JP5681038B2

JP5681038B2 - 電極ユニット

Info

Publication number: JP5681038B2
Application number: JP2011100716A
Authority: JP
Inventors: 享上倉; 俊彦中生; 山端　一郎; 一郎山端; 渡辺　裕之; 裕之渡辺; 真一羽村; 加藤　拓也; 拓也加藤; 佳教山根; 陽子寺澤; 剛司川上
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-04-28
Filing date: 2011-04-28
Publication date: 2015-03-04
Anticipated expiration: 2031-04-28
Also published as: JP2012232357A

Description

本発明は、チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削装置における切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構の電極ユニットに関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。

上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードをチャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向に移動せしめる切り込み送り手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる加工送り手段とを具備している。このような切削装置においては、切削ブレードの切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構を備えている。（例えば、特許文献１参照。）

上記特許文献１に開示された原点検出機構は、切削ブレードが装着された回転スピンドルを回転支持するスピンドルハウジングに回転スピンドルの端面に対向する連通穴を設け、この連通穴にカーボンからなる電極端子を摺動可能に配設するとともにスプリングを配設して電極端子を回転スピンドルの端面に押圧する。そして、連通穴の端部にリード線を取り付けたスプリング受けを螺合し、このスプリング受けに取り付けられたリード線を原点検出回路に接続した構成である。このように構成された原点検出機構は、切削ブレードを回転しつつ切削手段をチャックテーブルの保持面に向けて下降し、切削ブレードがチャックテーブルに接触すると上記原点検出回路に電流が流れるので、この電流の流れを電流計によって検出し、この電流を検出した時点における切削ブレードの切り込み位置を原点位置に設定している。

実用新案登録第２５９７８０８号公報

而して、上述した従来の原点検出機構においては、スピンドルハウジングに設けられた連通穴に挿入されるカーボンからなる電極は、連通穴に設けられた雌螺子に螺合する雄螺子によってスプリングを介して固定される構成であるため、電極端子を交換する際に相当の時間を要するという問題がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、原点検出機構を構成する電極端子の交換作業を容易に実施することができる電極ユニットを提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着された回転スピンドルを回転支持するスピンドルハウジングに該回転スピンドルの端面と対向して装着する電極ユニットであって、
該スピンドルハウジングに着脱可能に装着され該回転スピンドルの端面と対向する開口を一端に有する貫通孔と該スピンドルハウジングに着脱可能に装着する鍔部を備えたホルダと、該ホルダの該貫通孔に摺動可能に配設された円柱状の電極端子と、該円柱状の電極端子に一端部が装着された押圧スプリングと、該円柱状の電極端子が装着された該押圧スプリングを該ホルダの該鍔部に止着する止着手段と、を具備し、
該止着手段は、該ホルダの該貫通孔に配設された該電極端子および該押圧スプリングを回転軸として回動するレバーと、該ホルダの該鍔部に配設され該レバーの回動を規制する係止バネとからなっている、
ことを特徴とする電極ユニットが提供される。

上記レバーには係合溝が設けられており、上記係止バネは係合溝と係合する係止爪を備えていることが望ましい。

本発明による電極ユニットは、スピンドルハウジングに着脱可能に装着され回転スピンドルの端面と対向する開口を一端に有する貫通孔とスピンドルハウジングに着脱可能に装着する鍔部を備えたホルダと、ホルダの貫通孔に摺動可能に配設された円柱状の電極端子と、円柱状の電極端子に一端部が装着された押圧スプリングと、円柱状の電極端子が装着された押圧スプリングをホルダの該鍔部に止着する止着手段とを具備し、止着手段はホルダの貫通孔に配設された電極端子および押圧スプリングを貫通孔の内周面に沿って回動するレバーと、ホルダの鍔部に配設されレバーの回動を規制する係止バネとからなっているので、レバーが装着された押圧バネと電極端子をホルダに設けられた貫通孔に鍔部の開口から挿入し、レバーを回動して係止バネと係合することにより、押圧バネと電極端子をホルダに容易に装着することができる。また、押圧バネと電極端子をホルダから取り出す際にも、レバーを回動して係止バネとの係合を外して、ホルダに設けられた貫通孔から引き出せばよいので、その作業が極めて容易である。

