JP6059931B2

JP6059931B2 - 切削装置

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Inventors: 邦雄押田
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Description

本発明は、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハ等の被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削装置、さらに詳しくは切削ブレードの切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構を備えた切削装置に関する。

半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の被加工物のストリートに沿った切断は、通常、ダイサと呼ばれる切削装置によって行われている。この種の切削装置は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、前記チャックテーブルの保持面に対して垂直方向である切り込み送り方向に前記切削ブレードを移動せしめる切り込み送り手段と、前記切削ブレードの回転軸線の方向である割り出し送り方向に前記切削ブレードを移動せしめる割り出し送り手段と、前記切り込み送り方向および前記割り出し送り方向の双方に直交する切削送り方向に前記チャックテーブルを移動させる切削送り手段とを備えている。また、このような切削装置は、切削ブレードの切り込み量を設定するための基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構を含んで構成されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に示された原点検出機構は、切削ブレードが先端に装着された回転スピンドルと、前記回転スピンドルを回転支持するスピンドルハウジングとを備えており、前記スピンドルハウジングには、前記回転スピンドルの後端面に向かって貫通する連通穴が設けられ、前記連通穴には、カーボンからなる電極端子が摺動可能に挿入され、前記電極端子は、スプリングにより回転スピンドルの後端面に向かって付勢されて前記回転スピンドルの後端面に押圧され、前記連通穴の端部には、リード線を取り付けたスプリング受けが螺合され、前記リード線は、原点検出回路に接続されている。

このように構成された原点検出機構は、切削ブレードを回転させつつ切削手段をチャックテーブルの保持面に向けて下降させて前記切削ブレードが前記チャックテーブルに接触すると、原点検出回路に電流が流れるので、この電流の流れを電流計によって検出し、この電流を検出した時点における切削ブレードの切り込み位置を原点位置に設定している。

実用新案登録第２５９７８０８号公報

このような原点検出機構は、回転スピンドルの後端面に電極端子がスプリングによって常時押圧されていることから、電極端子が摩耗していない状態（初期状態）では、スプリングが最も短くなるように収縮して押圧力が上昇し、必要以上に電極端子が摩耗する虞があり、電極端子の摩耗が進んだ状態（摩耗状態）では、電極端子の摩耗の進行に伴ってスプリングが伸長し押圧力が低下し、回転スピンドルと電極端子との電気的導通不良を生じる虞がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、原点検出機構の電極端子の摩耗および電気的導通不良を抑制することができる切削装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが一端に装着され回転軸が略水平であるスピンドルを含む切削手段と、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとを接触させ、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとの電気的導通により当該チャックテーブルに対する前記切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置であって、前記原点検出機構は、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングの上方の外周面から前記スピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴と、前記ガイド穴中に摺動可能に挿入され前記スピンドルの外周面に接触する電極端子と、導電性材料で所定の重さに形成され、前記ガイド穴の上端と一直線上に連通する筒状部中に摺動可能に挿入されかつ前記ガイド穴中にも摺動可能であるとともに、前記電極端子を前記スピンドルの前記外周面に押圧する錘と、を含んで構成され、前記電極端子は、前記錘によって一定の力で前記スピンドルの前記外周面に押圧されることを特徴とする。

また、上記切削装置において、前記原点検出機構は、導電性材料で形成された弾性部材を介して前記錘が前記電極端子を押圧し、前記弾性部材は、前記スピンドルの回転および振動によって該スピンドルの前記外周面に接触する前記電極端子が弾んで電気的接触が断たれることを抑制することが好ましい。

また、上記切削装置において、前記原点検出機構は、前記電極端子の交換時期を検知する検知手段を備え、前記検知手段は、回転する前記スピンドルとの接触により前記電極端子が摩耗するのに伴って前記錘が所定の位置にまで下降したことを検知し、前記電極端子が所定の長さに摩耗したことを検出可能であることが好ましい。

