JP2597808Y2 - エアースピンドル通電機構 - Google Patents
エアースピンドル通電機構Info
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- JP2597808Y2 JP2597808Y2 JP1993044075U JP4407593U JP2597808Y2 JP 2597808 Y2 JP2597808 Y2 JP 2597808Y2 JP 1993044075 U JP1993044075 U JP 1993044075U JP 4407593 U JP4407593 U JP 4407593U JP 2597808 Y2 JP2597808 Y2 JP 2597808Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、エアースピンドルの通
電機構に関するものである。
電機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】精密切削装置例えばダイシング装置にお
いては、ウェーハをダイシングするブレードの基準位置
設定（セットアップ）はエアースピンドル通電機構を用
い、即ちウェーハを載置するチャックテーブルとブレー
ドとの通電によりなされ、そのためブレードを装着した
エアースピンドルのシャフトにブラシ手段（セットアッ
プ用電極）を接触させて電流検出回路を構成している。
いては、ウェーハをダイシングするブレードの基準位置
設定（セットアップ）はエアースピンドル通電機構を用
い、即ちウェーハを載置するチャックテーブルとブレー
ドとの通電によりなされ、そのためブレードを装着した
エアースピンドルのシャフトにブラシ手段（セットアッ
プ用電極）を接触させて電流検出回路を構成している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】前記従来のブラシ手段
は、通常カーボンブラシ片で形成されているが、常時エ
アースピンドルのシャフトに接触状態にあるためカーボ
ンブラシ片の摩耗が激しく、定期的にしかも早めに交換
せざるを得ない。セットアップ時以外はカーボンブラシ
片を完全に引き離し、シャフトに対し非接触状態にする
機構を備えたものもあるが、その機構が複雑で高価にな
る問題点がある。本考案は、このような従来の問題点を
解決するためになされ、簡単な機構でブラシ手段の摩耗
を最小限に抑えられるようにした、エアースピンドルの
通電機構を提供することを課題としたものである。
は、通常カーボンブラシ片で形成されているが、常時エ
アースピンドルのシャフトに接触状態にあるためカーボ
ンブラシ片の摩耗が激しく、定期的にしかも早めに交換
せざるを得ない。セットアップ時以外はカーボンブラシ
片を完全に引き離し、シャフトに対し非接触状態にする
機構を備えたものもあるが、その機構が複雑で高価にな
る問題点がある。本考案は、このような従来の問題点を
解決するためになされ、簡単な機構でブラシ手段の摩耗
を最小限に抑えられるようにした、エアースピンドルの
通電機構を提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本考案は、チャックテーブルと
ブレードとの通電によりブレードの基準位置を設定する
エアースピンドル通電機構であって、エアースピンドル
の所要部に接触して電流検出回路を構成するブラシ手段
と、このブラシ手段のスピンドルシャフトに対する押圧
力をエアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することで自在に変化させる圧力手段とが少なくとも
含まれるエアースピンドル通電機構を要旨とするもので
ある。
するための手段として、本考案は、チャックテーブルと
ブレードとの通電によりブレードの基準位置を設定する
エアースピンドル通電機構であって、エアースピンドル
の所要部に接触して電流検出回路を構成するブラシ手段
と、このブラシ手段のスピンドルシャフトに対する押圧
力をエアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することで自在に変化させる圧力手段とが少なくとも
含まれるエアースピンドル通電機構を要旨とするもので
ある。
【０００５】
【作 用】エアースピンドルに供給されたエアーの排気
圧を圧力手段で調整することにより、セットアップ時に
エアースピンドルの内部圧力を小にしてブラシ手段の接
触圧力を高めると共に、通常使用時にはエアースピンド
