JP4549654B2 - 切削ブレードのセットアップ方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
Images
Description
2:チャックテーブル
20:吸着部 21:枠体 20a:吸着部の上面 21a:枠体の上面
22:通気孔 23:吸引源
3:切削手段
30:切削ブレード 31:スピンドルハウジング 32:スピンドル
4:切削送り部
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:パルスモータ 43:基台
44:回転駆動部
5:切り込み送り部
50:ガイドレール 51:パルスモータ51 52:支持部
53:リニアスケール
6:割り出し送り部6
60:ボールネジ 61:ガイドレール61 62:パルスモータ
63:基台
7:基準プレート
80:検出器 81:記憶部
9:制御部
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備え、
該チャックテーブルは、ポーラスセラミックスで形成され被加工物を吸引保持する吸着部と、ファインセラミックスで形成され該吸着部を囲繞する枠体とから構成され、該吸着部を構成するポーラスセラミックスと該枠体を構成するファインセラミックスとは、線膨張係数が同一であり、該吸着部の上面と該枠体の上面とは面一に形成される切削装置における該切削ブレードの切り込み方向の基準位置を設定する切削ブレードのセットアップ方法であって、
所定厚さの導電性を有する基準プレートを該チャックテーブルの該吸着部及び該枠体の上に載置して保持する保持ステップと、
該チャックテーブルを該切削手段の直下に位置付け、該切削手段を切り込み方向に移動させて該切削ブレードが該基準プレートに接触した瞬間の電気的導通を検出する導通検出ステップと、
該電気的導通を検出した際の該切削ブレードの切り込み方向の位置を認識する位置認識ステップと、
該基準プレートの該所定厚さを差し引いて該切削ブレードと該チャックテーブルとの接触基準位置を算定する算定ステップと
から構成される切削ブレードのセットアップ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003374272A JP4549654B2 (ja) | 2003-11-04 | 2003-11-04 | 切削ブレードのセットアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003374272A JP4549654B2 (ja) | 2003-11-04 | 2003-11-04 | 切削ブレードのセットアップ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005142202A JP2005142202A (ja) | 2005-06-02 |
JP4549654B2 true JP4549654B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=34686035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003374272A Expired - Lifetime JP4549654B2 (ja) | 2003-11-04 | 2003-11-04 | 切削ブレードのセットアップ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4549654B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6078297B2 (ja) | 2012-10-31 | 2017-02-08 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP6223862B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2017-11-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6360756B2 (ja) | 2014-09-05 | 2018-07-18 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
JP6422805B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-11-14 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016192494A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP6422388B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2018-11-14 | 株式会社ディスコ | 切削溝の形成方法 |
JP2018022847A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
JP7143021B2 (ja) * | 2018-07-09 | 2022-09-28 | 株式会社ディスコ | ポーラスチャックテーブル、ポーラスチャックテーブルの製造方法、及び、加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0513051U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-19 | 京セラ株式会社 | 真空チヤツク |
JPH0992711A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル及びそれが配設されたダイサー |
JPH11254259A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル |
JPH11345787A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング装置 |
-
2003
- 2003-11-04 JP JP2003374272A patent/JP4549654B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH11345787A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005142202A (ja) | 2005-06-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090805 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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