JP6975570B2 - 切削装置、及び、電極端子ユニット - Google Patents

切削装置、及び、電極端子ユニット Download PDF

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Description

本発明は、保持テーブルに対する切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構を備えた切削装置、及び、原点検出機構に設けられる電極端子ユニットに関する。
半導体ウエーハやガラス基板等の被加工物は、例えば、回転する円環状の切削ブレードを備える切削装置によってストリートに沿って切削されて、複数のチップへと分割される。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、切削ブレードの切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構と、を備えている（例えば、特許文献１参照）。この種の原点検出機構は、切削ブレードが装着されたスピンドルと、このスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、スピンドルの端面に対向してスピンドルハウジングに取り付けられるホルダと、このホルダに設けられたガイド穴に収容されて、スピンドルの端面にばね付勢される電極端子としてのカーボンブラシ片とを備えて構成される。
実開平７−１０５５２号公報
このカーボンブラシ片は、常時、スピンドルの端面に押圧されて接触しているため、カーボンブラシ片の摩耗が激しく、定期的な交換を要していた。しかし、従来の構成では、カーボンブラシは、押圧ばねとともにホルダに形成されたガイド穴に収容され、このホルダは、スピンドルハウジングにねじ止めに固定されていたため、カーボンブラシの交換作業が煩雑となり、作業性の向上が切望されていた。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、電極端子の交換時の作業性の向上を図った切削装置、及び、電極端子ユニットを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが一端に装着されるスピンドルとを有した切削手段と、該切削ブレードと該保持テーブルとを接触させて電気的導通により該保持テーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置であって、該原点検出機構は、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングに該スピンドルの他端側の端面に対向して挿入され、該端面に当接する当接面を有した電極端子と、該電極端子と連結しかつ該電極端子を該端面に押圧する導電性材料からなる押圧ばねと、該押圧ばねに連結され、該押圧ばねを係止する係止部と、該係止部と一体的に形成されるとともに該電極端子側に屈曲した挿入部とを有する導電性屈曲プレートと、を備え、該ハウジングには、該電極端子が該押圧ばねを介して挿入される挿入孔が形成されるとともに該導電性屈曲プレートの該挿入部が挿入される受け入れ部が形成され、該受け入れ部には、挿入された該導電性屈曲プレートを保持するとともに該ハウジングに取り付けられたストッパー部が形成され、該導電性屈曲プレートの該挿入部を該ハウジングの該受け入れ部に挿入して、該ストッパー部が該挿入部を該受け入れ部内の壁面に押し付けることで該電極端子を該端面に当接した状態で固定するものである。
また、該受け入れ部に挿入された該挿入部と該受け入れ部との摩擦力を該押圧ばねの付勢力よりも大きく設定しても良い。
この構成によれば、ハウジングの外側から導電性屈曲プレートを介して、電極端子及び押圧ばねをハウジングに対して抜き挿しすることができる。このため、従来のように、電極端子を保持するホルダごとハウジングから取り外す作業が不要となり、電極端子の交換を容易に行うことができ、交換時の作業性の向上を図ることができる。
また、導電性屈曲プレートには、作業者が把持する把持部が形成されていてもよい。この構成によれば、把持部を把持して導電性屈曲プレート、電極端子及び押圧ばねをハウジングから引き抜くことができ、電極端子の取り外しを容易に行うことができる。
