CN211662380U - 一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，吸盘固定座用于连接抽气设备，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，还包括至少三个调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于所述凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度，达到调整陶瓷吸盘的平面度的作用。

Description

一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机

技术领域

本实用新型属于晶圆切割技术领域，更具体地说，是涉及一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机。

背景技术

晶圆切割是晶圆在制造过程中重要的一环，晶圆通过划片工艺被切割成小的晶片。由于晶圆切割是半导体后道封装工艺中的第一步，晶圆上的待切割区域已经预先布局好，一旦晶圆切割失败或精度达不到，损失成本很高，对进行晶圆切割的设备的精度和稳定性要求极高。

晶圆切割的设备包括砂轮和设置在砂轮下方的工作台。砂轮用于对放置在旋转工作上的晶圆进行切割，砂轮的转速高达60000r/min，工作台在使用一段时间后，工作台的平面不保持水平的状态，极易引起切割崩边以及影响切割精度，因此对工作平台的平面度要求极高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，以解决现有技术中存在的工作台在使用一段时间后，工作台的平面不保持水平的状态的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，吸盘固定座用于连接抽气设备，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，还包括至少三个调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于所述凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度。

进一步地，所述调节件的一端位于所述陶瓷吸盘内且螺纹连接于所述陶瓷吸盘，所述调节件的另一端抵触在所述凹槽的槽底。

进一步地，所述调节件的背离于所述陶瓷吸盘的一端设为球头端。

进一步地，所述调节件和所述陶瓷吸盘之间连接有密封层。

进一步地，所述调节件沿着一圆周等距设置，所述圆周以所述陶瓷吸盘的中心为圆心。

进一步地，所述凹槽设为圆形槽，所述陶瓷吸盘为圆形吸盘，所述圆形吸盘的轴向与所述圆形槽的轴向共线。

进一步地，所述陶瓷吸盘和所述凹槽之间设有定位组件，所述定位组件限制所述陶瓷吸盘相对于所述吸盘固定座运动。

进一步地，所述定位组件为定位销，所述定位销固定在所述陶瓷吸盘面向所述凹槽的槽底的表面，所述凹槽的槽底设有用于插设所述定位销的定位槽。

进一步地，所述吸盘固定座的表面设有防锈层。

进一步地，还包括旋转工作台和绝缘块，所述旋转工作台连接在所述驱动电机的输出轴上，所述绝缘块固定在所述旋转工作台上，所述吸盘固定座固定在所述绝缘块上。

本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型的陶瓷吸盘的平面度可以通过调节件进行调节，实现了陶瓷吸盘的平面度的可调节。当晶圆切割机使用一段时间后，陶瓷吸盘的平面度发生改变，通过调节件进行调节，从而保持陶瓷吸盘的平面度在预设范围内，非常方便。至少三个调节件保证陶瓷吸盘稳定放置在凹槽内，使陶瓷吸盘在使用的过程中不易晃动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的局部爆炸结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的陶瓷吸盘的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1、吸盘固定座；11、凹槽；2、驱动电机；3、陶瓷吸盘；4、调节件；41、球头端；5、定位组件；51、定位销；52、定位槽；6、防锈层；7、旋转工作台；8、绝缘块；9、陶瓷片；10、密封层。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图3，现对本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机进行说明。一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座1、驱动电机2和陶瓷吸盘3，吸盘固定座1用于连接抽气设备，驱动电机2的输出轴连接于吸盘固定座1，驱动电机2用于驱动吸盘固定座1旋转，吸盘固定座1上设有凹槽11，陶瓷吸盘3设置在凹槽11内，还包括至少三个调节件4，调节件4位于陶瓷吸盘3和吸盘固定座1之间，调节件4位于凹槽11内，调节件4用于调节陶瓷吸盘3的平面度。

平面度，为陶瓷吸盘3的吸附陶瓷片9的表面相对理想平面的偏差。

陶瓷吸盘3，用于与陶瓷片9连接。

陶瓷片9，用于放置晶圆。

使用过程：调节调节件4，然后将陶瓷吸盘3放置在凹槽11内；检测陶瓷吸盘3的平面度是否在预设范围内，若平面度在预设范围内，则不需要将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出；若平面度不在预设范围内，将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出，根据检测的陶瓷吸盘3的平面度，继续调节调节件4，再重复以上步骤。当陶瓷吸盘3放置在凹槽11中后，且需要切割晶圆时，将吸盘固定座1连接在抽气设备上，开启抽气设备，抽气设备使凹槽11内产生负压，从而陶瓷吸盘3产生吸力。当陶瓷吸盘3产生吸力后，将陶瓷片9放置在陶瓷吸盘3上，从而陶瓷片9固定在陶瓷吸盘3上。当陶瓷片9固定在陶瓷吸盘3上后，将待切割的晶圆放置在陶瓷片9上。在切割陶瓷片9的过程中，控制驱动电机2调整陶瓷片9的方向。

当该晶圆切割机使用了一段时间之后，检测陶瓷吸盘3的平面度是否在预设范围内，若平面度在预设范围内，则不需要将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出；若平面度不在预设范围内，将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出，根据检测的陶瓷吸盘3的平面度，调节调节件4，然后将陶瓷吸盘3放置在凹槽11内。

