JP2020199593A

JP2020199593A - フランジ機構

Info

Publication number: JP2020199593A
Application number: JP2019108240A
Authority: JP
Inventors: 佳隆山口; Yoshitaka Yamaguchi
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-06-10
Filing date: 2019-06-10
Publication date: 2020-12-17
Anticipated expiration: 2039-06-10
Also published as: JP7224244B2

Abstract

【課題】切削ブレードとフランジ部との間に異物等が吸引されることを従来よりもさらに抑制することができるフランジ機構を提供すること。【解決手段】フランジ機構１は、吸引孔３−５からの吸引によってボス部２に装着された切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側でＯリング８を押圧した状態で、第１支持面３−１で切削ブレード１２４を支持し、Ｏリング８によって切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側とフランジ部３の第２支持面３−２とが形成する空間を密閉し異物の侵入を防ぐ。【選択図】図２

Description

本発明は、切削ブレードを装着するフランジ機構に関する。

スピンドルに装着するフランジ部に吸引源と連通する連通路を備え、フランジ部と、切削ブレードの基台、または、切削ブレードを押さえる押さえフランジとの間の空間に負圧を発生させ、切削ブレードをスピンドルに装着する技術が知られている（特許文献１、２及び３参照）。

特開２０１８−０７５６８８号公報特開２０１８−１４４１６８号公報特開２０１５−０２３２２２号公報

上記の特許文献において切削ブレードを保持するためにスピンドルの方向に吸引しているので、切削ブレードとボス部またフランジ部との隙間を通して切削屑や異物が入り込み、切削ブレードの基台やフランジ部が汚れるという問題があった。特に、切削ブレードのフランジ部と対向している面には、切削ブレードの種類を識別するためのバーコードが形成されている場合、汚れが付着することは好ましくない。

特許文献１では、この問題を解決するために、ボス部にＯリングを装着している。しかし、この特許文献１の技術では、厳密には切削ブレードの内径とボス部との間には隙間があるため、切削ブレードが装着されるときにＯリングを押しつける力ではシール性が弱いという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレードとフランジ部との間に異物等が吸引されることを従来よりもさらに抑制することができるフランジ機構を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のフランジ機構は、中央に装着穴を有する円盤状の基台と、該基台の外周縁に設けられた切り刃と、を有する切削ブレードを、回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、該切削ブレードの該基台の裏面側を支持する支持面を有し、該スピンドルに固定されるフランジ部と、該フランジ部に形成され、吸引路を介して吸引源と連通し、該切削ブレードを吸引固定する吸引孔と、を備え、該フランジ部の支持面は、Ｏリング装着溝と該Ｏリング装着溝に装着されたＯリングと、を有し、該フランジ機構は、該吸引孔からの吸引によって該ボス部に装着された該切削ブレードの該基台の裏面側で該Ｏリングを押圧した状態で、該支持面で該切削ブレードを支持し、該Ｏリングによって該切削ブレードの該基台の裏面側と該フランジ部の該支持面とが形成する空間を密閉し異物の侵入を防ぐことを特徴とする。

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のフランジ機構は、中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードを、回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、前後方向に伸長する円柱状のボス部と、該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、該切削ブレードの裏面側を支持する支持面を有し、該スピンドルに固定される固定フランジ部と、該ボス部に装着される装着穴を有し、該ボス部に装着された該切削ブレードにかぶせて該ボス部に装着する事で該切削ブレードを押さえる押さえフランジと、該固定フランジ部に形成され、吸引路を介して吸引源と連通し、該押さえフランジを吸引固定する吸引孔と、を備え、該固定フランジ部の支持面は、Ｏリング装着溝と該Ｏリング装着溝に装着されたＯリングと、を含み、該フランジ機構は、該吸引孔からの吸引によって、該ボス部に装着された該押さえフランジの裏面側で該Ｏリングを押圧した状態で、該支持面で該切削ブレードを支持し、該Ｏリングによって該押さえフランジの裏面側と該固定フランジ部の該支持面とが形成する空間を密閉し異物の侵入を防ぐことを特徴とする。