また、ストッパー部は導電性部材からなり、該導電性屈曲プレートの該挿入部が該受け入れ部に挿入されることで該原点検出機構による原点検出回路を構成するようにしてもよい。この構成によれば、ストッパー部は、導電性屈曲プレートの挿入部を受け入れ部に保持するとともに、原点検出回路の一部として機能するため、装置構成の簡素化を図ることができる。
また、本発明は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが一端に装着されるスピンドルとを有した切削手段と、該切削ブレードと該保持テーブルとを接触させて電気的導通により該保持テーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置において該原点検出機構を構成する電極端子ユニットであって、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングに該スピンドルの他端側の端面に対向して挿入され、該端面に当接する当接面を有した電極端子と、該電極端子と連結しかつ該電極端子を該端面に押圧する導電性材料からなる押圧ばねと、該押圧ばねに連結され、該電極端子と反対側で該押圧ばねを係止する係止部と、該係止部と一体的に形成されるとともに該電極端子側に屈曲した挿入部とを有する導電性屈曲プレートと、を備え、該ハウジングに形成された受け入れ部に該挿入部が挿入され、該受け入れ部に配置されたストッパー部により該挿入部が該受け入れ部内の壁面に押し付けられることで該電極端子が該端面に当接した状態で固定されるものである。
また、該受け入れ部に挿入された該挿入部の該受け入れ部との摩擦力が、該押圧ばねの付勢力よりも大きく設定されても良い。
この構成によれば、ハウジングの外側から電極端子ユニットをハウジングに対して容易に抜き挿しすることができる。
本発明によれば、ハウジングの外側から導電性屈曲プレートを介して、電極端子及び押圧ばねをハウジングに対して抜き挿しすることができる。このため、従来のように、電極端子を保持するホルダごとハウジングから取り外す作業が不要となり、電極端子の交換を容易に行うことができ、交換時の作業性の向上を図ることができる。
図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、環状フレームに支持されたウエーハの斜視図である。 図３は、原点検出機構が設けられた切削手段の縦断面図である。 図４は、ホルダの周辺構造を模式的に示す分解斜視図である。 図５は、ホルダの周辺構造を模式的に示す部分断面図である。
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
以下、本実施形態に係る切削装置について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、環状フレームに支持されたウエーハの斜視図である。図３は、原点検出機構が設けられた切削手段の縦断面図である。図４は、ホルダの周辺構造を模式的に示す分解斜視図である。図５は、ホルダの周辺構造を模式的に示す部分断面図である。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル（保持テーブル）１０と切削手段２０とを相対移動させることにより、チャックテーブル１０上に保持されたウエーハ（被加工物）１００（図２）を切削加工するものである。切削装置１は、チャックテーブル１０と、切削手段２０と、撮像手段３０と、Ｘ軸移動手段４０と、Ｙ軸移動手段５０と、Ｚ軸移動手段６０とを含んで構成されている。
本実施形態の被加工物であるウエーハ１００は、シリコンを母材とする円板状の半導体ウエーハやサファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハである。ウエーハ１００は、図２に示すように、表面１０１に形成された格子状の分割予定ライン１０２によって区画された複数の領域にデバイス１０３が形成されている。ウエーハ１００は、裏面１０４に貼着されたダイシングテープ１０５を介して、環状フレーム１０６に支持されている。ウエーハ１００は、環状フレーム１０６に支持された状態でチャックテーブル１０上に保持される。
