能に連結されている。そして、この回転駆動源がスピンドルを回転させると、このスピンドルとともにチャックテーブル2が、Z軸方向に沿い、かつ、基準面4aの中心Cを通る直線を回転軸として回転する。
さらに、研削装置14は、吸引源(不図示)を内蔵しており、この吸引源は、バルブ(不図示)等を介して基台部4及び複数の保持部6,8,10,12のそれぞれの内部に設けられた吸引路に連通している。そのため、この吸引源を動作させた状態でバルブを開くことで、複数の保持部6,8,10,12の保持面6c,8c,10c,12cにおいて被加工物を保持することができる。
チャックテーブル2及びX軸移動機構18の後方(図2の紙面右側)には、直方体状の支持構造32が設けられている。そして、支持構造32の表面(前面)側には、Z軸移動機構(第2移動機構)34が設けられている。このZ軸移動機構34は、後述の研削ユニット46に連結されており、研削ユニット46をZ軸方向に沿って移動させる。
Z軸移動機構34は、支持構造32の表面側に固定され、かつ、Z軸方向に沿って延在する一対のガイドレール36を有する。一対のガイドレール36の前面側には、一対のガイドレール36に沿ってスライド可能な態様で移動プレート38が連結されている。
一対のガイドレール36の間には、Z軸方向に沿って延在するねじ軸40が配置されている。ねじ軸40の一端(上端)部には、ねじ軸40を回転させるためのモータ42が連結されている。また、ねじ軸40の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸40の表面を転がるボールを収容するナット部44が設けられ、ボールねじが構成されている。
すなわち、ねじ軸40が回転すると、ボールがナット部44内を循環して、ナット部44がZ軸方向に沿って移動する。また、ナット部44は、移動プレート38の裏面(後面)側に固定されている。そのため、モータ42でねじ軸40を回転させれば、ナット部44とともに移動プレート38がZ軸方向に沿って移動する。
移動プレート38の表面(前面)側には、研削ユニット46が設けられている。研削ユニット46は、移動プレート38の表面側に固定された中空の円柱状の支持部材48を有する。支持部材48には、中空の円柱状のハウジング50が収容されている。ハウジング50は、その下面に設けられた接続部材52を介して、支持部材48の底壁に固定されている。
ハウジング50には、Z軸方向に沿って延在する円柱状のスピンドル54が回転可能な態様で収容されている。このスピンドル54の先端(下端)部は、ハウジング50から露出しており、支持部材48の底壁に設けられた開口を通って支持部材48の底面から下方に突出している。また、スピンドル54の先端部には、金属等からなる円盤状のマウント56が固定されている。
このマウント56の径は、チャックテーブル2の径(基台部4の基準面4aの径)の80%程度である。また、マウント56の下面側には、取り外し可能な態様で環状の研削ホイール58が装着されている。この研削ホイール58は、例えば、アルミニウム又はステンレス等の金属からなる円環状のホイール基台60を有し、このホイール基台60の外径はマウント56の径と概ね等しい。
そして、ホイール基台60の上面側は、ボルト等の固定具によってマウント56の下面側に固定されている。また、ホイール基台60の下面側には、環状に離散して配置された複数の研削砥石62が固定されている。複数の研削砥石62のそれぞれは、例えば、直方体状の形状を有し、ホイール基台60の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。
研削砥石62は、ダイヤモンド又はcBN(cubic Boron Nitride)等からなる砥粒を、メタルボンド、レジンボンド又はビトリファイドボンド等からなる結合材(ボンド材)で固定することによって形成される。ただし、研削砥石62の材質、形状、構造又は大きさ等に制限はない。また、複数の研削砥石62の数は任意に設定される。
また、スピンドル54の基端(上端)部には、スピンドル54を回転させるためのモータ等の回転駆動源(不図示)が連結されている。この回転駆動源がZ軸方向に沿った回転軸でスピンドル54を回転させると、スピンドル54とともにマウント56及び研削ホイール58(ホイール基台60及び複数の研削砥石62)が回転する。
図3は、研削装置14を用いて被加工物を研削する被加工物の研削方法の一例を模式的に示すフローチャートである。この方法においては、まず、チャックテーブル2の複数の保持面6c,8c,10c,12cのそれぞれに被加工物を保持させる(保持ステップ:S1)。図4(A)は、保持ステップ(S1)の様子を模式的に示す側面図である。
この保持ステップ(S1)においては、まず、X軸方向において研削ユニット46から離隔した位置にチャックテーブル2を位置付けるようにX軸移動機構18を動作させる。次いで、複数の被加工物11をチャックテーブル2の複数の保持面6c,8c,10c,12cのそれぞれに搬入する。