本願発明は、切削ブレードとフランジ部との間に異物等が吸引されることを従来よりもさらに抑制することができる。

図１は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削ユニットの構成例を示す分解斜視図である。図３は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削ユニットの構成例を示す断面図である。図４は、実施形態２に係るフランジ機構を備える切削ユニットの構成例を示す分解斜視図である。図５は、実施形態２に係るフランジ機構を備える切削ユニットの構成例を示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るフランジ機構１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るフランジ機構１を備える切削装置１００の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るフランジ機構１を備える切削ユニット１２０の構成例を示す分解斜視図である。図３は、実施形態１に係るフランジ機構１を備える切削ユニット１２０の構成例を示す断面図である。

実施形態１に係るフランジ機構１は、図１に示す切削装置１００を構成する。切削装置１００は、被加工物２００を切削する装置である。実施形態１において、切削装置１００が切削する被加工物２００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、平坦な表面２０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にデバイス２０３が形成されている。被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ２１０が貼着され、粘着テープ２１０の外縁部に環状フレーム２１１が装着されている。また、本発明では、被加工物２００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

切削装置１００は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持するとともに回転駆動源により軸心回りに回転可能なチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削加工する切削ユニット１２０と、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させる図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット１２０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動ユニット１３０と、切削ユニット１２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動ユニット１４０とを備える。また、切削装置１００は、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット１５０と、切削前後の被加工物２００を収容するカセット１６０と、被加工物２００をカセット１６０とチャックテーブル１１０と洗浄ユニット１５０との間で搬送する図示しない搬送ユニットと、各構成要素を制御するコンピュータである制御ユニット１７０とを備える。

切削装置１００は、搬送ユニットがカセット１６０内から被加工物２００を１枚取り出してチャックテーブル１１０の保持面１１１に載置する。切削装置１００は、チャックテーブル１１０の保持面１１１に被加工物２００を吸引保持して、切削ユニット１２０から被加工物２００に切削水を供給しながら、Ｘ軸移動ユニット、回転駆動源、Ｙ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０によりチャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させて、切削ユニット１２０で被加工物２００の分割予定ライン２０２を切削する。切削装置１００は、被加工物２００の全ての分割予定ライン２０２を切削すると、被加工物２００を洗浄ユニット１５０で洗浄した後にカセット１６０内に収容する。

切削装置１００の切削ユニット１２０は、図２に示すように、筒状に形成されかつＹ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１２１と、スピンドルハウジング１２１内にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル１２２とを備える。また、切削ユニット１２０は、図１に示すように、スピンドル１２２の先端に固定される切削ブレード１２４と、ブレードカバー１２５と、切削ブレード１２４をスピンドル１２２の方向に吸引する吸引源１９（図３参照）と接続する図２及び図３に示すロータリージョイント１０と、ロータリージョイント１０からの吸引力により切削ブレード１２４をスピンドル１２２の先端に吸引固定するフランジ機構１と、を備える。

スピンドル１２２は、スピンドルハウジング１２１に回転可能に支持されている。スピンドル１２２の先端は、スピンドルハウジング１２１の一端部から外部に突出している。スピンドル１２２の基端部には、スピンドル１２２を回転させるための不図示のモータが連結されている。スピンドル１２２の先端は、図２に示すように、先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル１２２は、先端を露出させた状態でスピンドルハウジング１２１内に軸心回りに回転自在に収容されている。

切削ブレード１２４は、フランジ機構１を介してスピンドル１２２の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル１２２により回転されることで被加工物２００を切削する。切削ブレード１２４は、実施形態１では所謂ハブブレードであり、図２に示すように、アルミニウム合金などの金属から構成されかつ装着穴１２４−３を有し環状に形成された円盤状の基台１２４−１と、基台１２４−１の外周縁に設けられ、基台１２４−１の外周から突出する環状の切り刃１２４−２とを有している。