ルの内部圧力を大にしてブラシ手段の接触圧力を弱め、
これによりブラシ手段の摩耗を最小限に抑えることが出
来る。
圧を圧力手段で調整することにより、セットアップ時に
エアースピンドルの内部圧力を小にしてブラシ手段の接
触圧力を高めると共に、通常使用時にはエアースピンド
ルの内部圧力を大にしてブラシ手段の接触圧力を弱め、
これによりブラシ手段の摩耗を最小限に抑えることが出
来る。
【０００６】
【実施例】以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１はダイシング装置の基台で
あり、その上面にチャックテーブル２がＸ軸駆動機構３
によりＸ軸方向に移動可能に形成され、エアースピンド
ルユニット４はＹ軸駆動機構５により支持台６を介して
Ｘ軸方向に移動可能に形成され、且つ支持台６に設けた
Ｚ軸駆動機構７により取付台８を介してＺ軸方向に移動
可能に形成されている。
詳説する。図１において、１はダイシング装置の基台で
あり、その上面にチャックテーブル２がＸ軸駆動機構３
によりＸ軸方向に移動可能に形成され、エアースピンド
ルユニット４はＹ軸駆動機構５により支持台６を介して
Ｘ軸方向に移動可能に形成され、且つ支持台６に設けた
Ｚ軸駆動機構７により取付台８を介してＺ軸方向に移動
可能に形成されている。
【０００７】９はダイヤモンド砥粒をニッケルメッキに
よって形成された導電性のブレードであり、前記エアー
スピンドルユニット４のシャフト４ａの先端部に着脱可
能に取り付けられ、このブレード９のＺ軸方向の基準位
置を設定するには二点鎖線で示したウェーハ１０を保持
する前記チャックテーブル２との通電によりなされ、そ
のためエアースピンドル通電機構１１を形成し、その回
路に設けられた第１の電流検出手段１２により電流を検
出する。
よって形成された導電性のブレードであり、前記エアー
スピンドルユニット４のシャフト４ａの先端部に着脱可
能に取り付けられ、このブレード９のＺ軸方向の基準位
置を設定するには二点鎖線で示したウェーハ１０を保持
する前記チャックテーブル２との通電によりなされ、そ
のためエアースピンドル通電機構１１を形成し、その回
路に設けられた第１の電流検出手段１２により電流を検
出する。
【０００８】エアースピンドル通電機構１１は、第２の
電流検出手段１３、切り換えスイッチ１４、電源１５を
有し、更に図２に示すブラシ手段１６、圧力手段１７と
を含んでいる。
電流検出手段１３、切り換えスイッチ１４、電源１５を
有し、更に図２に示すブラシ手段１６、圧力手段１７と
を含んでいる。
【０００９】前記ブラシ手段１６は、スピンドルユニッ
ト４の背圧室２０内に設けられており、一対のカーボン
ブラシ片１６ａが絶縁体４ｆで形成された取付孔４ｂに
導電性のスプリング１６ｂを介して装着され、そのスプ
リング１６ｂにより付勢されてシャフト４ａの後端部に
接触している。取付孔４ｂの端部には導電性のばね受片
１６ｃが固定され、このばね受片１６ｃの一方は前記電
源１５に至るリード線Ａと、他方は前記第２の電流検出
手段１３に至るリード線Ｂとそれぞれ接続され、前記ブ
レード９の基準位置設定時にシャフト４ａに通電出来る
ようにしてある。又、一対の取付孔４ｂにはほぼ中間部
で連通すると共に、エアースピンドルユニット４の後端
に抜ける小孔４ｃが設けられている。
ト４の背圧室２０内に設けられており、一対のカーボン
ブラシ片１６ａが絶縁体４ｆで形成された取付孔４ｂに
導電性のスプリング１６ｂを介して装着され、そのスプ
リング１６ｂにより付勢されてシャフト４ａの後端部に
接触している。取付孔４ｂの端部には導電性のばね受片
１６ｃが固定され、このばね受片１６ｃの一方は前記電
源１５に至るリード線Ａと、他方は前記第２の電流検出
手段１３に至るリード線Ｂとそれぞれ接続され、前記ブ
レード９の基準位置設定時にシャフト４ａに通電出来る
ようにしてある。又、一対の取付孔４ｂにはほぼ中間部
で連通すると共に、エアースピンドルユニット４の後端
に抜ける小孔４ｃが設けられている。
【００１０】前記圧力手段１７は、背圧室２０の排気管
１８に設けられた絞り弁１７ａと、排気管１８から分岐
させた太目の分岐管１８ａに設けた電磁弁１７ｂとを備
え、背圧室２０の排気圧を調整することで前記カーボン
ブラシ片１６ａに作用する押圧力を自在に変えられるよ
うにしてある。
１８に設けられた絞り弁１７ａと、排気管１８から分岐
させた太目の分岐管１８ａに設けた電磁弁１７ｂとを備
え、背圧室２０の排気圧を調整することで前記カーボン