本発明に従って構成された電極ユニットを備えた原点検出機構が装備された切削装置の斜視図。図１に示す切削装置に装備される原点検出機構の要部を破断して示す説明図。本発明に従って構成された電極ユニットを分解して示す斜視図。本発明に従って構成された電極ユニットの断面図。本発明に従って構成された電極ユニットの斜視図。図５に示す電極ユニットと電極ユニットを装着するスピンドルハウジングとの関係を示す斜視図。図６に示す電極ユニットをスピンドルハウジングに装着した状態を示す平面図。

以下、本発明に従って構成された電極ユニットの好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図１には、本発明に従って構成された電極ユニットが装備された切削装置の斜視図が示されている。図１に示された切削装置は、静止基台２と、該静止基台２に切削送り方向(X軸方向)である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構３と、静止基台２に加工送り方向(X軸方向)と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)である矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設されたスピンドルユニット支持機構４と、該スピンドルユニット支持機構４の後述するチャックテーブルの被加工物保持面に対して垂直な切り込み送り方向(Z軸方向)である矢印Ｚで示す方向に移動可能に配設された切削手段としてのスピンドルユニット５が配設されている。

上記チャックテーブル機構３は、静止基台２上に矢印Ｘで示す加工送り方向（X軸方向）に沿って平行に配設された一対の案内レール３１、３１と、該一対の案内レール３１、３１上に矢印Ｘで示す加工送り方向に移動可能に配設されたチャックテーブル支持基台３２と、該チャックテーブル支持基台３２上に円筒部材３３によって支持されたカバーテーブル３４と、円筒部材３３に回転自在に支持された被加工物保持手段としてのチャックテーブル３５を具備している。チャックテーブル支持基台３２には上記一対の案内レール３１、３１と嵌合する一対の被案内溝３２１、３２１が設けられている、この一対の被案内溝３２１、３２１が一対の案内レール３１、３１に嵌合することにより、チャックテーブル支持基台３２は一対の案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す切削送り方向（X軸方向）に移動可能に構成される。上記チャックテーブル３５は、ステンレス鋼によって構成された枠体３５０と、該枠体３５０の上面に形成された嵌合凹部に嵌合された多孔性材料から形成された吸着チャック３５１とからなっている。このように構成されたチャックテーブル３５の枠体３５０の上面と吸着チャック３５１の上面は面一に形成されており、吸着チャック３５１の上面が被加工物を保持する保持面となる。このように構成されたチャックテーブル３５は、吸着チャック３５１上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。このように構成されたチャックテーブル３５は、円筒部材３３内に配設された図示しないパルスモータによって回転せしめられるようになっている。なお、チャックテーブル３５には、後述する環状のフレームを固定するためのクランプ３５２が配設されている。

図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、チャックテーブル３５を矢印Ｘで示す切削送り方向に移動せしめる切削送り手段３６を具備している。切削送り手段３６は、上記一対の案内レール３１と３１の間に平行に配設された雄ネジロッド３６１と、該雄ネジロッド３６１を回転駆動するためのサーボモータ３６２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３６１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック３６３に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ３６２の出力軸に連結されている。なお、雄ネジロッド３６１は、チャックテーブル支持基台３２の中央部に形成された雌ネジ３２２に螺合されている。従って、サーボモータ３６２によって雄ネジロッド３６１を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル支持基台３２は案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す加工送り方向に移動せしめられる。