チャックテーブル１０は、図１に示すように、多孔性セラミックス等から形成された保持部１１と、この保持部１１が配置される金属基台１３と、この金属基台１３の周囲に配設された複数（本実施形態では４個）のクランパ１２とを備える。保持部１１は、環状フレーム１０６に支持されたウエーハ１００をその裏面側から吸引することで保持する。この際、クランパ１２は、環状フレーム１０６を挟んで保持する。また、金属基台１３は、導電性を有する材料で形成されている。また、チャックテーブル１０は、保持部１１の中心軸線を中心に回転可能に構成されており、切削手段２０に対して、任意の回転角度に調整することができる。
切削手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドルと、スピンドルハウジング２３と、切削液供給ノズル２４とを含んでいる。切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持されたウエーハ１００（図２）に切削液を供給しながら加工を行う。このとき、切削手段２０は、撮像手段３０によって撮像されたウエーハ１００の画像データに基づいて、ウエーハ１００の加工すべき領域を切削ブレード２１により加工する。スピンドルハウジング２３内にはスピンドルが収容され、エアベアリングにより回転可能に支持されている。スピンドルは、スピンドルハウジング２３中に収容されたモータにより回転駆動され、スピンドルの先端側には切削ブレード２１が着脱可能に装着されている。
切削ブレード２１は、チャックテーブル１０に保持されたウエーハ１００を切削する。切削ブレード２１は、略リング形状の極薄の切削砥石である。切削液供給ノズル２４は、切削ブレード２１によるウエーハ１００の加工中に、ウエーハ１００の加工点へ切削液を供給する。
撮像手段３０は、複数の画素からなり、チャックテーブル１０に保持されたウエーハ１００を撮像し、画像を生成する。撮像手段３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサを用いたカメラ等であるが、これに限定されるものではない。
Ｘ軸移動手段４０は、装置基台２上に搭載されて、チャックテーブル１０を切削送り方向（Ｘ軸方向）に移動させるものである。切削送り方向（Ｘ軸方向）は、鉛直方向と直交する。Ｘ軸移動手段４０は、Ｘ軸パルスモータ４１と、Ｘ軸ボールねじ４２と、一対のＸ軸ガイドレール４３，４３とを含んでいる。一対のＸ軸ガイドレール４３，４３上には、チャックテーブル１０が載置され、このチャックテーブル１０の下部にＸ軸ボールねじ４２が螺合している。Ｘ軸移動手段４０は、Ｘ軸パルスモータ４１により発生した回転力によりＸ軸ボールねじ４２を回転駆動させることで、チャックテーブル１０を一対のＸ軸ガイドレール４３，４３に沿って、装置基台２に対してＸ軸方向に移動させる。
Ｙ軸移動手段５０は、装置基台２上に搭載されて、切削ブレード移動基台３及び切削手段２０を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動させるものである。ここで、割り出し送り方向（Ｙ軸方向）は、切削ブレード２１の回転軸の軸方向であり、切削送り方向（Ｘ軸方向）及び鉛直方向とそれぞれ直交している。Ｙ軸移動手段５０は、Ｙ軸パルスモータ５１と、Ｙ軸ボールねじ５２と、一対のＹ軸ガイドレール５３，５３とを含んでいる。一対のＹ軸ガイドレール５３，５３上には、切削手段２０が搭載される切削ブレード移動基台３が載置され、この切削ブレード移動基台３の下部にＹ軸ボールねじ５２が螺合している。Ｙ軸移動手段５０は、Ｙ軸パルスモータ５１により発生した回転力によりＹ軸ボールねじ５２を回転駆動させることで、切削ブレード移動基台３及び切削手段２０をＹ軸ガイドレール５３，５３に沿って、装置基台２に対してＹ軸方向に移動させる。
Ｚ軸移動手段６０は、切削ブレード移動基台３に搭載されて、支持部４及び切削手段２０を切り出し方向（Ｚ軸方向）に移動させるものである。この切り出し方向（Ｚ軸方向）は、鉛直方向であり、切削送り方向（Ｘ軸方向）及び割り出し送り方向（Ｙ軸方向）にそれぞれ直交する。Ｚ軸移動手段６０は、切削ブレード移動基台３に設けられており、Ｚ軸パルスモータ６１と、Ｚ軸ボールねじ（不図示）と、一対のＺ軸ガイドレール６３，６３とを含んでいる。一対のＺ軸ガイドレール６３，６３には、切削手段２０が搭載される支持部４が連結されており、この支持部４にＺ軸ボールねじが螺合している。Ｚ軸移動手段６０は、Ｚ軸パルスモータ６１により発生した回転力によりＺ軸ボールねじを回転させることで、支持部４及び切削手段２０をＺ軸ガイドレール６３に沿ってガイドしつつ、切削ブレード移動基台３に対してＺ軸方向に移動させる。