なお、被加工物11は、例えば、CSP基板又はQFN基板等の直方体状のパッケージ基板であり、その表面(上面)及び裏面(下面)の形状が複数の保持面6c,8c,10c,12cの形状とほぼ同じである。次いで、バルブ等を介してチャックテーブル2の内部に設けられた吸引路に連通する吸引源を動作させた状態で、このバルブを開く。これにより、保持ステップ(S1)が完了する。
保持ステップ(S1)後、研削ユニット46を所定の位置に位置付ける(第1位置付けステップ:S2)。図4(B)は、第1位置付けステップ(S2)の様子を模式的に示す側面図である。この第1位置付けステップ(S2)においては、複数の研削砥石62のそれぞれの先端面(下面)の高さ(Z軸方向における位置)を保持面6c,8cに保持された被加工物11の表面(上面)と裏面(下面)との間に位置付けるように、Z軸移動機構34が研削ユニット46の位置を調整する。
第1位置付けステップ(S2)後、所定の保持面(保持面6c,8c)に保持された被加工物11に対するクリープフィード研削を行う(第1研削ステップ:S3)。図4(C)は、第1研削ステップ(S3)の様子を模式的に示す側面図である。
この第1研削ステップ(S3)においては、まず、スピンドル54とともに研削ホイール58を回転させるように、スピンドル54の基端部に連結されている回転駆動源を動作させる。次いで、研削ホイール58を回転させたまま、チャックテーブル2をX軸方向に沿って後方に移動させるように、X軸移動機構18を動作させる。
この時、X軸移動機構18は、保持面6c,8cに保持された被加工物11の上面側のX軸方向における一端から他端までが研削ホイール58の前側に位置する複数の研削砥石62によって研削されるようにチャックテーブル2を移動させる。そして、X軸移動機構18は、研削ホイール58の前側に位置する複数の研削砥石62を保持面10c,12cに保持された被加工物11に接触させないようにチャックテーブル2を停止させる。
なお、このように保持面6c,8cに保持された被加工物11を研削し、かつ、保持面10c,12cに保持された被加工物11を研削しないために、第1研削ステップ(S3)に先立って保持面6c,8cを基準面4aの中心Cからみて研削ユニット46側(チャックテーブル2の後側)に位置付ける必要がある。
ここでは、保持面6c,8cが予め基準面4aの中心Cからみて研削ユニット46側(チャックテーブル2の後側)に位置付けられているため、第1研削ステップ(S3)に先立ってチャックテーブル2の位置を調整する必要がない。ただし、保持面6c,8cがチャックテーブル2の前側に位置付けられているような場合には、第1位置付けステップ(S2)において、保持面6c,8cが後側に位置付けられるように回転機構がチャックテーブル2の位置を調整する。
第1研削ステップ(S3)後、チャックテーブル2と研削ユニット46とを離隔させる(離隔ステップ:S4)。図5(A)は、第1研削ステップ(S3)の様子を模式的に示す側面図である。この離隔ステップ(S4)においては、研削ユニット46を上昇させるようにZ軸移動機構34を動作させてから、チャックテーブル2を前方に移動させるようにX軸移動機構18を動作させる。これにより、チャックテーブル2と研削ユニット46とは、Z軸方向においてチャックテーブル2と研削ユニット46とが重畳しなくなるまでX軸方向において離隔する。
離隔ステップ(S4)後、チャックテーブル2を所定の角度回転させ(回転ステップ:S5)、研削ユニット46を所定の位置に位置付ける(第2位置付けステップ:S6)。なお、回転ステップ(S5)及び第2位置付けステップ(S6)の順序は限定されない。図5(B)は、回転ステップ(S5)及び第2位置付けステップ(S6)の様子を模式的に示す側面図である。
この回転ステップ(S5)においては、基準面4aの中心Cからみて研削ユニット46側に保持面10c,12cが位置付けられるように、チャックテーブル2に連結されている回転機構を動作させる。具体的には、Z軸方向に沿い、かつ、基準面4aの中心Cを通る直線を回転軸として、この回転機構がチャックテーブル2を180°回転させる。
また、この第2位置付けステップ(S6)においては、複数の研削砥石62のそれぞれの先端面(下面)の高さ(Z軸方向における位置)を保持面10c,12cに保持された被加工物11の表面(上面)と裏面(下面)との間に位置付けられるように、Z軸移動機構34が研削ユニット46の位置を調整する。
回転ステップ(S5)及び第2位置付けステップ(S6)後、別の保持面(保持面10c,12c)に保持された被加工物11に対するクリープフィード研削を行う(第2研削ステップ:S7)。図5(C)は、第2研削ステップ(S7)の様子を模式的に示す側面図である。
この第2研削ステップ(S7)においては、まず、スピンドル54とともに研削ホイール58を回転させるように、スピンドル54の基端部に連結されている回転駆動源を動作させる。次いで、研削ホイール58を回転させたまま、チャックテーブル2をX軸方向に沿って後方に移動させるように、X軸移動機構18を動作させる。
