JP2018114586A - マウントフランジ端面状態確認治具 - Google Patents
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Abstract
Description
また、従来とは異なり、ダイヤルゲージを使用することなく環状端面の平坦度を確認することができるため、従来において発生し得る問題、すなわち、例えば、ダイヤルゲージを誤って過度に環状端面に押し当てた状態でマウントフランジを回転させることで、かえって環状端面を傷付けてしまい平坦度を悪くしてしまうという問題も発生しない。
当接部30Bの背面(図2において+Y方向側の面)を基台部30Aの前面300に接触させ、固定ネジ挿通穴301bとネジ穴300bとを重ね合わせて、固定ネジ303を固定ネジ挿通穴301bに通してネジ穴300bに螺合させることにより、図2に示すように基台部30Aに当接部30Bを固定することができる。
そこで、以下に、図2に示すマウントフランジ端面状態確認治具3により、切削加工において既に使用したマウントフランジ61の環状端面611aの状態を確認していく。また、その際の作業手順及びマウントフランジ端面状態確認治具3の各構成要素の動作について詳述していく。なお、本確認作業を実施する際に、本実施形態においてはマウントフランジ61がスピンドル621から取り外された状態となっているが、マウントフランジ61がスピンドル621に取り付けられた状態で、本確認作業を実施してもよい。
また、従来とは異なり、ダイヤルゲージを使用することなく環状端面611aの平坦度等の状態を確認することができるため、従来において発生し得る問題、すなわち、例えば、ダイヤルゲージを誤って過度に環状端面611aに押し当てた状態でマウントフランジ61を回転させることで、かえって環状端面611aを傷付けてしまい平坦度を悪くしてしまうという問題も発生しない。
30:本体
30A:基台部 300:基台部の前面 300a:ピストン機構収容孔 300b:ネジ穴 300c:ボルト穴 303:固定ネジ
30B:当接部 301:当接部の前面 301b:固定ネジ挿通穴
302:凸部 304:当接面 305:収容穴 306:開口
307:吸引路 307a:内部流路 307b:エルボ管 307c:外部流路
308:吸引源 308a:ソレノイドバルブ
31:リーク検出手段
32:ピストン機構 32A:可動部材 320:後端部 320a:Oリング 321:前端部
323:固定軸 323a:ボルト
324:圧縮コイルバネ
6:切削ユニット
60:切削ブレード 600:基台 600c:嵌合孔 601:切り刃
61:マウントフランジ
610:ボス部 610c:雄ねじ
611:フランジ部 611a:環状端面 611b:環状凹部
613:嵌合孔
62:スピンドルユニット 620:スピンドルハウジング 621:スピンドル 621a:ネジ穴
63:ブレード固定ナット 64:マウントフランジ固定ボルト
Claims (1)
- スピンドルの先端に固定されて切削ブレードが装着されるマウントフランジの環状端面の状態を確認するためのマウントフランジ端面状態確認治具であって、
該マウントフランジは、該スピンドルの先端に配設されて切削ブレードの嵌合孔に嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向外側に突出して形成されるとともに前面に環状端面を有し、該環状端面の内周側と該ボス部との間に環状凹部を備えたフランジ部と、を備え、
該マウントフランジ端面状態確認治具は、該環状端面の全面に当接する当接面を有するとともに該ボス部が収容される収容穴が形成された本体を備え、
該本体には、該環状凹部に対応する位置に形成された開口と、一端が該開口に連通するとともに他端が吸引源に接続された吸引路と、が形成されるとともに該環状端面と該当接面とからのエアのリークの有無を検出するリーク検出手段と、を備えたマウントフランジ端面状態確認治具。
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WO2023284233A1 (zh) * | 2021-07-16 | 2023-01-19 | 长鑫存储技术有限公司 | 研磨器、化学机械研磨装置及研磨器的检测方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010284774A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 装着工具セット及び環状ブレードの装着方法 |
JP2015023222A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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