本発明の切削装置によれば、スピンドルハウジングの上方の外周面からスピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴中に摺動可能に挿入された電極端子を錘により前記スピンドルの外周面に押圧させているので、錘によって電極端子がスピンドルの外周面に常に一定の力で押圧されるようになり、電極端子の無駄な消耗およびスピンドルとの電気的導通不良を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る原点検出機構の構成例を示す図である。図３は、実施形態１に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。図４は、原点検出時の原点検出機構の説明図である。図５は、実施形態２に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。図６は、実施形態３に係る原点検出機構の検知手段の構成例を示す図である。図７は、電極端子の交換時期を検出する検知手段の説明図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る原点検出機構の構成例を示す図である。図３は、実施形態１に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。図４は、原点検出時の原点検出機構の説明図である。

図１に示す実施形態１に係る切削装置１は、切削ブレード２１を備えた切削手段２０と、図示しない被加工物を保持したチャックテーブル１０とを相対移動させることで、被加工物に切削加工を施すダイサと呼ばれるものである。切削装置１は、チャックテーブル１０と、切削手段２０と、撮像手段３０と、Ｘ軸移動手段４０と、Ｙ軸移動手段５０と、Ｚ軸移動手段６０と、θ軸回転手段７０と、制御手段８０と、原点検出機構９０（図２に示す）とを含んで構成されている。

ここで、被加工物は、切削加工される加工対象であり、特に限定されないが、例えば、シリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等を母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）系の円板状の無機材料基板、金属や樹脂等の円板状の延性材料等、各種加工材料である。

チャックテーブル１０は、保持部１１の表面１２（保持面に相当）を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引源により、表面１２に載置された被加工物を吸引保持するものである。また、保持部１１と面一に形成された外周部分を含むチャックテーブル１０は、ステンレス鋼等の導電性材料で構成されている。

切削手段２０は、撮像手段３０によって撮像された被加工物の画像データに基づいて、チャックテーブル１０に保持された被加工物に切削液を供給しながら加工すべき領域に切削加工を施すためのものである。切削手段２０は、Ｙ軸移動手段５０とＺ軸移動手段６０とによってチャックテーブル１０に対してＹ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれに相対移動可能に支持されている。切削手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、切削液供給ノズル２４とを備えている。切削ブレード２１は、導電性材料で極薄のリング形状に形成された切削砥石であり、高速回転することでチャックテーブル１０に保持された被加工物を切削するものである。切削ブレード２１は、スピンドル２２のＹ軸方向の正方向側の一端（先端）に着脱可能に装着されている。スピンドル２２は、その回転軸が略水平である。ここでいう略水平とは、スピンドル２２の回転軸が水平であることを含み、切削ブレード２１による被加工物の切削加工において問題とならない水平度であることをいう。スピンドル２２は、導電性材料で形成され、図２に示すように、スピンドル本体部２４と、ロータ部２５と、スラストプレート部２６とを一体的に有している。スピンドル２２は、スピンドル本体部２４およびスラストプレート部２６とからなり、エアー軸受機構により回転自在に支持される。スピンドルハウジング２３は、筒状に形成され、内挿されたスピンドル２２を回転自在に支持している。スピンドルハウジング２３には、気体供給手段１００から供給配管１０１を介して高圧のエアーが供給される供給路２７が形成されている。供給路２７に供給された高圧のエアーは、スピンドル本体部２４およびスラストプレート部２６において、スピンドル２２とスピンドルハウジング２３との間にエアー層を形成し、エアー軸受けとなってスピンドル２２を支持する。ロータ部２５は、モータ２９の構成要素であり、ロータ部２５の径方向の外側には、ステータ２８が配設されている。ステータ２８は、スピンドルハウジング２３に固定され、通電により磁界を発生させてロータ部２５を回転駆動する回転力が発生し、切削ブレード２１を回転駆動する。

撮像手段３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Couple Device）イメージセンサを用いたカメラ等であり、チャックテーブル１０に保持された被加工物を撮像し、画像を生成する。

Ｘ軸移動手段４０は、Ｘ軸パルスモータ４２により発生した回転力によってＸ軸ボールネジ４３を回転駆動させることで、チャックテーブル１０が搭載されたＸ軸移動基台４１を一対のＸ軸ガイドレール４４によりガイドしつつＸ軸位置検出用スケール４５とＸ軸位置検出用センサ４６とによりＸ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＸ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｘ軸方向は、スピンドル２２の軸方向（Ｙ軸方向）および鉛直方向（Ｚ軸方向）の双方と直交する方向である。