この時、X軸移動機構18は、保持面10c,12cに保持された被加工物11の上面側のX軸方向における一端から他端までが研削ホイール58の前側に位置する複数の研削砥石62によって研削されるようにチャックテーブル2を移動させる。そして、X軸移動機構18は、研削ホイール58の前側に位置する複数の研削砥石62を保持面6c,8cに保持された被加工物11に接触させないようにチャックテーブル2を停止させる。
図3に示される被加工物の研削方法においては、まず、平面視において互いに点対称な保持面6c,8c及び保持面10c,12cを含むチャックテーブル2の基準面4aからみて研削ユニット46側に保持面6c,8cを位置付けた状態で保持面6c,8cに保持された被加工物11に対するクリープフィード研削が行われる。この時、保持面10c,12cに保持された被加工物11に対するクリープフィード研削は行われない。
そして、チャックテーブル2を180°回転させることによって、基準面4aからみて研削ユニット46側に保持面10c,12cが位置付けられた後、保持面10c,12cに保持された被加工物11に対するクリープフィード研削が行われる。この時、保持面6c,8cに保持された被加工物11に対するクリープフィード研削は行われない。そのため、図3に示される被加工物の研削方法においては、保持面6c,8c及び保持面10c,12cのそれぞれに保持された被加工物11が2回研削されることを防止できる。
なお、上述した内容は本発明の一態様であって、本発明の内容は、上述した内容に限定されない。例えば、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、複数の保持面の形状は、矩形に限定されず、角が3つ若しくは5つ以上存在する多角形、円形又は楕円形であってもよい。
また、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、基台部4が直方体状又は楕円板状であってもよい。また、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、複数の保持面が互いに点対称な複数の保持面が設けられていればよく、複数の保持面の配置は図1に示される複数の保持面6c,8c,10c,12cの配置に限定されない。
図6(A)は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す上面図であり、図6(B)は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す側面図である。図6(A)及び図6(B)に示されるチャックテーブル64は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料からなる円盤状の基台部66を有する。
この基台部66は、平坦な上面(基準面)66aを有する。そして、この基準面66aには、基準面66aに垂直な第2方向(D2)に沿って突出するように直方体状の複数(例えば、4つ)の保持部68,70,72,74が設けられている。
複数の保持部68,70,72,74のそれぞれは、ステンレス鋼等の金属材料からなる直方体状の枠体68a,70a,72a,74aを有し、各枠体68a,70a,72a,74aの上部には凹部が形成されている。この凹部には、セラミックス等からなる直方体状のポーラス板68b,70b,72b,74bが固定されている。
さらに、ポーラス板68b,70b,72b,74bは、基準面66aに平行な上面を有する。また、基台部66及び複数の保持部68,70,72,74のそれぞれの内部には、ポーラス板68b,70b,72b,74bの下面側をエジェクタ等の吸引源に連通させるための吸引路が設けられている。
そして、この吸引路が吸引源に連通した状態で吸引源が動作すると、ポーラス板68b,70b,72b,74bの上面近傍の空間に負圧が生じる。そのため、複数の保持部68,70,72,74のそれぞれにおいては、その上面68c,70c,72c,74cが被加工物を保持する保持面として機能する。
なお、基台部66の基準面66aは、平面視において保持部68,70,72,74の上面(保持面)68c,70c,72c,74cを囲むように設けられている。また、複数の保持面68c,70c,72c,74cのそれぞれは、基準面66aに平行である。また、複数の保持面68c,70c,72c,74cの基準面66aからの高さは、概ね等しい。
さらに、複数の保持面68c,70c,72c,74cは、同じ形状を有し、かつ、平面視において基準面66aの中心Cを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Cを基準として保持面68cを90°回転させれば保持面70cに重なり、180°回転させれば保持面72cに重なり、270°回転させれば保持面74cと重なるように、複数の保持面68c,70c,72c,74cが設けられている。