装着穴１２４−３は、切削ブレード１２４をフランジ機構１に固定するための孔である。切り刃１２４−２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切り刃１２４−２は、図３に示すように、基台１２４−１の平坦な一方の側面の外周縁に固定されて、基台１２４−１の外縁より外周方向に突出している。

ブレードカバー１２５は、図１に示すように、スピンドルハウジング１２１に固定され、切削ブレード１２４の上方及びＸ軸方向の少なくとも一方側を覆って、下端に装着された切削水ノズルにより、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード１２４及び被加工物２００に供給するものである。

ロータリージョイント１０は、図２及び図３に示すように、円筒状ボス部１１と、円筒状ボス部１１の外周に一体的に形成されたフランジ部１２と、円筒状ボス部１１の内側に形成された収容穴１３と、一端が収容穴１３に連通して設けられたパイプ１４と、フランジ部１２に形成された複数の取り付け穴１５と、を備える。

ロータリージョイント１０は、複数のネジをそれぞれの取り付け穴１５に挿入して、スピンドルハウジング１２１の先端側の端部１２１−１にそれぞれの取り付け穴１５と対応する位置に形成されたそれぞれのねじ穴１２１−２に螺合して締め付けることにより、スピンドルハウジング１２１の先端側の端部１２１−１に固定される。

収容穴１３は、図３に示すように、内径が後述するフランジ機構１の円筒部４の外径とほぼ同じであり、円筒部４の外周４−１がＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌め合わせされる。収容穴１３におけるパイプ１４の一端との連通孔は、円筒部４の外周４−１のＹ軸周りの回転移動に伴い、所定の回転角において、後述する円筒部４の吸引穴４−２と連通する。

パイプ１４は、図３に示すように、他端が、電磁切替弁１８を介して吸引源１９に選択的に接続されている。電磁切替弁１８は、図１に示す制御ユニット１７０と情報通信可能に電気的に接続されており、制御ユニット１７０によりパイプ１４と吸引源１９とを接続する配管の開閉が制御される。

フランジ機構１は、図２及び図３に示すように、前後方向であるＹ軸方向に伸長する円柱状のボス部２と、ボス部２の後方側である＋Ｙ方向側からボス部２の径方向外向きに突出して一体的に形成された円板状のフランジ部３と、フランジ部３の後方側に突出して一体的に形成された円筒部４と、を備える。フランジ機構１は、ボス部２と、フランジ部３と、円筒部４とが、それぞれの中心軸が互いに重なり、Ｙ軸方向を向いて配されている。

フランジ機構１は、内側に装着穴５が形成されている。装着穴５は、基端側が、先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル１２２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。フランジ機構１は、ワッシャー１２８を介してねじ１２９を装着穴５に挿入して、スピンドル１２２の先端に形成されたねじ穴１２２−１に螺合して締め付けることにより、スピンドル１２２の先端に固定される。

ボス部２は、切削ブレード１２４の基台１２４−１が装着される。ボス部２は、具体的には、図２及び図３に示すように、切削ブレード１２４の基台１２４−１の装着穴１２４−３に挿入されて、外周側で、切削ブレード１２４の基台１２４−１を装着穴１２４−３の内周側から支持する。

円筒部４は、図２及び図３に示すように、外周４−１と、外周４−１に設けられ、円周方向において所定の間隔に離間して配列された複数の吸引穴４−２と、を有する。円筒部４は、収容穴１３に対してＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌め合わせされる。

フランジ部３は、前方側に向いた面の径方向外側に形成された環状の第１支持面３−１と、前方側に向いた面の径方向内側に、ボス部２の外周を囲繞して形成された環状の第２支持面３−２と、第１支持面３−１と第２支持面３−２との間の領域に渡って形成された環状凹部３−４と、を有する。第１支持面３−１及び第２支持面３−２は、図３に示すように、Ｙ軸方向の高さが同じであり、ともに切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側（後方側）である＋Ｙ方向の面側を支持する。