本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，与现有技术相比，陶瓷吸盘3的平面度可以通过调节件4进行调节，实现了陶瓷吸盘3的平面度的可调节。当晶圆切割机使用一段时间后，陶瓷吸盘3的平面度发生改变，通过调节件4进行调节，从而保持陶瓷吸盘3的平面度在预设范围内，非常方便。至少三个调节件4保证陶瓷吸盘3稳定放置在凹槽11内，使陶瓷吸盘3在使用的过程中不易晃动。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，调节件4的一端位于陶瓷吸盘3内且螺纹连接于陶瓷吸盘3，调节件4的另一端抵触在凹槽11的槽底。

调节件4与陶瓷吸盘3的连接结构简单，非常实用。调节件4可以在陶瓷吸盘3上进行微调，从而使调节件4凸出于陶瓷吸盘3的长度发生改变。将调节件4凸出于陶瓷吸盘3的长度发生改变的陶瓷吸盘3放置在凹槽11内，从而实现陶瓷吸盘3的平面度发生改变。

具体地，调节件4为12.9级碳钢黑色螺钉。调节件4和陶瓷吸盘3之间通过细牙螺纹螺纹连接，方便进行微米级调节。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，调节件4的背离于陶瓷吸盘3的一端设为球头端41。

由于球头端41的表面光滑，球头端41与凹槽11的槽底接触时，球头端41和凹槽11的槽底之间不易发生磨损，提高了调节件4的使用次数，保证陶瓷吸盘3安装在凹槽11内的稳定性。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，调节件4和陶瓷吸盘3之间连接有密封层10。

当调节件4在陶瓷吸盘3上调整完后，用密封层10将调节件4和陶瓷吸盘3连接在一起，防止陶瓷吸盘3在使用的过程中调节件4和陶瓷吸盘3之间发生变形。

当该晶圆切割机使用了一段时间之后，检测陶瓷吸盘3的平面度是否在预设范围内，若平面度在预设范围内，则不需要将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出；若平面度不在预设范围内，将陶瓷吸盘3从凹槽11中取出，将密封层10去除掉，根据检测的陶瓷吸盘3的平面度，调节调节件4后，接着用密封层10将调节件4和陶瓷吸盘3调节在一起，最后将陶瓷吸盘3放置在凹槽11内。

具体地，密封层10为螺纹胶。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，调节件4沿着一圆周等距设置，圆周以陶瓷吸盘3的中心为中点。

调节件4在陶瓷吸盘3上等距设置，保证陶瓷吸盘3能够设置在凹槽11内。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，凹槽11设为圆形槽，陶瓷吸盘3为圆形吸盘，圆形吸盘的轴向与圆形槽的轴向共线。

圆形吸盘和圆形槽之间安装拆卸方便，提高晶圆切割机组装的便利性。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，陶瓷吸盘3和凹槽11之间设有定位组件5，定位组件5限制陶瓷吸盘3相对于吸盘固定座1运动。

通过定位组件5，陶瓷吸盘3在凹槽11内不易发生位移，保证晶圆切割机切割的稳定性。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，定位组件5为定位销51，定位销51固定在陶瓷吸盘3面向凹槽11的槽底的表面，凹槽11的槽底设有用于插设定位销51的定位槽52。

定位组件5的结构简单，使用方便。当将陶瓷吸盘3安装在凹槽11内时，将定位销51插设在定位槽52内。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，吸盘固定座1的表面设有防锈层6。

吸盘固定座1不易生锈，起到保护吸盘固定座1的作用，提高了吸盘固定座1的使用寿命。

进一步地，请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机的一种具体实施方式，还包括旋转工作台7和绝缘块8，旋转工作台7连接在驱动电机2的输出轴上，绝缘块8固定在旋转工作台7上，吸盘固定座1固定在绝缘块8上。

吸盘固定座1不直接连接在驱动电机2上，防止驱动电机2漏电破坏晶圆。

具体地，绝缘块8为绝缘陶瓷。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，吸盘固定座用于连接抽气设备，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，其特征在于，还包括至少三个调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于所述凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度。

2.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件的一端位于所述陶瓷吸盘内且螺纹连接于所述陶瓷吸盘，所述调节件的另一端抵触在所述凹槽的槽底。

3.如权利要求2所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件的背离于所述陶瓷吸盘的一端设为球头端。

4.如权利要求3所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件和所述陶瓷吸盘之间连接有密封层。

5.如权利要求3所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述调节件沿着一圆周等距设置，所述圆周以所述陶瓷吸盘的中心为圆心。

6.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述凹槽设为圆形槽，所述陶瓷吸盘为圆形吸盘，所述圆形吸盘的轴向与所述圆形槽的轴向共线。

7.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述陶瓷吸盘和所述凹槽之间设有定位组件，所述定位组件限制所述陶瓷吸盘相对于所述吸盘固定座运动。

8.如权利要求7所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述定位组件为定位销，所述定位销固定在所述陶瓷吸盘面向所述凹槽的槽底的表面，所述凹槽的槽底设有用于插设所述定位销的定位槽。

9.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，所述吸盘固定座的表面设有防锈层。

10.如权利要求1所述的一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，其特征在于，还包括旋转工作台和绝缘块，所述旋转工作台连接在所述驱动电机的输出轴上，所述绝缘块固定在所述旋转工作台上，所述吸盘固定座固定在所述绝缘块上。

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