そして、チャックテーブル64の複数の保持面68c,70c,72c,74cのそれぞれに保持された被加工物を研削する際には、例えば、上述の保持ステップ(S1)及び第1位置付けステップ(S2)を実施した後、上述の回転ステップ(S4)におけるチャックテーブル2の回転角度を90°にして、上述の離隔ステップ(S3)~第2研削ステップ(S7)を3回繰り返せばよい。
このように複数の保持面68c,70c,72c,74cのそれぞれに保持された被加工物を研削する場合、上述のとおり、被加工物が2回研削されることを防止できる。さらに、この場合には、同じタイミングで複数の被加工物が研削されることがない。そのため、比較的短い径を有する研削ホイール58(例えば、径がチャックテーブル2の径の60%以下の研削ホイール58)を用いる場合であっても、複数の保持面68c,70c,72c,74cのそれぞれに保持された被加工物が2回研削されることを防止できる。
また、本発明において用いられる研削装置においては、X軸移動機構18が研削ユニット46をX軸方向に沿って移動させるX軸移動機構に置換されてもよい。すなわち、本発明において用いられる研削装置においては、チャックテーブル2と、研削ユニット46とがX軸方向に沿って相対的に移動できればよく、そのための構成要素は限定されない。
同様に、本発明において用いられる研削装置においては、Z軸移動機構34がチャックテーブル2をZ軸方向に沿って移動させるZ軸移動機構に置換されてもよい。すなわち、本発明において用いられる研削装置においては、チャックテーブル2と、研削ユニット46とがZ軸方向に沿って相対的に移動できればよく、そのための構成要素は限定されない。
その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 :チャックテーブル
4 :基台部(4a:上面(基準面))
6 :保持部(6a:枠体、6b:ポーラス板、6c:上面(保持面))
8 :保持部(8a:枠体、8b:ポーラス板、8c:上面(保持面))
10 :保持部(10a:枠体、10b:ポーラス板、10c:上面(保持面))
12 :保持部(12a:枠体、12b:ポーラス板、12c:上面(保持面))
14 :研削装置
16 :基台(16a:開口)
18 :X軸移動機構(第1移動機構)
20 :ガイドレール
22 :移動プレート
24 :ねじ軸
26 :モータ
28 :ナット部
30 :支持部材
32 :支持構造
34 :Z軸移動機構(第2移動機構)
36 :ガイドレール
38 :移動プレート
40 :ねじ軸
42 :モータ
44 :ナット部
46 :研削ユニット
48 :支持部材
50 :ハウジング
52 :接続部材
54 :スピンドル
56 :マウント
58 :研削ホイール
60 :ホイール基台
62 :研削砥石
64 :チャックテーブル
66 :基台部(66a:上面(基準面))
68 :保持部(68a:枠体、68b:ポーラス板、68c:上面(保持面))
70 :保持部(70a:枠体、70b:ポーラス板、70c:上面(保持面))
72 :保持部(72a:枠体、72b:ポーラス板、72c:上面(保持面))
74 :保持部(74a:枠体、74b:ポーラス板、74c:上面(保持面))
4 :基台部(4a:上面(基準面))
6 :保持部(6a:枠体、6b:ポーラス板、6c:上面(保持面))
8 :保持部(8a:枠体、8b:ポーラス板、8c:上面(保持面))
10 :保持部(10a:枠体、10b:ポーラス板、10c:上面(保持面))
12 :保持部(12a:枠体、12b:ポーラス板、12c:上面(保持面))
14 :研削装置
16 :基台(16a:開口)
18 :X軸移動機構(第1移動機構)
20 :ガイドレール
22 :移動プレート
24 :ねじ軸
26 :モータ
28 :ナット部
30 :支持部材
32 :支持構造
34 :Z軸移動機構(第2移動機構)
36 :ガイドレール
38 :移動プレート
40 :ねじ軸
42 :モータ
44 :ナット部
46 :研削ユニット
48 :支持部材
50 :ハウジング
52 :接続部材
54 :スピンドル
56 :マウント
58 :研削ホイール
60 :ホイール基台
62 :研削砥石
64 :チャックテーブル
66 :基台部(66a:上面(基準面))
68 :保持部(68a:枠体、68b:ポーラス板、68c:上面(保持面))
70 :保持部(70a:枠体、70b:ポーラス板、70c:上面(保持面))
72 :保持部(72a:枠体、72b:ポーラス板、72c:上面(保持面))
74 :保持部(74a:枠体、74b:ポーラス板、74c:上面(保持面))
Claims (1)