ブラシ片１６ａに作用する押圧力を自在に変えられるよ
うにしてある。
【００１１】尚、エアースピンドルユニット４には給気
管１９が接続され内部の給気路４ｄに圧縮エアーを供給
出来るようにしてあり、又後部要所にはシャフト４ａを
高速回転させるモーター４ｅが取り付けられている。
管１９が接続され内部の給気路４ｄに圧縮エアーを供給
出来るようにしてあり、又後部要所にはシャフト４ａを
高速回転させるモーター４ｅが取り付けられている。
【００１２】次に、ブラシ手段１６の作用を圧力手段１
７に関連させて図１及び図２に基づいて説明する。先ず
セットアップ時つまりブレード９の基準位置を設定する
時は、マニュアルで又はＣＰＵの指令により電磁弁１７
ｂを開く。すると、供給されたエアーが多量に排気され
て背圧室２０の内部圧力が小（ほぼ大気圧に等しい）と
なる。そして、前記カーボンブラシ片１６ａはスプリン
グ１６ｂの押圧力によってエアースピンドル４のシャフ
ト４ａの後端部に強く接触する。
７に関連させて図１及び図２に基づいて説明する。先ず
セットアップ時つまりブレード９の基準位置を設定する
時は、マニュアルで又はＣＰＵの指令により電磁弁１７
ｂを開く。すると、供給されたエアーが多量に排気され
て背圧室２０の内部圧力が小（ほぼ大気圧に等しい）と
なる。そして、前記カーボンブラシ片１６ａはスプリン
グ１６ｂの押圧力によってエアースピンドル４のシャフ
ト４ａの後端部に強く接触する。
【００１３】この接触が確実になされたかを確認するた
めに、切り換えスイッチ１４を接点１４ａ側に切り換え
る。すると、一対のカーボンブラシ片１６ａのいずれも
がシャフト４ａに接触している場合は電源１５からシャ
フト４ａに通電され、その電流は第２の電流検出手段１
３により検出される。
めに、切り換えスイッチ１４を接点１４ａ側に切り換え
る。すると、一対のカーボンブラシ片１６ａのいずれも
がシャフト４ａに接触している場合は電源１５からシャ
フト４ａに通電され、その電流は第２の電流検出手段１
３により検出される。
【００１４】この確認後に、切り換えスイッチ１４を接
点１４ｂ側に切り換え、前記Ｚ軸駆動機構７によりエア
ースピンドル４を少しずつ下降させると、ブレード９が
チャックテーブル２に接触するまでは通電しないが接触
した瞬間に回路に電流が流れ、その電流は第１の電流検
出手段１２により検出される。これにより、ブレード９
の基準位置を設定することが出来る。
点１４ｂ側に切り換え、前記Ｚ軸駆動機構７によりエア
ースピンドル４を少しずつ下降させると、ブレード９が
チャックテーブル２に接触するまでは通電しないが接触
した瞬間に回路に電流が流れ、その電流は第１の電流検
出手段１２により検出される。これにより、ブレード９
の基準位置を設定することが出来る。
【００１５】次に、稼働時つまりブレード９でウェーハ
１０を切断する時について説明する。ブレード９の基準
位置設定後、電磁弁１７ｂを閉めるとエアースピンドル
４の排気は絞り弁１７ａを通って外部に少し排気される
ため背圧室２０の内部圧力が大となり、スプリング１６
ｂの押圧力に打ち勝ってカーボンブラシ片１６ａを押し
戻す。この結果、カーボンブラシ片１６ａはシャフト４
ａに対する接触圧力が弱められ、カーボンブラシ片１６
ａの後退により取付孔４ｂ内の空気の一部は小孔４ｃか
ら外部に逃がされる。
１０を切断する時について説明する。ブレード９の基準
位置設定後、電磁弁１７ｂを閉めるとエアースピンドル
４の排気は絞り弁１７ａを通って外部に少し排気される
ため背圧室２０の内部圧力が大となり、スプリング１６
ｂの押圧力に打ち勝ってカーボンブラシ片１６ａを押し
戻す。この結果、カーボンブラシ片１６ａはシャフト４
ａに対する接触圧力が弱められ、カーボンブラシ片１６
ａの後退により取付孔４ｂ内の空気の一部は小孔４ｃか
ら外部に逃がされる。
【００１６】この際、カーボンブラシ片１６ａの移動量
は背圧室２０の内部圧力により定まり、その内部圧力は
絞り弁１７ａにより調整され、つまり絞り弁１７ａによ
る排気量によってカーボンブラシ片１６ａの接触圧力を
自在に調節することが可能である。カーボンブラシ片１
６ａをシャフト４ａから完全に離脱するように構成して
も良いが、シャフト４ａに接触させておけばシャフト４
ａに帯電する静電気を放電させる（リード線Ｂを通じて
アースされる）ことが出来るので好都合である。
は背圧室２０の内部圧力により定まり、その内部圧力は
絞り弁１７ａにより調整され、つまり絞り弁１７ａによ
る排気量によってカーボンブラシ片１６ａの接触圧力を