上記した構成では、ウエーハ１００を保持したチャックテーブル１０と切削手段２０とを切削送り方向（Ｘ軸方向）、割り出し送り方向（Ｙ軸方向）及び切り出し方向（Ｚ軸方向）にそれぞれ相対的に移動させてウエーハ１００に対する切削加工を行う。この場合、切削ブレード２１の切り込み量を制御するために、切削ブレード２１の基準となる高さ位置（原点位置）を予め切削装置１に設定しておく必要がある。このため、切削装置１は、図３に示すように、切削ブレード２１の原点位置を検出するための原点検出機構７０を切削手段２０に備えている。
まず、図３を参照して、切削手段２０の内部構造を説明する。切削手段２０は、スピンドル２２と、このスピンドル２２を収容するスピンドルハウジング２３とを備える。スピンドルハウジング２３の壁内には、軸方向に延びる環状エア供給路２５１が形成されており、環状エア供給路２５１からは軸方向及び円周方向に所定の間隔を空けて複数の第１分岐路２５２がそれぞれ中心方向に向けて放射状に形成され、スピンドル２２の外周に形成されたラジアルエアベアリング２５Ａに連通している。スピンドルハウジング２３の外周面には、環状エア供給路２５１に連通するエア供給口２５０が形成され、このエア供給口２５０を通じてエア供給源（不図示）からの圧縮エアが環状エア供給路２５１に供給される。スピンドル２２は、環状に形成された環状スラストプレート２２１を一体的に備える。
環状エア供給路２５１の前方部（図３で左端部）には、環状スラストプレート２２１の両面に対向させて複数の第２分岐路２５３がそれぞれ設けられている。この第２分岐路２５３は、円周方向に所定の間隔を空けて設けられ、環状スラストプレート２２１の両側面に形成されたスラストエアベアリング２５Ｂに連通している。
従って、エア供給源からの圧縮エアが環状エア供給路２５１、第１分岐路２５２及び第２分岐路２５３を介して、ラジアルエアベアリング２５Ａ、スラストエアベアリング２５Ｂにそれぞれ供給されることにより、高速回転するスピンドル２２を安定して支持することができる。
また、スピンドルハウジング２３内には、スピンドル２２を回転駆動するサーボモータ２６が収容されている。サーボモータ２６は、ステータ２６１とロータ２６２とを備え、ロータ２６２はスピンドル２２と一体的に形成されている。スピンドル２２の先端（図３では左端部）にはマウントフランジ２７がねじ２８で取り付けられており、このマウントフランジ２７に対して外周に切刃２１ａを有する切削ブレード２１が装着され、固定ナット２９で固定されている。
スピンドルハウジング２３の後端部（図３では右端部）には開口部２３Ａが形成されており、この開口部２３Ａに原点検出機構７０が設けられている。原点検出機構７０は、開口部２３Ａを塞ぐように配置されるキャップ７１と、このキャップ７１に保持される電極端子ユニット８０，８１とを備える。
キャップ７１は、絶縁性の樹脂材料にて形成され、スピンドルハウジング２３の開口部２３ａに取り付けられてスピンドルハウジング２３の一部を構成する。キャップ７１は、開口部２３Ａの形状に合致しており、本実施形態では、楕円または円の一部を直線状に切り欠いた形状をしている。キャップ７１は、図４及び図５に示すように、他部よりも肉厚に形成された肉厚部７１Ａを備え、この肉厚部７１Ａには一対の挿入孔７２，７２と、これら挿入孔７２，７２に隣接して形成される一対の係止溝（受け入れ部）７３，７３とが形成されている。挿入孔７２は、キャップ７１を貫通するように形成され、係止溝７３は、少なくとも肉厚部７１Ａの厚み相当の深さ（軸方向）を有する。電極端子ユニット８０，８１は、それぞれ挿入孔７２，７２に挿入されるとともに、係止溝７３，７３にて保持される。