環状凹部３−４は、図３に示すように、第１支持面３−１及び第２支持面３−２よりも＋Ｙ方向に凹んで形成されている。環状凹部３−４には、図２及び図３に示すように、吸引孔３−５が形成されている。吸引孔３−５は、図３に示すように、フランジ機構１のフランジ部３及び円筒部４の内部に形成された吸引路６、円筒部４の吸引穴４−２、ロータリージョイント１０のパイプ１４及び、電磁切替弁１８を介して、吸引源１９と連通している。吸引孔３−５は、ロータリージョイント１０からの吸引力により、切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側を第１支持面３−１及び第２支持面３−２に向けて吸引することで、切削ブレード１２４を吸引固定する。

第２支持面３−２は、環状のＯリング装着溝３−３が形成されており、Ｏリング装着溝３−３に装着されたＯリング８を有する。Ｏリング８は、例えば、ゴムやシリコーン等の樹脂等の弾性体（弾性限界の大きい材料）で形成されており、押圧されることにより、押し潰されて微小に変形することで、高いシール性を発揮する。Ｏリング８は、吸引孔３−５からの吸引によってボス部２に装着された切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側で、後方である＋Ｙ方向に押圧される。

フランジ部３の第１支持面３−１、第２支持面３−２及び環状凹部３−４と、切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側とは、図３に示すように、吸引孔３−５からの吸引を受ける空間７を形成する。空間７は、より詳細には、第１支持面３−１及び第２支持面３−２と環状凹部３−４とのＹ軸方向における高さの差に等しい幅を有する環状空間である。空間７は、第２支持面３−２上のＯリング装着溝３−３に装着されたＯリング８がＹ軸方向に押圧されることで、密閉されて、異物等の侵入が防止される。

吸引孔３−５は、本実施形態では、環状凹部３−４に形成され、空間７の後方である＋Ｙ方向に設けられているが、本発明はこれに限定されず、例えば、第１支持面３−１と環状凹部３−４との間の段差領域に形成され、空間７の外周側に向けて設けられてもよく、第２支持面３−２と環状凹部３−４との間の段差領域に形成され、空間７の内周側に向けて設けられてもよい。

実施形態１に係るフランジ機構１は、以上のような構成を有するので、吸引孔３−５からの吸引によってボス部２に装着された切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側でＯリング８を押圧した状態で、第１支持面３−１及び第２支持面３−２で切削ブレード１２４を支持し、Ｏリング８によって切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側とフランジ部３の第１支持面３−１、第２支持面３−２及び環状凹部３−４とが形成する空間７を密閉し異物の侵入を防ぐ。このため、実施形態１に係るフランジ機構１は、押圧して押し潰したＯリング８により、切削ブレード１２４とフランジ部３との間に異物等が吸引されることを従来よりもさらに抑制することができるという作用効果を奏する。

なお、実施形態１に係るフランジ機構１は、本実施形態では、Ｏリング装着溝３−３及びＯリング８を第２支持面３−２上に備えているが、本発明はこれに限定されず、Ｏリング装着溝３−３及びＯリング８を第１支持面３−１上に備えてもよく、Ｏリング装着溝３−３及びＯリング８を第１支持面３−１上と第２支持面３−２上との両方にそれぞれ備えてもよい。これらの場合でも、Ｏリング装着溝３−３及びＯリング８を第２支持面３−２上に備えている場合と同様に、切削ブレード１２４の基台１２４−１の裏面側でＯリング８を押圧した状態で、第１支持面３−１及び第２支持面３−２で切削ブレード１２４を支持し、Ｏリング８によって空間７を密閉し異物の侵入を防ぐことができるので、実施形態１に係るフランジ機構１と同様の作用効果を奏するものとなる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るフランジ機構１−２を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態２に係るフランジ機構１−２を備える切削ユニット２２０の構成例を示す分解斜視図である。図５は、実施形態２に係るフランジ機構１−２を備える切削ユニット２２０の構成例を示す断面図である。なお、図４及び図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る切削ユニット２２０は、図４に示すように、実施形態１とほぼ同様にＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２１と、スピンドルハウジング２２１内にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル２２２とを備える。また、実施形態２に係る切削ユニット２２０は、図４に示すように、スピンドル２２２の先端に固定される切削ブレード２２４と、実施形態１と同様のブレードカバー１２５と、切削ブレード２２４をスピンドル２２２の方向に吸引する吸引源１９と接続するロータリージョイント１０と、ロータリージョイント１０からの吸引力により切削ブレード２２４をスピンドル２２２の先端に吸引固定する実施形態２に係るフランジ機構１−２と、を備える。