自在に調節することが可能である。カーボンブラシ片１
６ａをシャフト４ａから完全に離脱するように構成して
も良いが、シャフト４ａに接触させておけばシャフト４
ａに帯電する静電気を放電させる（リード線Ｂを通じて
アースされる）ことが出来るので好都合である。
【００１７】このようにして、カーボンブラシ片１６ａ
のシャフト４ａに対する接触圧力を弱めた又は無圧の状
態でモーター４ｅを駆動し、シャフト４ａを回転させて
ウェーハ１０を切断（ダイシング）すればカーボンブラ
シ片１６ａの摩耗を最小限に抑えることが出来る。
のシャフト４ａに対する接触圧力を弱めた又は無圧の状
態でモーター４ｅを駆動し、シャフト４ａを回転させて
ウェーハ１０を切断（ダイシング）すればカーボンブラ
シ片１６ａの摩耗を最小限に抑えることが出来る。
【００１８】前記ウェーハ１０のダイシング工程は、Ｙ
軸駆動装置５により切断すべきライン（ストリート）を
割り出し、Ｘ軸駆動機構３によりチャックテーブル２を
Ｘ軸方向に移動させながら高速回転するブレード９によ
って遂行される。
軸駆動装置５により切断すべきライン（ストリート）を
割り出し、Ｘ軸駆動機構３によりチャックテーブル２を
Ｘ軸方向に移動させながら高速回転するブレード９によ
って遂行される。
【００１９】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
ダイシング装置等のエアースピンドル通電機構におい
て、エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することによりブレードの基準位置決め設定時にはカ
ーボンブラシ片をシャフトに接触させ、使用時にはカー
ボンブラシ片を押し戻してシャフトに対する接触圧力を
減少させるようにしたので、簡単な機構によりカーボン
ブラシ片の摩耗を最小限に抑えることが出来、ブラシ手
段を長持ちさせると共に交換回数が少なくなって作業性
を向上させる等の優れた効果を奏する。
ダイシング装置等のエアースピンドル通電機構におい
て、エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することによりブレードの基準位置決め設定時にはカ
ーボンブラシ片をシャフトに接触させ、使用時にはカー
ボンブラシ片を押し戻してシャフトに対する接触圧力を
減少させるようにしたので、簡単な機構によりカーボン
ブラシ片の摩耗を最小限に抑えることが出来、ブラシ手
段を長持ちさせると共に交換回数が少なくなって作業性
を向上させる等の優れた効果を奏する。
【図１】 本考案の実施例を示す全体の構成図である。
【図２】 同、概略断面図である。
１…基台 ２…チャックテーブル ３…Ｘ軸駆動機
構 ４…エアースピンドルユニット ４ａ…シャフ
ト ４ｂ…取付孔 ４ｃ…小孔 ４ｄ…給気路
４ｅ…モーター ４ｆ…絶縁体 ５…Ｙ軸駆動機
構 ６…支持台 ７…Ｚ軸駆動機構 ８…取付台
９…ブレード １０…ウェーハ １１…エアースピンドル通電機構 １２…第１の電流
検出手段 １３…第２の電流検出手段 １４…切り
換えスイッチ １４ａ、１４ｂ…接点 １５…電源
１６…ブラシ手段 １６ａ…カーボンブラシ片
１６ｂ…スプリング １６ｃ…ばね受片 １７…
圧力手段 １７ａ…絞り弁 １７ｂ…電磁弁 １
８…排気管 １８ａ…分岐管 １９…給気管 ２
０…背圧室
構 ４…エアースピンドルユニット ４ａ…シャフ
ト ４ｂ…取付孔 ４ｃ…小孔 ４ｄ…給気路
４ｅ…モーター ４ｆ…絶縁体 ５…Ｙ軸駆動機
構 ６…支持台 ７…Ｚ軸駆動機構 ８…取付台
９…ブレード １０…ウェーハ １１…エアースピンドル通電機構 １２…第１の電流
検出手段 １３…第２の電流検出手段 １４…切り
換えスイッチ １４ａ、１４ｂ…接点 １５…電源
１６…ブラシ手段 １６ａ…カーボンブラシ片
１６ｂ…スプリング １６ｃ…ばね受片 １７…
圧力手段 １７ａ…絞り弁 １７ｂ…電磁弁 １
８…排気管 １８ａ…分岐管 １９…給気管 ２
０…背圧室
Claims (1)
- 【請求項１】 チャックテーブルとブレードとの通電に
よりブレードの基準位置を設定するエアースピンドル通
電機構であって、エアースピンドルの所要部に接触して
電流検出回路を構成するブラシ手段と、このブラシ手段
のスピンドルシャフトに対する押圧力をエアースピンド
ルに供給されたエアーの排気圧を調整することで自在に
変化させる圧力手段とが少なくとも含まれるエアースピ
ンドル通電機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710552U JPH0710552U (ja) | 1995-02-14 |