- 基準面と、平面視において該基準面の中心を中心として互いに点対称な位置に配置されている第1保持面及び第2保持面と、を含み、該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれで被加工物を保持するチャックテーブルと、
複数の研削砥石が環状に配置された研削ホイールが先端部に装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、
該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに平行な第1方向に沿って相対的に移動させる第1移動機構と、
該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに垂直な第2方向に沿って相対的に移動させる第2移動機構と、
該第2方向に沿い、かつ、該基準面の中心を通る直線を回転軸として該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を備える研削装置を用いて該被加工物を研削する被加工物の研削方法であって、
該第1方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが離隔された状態で、該第1保持面及び該第2保持面のそれぞれに該被加工物を保持させる保持ステップと、
該保持ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第1保持面を位置付けるとともに、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第2方向における位置を該第1保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第1位置付けステップと、
該第1位置付けステップ後、該スピンドルを回転させた状態で、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させ、該第1保持面に保持された該被加工物の該第1方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第2保持面に保持された該被加工物を研削しない第1研削ステップと、
該第1研削ステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第2方向に沿って相対的に移動させてから、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させることによって、該第2方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが重畳しなくなるまで該第1方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとを離隔させる離隔ステップと、
該離隔ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第2保持面が位置付けられるように該チャックテーブルを所定の角度回転させる回転ステップと、
該離隔ステップ後、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第2方向における位置を該第2保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第2位置付けステップと、
該回転ステップ及び該第2位置付けステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第1方向に沿って相対的に移動させ、該第2保持面に保持された該被加工物の該第1方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第1保持面に保持された該被加工物を研削しない第2研削ステップと、
を備えることを特徴とする被加工物の研削方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2021099332A JP2022190858A (ja) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 被加工物の研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2021099332A Pending JP2022190858A (ja) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 被加工物の研削方法 |
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- 2021-06-15 JP JP2021099332A patent/JP2022190858A/ja active Pending
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