Ｙ軸移動手段５０は、Ｙ軸パルスモータ５２により発生した回転力によってＹ軸ボールネジ５３を回転駆動させることで、Ｙ軸移動基台５１を一対のＹ軸ガイドレール５４によりガイドしつつＹ軸位置検出用スケール５５とＹ軸位置検出用センサ５６とによりＹ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＹ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｙ軸方向は、切削ブレード２１の回転軸の方向であり、鉛直方向（Ｚ軸方向）と直交する方向である。

Ｚ軸移動手段６０は、Ｚ軸パルスモータ６２により発生した回転力によってＺ軸ボールネジ６３を回転駆動させることで、切削手段２０が固定されたＺ軸移動部材６１を一対のＺ軸ガイドレール６４によりガイドしつつ図示しないＺ軸位置検出用センサによりＺ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＺ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｚ軸方向は、本実施形態においては、鉛直方向である。

θ軸回転手段７０は、θ軸回転モータ７１により切削ブレード２１に対してチャックテーブル１０が搭載されたテーブル７２を任意の角度の回転または連続回転をさせることができるように構成されている。テーブル７２は、θ軸回転モータ７１を介してＸ軸移動基台５１に支持され、チャックテーブル１０の中心軸線を中心として回転可能に構成されている。

制御手段８０は、コンピュータを有する電子制御装置であり、Ｘ軸移動手段４０とＹ軸移動手段５０とＺ軸移動手段６０とθ軸回転手段７０と気体供給手段１００（図２に示す）とにそれぞれ接続され、各手段４０，５０，６０，７０，１００を制御する。

ここで、実施形態１に係る原点検出機構９０について説明する。原点検出機構９０は、切削ブレード２１の切り込み量を設定するための基準となる切削ブレード２１の原点位置を検出するためのものである。原点検出機構９０は、図２に示すように、ガイド穴９１と、電極端子９２と、錘９３と、弾性部材９４とを備え、原点検出回路９５と、制御手段８０とを含んで構成されている。

ガイド穴９１は、図２および図３に示すように、スピンドルハウジング２３の上方の外周面２３ａと該スピンドルハウジング２３の上方の内周面２３ｂとに連通しスピンドル２２に向かって貫通形成されている。ガイド穴９１は、スピンドル２２の回転軸に直交する鉛直方向（Ｚ軸方向）で貫通形成され、例えば、円形状の貫通孔として形成されている。ガイド穴９１の上端には、該ガイド穴９１と一直線上に連通する中空円筒状の筒状部９６が形成されている。ガイド穴９１および筒状部９６中には、電極端子９２と錘９３と弾性部材９４とが連結された状態で摺動可能に挿入されている。

電極端子９２は、摩擦係数が低く、耐摩耗性に優れ、耐熱性を有する導電性材料から形成されている。電極端子９２は、本実施形態においては、カーボンブラシが用いられている。電極端子９２は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、ガイド穴９１中に摺動可能に挿入されている。電極端子９２は、上端側に弾性部材９４が連結され、該弾性部材９４と電気的に接続されている。電極端子９２は、下端側がスピンドル２２の外周面２２ａと接触して前記スピンドル２２と電気的に接続されている。

錘９３は、弾性部材９４を介して電極端子９２に自重を作用させ、電極端子９２を常に一定の力でスピンドル２２の外周面２２ａに押圧させるものである。錘９３は、金属などの導電性材料で構成されている。錘９３は、本実施形態においては、１０グラム（ｇ）前後の所定の重さを有している。ここでいう所定の重さとは、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制し、かつ、電極端子９２の無駄な消耗を抑えることができる重さであることをいい、電極端子９２に対して適切な重さであることをいう。錘９３は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、筒状部９６中に摺動可能に挿入されている。錘９３は、下端側に弾性部材９４が連結されているとともに上端側に原点検出回路９５の導線９７が連結され、弾性部材９４および導線９７と電気的に接続されている。錘９３は、電極端子９２の摩耗に伴ってガイド穴９１中に下降した時、該ガイド穴９１中に摺動可能に挿入される。