| JP2597808Y2 true JP2597808Y2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=12681510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993044075U Expired - Fee Related JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2597808Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010082709A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| CN103481384A (zh) * | 2012-06-11 | 2014-01-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| CN103660049A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| KR20220031494A (ko) | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5070559U (ja) * | 1973-10-31 | 1975-06-21 | ||
| JPS52127359U (ja) * | 1976-03-25 | 1977-09-28 | ||
| JP5313026B2 (ja) * | 2009-04-17 | 2013-10-09 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP5786332B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-09-30 | 宇部興産機械株式会社 | スクリュコンベヤ |
| JP5681038B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-03-04 | 株式会社ディスコ | 電極ユニット |
| JP5906134B2 (ja) * | 2012-05-16 | 2016-04-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| KR101492438B1 (ko) * | 2013-08-07 | 2015-02-11 | (주)하이드롬 | Atc 에어스핀들 구동용 에어터빈 제어시스템 |
| JP6255285B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 検出方法 |
| JP6975570B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置、及び、電極端子ユニット |
-
1993
- 1993-07-20 JP JP1993044075U patent/JP2597808Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010082709A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| CN103481384A (zh) * | 2012-06-11 | 2014-01-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| CN103660049A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| CN103660049B (zh) * | 2012-09-24 | 2017-03-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
| KR20220031494A (ko) | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710552U (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
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