上記スピンドル支持機構４は、静止基台２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向（Y軸方向）に沿って平行に配設された一対の案内レール４１、４１と、該一対の案内レール４１、４１上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台４２を具備している。この可動支持基台４２は、一対の案内レール４１、４１上に移動可能に配設された移動支持部４２１と、該移動支持部４２１に取り付けられた装着部４２２とからなっている。移動支持部４２１の下面には上記一対の案内レール４１、４１と嵌合する一対の被案内溝４２１a、４２１aが形成されており、この一対の被案内溝４２１a、４２１aを一対の案内レール４１、４１に嵌合することにより、可動支持基台４２は一対の案内レール４１、４１に沿って移動可能に構成される。また、装着部４２２は、一側面に矢印Ｚで示すチャックテーブル３５の被加工物保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に延びる一対の案内レール４２３、４２３が平行に設けられている。図示の実施形態におけるスピンドルユニット支持機構４は、可動支持基台４２を一対の案内レール４１、４１に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向（Y軸方向）に移動させるための割り出し送り手段４３を具備している。割り出し送り手段４３は、上記一対の案内レール４１、４１の間に平行に配設された雄ネジロッド４３１と、該雄ネジロッド４３１を回転駆動するためのパルスモータ４３２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４３１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４３２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４３１は、可動支持基台４２を構成する移動支持部４２１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ４３２によって雄ネジロッド４３１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台４２は案内レール４１、４１に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向（Y軸方向）に移動せしめられる。

図示の実施形態のおける切削手段としてのスピンドルユニット５は、ユニットホルダ５１に装着されている。このユニットホルダ５１は、上記装着部４２２に設けられた一対の案内レール４２３、４２３に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝５１１、５１１が設けられており、この被案内溝５１１、５１１を上記案内レール４２３、４２３に嵌合することにより、矢印Ｚで示すチャックテーブル３５の保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に移動可能に支持される。図示の実施形態におけるスピンドルユニット５は、ホルダ５１を一対の案内レール４２３、４２３に沿って切り込み送り方向（Z軸方向）に移動させるための切り込み送り手段５２を具備している。切り込み送り手段５２は、上記切削送り手段３６や割り出し送り手段４３と同様に一対の案内レール４２３、４２３の間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ５２２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５２２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ５１を案内レール４２３、４２３に沿ってZ軸方向に移動せしめる。

次に、スピンドルユニット５について、図２を参照して説明する。
図２に示すスピンドルユニット５は、スピンドルハウジング６1と、該スピンドルハウジング６１内に回転自在に配設された回転スピンドル６２と、該回転スピンドル６２の先端に装着される切削ブレード６３を具備している。スピンドルハウジング６１は略円筒状に形成され、軸方向に貫通する軸穴６１１を備えている。上記スピンドルハウジング６１に形成された軸穴６１１に挿通して配設される回転スピンドル６２には、外周に径方向に突出して形成されたスラスト軸受フランジ６２１が設けられている。このように構成された回転スピンドル６２は、スピンドルハウジング６１に形成された軸穴６１１に挿通して配設され、軸穴６１１の内壁との間に供給される高圧エアーによって回転自在に支持される。スピンドルハウジング６１に回転可能に支持された回転スピンドル６２には、その前端部（図２において左端部）に切削ブレード６３が装着される。切削ブレード６３は、アルミニウムによって形成されたブレード基台６３１と、該ブレード基台６３１の側面に形成された円環状の切れ刃６３２とからなっている。このように構成された切削ブレード６３は、回転スピンドル６２に装着されたマウンター６３aにナット６３bによって取り付けられる。なお、切削ブレード６３を構成する円環状の切れ刃６３２は、ブレード基台６３１の側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレードからなっている。

図示のスピンドルユニット５は、回転スピンドル６２を回転駆動するための電動モータ６４を備えている。図示の電動モータ６４は、永久磁石式モータによって構成されている。永久磁石式の電動モータ６４は、回転スピンドル６２の後端部に形成されたモータ装着部６２２に装着された永久磁石からなるロータ６４１と、該ロータ６４１の外周側においてスピンドルハウジング６１に配設されたステータコイル６４２とからなっている。このように構成された電動モータ６４は、ステータコイル６４２が図示しない電力供給手段に接続されている。

図２を参照して説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記切削ブレード６３の切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構７を具備している。原点検出機構７は、上記切削ブレードが装着された回転スピンドル６２と電気的に接続するための電極ユニット７０と、該電極ユニット７０に接続された原点検出回路８０とからなっている。電極ユニット７０について、図３乃至図７を参照して説明する。

