JP2005142202A - 切削装置及び切削ブレードのセットアップ方法 - Google Patents
切削装置及び切削ブレードのセットアップ方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル2において、ポーラスセラミックスで形成され被加工物を吸引保持する吸着部20と、ファインセラミックスで形成され吸着部20を囲繞する枠体21とから構成され、吸着部20の上面と枠体21の上面とを面一に形成することにより、経時的に吸着部と枠体とに段差が生じるのを防止する。
【選択図】図3
Description
2:チャックテーブル
20:吸着部 21:枠体 20a:吸着部の上面 21a:枠体の上面
22:通気孔 23:吸引源
3:切削手段
30:切削ブレード 31:スピンドルハウジング 32:スピンドル
4:切削送り部
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:パルスモータ 43:基台
44:回転駆動部
5:切り込み送り部
50:ガイドレール 51:パルスモータ51 52:支持部
53:リニアスケール
6:割り出し送り部6
60:ボールネジ 61:ガイドレール61 62:パルスモータ
63:基台
7:基準プレート
80:検出器 81:記憶部
9:制御部
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置であって、
該チャックテーブルは、ポーラスセラミックスで形成され被加工物を吸引保持する吸着部と、ファインセラミックスで形成され該吸着部を囲繞する枠体とから構成され、該吸着部の上面と該枠体の上面とは面一に形成される切削装置。 - 前記吸着部を構成するポーラスセラミックスと前記枠体を構成するファインセラミックスとは、線膨張係数が同一である請求項1に記載の切削装置。
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備え、
該チャックテーブルは、ポーラスセラミックスで形成され被加工物を吸引保持する吸着部と、ファインセラミックスで形成され該吸着部を囲繞する枠体とから構成され、該吸着部の上面と該枠体の上面とは面一に形成される切削装置における該切削ブレードの切り込み方向の基準位置を設定する切削ブレードのセットアップ方法であって、
所定厚さの導電性を有する基準プレートを該チャックテーブルにおいて保持する保持ステップと、
該チャックテーブルを該切削手段の直下に位置付け、該切削手段を切り込み方向に移動させて該切削ブレードが該基準プレートに接触した瞬間の電気的導通を検出する導通検出ステップと、
該電気的導通を検出した際の該切削ブレードの切り込み方向の位置を認識する位置認識ステップと、
該基準プレートの該所定厚さを差し引いて該切削ブレードと該チャックテーブルとの接触基準位置を算定する算定ステップと
から構成される切削ブレードのセットアップ方法。
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