弾性部材９４は、スピンドル２２の外周面２２ａに接触する電極端子９２が前記スピンドル２２の回転および振動によって弾むのを抑制し、電極端子９２とスピンドル２２との電気的接触が断たれるのを抑制するものである。弾性部材９４は、本実施形態においては、金属線などの導電性材料を螺旋状に巻いた圧縮コイルばねである。弾性部材９４は、下端側に電極端子９２が連結されているとともに上端側に錘９３が連結され、電極端子９２および錘９３と電気的に接続されている。弾性部材９４は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、ガイド穴９１中に摺動可能に挿入されている。弾性部材９４は、僅かな偏心等により振動するスピンドル２２の外周面２２ａと接触する電極端子９２の振動を吸収し、かつ、電極端子９２の振動に伴って固有振動しないばね定数を有している。

原点検出回路９５は、導線９７と、第一スイッチ９８ａと、電流計９８ｂと、第二スイッチ９８ｃと、電源９８ｄとを含んで構成されている。導線９７は、錘９３と電流計９８ｂと第二スイッチ９８ｃと電源９８ｄとチャックテーブル１０とを電気的に直列に接続し、前記錘９３と前記電流計９８ｂとの間にアースと断接するスイッチである第一スイッチ９８ａを配設し、前記錘９３と前記第一スイッチ９８ａと前記アースとを電気的に直列に接続している。第一スイッチ９８ａと電流計９８ｂと第二スイッチ９８ｃとは、それぞれ制御手段８０と電気的に接続されている。制御手段８０は、第一スイッチ９８ａおよび第二スイッチ９８ｃを制御し、電流計９８ｂの検出結果を示す信号を取得可能に構成されている。

ここで、切削ブレード２１とチャックテーブル１０との接触時の電気的導通により前記チャックテーブル１０に対する切削ブレード２１の切り込み方向（Ｚ軸方向）の原点位置を検出するセットアップについて説明する。なお、原点位置は、切削ブレード２１の切り込み量を設定するための基準となるものである。

図４に示すように、セットアップ時には、制御手段８０は、第一スイッチ９８ａを開き、第二スイッチ９８ｃを閉じ、切削ブレード２１を回転させつつ切削手段２０をチャックテーブル１０の表面１２に向けて降下させる。制御手段８０は、切削ブレード２１とチャックテーブル１０との接触により原点検出回路９５を含む閉回路に流れる電流が電流計９８ｂによって検出された時点における切削ブレード２１の切り込み位置を原点位置として設定する。

なお、図２に示すように、セットアップ時以外には、制御手段８０は、第一スイッチ９８ａを閉じ、第二スイッチ９８ｃを開き、スピンドル２２と電極端子９２と錘９３と弾性部材９４と導線９７と第一スイッチ９８ａとアースとを電気的に接続させ、スピンドル２２をアースする。

以上のように、実施形態１に係る切削装置１によれば、スピンドルハウジング２３の上方の外周面２３ａからスピンドル２２に向かって該スピンドルハウジング２３の内周面２３ｂに貫通形成されたガイド穴９１中に摺動可能に挿入された電極端子９２を錘９３により前記スピンドル２２の外周面２２ａに押圧させているので、錘９３によって電極端子９２がスピンドル２２の外周面２２ａに常に一定の力で押圧されるようになり、電極端子９２の無駄な消耗およびスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、弾性部材９４を介して錘９３が電極端子９２をスピンドル２２の外周面２２ａに押圧するので、スピンドル２２の回転および振動によって電極端子９２が弾むのを抑制し、電極端子９２とスピンドル２２との電気的接触が断たれるのを抑制することができる。

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、所定の重さの錘９３によって電極端子９２をスピンドル２２に一定の力で押圧させるので、電極端子９２が摩耗していない状態（初期状態）および電極端子９２の摩耗が進んだ状態（摩耗状態）において、電極端子９２の無駄な消耗およびスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができる。