図３乃至図７に示す実施形態における電極ユニット７０は、スピンドルハウジング６１に着脱可能に装着されるホルダ７１を具備している。このホルダ７１は、円柱状の電極端子保持部７１１と該電極端子保持部７１１の後端に連続して形成され上記スピンドルハウジング６１に取り付けるための円板状の鍔部７１２とを有し、合成樹脂等の絶縁材によって形成されている。ホルダ７１を形成する電極端子保持部７１１および鍔部７１２には、軸方向に貫通する第１の貫通孔７１１aと第２の貫通孔７１１bが設けられている。このように構成されたホルダ７１は、スピンドルハウジング６１に装着した状態で第１の貫通孔７１１aと第２の貫通孔７１１bの電極端子保持部７１１側の一端が回転スピンドル６２の後端面と対向するように位置付けられる。

図示の実施形態における電極ユニット７０は、カーボンからなる円柱状の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bと、該第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bに一端部が装着された導電性材料によって形成されたコイルバネからなる第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと、該第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bをホルダ７１の鍔部７１２に止着する第１の止着手段７４aおよび第２の止着手段７４bを構成する第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを具備している。第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bは、図４に示すように第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bの一端部に装着する装着部７２１aおよび７２１bが小径に形成されており、この装着部７２１aおよび７２１bがコイルバネからなる第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bの一端部に嵌合される。第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bをホルダ７１の鍔部７１２に止着する第１の止着手段７４aおよび第２の止着手段７４bを構成する第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bは導電性材料によって形成され、図４に示すように一方の面にコイルバネからなる第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bの他端部に嵌合する装着部７５１aおよび７５１bが突出して設けられている。このように第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bが装着された第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bは、ホルダ７１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bに鍔部７１２の開口から挿入される。第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bに装着された第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bは、第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bに挿入された第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bを第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bの内周面に沿って回動することができる。

次に、上記第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが装着された第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bをホルダ７１の鍔部７１２に止着する第１の止着手段７４aおよび第２の止着手段７４bについて、図５および図６を参照して説明する。第１の止着手段７４aおよび第２の止着手段７４bは、上記第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bに装着された第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bと、ホルダ７１の鍔部７１２に配設され第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bの回動を規制する第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bとからなっている。第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bは、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bの他方の面（装着部７５１aおよび７５１bが設けられた面と反対側の面）と係合する弾性的に係合する係止爪７６１aおよび７６１bを具備している。なお、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bの他方の面には、回動が規制される位置において第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bの係止爪７６１aおよび７６１bが係合する係合溝７５２aおよび７５２bが設けられている。

図示の実施形態における電極ユニット７０は以上のように構成され、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bが装着された第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bに鍔部７１２の開口から挿入し、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを回動して係合溝７５２aおよび７５２bを第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bの係止爪７６１aおよび７６１bに係合することにより、第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１に容易に装着することができる。また、第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１から取り出す際にも、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを回動して係合溝７５２aおよび７５２bと第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bの係止爪７６１aおよび７６１bとの係合を外して、ホルダ７１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bから引き出せばよいので、その作業が極めて容易である。

次に、電極ユニット７０のホルダ７１をスピンドルハウジング６１に着脱可能に装着する構成について、図２、図６および図７を参照して説明する。ホルダ７１の鍔部７１２と電極端子保持部７１１との間には、鍔部７１２より大径の装着部７１３が設けられており、この装着部７１３に１８０度の位相差をもって円弧状の凹部７１３a、７１３aが形成されている。一方、スピンドルハウジング６１の後端壁６１２にはホルダ７１の電極端子保持部７１１を挿入するための装着穴６１２aが設けられているとともに、後端壁６１２の端面には１８０度の位相差をもって上記円弧状の凹部７１３a、７１３aが挿通する頭部６１４a、６１４aを備えた係止ピン６１４、６１４が設けられている。従って、ホルダ７１の電極端子保持部７１１をスピンドルハウジング６１の後端壁６１２に設けられた装着穴６１２aに挿入するとともに、装着部７１３に形成された円弧状の凹部７１３a、７１３aを係止ピン６１４、６１４の頭部６１４a、６１４aを通してスピンドルハウジング６１の後端壁６１２の端面に接触させ、その後ホルダ７１を例えば９０度回動することにより、装着部７１３をスピンドルハウジング６１の後端壁６１２の端面と係止ピン６１４、６１４の頭部６１４a、６１４aとの間に挟持する。