本実施形態では、挿入孔７２，７２及び係止溝７３，７３は、キャップ７１の中心（スピンドルの回転軸心）に対して点対称に形成されている。この構成では、キャップ７１に保持される電極端子ユニット８０，８１をまとまりよく配置することができるため、原点検出機構７０の小型化を図ることができる。なお、挿入孔７２，７２及び係止溝７３，７３をキャップ７１の中心を通る所定線に対して線対称に配置してもよい。
電極端子ユニット８０は、スピンドル２２と一体的に形成されたロータ２６２の端面（スピンドルの端面）２６２Ａ（図５）に当接する電極端子７４と、この電極端子７４を上記端面２６２Ａに押圧する押圧ばね７５と、この押圧ばね７５に連結される導電性屈曲プレート７６とを備える。電極端子７４は、ポーラス状のカーボンで形成されたカーボンブラシ片であり、ロータ２６２の端面２６２Ａに対向して当接する当接面７４Ａを有する。押圧ばね７５は、電極端子７４をロータ２６２の端面２６２Ａに押し付ける方向に付勢する。押圧ばね７５は、導電性材料で形成されて、電極端子７４と導電性屈曲プレート７６とを物理的及び電気的に連結する。導電性屈曲プレート７６は、導電性材料を略Ｌ字形状に屈曲して形成され、押圧ばね７５を係止する係止部７６Ａと、係止部７６Ａの端部から電極端子７４側に屈曲した挿入部７６Ｂとを備える。係止部７６Ａには、押圧ばね７５とは反対側に延びる把持部７７が取り付けられている。この把持部７７は、例えば、絶縁性フィルムなどで形成され、引張り方向にある程度の強度を有する。把持部７７は、作業者がキャップ７１から電極端子ユニット８０，８１を引き抜く際に把持する部分である。また、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂは、キャップ７１に形成された係止溝７３に挿入される。
係止溝７３には、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂとともに挿入されて、該挿入部７６Ｂを保持するストッパー部７８が配置される。このストッパー部７８は、例えば、板ばねのように、導電性と弾性とを兼ね備えた材料で形成されている。ストッパー部７８は、板ばねを二重に折り返して形成された折り返し部７８Ａを備え、この折り返し部７８Ａが係止溝７３に挿入される。係止溝７３に挿入された折り返し部７８Ａは、板ばねが元に戻ろうとする力により、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３の壁面に押し付ける。この際、挿入部７６Ｂと係止溝７３との摩擦力を押圧ばね７５の付勢力よりも大きく設定することにより、電極端子ユニット８０，８１をキャップ７１に挿入した状態で保持することができる。ここで、ストッパー部７８は、図４に示すように、折り返し部７８Ａの山部７８Ａ１が係止溝７３の入口側（手前側）に位置するように配置される。このため、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３に容易に挿入することができる。
また、ストッパー部７８は、折り返し部７８Ａと一体に形成されてキャップ７１に取り付けるための取付部７８Ｂを備える。この取付部７８Ｂには、ねじ７９が挿入される取付孔７８Ｃが形成される。このねじ７９にはリード線９０が接続されている。この構成によれば、電極端子ユニット８０の電極端子７４は、押圧ばね７５、導電性屈曲プレート７６、ストッパー部７８及びねじ７９を介して、リード線９０と導通可能に形成されている。本実施形態では、上述のように、挿入孔７２，７２及び係止溝７３，７３は、キャップ７１の中心（スピンドルの回転軸心）に対して点対称に形成されている。このため、電極端子ユニット８０，８１は、左右で異なる形状にする必要はなく、同一構造とすることができる。従って、電極端子ユニット８０，８１を共通化することができ、部品の共通化並びに部品点数の削減を図ることができる。電極端子ユニット８１は、電極端子ユニット８０と同一の構成であるため、説明を省略する。
原点検出機構７０の電極端子ユニット８０は、リード線９０によって、電流計９１、電源９２、第１スイッチ９３を介してチャックテーブル１０の金属基台１３に接続されている。一方、原点検出機構７０の電極端子ユニット８１は、リード線９０によって、第２スイッチ９４を介して、電源９２と第１スイッチ９３との間に接続されている。本実施形態では、原点検出機構７０、リード線９０，９０、電流計９１、電源９２、第１スイッチ９３及び第２スイッチ９４を備えて原点検出回路９５を構成する。