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、スピンドル２２の外周面２２ａに電極端子９２を接触させるので、切削手段２０の軸方向（Ｙ軸方向）のサイズを小型化できる。したがって、切削装置１の省スペース化を図ることができる。

なお、上記実施形態１においては、切削装置１は、１個のスピンドル２２を有するダイサであるが、２個のスピンドル２２を有するダイサ、いわゆるデュアルダイサ（例えば、フェイシングデュアルダイサやパラレルデュアルダイサ）であってもよい。

また、上記実施形態１においては、錘９３は、１０グラム（ｇ）前後の重さを有しているが、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制し、かつ、電極端子９２の無駄な消耗を抑えることのできる重さであればよいので、複数個の錘９３をガイド穴９１（筒状部９６を含む）中に挿入することで１０グラム前後の重さとしてもよい。

また、上記実施形態１においては、弾性部材９４は、金属線などを螺旋状に巻いた圧縮コイルばねであるが、電極端子９２の振動を吸収することができるダンパーとしての機能を有し、かつ、導電性を有しているものを用いることができる。

〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０について説明する。実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０の基本的構成は、実施形態１に係る切削装置１の原点検出機構９０と同様であるので、同一部分の構成の説明は省略する。実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）を省スペース化することができるものである。

図５は、実施形態２に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。

図５に示すように、原点検出機構９０は、鉛直方向に対して傾斜して貫通形成されたガイド穴９１と、該ガイド穴９１と一直線上に連通された筒状部９６とを有し、ガイド穴９１および筒状部９６中には、電極端子９２と錘９３と弾性部材９４とを傾斜させた状態で摺動可能に挿入している。

ガイド穴９１は、スピンドル２２の回転軸に直交し、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対してＸ軸方向の負方向に向かって傾斜角αで傾斜する方向で貫通形成されている。傾斜角αは、本実施形態においては、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度に設定されている。

筒状部９６は、ガイド穴９１と一直線上に連通しており、その傾斜角αは、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対してＸ軸方向の負方向に向かって傾斜する−３０度に設定されている。

以上のように、実施形態２に係る切削装置１によれば、筒状部９６を鉛直方向に対して傾斜させているので、筒状部９６の鉛直方向における突出量Ｈを減少させることができる。したがって、実施形態２に係る切削装置１は、鉛直方向における省スペース化を図ることができる。

また、ガイド穴９１の傾斜角αは、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度であるので、錘９３とガイド穴９１（筒状部９６を含む）との摩擦力が大きくならず、錘９３の重さを電極端子９２に十分に作用させることができ、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができる。

なお、上記実施形態２においては、傾斜角αは、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度となっているが、錘９３とガイド穴９１（筒状部９６を含む）との摩擦力を無視できる範囲、かつ、非常に多くの個数の錘９３が必要とならない範囲であればよいので、Ｘ軸方向の正方向に傾斜する＋４５度からＸ軸方向の負方向に傾斜する−４５度の範囲内で設定することができ、好ましくは、Ｘ軸方向の正方向に傾斜する＋３０度からＸ軸方向の負方向に傾斜する−３０度の範囲に設定することができる。

また、上記実施形態２においては、ガイド穴９１および筒状部９６は、Ｘ軸方向に傾斜させているが、筒状部９６の鉛直方向の省スペース化を図ることができればよいので、Ｙ軸方向に傾斜させてもよく、また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方に傾斜させてもよい。

〔実施形態３〕
次に、本実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０について説明する。実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０の基本的構成は、実施形態１に係る切削装置１の原点検出機構９０と同様であるので、同一部分の構成の説明は省略する。実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０は、電極端子９２の交換時期を検出することができるものである。