なお、図示の実施形態においては、図２に示すようにホルダ７１の装着部７１３がスピンドルハウジング６１の後端壁６１２の端面と係止ピン６１４、６１４の頭部６１４a、６１４aとの間に挟持された状態でホルダ７１の回動を規制する位置きめ手段７７を備えている。位置きめ手段７７は、スピンドルハウジング６１の後端壁６１２に外周から装着穴６１２aに貫通する穴７７１と、該穴７７１に配設された係止部材７７２と、該係止部材７７２を押圧するコイルバネ７７３と、穴７７１の端部に螺合しコイルバネ７７３の移動を規制するボルト７７４とからなっており、係止部材７７２の係止凸部７７２aがホルダ７１の電極端子保持部７１１の外周面に設けられた係合凹部７７５と係合するようになっている。

以上のようにして電極ユニット７０のホルダ７１をスピンドルハウジング６１に装着された状態においは、ホルダ７１を構成する電極端子保持部７１１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bに挿入された第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bのバネ力によって回転スピンドル６２の後端面に押圧した状態で接触せしめられる。

図２を参照して説明を続けると、電極ユニット７０を構成する第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bは、それぞれ第１のリード線７８aおよび第２のリード線７８bを介して原点検出回路８０に接続される。原点検出回路８０は直流電源８１を具備しており、直流電源８１の陽極（＋）が電源スイッチ８２および配線８３を介して上記第１のリード線７８aに接続されるとともに、電源スイッチ８２および配線８４を介して上記チャックテーブル３５に接続されている。また、直流電源８１の陰極（−）が配線８５を介して上記第２のリード線７８bに接続されている。上記配線８３には開閉スイッチ８６が配設されているとともに、第１の電流計８７が配設されている。また、上記配線８４には第２の電流計８８が配設されている。

図示の実施形態における原点検出機構７は以上のように構成されており、以下切削ブレード６３の切り込み量を設定する基準となる切削ブレード６３の原点位置を検出する手順について説明する。
先ず、電極ユニット７０の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが回転スピンドル６２の後端面に接触しているか否かについて確認する電極端子接触確認工程を実施する。この電極端子接触確認工程は、電源スイッチ８２および開閉スイッチ８６を閉路(ON)して実施する。電源スイッチ８２および開閉スイッチ８６が閉路(ON)すると、直流電源８１から電源スイッチ８２、開閉スイッチ８６、配線８３、第１のリード線７８a、第１のレバー７５a、第１の押圧バネ７３a、第１の電極端子７２a、回転スピンドル６２、第２の電極端子７２b、第２の押圧バネ７３b、第２のレバー７５b、第２のリード線７８b、配線８５に電流が流れる。この電流の流れを第１の電流計８７によって確認することにより、電極ユニット７０の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが回転スピンドル６２の後端面に接触していることを確認することができる。従って、上記のように電流が流れる回路は、第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが回転スピンドル６２の端面に接触しているか否かを確認する確認回路を構成している。なお、この電極端子接触確認工程において第１の電流計８７が作動しない場合には、電極ユニット７０の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bのいずれか一方または両方が回転スピンドル６２の後端面に接触していない可能性が高いので、電極ユニット７０をスピンドルハウジング６１から取り外して構成部材を確認する。

上述したように電極端子接触確認工程を実施することにより、電極ユニット７０の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bが回転スピンドル６２の後端面に接触していることを確認したならば、開閉スイッチ８６を開路(OFF)した後、原点位置設定工程を実施する。原点位置設定工程は、チャックテーブル３５をスピンドルユニット５の切削ブレード６３の下側に移動し、上記スピンドルユニット５の電動モータ６４を駆動して回転スピンドル６２を回転し切削ブレード６３を回転せしめるとともに、切り込み送り手段５２のパルスモータ５２２を作動してスピンドルユニット５を下降せしめる。そして、切削ブレード６３の円環状の切れ刃６３２がチャックテーブル３５を構成するステンレス鋼によって構成された枠体３５０の上面に接触すると、直流電源８１から電源スイッチ８２、配線８４、チャックテーブル３５の枠体３５０、切削ブレード６３、回転スピンドル６２、第２の電極端子７２b、第２の押圧バネ７３b、第２のレバー７５b、第２のリード線７８b、配線８５に電流が流れる。この電流の流れを第２の電流計８８によって確認した時点におけるスピンドルユニット５の位置即ち切削ブレード６３の切り込み位置を原点位置とする。このようにして、原点位置設定工程を実施したならば、電源スイッチ８２を開路(OFF)する。