切削ブレード２１の切り込み方向（Ｚ軸方向）の基準と成る原点位置を検出するには、サーボモータ２６でスピンドル２２を高速で回転させながら、まず原点検出回路９５の第２スイッチ９４を閉じる。これにより、電極端子７４，７４がスピンドル２２に連結されるロータ２６２の端面２６２Ａに正常に当接している場合には、電極端子ユニット８０、スピンドル２２（ロータ２６２）、電極端子ユニット８１、第２スイッチ９４、電源９２、電流計９１及び電極端子ユニット８０を通る閉回路が形成されるため、この閉回路に流れる電流を電流計９１で検出することにより、電極端子ユニット８０，８１の正常な動作を確認できる。
次に、第２スイッチ９４を開き、第１スイッチ９３を閉じてから、Ｚ軸移動手段６０を駆動して切削手段２０を下降させる。この時、切削手段２０における切削ブレード２１の切刃２１ａがチャックテーブル１０の金属基台１３に接触すると、切削ブレード２１、金属基台１３、第１スイッチ９３、電源９２、電流計９１、電極端子ユニット８０及びスピンドル２２（ロータ２６２）を通る閉回路が形成されるため、この閉回路に電流が流れ電流計９１により検出される。
これによって、電流計９１で電流を検出した瞬間を切削ブレード２１の切り込み方向（Ｚ軸方向）の原点位置と定め、切削装置１の図示しないコントローラ中のＺ軸方向の位置を０にリセットしてメモリに記憶する。その後、ウエーハ１００の切削は、この原点位置を基準として適正な量の切り込みで行うことができる。Ｚ軸方向の原点位置の検出は、切削ブレード２１の切刃２１ａの磨耗の程度を考慮して、定期的に又は任意に実施するようにする。
一方、スピンドル２２（ロータ２６２）、電極端子ユニット８１、第２スイッチ９４、電源９２、電流計９１及び電極端子ユニット８０を通る閉回路の電流を検出できなかった場合には、何れかの電極端子７４，７４がロータ２６２の端面２６２Ａに正常に当接していないと想定されるので、切削ブレード２１の原点位置の検出の作業を中止し、原点検出機構７０の補修を実施する。
例えば、電極端子ユニット８０の電極端子７４が摩耗した場合には、この電極端子ユニット８０を新品に交換する。電極端子ユニット８０を交換する際、作業者は、把持部７７を持って、電極端子ユニット８０をキャップ７１から引き抜く。本実施形態では、係止溝７３には、ストッパー部７８が導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂとともに挿入され、ストッパー部７８が挿入部７６Ｂを係止溝７３の壁面に押し付けて保持している。作業者が電極端子ユニット８０をキャップ７１から引き抜く力は、挿入部７６Ｂと係止溝７３との摩擦力よりも大きいため、電極端子ユニット８０を容易にキャップ７１から引き抜くことができる。
新しい電極端子ユニット８０は、電極端子７４及び押圧ばね７５をキャップ７１の挿入孔７２に挿入し、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３に挿入する。ここで、ストッパー部７８は、折り返し部７８Ａの山部７８Ａ１が係止溝７３の入口側（手前側）に位置するように配置される。このため、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３に容易に挿入することができる。ストッパー部７８の折り返し部７８Ａは、板ばねが元に戻ろうとする力により、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３の壁面に押し付ける。この際、挿入部７６Ｂと係止溝７３との摩擦力を押圧ばね７５の付勢力よりも大きく設定することにより、電極端子ユニット８０，８１をキャップ７１に挿入した状態で保持することができる。これにより、電極端子ユニット８０の交換を、キャップ７１（スピンドルハウジング２３）の外側から容易に行うことができる。