図６は、実施形態３に係る原点検出機構の検知手段の構成例を示す図である。図７は、電極端子の交換時期を検出する検知手段の説明図である。

図６に示すように、原点検出機構９０は、電極端子９２が摩耗するのに伴って錘９３が所定の位置にまで下降したことを検知する検知手段９９を備えている。ここでいう錘９３が所定の位置にまで下降したとは、図示しない摩耗限界線に電極端子９２の摩耗が達した時の位置にまで錘９３が下降したことをいう。検知手段９９は、例えば、錘９３の表面よりも光を反射する目印部材９９ａと、錘９３に光を照射するとともに目印部材９９ａから反射してきた光を検知するセンサ９９ｂとを含んで構成されている。目印部材９９ａは、電極端子９２の外面に形成された図示しない摩耗限界線に前記電極端子９２の摩耗が達した時に、センサ９９ｂが検知できる位置に配設されている。センサ９９ｂは、本実施形態においては、筒状部９６に配設され、制御手段８０と電気的に接続されている。制御手段８０は、センサ９９ｂの検知結果を示す信号を取得可能に構成されている。

ここで、電極端子９２の交換時期の検出について説明する。図７に示すように、電極端子９２の摩耗に伴って錘９３が所定の位置にまで下降した時、制御手段８０は、錘９３の目印部材９９ａをセンサ９９ｂが検知した検知結果を示す信号に基づいて、電極端子９２が所定の長さになるまで摩耗したことを検出する。次に、制御手段８０は、切削装置１の図示しない操作画面等に電極端子９２の交換時期を知らせるアラームを発し、オペレータ等の作業員に電極端子９２の交換を促す。

以上のように、実施形態３に係る切削装置１によれば、電極端子９２の摩耗に伴って錘９３が所定の位置にまで下降したことをセンサ９９ｂで検知するので、電極端子９２が所定の長さになるまで摩耗して該電極端子９２の交換時期となったことを検知手段９９により検出することができる。したがって、実施形態３に係る切削装置１は、電極端子９２の摩耗量に応じて、電極端子９２を適切な時期に交換することができる。

なお、上記実施形態３においては、検知手段９９は、錘９３の目印部材９９ａと該目印部材９９ａから反射してきた光を検知するセンサ９９ｂと含んで構成されているが、電極端子９２の摩耗に伴って所定の位置にまで錘９３が下降すると該錘９３に設けた凸部がスイッチを押して前記電極端子９２の交換時期を検出するように構成してもよく、錘９３との電気的導通によって電極端子９２の交換時期を検出するように構成してもよく、錘９３の移動量や位置などを検知することによって電極端子９２の交換時期を検出できる構成であればよい。

１切削装置
１０チャックテーブル
２０切削手段
２１切削ブレード
２２スピンドル
２２ａ外周面
２３スピンドルハウジング
２３ａ外周面
２３ｂ内周面
９０原点検出機構
９１ガイド穴
９２電極端子
９３錘
９４弾性部材
９９検知手段

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが一端に装着され回転軸が略水平であるスピンドルを含む切削手段と、
前記切削ブレードと前記チャックテーブルとを接触させ、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとの電気的導通により当該チャックテーブルに対する前記切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、
を備えた切削装置であって、
前記原点検出機構は、
前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングの上方の外周面から前記スピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴と、
前記ガイド穴中に摺動可能に挿入され前記スピンドルの外周面に接触する電極端子と、
導電性材料で所定の重さに形成され、前記ガイド穴の上端と一直線上に連通する筒状部中に摺動可能に挿入されかつ前記ガイド穴中にも摺動可能であるとともに、前記電極端子を前記スピンドルの前記外周面に押圧する錘と、
を含んで構成され、
前記電極端子は、前記錘によって一定の力で前記スピンドルの前記外周面に押圧される切削装置。
前記原点検出機構は、
導電性材料で形成された弾性部材を介して前記錘が前記電極端子を押圧し、
前記弾性部材は、前記スピンドルの回転および振動によって該スピンドルの前記外周面に接触する前記電極端子が弾んで電気的接触が断たれることを抑制する請求項１記載の切削装置。
前記原点検出機構は、
前記電極端子の交換時期を検知する検知手段を備え、
前記検知手段は、回転する前記スピンドルとの接触により前記電極端子が摩耗するのに伴って前記錘が所定の位置にまで下降したことを検知し、前記電極端子が所定の長さに摩耗したことを検出可能である請求項１または２記載の切削装置。