実施形態２に係るスピンドルハウジング２２１及びスピンドル２２２は、実施形態１に係るスピンドルハウジング１２１及びスピンドル１２２において、装着される対象が実施形態２に係るフランジ機構１−２及び切削ブレード２２４に変更されることに応じて、形状などに変更が加えられたものであり、基本的な構成は概ね実施形態１と同様である。

切削ブレード２２４は、フランジ機構１−２を介してスピンドル２２２の先端に固定されて、回転軸となるスピンドル２２２により回転されることで被加工物２００を切削する。切削ブレード２２４は、実施形態２では所謂ハブレスブレードであり、図４に示すように、円盤状（円環状）であり、中央に切削ブレード２２４をフランジ機構１−２に固定するための孔である装着穴２２４−１を有している。切削ブレード２２４は、実施形態１に係る切削ブレード１２４の切り刃１２４−２と同様の材料で同様の所定厚みに形成されている。

ロータリージョイント１０は、実施形態２では、実施形態１と同様の方法で、スピンドルハウジング２２１の先端側の端部２２１−１に固定される。ロータリージョイント１０の収容穴１３は、実施形態２では、図５に示すように、内径が後述するフランジ機構１−２の円筒部３４の外径とほぼ同じであり、円筒部３４の外周がＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌め合わせされる。収容穴１３におけるパイプ１４の一端との連通孔は、円筒部３４の外周のＹ軸周りの回転移動に伴い、所定の回転角において、後述する円筒部３４の環状溝３４−１を介して吸引穴３４−２と連通する。

実施形態２に係るフランジ機構１−２は、図４及び図５に示すように、マウンタ３０と、押さえフランジ４０を、を備える。マウンタ３０は、前後方向であるＹ軸方向に伸長する円柱状のボス部３２と、ボス部３２の後方側である＋Ｙ方向側からボス部３２の径方向外向きに突出して一体的に形成された円板状の固定フランジ部３３と、固定フランジ部３３の後方側に突出して一体的に形成された円筒部３４と、を備える。マウンタ３０は、ボス部３２と、固定フランジ部３３と、円筒部３４とが、それぞれの中心軸が互いに重なり、Ｙ軸方向を向いて配されている。

マウンタ３０は、内側に装着穴３５が形成されている。装着穴３５は、基端側が、先端に向かうにしたがって徐々に内径が縮小するようにテーパ状に形成されており、スピンドル２２２の先端の外周に隙間なく嵌め合わせされる。マウンタ３０は、スピンドル２２２の先端を装着穴３５に挿入して、前方である−Ｙ方向側から内周にねじ溝が形成された締付ナット２２９を、スピンドル２２２の先端に形成されたねじ溝２２２−１に螺合して締め付けることにより、スピンドル２２２の先端に固定される。

ボス部３２は、図４及び図５に示すように、後述する押さえフランジ４０の装着穴４１に挿入されて、外周側で、押さえフランジ４０を装着穴４１の内周側から支持する。

円筒部３４は、図４及び図５に示すように、外周に設けられた環状溝３４−１と、環状溝３４−１に設けられ、円周方向において所定の間隔に離間して配列された複数の吸引穴３４−２と、を有する。円筒部３４は、収容穴１３に対してＹ軸周りに回転可能に隙間なく嵌め合わせされる。尚、環状溝３４−１を備えず複数の吸引穴３４−２のみが形成されていてもよい。