以上、本実施形態に係る切削装置１は、ウエーハ１００を保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持されたウエーハ１００を切削する切削ブレード２１と切削ブレード２１が一端に装着されるスピンドル２２とを有した切削手段２０と、切削ブレード２１とチャックテーブル１０とを接触させて電気的導通によりチャックテーブル１０に対する切削ブレード２１の切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構７０と、を備え、原点検出機構７０は、スピンドル２２を回転可能に支持するスピンドルハウジング２３のキャップ７１に、スピンドル２２の他端側に一対に連結されるロータ２６２の端面２６２Ａに対向して挿入され、端面２６２Ａに当接する当接面７４Ａを有した電極端子７４と、電極端子７４を上記端面２６２Ａに押圧する導電性材料からなる押圧ばね７５と、押圧ばね７５を係止する係止部７６Ａを有し、係止部７６Ａと一体的に形成されるとともに電極端子７４側に屈曲した挿入部７６Ｂを有する導電性屈曲プレート７６と、を備え、スピンドルハウジング２３のキャップ７１には、電極端子７４，７４が押圧ばね７５，７５を介して挿入される一対の挿入孔７２，７２が形成されるとともに、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂが挿入される係止溝７３，７３が形成され、この係止溝７３には、挿入された導電性屈曲プレート７６を保持するストッパー部７８が形成されることで、導電性屈曲プレート７６をストッパー部７８とともにキャップ７１の係止溝７３に挿入することで電極端子７４を端面２６２Ａに当接した状態で固定する構成とした。この構成によれば、キャップ７１の外側から導電性屈曲プレート７６を介して、電極端子７４及び押圧ばね７５をスピンドルハウジング２３に対して抜き挿しすることができる。このため、従来のように、電極端子を保持するホルダごとスピンドルハウジングから取り外す作業が不要となり、電極端子７４の交換を容易に行うことができ、交換時の作業性の向上を図ることができる。更に、スピンドルハウジング２３の後方の構造を薄化することができるため、切削装置１の小型化を実現することができる。
また、本実施形態によれば、導電性屈曲プレート７６の係止部７６Ａには、作業者が把持する把持部７７が取り付けられているため、この把持部７７を把持して導電性屈曲プレート７６、電極端子７４及び押圧ばね７５をスピンドルハウジング２３から引き抜くことができ、電極端子７４の取り外しを容易に行うことができる。
また、本実施形態によれば、ストッパー部７８は、導電性部材からなり、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂがストッパー部７８とともに係止溝７３に挿入されることで原点検出機構７０による原点検出回路９５を構成するため、ストッパー部７８は、導電性屈曲プレート７６の挿入部７６Ｂを係止溝７３に保持するとともに、原点検出回路９５の一部として機能するため、切削装置１の装置構成の簡素化を図ることができる。
また、本実施形態に係る電極端子ユニット８０，８１は、ウエーハ１００を保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持されたウエーハ１００を切削する切削ブレード２１と切削ブレード２１が一端に装着されるスピンドル２２とを有した切削手段２０と、切削ブレード２１とチャックテーブル１０とを接触させて電気的導通によりチャックテーブル１０に対する切削ブレード２１の切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構７０を備えた切削装置１において原点検出機構７０を構成し、スピンドル２２を回転可能に支持するスピンドルハウジング２３のキャップ７１に、スピンドル２２の他端側に一対に連結されるロータ２６２の端面２６２Ａに対向して挿入され、端面２６２Ａに当接する当接面７４Ａを有した電極端子７４と、電極端子７４を上記端面２６２Ａに押圧する導電性材料からなる押圧ばね７５と、押圧ばね７５を係止する係止部７６Ａを有し、係止部７６Ａと一体的に形成されるとともに電極端子７４側に屈曲した挿入部７６Ｂを有する導電性屈曲プレート７６と、を備えたため、キャップ７１の外側から電極端子ユニット８０，８１をスピンドルハウジング２３に対して容易に抜き挿しすることができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
１ 切削装置
１０ チャックテーブル（保持テーブル）
１３ 金属基台
２０ 切削手段