以上のようにして切削ブレード６３の原点位置を設定したならば、チャックテーブル３５を構成する枠体３５０の上面と面一の吸着チャック３５１の上面（保持面）上に被加工物を保持し、切削ブレード６３を上記原点位置を基準として所定の切り込み深さ位置に位置付けて切削作業を実施する。
なお、上記電極ユニット７０の第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bは回転スピンドル６２の後端面に接触しているので磨耗するため、所定量磨耗したら第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bを交換する必要がある。第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bを交換するには、電極ユニット７０を回動してスピンドルハウジング６１から電極ユニット７０を取り外す。そして、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを回動して係合溝７５２aおよび７５２bと第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bの係止爪７６１aおよび７６１bとの係合を外して、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを装着した第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bから引き出す。そして、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bに装着されている第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bに装着された第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bを取り外して新しい電極端子を取り付ける。このようにして第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bを交換したならば、上述したように第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bが装着された第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１に設けられた第１の貫通孔７１１aおよび第２の貫通孔７１１bに鍔部７１２側の開口から挿入し、第１のレバー７５aおよび第２のレバー７５bを回動して係合溝７５２aおよび７５２bを第１の係止バネ７６aおよび第２の係止バネ７６bの係止爪７６１aおよび７６１bに係合することにより、第１の押圧バネ７３aおよび第２の押圧バネ７３bと第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２bをホルダ７１に容易に装着することができる。

以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。例えば、上述した実施形態においては、電極端子が回転スピンドル６２の後端面に接触していることを確認するために電極ユニット７０には２個の電極端子（第１の電極端子７２aおよび第２の電極端子７２b）を備えた例を示したが、切削ブレード６３の原点位置を検出するためには１個の電極端子を備えていればよい。

２：静止基台
３：チャックテーブル機構
３５：チャックテーブル
３６：切削送り手段
４：スピンドルユニット支持機構
４２：可動支持基台
４３：割り出し送り手段
５：スピンドルユニット
５２：切り込み送り手段
６１：スピンドルハウジング
６２：回転スピンドル
６３：切削ブレード
６４：電動モータ
７：原点検出機構
７０：電極ユニット
７１：ホルダ
７２a：第１の電極端子
７２b：第２の電極端子
７３a：第１の押圧バネ
７３b：第２の押圧バネ
７４a：第１の止着手段
７４b：第２の止着手段
７８a：第１のリード線
７８b：第２のリード線
８０：原点検出回路
８１：直流電源
８７：第１の電流計
８８：第２の電流計

Claims

被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着された回転スピンドルを回転支持するスピンドルハウジングに該回転スピンドルの端面と対向して装着する電極ユニットであって、
該スピンドルハウジングに着脱可能に装着され該回転スピンドルの端面と対向する開口を一端に有する貫通孔と該スピンドルハウジングに着脱可能に装着する鍔部を備えたホルダと、該ホルダの該貫通孔に摺動可能に配設された円柱状の電極端子と、該円柱状の電極端子に一端部が装着された押圧スプリングと、該円柱状の電極端子が装着された該押圧スプリングを該ホルダの該鍔部に止着する止着手段と、を具備し、
該止着手段は、該ホルダの該貫通孔に配設された該電極端子および該押圧スプリングを回転軸として回動するレバーと、該ホルダの該鍔部に配設され該レバーの回動を規制する係止バネとからなっている、
ことを特徴とする電極ユニット。
該レバーには係合溝が設けられており、該係止バネは該係合溝と係合する係止爪を備えている、請求項１記載の電極ユニット。