固定フランジ部３３は、前方側に向いた面の径方向外側に形成された環状の第１支持面３３−１と、前方側に向いた面の径方向内側に、ボス部３２の外周を囲繞して形成された環状の第２支持面３３−２と、第１支持面３３−１と第２支持面３３−２との間の領域に渡って形成された環状凹部３３−４と、を有する。第１支持面３３−１及び第２支持面３３−２は、図５に示すように、Ｙ軸方向の高さが異なっており、詳細には、第１支持面３３−１が第２支持面３３−２よりも−Ｙ方向に突出して形成されている。環状凹部３３−４は、図５に示すように、第１支持面３３−１及び第２支持面３３−２よりも＋Ｙ方向に凹んで形成されている。

押さえフランジ４０は、マウンタ３０のボス部３２に装着された切削ブレード２２４に前方側からかぶせてボス部３２に装着することで、切削ブレード２２４を押さえる部材である。

押さえフランジ４０は、具体的には、図４及び図５に示すように、内側に装着穴４１が形成されている。装着穴４１は、マウンタ３０のボス部３２の外周に隙間なく嵌め合わせされる。押さえフランジ４０は、マウンタ３０のボス部３２を装着穴４１に挿入して、ロータリージョイント１０からの吸引力により後方側である−Ｙ方向側に向けて吸引されることで、マウンタ３０のボス部３２に装着及び固定される。

押さえフランジ４０は、図５に示すように、裏面側（後方側）である−Ｙ方向側の面の中央に形成された嵌合凸部４３と、嵌合凸部４３の径方向外側に形成された環状の第１支持面４２と、嵌合凸部４３の外周面であり切削ブレード２２４の内径に接触する環状の第２支持面４４と、を有する。押さえフランジ４０の嵌合凸部４３は、マウンタ３０の固定フランジ部３３における第１支持面３３−１と環状凹部３３−４との間に形成された段差部分に、嵌め合わせされる。嵌合凸部４３が第１支持面３３−１と環状凹部３３−４との間の段差部分に嵌め合わせされる。

実施形態２に係るフランジ機構１−２は、マウンタ３０のボス部３２及び押さえフランジ４０の装着穴４１をこの順序で切削ブレード２２４の装着穴２２４−１に挿入し、嵌合凸部４３を第１支持面３３−１と環状凹部３３−４との間の段差部分に嵌め合わせることで、切削ブレード２２４を第１支持面３３−１と第１支持面４２との間で挟持する。

環状凹部３３−４には、図４及び図５に示すように、吸引孔３３−５が形成されている。吸引孔３３−５は、図５に示すように、フランジ機構１−２の固定フランジ部３３及び円筒部３４の内部に形成された吸引路３６、円筒部３４の環状溝３４−１及び吸引穴３４−２、ロータリージョイント１０のパイプ１４及び、電磁切替弁１８を介して、吸引源１９と連通している。

吸引孔３３−５は、切削ブレード２２４を第１支持面３３−１と第１支持面４２との間で挟持した状態で、ロータリージョイント１０からの吸引力により、押さえフランジ４０の裏面側の第２支持面４４を第２支持面３３−２に向けて吸引することで、押さえフランジ４０の第１支持面４２を介して切削ブレード２２４の裏面側を第１支持面３３−１に向けて押圧して、切削ブレード２２４を間接的に吸引固定する。

第２支持面３３−２は、環状のＯリング装着溝３３−３が形成されており、Ｏリング装着溝３３−３に装着されたＯリング３８を有する。Ｏリング３８は、実施形態１に係るＯリング８と同様の材料で形成されている。Ｏリング３８は、吸引孔３３−５からの吸引によってボス部３２に装着された押さえフランジ４０の裏面側の第２支持面４４で、後方である＋Ｙ方向に押圧される。

固定フランジ部３３の第１支持面３３−１、第２支持面３３−２及び環状凹部３３−４と、押さえフランジ４０の裏面側の第２支持面４４とは、図５に示すように、吸引孔３３−５からの吸引を受ける空間３７を形成する。空間３７は、より詳細には、切削ブレード２２４よりも円周方向内側に位置し、第２支持面３３−２と環状凹部３３−４とのＹ軸方向における高さの差に等しい幅を有する環状空間である。空間３７は、第２支持面３３−２上のＯリング装着溝３３−３に装着されたＯリング３８がＹ軸方向に押圧されることで、密閉されて、異物等の侵入が防止される。