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
２３ スピンドルハウジング
２６ サーボモータ
２６１ ステータ
２６２ ロータ
２６２Ａ 端面（スピンドルの端面）
７０ 原点検出機構
７１ キャップ（スピンドルハウジング）
７１Ａ 肉厚部
７２ 挿入孔
７３ 係止溝（受け入れ部）
７４ 電極端子
７４Ａ 当接面
７６ 導電性屈曲プレート
７６Ａ 係止部
７６Ｂ 挿入部
７７ 把持部
７８ ストッパー部
７８Ａ 折り返し部
７８Ａ１ 山部
８０，８１ 電極端子ユニット
９５ 原点検出回路
１００ ウエーハ（被加工物）

Claims (6)

  1. 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが一端に装着されるスピンドルとを有した切削手段と、該切削ブレードと該保持テーブルとを接触させて電気的導通により該保持テーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置であって、
    該原点検出機構は、
    該スピンドルを回転可能に支持するハウジングに該スピンドルの他端側の端面に対向して挿入され、該端面に当接する当接面を有した電極端子と、
    該電極端子と連結しかつ該電極端子を該端面に押圧する導電性材料からなる押圧ばねと、
    該押圧ばねに連結され、該押圧ばねを係止する係止部と、該係止部と一体的に形成されるとともに該電極端子側に屈曲した挿入部とを有する導電性屈曲プレートと、を備え、
    該ハウジングには、該電極端子が該押圧ばねを介して挿入される挿入孔が形成されるとともに該導電性屈曲プレートの該挿入部が挿入される受け入れ部が形成され、
    該受け入れ部には、挿入された該導電性屈曲プレートを保持するとともに該ハウジングに取り付けられたストッパー部が形成され、
    該導電性屈曲プレートの該挿入部を該ハウジングの該受け入れ部に挿入して、該ストッパー部が該挿入部を該受け入れ部内の壁面に押し付けることで該電極端子を該端面に当接した状態で固定する、切削装置。
  2. 該受け入れ部に挿入された該挿入部と該受け入れ部との摩擦力を該押圧ばねの付勢力よりも大きく設定する請求項１に記載の切削装置。
  3. 該導電性屈曲プレートには、作業者が把持する把持部が形成されている、請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
  4. 該ストッパー部は導電性部材からなり、該導電性屈曲プレートの該挿入部が該受け入れ部に挿入されることで該原点検出機構による原点検出回路を構成する、請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
  5. 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが一端に装着されるスピンドルとを有した切削手段と、該切削ブレードと該保持テーブルとを接触させて電気的導通により該保持テーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置において該原点検出機構を構成する電極端子ユニットであって、
    該スピンドルを回転可能に支持するハウジングに該スピンドルの他端側の端面に対向して挿入され、該端面に当接する当接面を有した電極端子と、
    該電極端子と連結しかつ該電極端子を該端面に押圧する導電性材料からなる押圧ばねと、
    該押圧ばねに連結され、該電極端子と反対側で該押圧ばねを係止する係止部と、該係止部と一体的に形成されるとともに該電極端子側に屈曲した挿入部とを有する導電性屈曲プレートと、を備え、
    該ハウジングに形成された受け入れ部に該挿入部が挿入され、該受け入れ部に配置されたストッパー部により該挿入部が該受け入れ部内の壁面に押し付けられることで該電極端子が該端面に当接した状態で固定される電極端子ユニット。
  6. 該受け入れ部に挿入された該挿入部の該受け入れ部との摩擦力が、該押圧ばねの付勢力よりも大きく設定されている請求項５に記載の電極端子ユニット。
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