吸引孔３３−５は、本実施形態では、環状凹部３３−４に形成され、空間３７の後方である＋Ｙ方向に設けられているが、本発明はこれに限定されず、例えば、第１支持面３３−１と環状凹部３３−４との間の段差領域に形成され、空間３７の外周側に向けて設けられてもよく、第２支持面３３−２と環状凹部３３−４との間の段差領域に形成され、空間３７の内周側に向けて設けられてもよい。

実施形態２に係るフランジ機構１−２は、以上のような構成を有するので、吸引孔３３−５からの吸引によってボス部３２に装着された押さえフランジ４０の裏面側の第２支持面４４でＯリング３８を押圧した状態で、第１支持面３３−１で切削ブレード２２４を支持し、Ｏリング３８によって押さえフランジ４０の裏面側の第２支持面４４と固定フランジ部３３の第１支持面３３−１、第２支持面３３−２及び環状凹部３３−４とが形成する空間３７を密閉し異物の侵入を防ぐ。このため、実施形態２に係るフランジ機構１−２は、実施形態１に係るフランジ機構１と同様に、押圧して押し潰したＯリング３８により、切削ブレード２２４と固定フランジ部３３との間に異物等が吸引されることを従来よりもさらに抑制することができるという作用効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１，１−２フランジ機構
２，３２ボス部
３フランジ部
３−１，３３−１第１支持面
３−２，３３−２第２支持面
３−３，３３−３Ｏリング装着溝
３−４，３３−４環状凹部
３−５，３３−５吸引孔
６，３６吸引路
７，３７空間
８，３８Ｏリング
３３固定フランジ部
４０押さえフランジ
４１装着穴
１００切削装置
１２０，２２０切削ユニット
１２１，２２１スピンドルハウジング
１２２，２２２スピンドル
１２４，２２４切削ブレード
１２４−１基台
１２４−２切り刃
１２４−３，２２４−１装着穴

Claims

中央に装着穴を有する円盤状の基台と、該基台の外周縁に設けられた切り刃と、を有する切削ブレードを、回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、該切削ブレードの該基台の裏面側を支持する支持面を有し、該スピンドルに固定されるフランジ部と、
該フランジ部に形成され、吸引路を介して吸引源と連通し、該切削ブレードを吸引固定する吸引孔と、を備え、
該フランジ部の支持面は、Ｏリング装着溝と該Ｏリング装着溝に装着されたＯリングと、を有し、
該フランジ機構は、該吸引孔からの吸引によって該ボス部に装着された該切削ブレードの該基台の裏面側で該Ｏリングを押圧した状態で、該支持面で該切削ブレードを支持し、該Ｏリングによって該切削ブレードの該基台の裏面側と該フランジ部の該支持面とが形成する空間を密閉し異物の侵入を防ぐことを特徴とするフランジ機構。
中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードを、回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方から径方向外向きに突出し、該切削ブレードの裏面側を支持する支持面を有し、該スピンドルに固定される固定フランジ部と、
該ボス部に装着される装着穴を有し、該ボス部に装着された該切削ブレードにかぶせて該ボス部に装着する事で該切削ブレードを押さえる押さえフランジと、
該固定フランジ部に形成され、吸引路を介して吸引源と連通し、該押さえフランジを吸引固定する吸引孔と、を備え、
該固定フランジ部の支持面は、Ｏリング装着溝と該Ｏリング装着溝に装着されたＯリングと、を含み、
該フランジ機構は、該吸引孔からの吸引によって、該ボス部に装着された該押さえフランジの裏面側で該Ｏリングを押圧した状態で、該支持面で該切削ブレードを支持し、該Ｏリングによって該押さえフランジの裏面側と該固定フランジ部の該支持面とが形成する空間を密閉し異物の侵入を防ぐことを特徴とするフランジ機構。